JPS6426840U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6426840U JPS6426840U JP12288187U JP12288187U JPS6426840U JP S6426840 U JPS6426840 U JP S6426840U JP 12288187 U JP12288187 U JP 12288187U JP 12288187 U JP12288187 U JP 12288187U JP S6426840 U JPS6426840 U JP S6426840U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibration
- utility
- transfer device
- model registration
- wafer transfer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 claims description 4
- 229920000426 Microplastic Polymers 0.000 claims 1
- 239000004576 sand Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Reciprocating Conveyors (AREA)
Description
第１図は、この考案の実施例を示す斜視図であ
る。 １……ボートローダ、２……駆動部、３……ア
ーム、４……保持部、１３……吸振剤。
る。 １……ボートローダ、２……駆動部、３……ア
ーム、４……保持部、１３……吸振剤。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 駆動部と保持部とを連結する中空状のアー
ムに吸振剤を充填したことを特徴とするウエハ搬
送装置の防振アーム。 (2) 駆動部が、モータと連結するリニアアクチ
ユエータであることを特徴とする実用新案登請求
の範囲第１項記載のウエハ搬送装置の防振アーム
。 (3) 保持部が、プツシユロツドを保持すること
を特徴とする実用新案登請求の範囲第１項記載の
ウエハ搬送装置の防振アーム。 (4) 吸振剤が、鋳物砂であることを特徴とする
実用新案登請求の範囲第１項記載のウエハ搬送装
置の防振アーム。 (5) 吸振剤が、プラスチツクのペレツトである
ことを特徴とする実用新案登請求の範囲第１項記
載のウエハ搬送装置の防振アーム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987122881U JPH0621243Y2 (ja) | 1987-08-11 | 1987-08-11 | プッシュロッドの搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987122881U JPH0621243Y2 (ja) | 1987-08-11 | 1987-08-11 | プッシュロッドの搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6426840U true JPS6426840U (ja) | 1989-02-15 |
| JPH0621243Y2 JPH0621243Y2 (ja) | 1994-06-01 |
Family
ID=31371226
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987122881U Expired - Lifetime JPH0621243Y2 (ja) | 1987-08-11 | 1987-08-11 | プッシュロッドの搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0621243Y2 (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5819149U (ja) * | 1981-07-31 | 1983-02-05 | 三菱重工業株式会社 | 吸振構造材 |
| JPS58181478U (ja) * | 1982-05-25 | 1983-12-03 | 元田電子工業株式会社 | 旋回型自動搬送機 |
-
1987
- 1987-08-11 JP JP1987122881U patent/JPH0621243Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5819149U (ja) * | 1981-07-31 | 1983-02-05 | 三菱重工業株式会社 | 吸振構造材 |
| JPS58181478U (ja) * | 1982-05-25 | 1983-12-03 | 元田電子工業株式会社 | 旋回型自動搬送機 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0621243Y2 (ja) | 1994-06-01 |
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