JPS6417535U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6417535U JPS6417535U JP1987111012U JP11101287U JPS6417535U JP S6417535 U JPS6417535 U JP S6417535U JP 1987111012 U JP1987111012 U JP 1987111012U JP 11101287 U JP11101287 U JP 11101287U JP S6417535 U JPS6417535 U JP S6417535U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- support frame
- thin film
- transparent resin
- resin thin
- perforation
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
Description
第１図はこの考案の一実施例であるフオトマス
ク防塵機構の斜視図、第２図は従来のフオトマス
ク防塵機構の斜視図である。 １…フオトマスク、２…透明樹脂膜、３…支持
枠、４…粘着層、５…穿穴、６…通気性膜材料。
ク防塵機構の斜視図、第２図は従来のフオトマス
ク防塵機構の斜視図である。 １…フオトマスク、２…透明樹脂膜、３…支持
枠、４…粘着層、５…穿穴、６…通気性膜材料。
Claims (1)
- 透明樹脂薄膜と、この透明樹脂薄膜の周縁部を
端部で接着支持する支持枠と、この支持枠に接着
支持された前記透明樹脂薄膜とは反対側の端部に
設けられた粘着層とからなるフオトマスク防塵機
構において、前記支持枠に少なくとも１個の円形
もしくは多角形の穿孔を有し、この穿孔が外側か
ら通気性膜材料で被覆されていることを特徴とす
るフオトマスク防塵機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987111012U JPS6417535U (ja) | 1987-07-20 | 1987-07-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987111012U JPS6417535U (ja) | 1987-07-20 | 1987-07-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6417535U true JPS6417535U (ja) | 1989-01-27 |
Family
ID=31348693
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987111012U Pending JPS6417535U (ja) | 1987-07-20 | 1987-07-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6417535U (ja) |
-
1987
- 1987-07-20 JP JP1987111012U patent/JPS6417535U/ja active Pending