JPS6415154U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6415154U JPS6415154U JP10857987U JP10857987U JPS6415154U JP S6415154 U JPS6415154 U JP S6415154U JP 10857987 U JP10857987 U JP 10857987U JP 10857987 U JP10857987 U JP 10857987U JP S6415154 U JPS6415154 U JP S6415154U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- optical fibers
- sample
- photodetector
- crystallinity
- Prior art date
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- Pending
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- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 5
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
第１図はこの考案の電子線回折像観測装置の一
例を示すブロツク図、第２図はその蛍光板上の発
光パターンと光フアイバとの関係例を示す図であ
る。
例を示すブロツク図、第２図はその蛍光板上の発
光パターンと光フアイバとの関係例を示す図であ
る。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 真空容器内に設けられた試料に対し、電子ビー
ムを低入射角で入射させ、その試料の結晶性によ
り回折された電子ビームを、上記真空容器内に設
けた蛍光板に入射してその発光パターンにより上
記試料の結晶性を評価する電子線回折像観測装置
において、 上記蛍光板に一端面が対向して設けられた複数
の光フアイバと、 その光フアイバの他端に設けられた光検出器と
を具備する電子線回折像観測装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10857987U JPS6415154U (ja) | 1987-07-15 | 1987-07-15 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10857987U JPS6415154U (ja) | 1987-07-15 | 1987-07-15 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6415154U true JPS6415154U (ja) | 1989-01-25 |
Family
ID=31344049
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10857987U Pending JPS6415154U (ja) | 1987-07-15 | 1987-07-15 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6415154U (ja) |
-
1987
- 1987-07-15 JP JP10857987U patent/JPS6415154U/ja active Pending
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