JPS6413689U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6413689U JPS6413689U JP10855287U JP10855287U JPS6413689U JP S6413689 U JPS6413689 U JP S6413689U JP 10855287 U JP10855287 U JP 10855287U JP 10855287 U JP10855287 U JP 10855287U JP S6413689 U JPS6413689 U JP S6413689U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ceramic heater
- resistance wire
- nitride
- utility
- scope
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本考案実施例によるセラミツク製ヒー
タの一部を破断して示す平面図、第２図は第１図
におけるＸ―Ｘ線部の一部拡大断面図、第３図は
本考案実施例によるセラミツク製ヒータの電流特
性を示した図である。 Ｈ：セラミツク製ヒータ、１：ベース、２：発
熱抵抗線、３：蓋部材。
タの一部を破断して示す平面図、第２図は第１図
におけるＸ―Ｘ線部の一部拡大断面図、第３図は
本考案実施例によるセラミツク製ヒータの電流特
性を示した図である。 Ｈ：セラミツク製ヒータ、１：ベース、２：発
熱抵抗線、３：蓋部材。
Claims (1)
- 窒化物系セラミツク体に形成した溝中に発熱抵
抗線を内挿したことを特徴とするセラミツク製ヒ
ータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10855287U JPS6413689U (ja) | 1987-07-15 | 1987-07-15 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10855287U JPS6413689U (ja) | 1987-07-15 | 1987-07-15 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6413689U true JPS6413689U (ja) | 1989-01-24 |
Family
ID=31343996
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10855287U Pending JPS6413689U (ja) | 1987-07-15 | 1987-07-15 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6413689U (ja) |
-
1987
- 1987-07-15 JP JP10855287U patent/JPS6413689U/ja active Pending