JPS6412361U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6412361U JPS6412361U JP10673887U JP10673887U JPS6412361U JP S6412361 U JPS6412361 U JP S6412361U JP 10673887 U JP10673887 U JP 10673887U JP 10673887 U JP10673887 U JP 10673887U JP S6412361 U JPS6412361 U JP S6412361U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- oven
- ion source
- thermocouple
- utility
- temperature measurement
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 claims 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
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Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例を示し、第２図は第１図
実施例の一部拡大図である、第３図は従来の金属
イオン発生用イオン源を示す。 １……イオン源室、２……導入管、３……オー
ブン容器、４……加熱ヒータ、５……固体金属、
６……熱電対、６′……熱電対リード線、７……
熱絶縁物、８……保護カバー、９……シース。
実施例の一部拡大図である、第３図は従来の金属
イオン発生用イオン源を示す。 １……イオン源室、２……導入管、３……オー
ブン容器、４……加熱ヒータ、５……固体金属、
６……熱電対、６′……熱電対リード線、７……
熱絶縁物、８……保護カバー、９……シース。
Claims (1)
- 金属蒸気発生用オーブンをイオン源室に連結し
てなるイオン源において、前記オーブンのオーブ
ン容器の中に温度測定用の熱電対を導入したこと
を特徴とするイオン源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10673887U JPS6412361U (ja) | 1987-07-11 | 1987-07-11 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10673887U JPS6412361U (ja) | 1987-07-11 | 1987-07-11 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6412361U true JPS6412361U (ja) | 1989-01-23 |
Family
ID=31340520
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10673887U Pending JPS6412361U (ja) | 1987-07-11 | 1987-07-11 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6412361U (ja) |
-
1987
- 1987-07-11 JP JP10673887U patent/JPS6412361U/ja active Pending