JPS6411536U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6411536U JPS6411536U JP10523687U JP10523687U JPS6411536U JP S6411536 U JPS6411536 U JP S6411536U JP 10523687 U JP10523687 U JP 10523687U JP 10523687 U JP10523687 U JP 10523687U JP S6411536 U JPS6411536 U JP S6411536U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electric signal
- waveform
- conversion means
- initial
- value
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
第１図は本考案装置の回路ブロツク図、第２図
は発光強度信号の波形を示す線図である。 １……光電変換器、２……オートオフセツト機
能、３……オートゲイン機能、４……判定機能、
５……ペンレコーダ、６……設定器、７……比較
器、８……警報出力。
は発光強度信号の波形を示す線図である。 １……光電変換器、２……オートオフセツト機
能、３……オートゲイン機能、４……判定機能、
５……ペンレコーダ、６……設定器、７……比較
器、８……警報出力。
Claims (1)
- エツチング処理時の発光量を電気信号に変換す
る電気信号変換手段と、該変換手段によつて入力
した初期の電気信号の波形および該波形の補正を
行なうオフセツト値、ゲイン値を自動的に補正す
る手段を有するエツチング終点判定装置において
、初期の電気信号と設定された値とを比較する手
段と、比較結果を出力する手段を設けたことを特
徴とするエツチング終点判定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10523687U JPS6411536U (ja) | 1987-07-10 | 1987-07-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10523687U JPS6411536U (ja) | 1987-07-10 | 1987-07-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6411536U true JPS6411536U (ja) | 1989-01-20 |
Family
ID=31337667
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10523687U Pending JPS6411536U (ja) | 1987-07-10 | 1987-07-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6411536U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0315723U (ja) * | 1989-06-30 | 1991-02-18 |
-
1987
- 1987-07-10 JP JP10523687U patent/JPS6411536U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0315723U (ja) * | 1989-06-30 | 1991-02-18 | ||
| JPH0723295Y2 (ja) * | 1989-06-30 | 1995-05-31 | 東海興業株式会社 | Ｌ型インサートを具えたウエザーストリップ |