JPS6396976A - 高周波放電励起レ−ザ - Google Patents
高周波放電励起レ−ザInfo
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- JPS6396976A JPS6396976A JP24207286A JP24207286A JPS6396976A JP S6396976 A JPS6396976 A JP S6396976A JP 24207286 A JP24207286 A JP 24207286A JP 24207286 A JP24207286 A JP 24207286A JP S6396976 A JPS6396976 A JP S6396976A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0975—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser using inductive or capacitive excitation
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は高周波放電励起レーザに関し、特に、電源装置
からの高周波電力が同軸ケーブルを介してレーザ管に供
給されている高周波放電励起レーザに関する。
からの高周波電力が同軸ケーブルを介してレーザ管に供
給されている高周波放電励起レーザに関する。
第４図は従来の高周波放電励起レーザの一例を概略的に
示す回路図である。
示す回路図である。
第４図に示されるように、従来の高周波放電励起レーザ
は、概略すると、高周波電源１０１、同軸ケーブル１０
３、マツチング回路１０２、および、レーザ管１０４を
具備している。高周波電源１０１は、電源装置１０５内
に配設されていてレーザ管１０４に印加する高周波電圧
を出力するものである。この高周波電源１０１の出力電
圧は、同軸ケーブル１０３を介してレーザ出力装置１０
６内に設けられたマツチング回路１０２に伝達される。
は、概略すると、高周波電源１０１、同軸ケーブル１０
３、マツチング回路１０２、および、レーザ管１０４を
具備している。高周波電源１０１は、電源装置１０５内
に配設されていてレーザ管１０４に印加する高周波電圧
を出力するものである。この高周波電源１０１の出力電
圧は、同軸ケーブル１０３を介してレーザ出力装置１０
６内に設けられたマツチング回路１０２に伝達される。
ここで、同軸ケーブル１０３が高周波電源１０１とマツ
チング回路１０２との間に挿入されるでいるが、これは
、例えば、同軸ケーブルの特性インピーダンスが５０Ω
または７５Ωであるため、インピーダンスの低い高周波
電源１０１の出力側に接続しないと完全に整合をとるこ
とができないためである。
チング回路１０２との間に挿入されるでいるが、これは
、例えば、同軸ケーブルの特性インピーダンスが５０Ω
または７５Ωであるため、インピーダンスの低い高周波
電源１０１の出力側に接続しないと完全に整合をとるこ
とができないためである。
マツチング回路１０２は同軸ケーブル１０３を介した高
周波電源１０１の出力インピーダンスｚ６°とレーザ管
１０４のインピーダンスｚＬ゛とを整合させ、・高周波
電源１０１の出力電圧をレーザ管１０４に効率よく伝達
するためのものである。
周波電源１０１の出力インピーダンスｚ６°とレーザ管
１０４のインピーダンスｚＬ゛とを整合させ、・高周波
電源１０１の出力電圧をレーザ管１０４に効率よく伝達
するためのものである。
このマツチング回路１０２は、同軸ケーブル１０３の内
部導体１３１と外部導体１３２とに並列に接続されたコ
ンデンサ１２１、レーザ管の２つの電極１４３ａおよび
１４３ｂに接続されたコンデンサ１２３、および、同軸
ケーブルの内部導体１３１とレーザ管の電極１４３ａと
の間に直列に接続されたコイル１２２で構成されたπ型
でありマツチング回路の例である。
部導体１３１と外部導体１３２とに並列に接続されたコ
ンデンサ１２１、レーザ管の２つの電極１４３ａおよび
１４３ｂに接続されたコンデンサ１２３、および、同軸
ケーブルの内部導体１３１とレーザ管の電極１４３ａと
の間に直列に接続されたコイル１２２で構成されたπ型
でありマツチング回路の例である。
この従来の高周波放電励起レーザは、電極１４３ａおよ
び１４３ｂに印加した高周波電圧でセラミック管１４１
の内部１４２に放電を生じさせ、この放電によりセラミ
ック管の内部１４２の炭酸ガス（実際には、Ｇｏ、、Ｎ
、、Ｈｅの混合気体）を励起するようになされている。
び１４３ｂに印加した高周波電圧でセラミック管１４１
の内部１４２に放電を生じさせ、この放電によりセラミ
ック管の内部１４２の炭酸ガス（実際には、Ｇｏ、、Ｎ
、、Ｈｅの混合気体）を励起するようになされている。
すなわち、この高周波放電励起レーザは、ＣＯｚ分子を
高準位の振動状態に励起し、この高準位の分子振動状態
から低準位の分子振動状態に遷移する過程において、Ｃ
Ｏを分子が放出する光をレーザ管１０４の両側に平行に
設けた２枚の反射鏡（図示しない）で反射して共振させ
、その一部の光をレーザ出力として取り出すものである
。
高準位の振動状態に励起し、この高準位の分子振動状態
から低準位の分子振動状態に遷移する過程において、Ｃ
Ｏを分子が放出する光をレーザ管１０４の両側に平行に
設けた２枚の反射鏡（図示しない）で反射して共振させ
、その一部の光をレーザ出力として取り出すものである
。
上述したように、従来の高周波放電励起レーザは、電源
装置１０５内に配設された高周波電源１０１からの出力
電圧は同軸ケーブル１０３でレーザ出力装置１０６内に
設けられたマツチング回路１０２まで伝達され、そして
、マツチング回路１０２で整合された高周波電源１０１
の出力電圧がレーザ管１０４に印加されるようになされ
ている。
装置１０５内に配設された高周波電源１０１からの出力
電圧は同軸ケーブル１０３でレーザ出力装置１０６内に
設けられたマツチング回路１０２まで伝達され、そして
、マツチング回路１０２で整合された高周波電源１０１
の出力電圧がレーザ管１０４に印加されるようになされ
ている。
ところで、レーザ管１０４およびマツチング回路１０２
が設けられたレーザ出力装置１０６は、例えば、産業用
ロボットのアーム部分等に位置するものであるため、経
年変化等により高周波放電励起レーザを調整する必要が
生じた場合には、電源装置１０５内に配設された高周波
電源１０１を調整するだけでなく、例えば、産業用ロボ
ットのアーム部分等に位置するレーザ出力装置１０６内
のマツチング回路１０２をも調整しなければならず、メ
インテナンスの面で問題があった。
が設けられたレーザ出力装置１０６は、例えば、産業用
ロボットのアーム部分等に位置するものであるため、経
年変化等により高周波放電励起レーザを調整する必要が
生じた場合には、電源装置１０５内に配設された高周波
電源１０１を調整するだけでなく、例えば、産業用ロボ
ットのアーム部分等に位置するレーザ出力装置１０６内
のマツチング回路１０２をも調整しなければならず、メ
インテナンスの面で問題があった。
また、マツチング回路１０２がレーザ管１０４の位置に
設けられていると、ノイズを発生するループが大きくな
り、このノイズを遮断するためにはレーザ出力装置１０
６の外側を完全にシールドしなければならず、例えば、
このレーザ出力装置１０６が設けられた産業用ロボット
のアーム部分の構造が複雑あるいは重量が増大する等の
問題があった・ 本発明は、上述した従来形の高周波放電励起レーザにお
ける問題点に鑑み、高周波電源が設けられた電源装置内
にマツチング回路を設け、このマツチング回路の出力と
レーザ管とを同軸ケーブルで接続するように構成するこ
とによって、メインテナンスを簡単に行うと共にレーザ
管の配設個所の構造を簡単軽量さらに信頼の向上を計る
ことを目的とする。
設けられていると、ノイズを発生するループが大きくな
り、このノイズを遮断するためにはレーザ出力装置１０
６の外側を完全にシールドしなければならず、例えば、
このレーザ出力装置１０６が設けられた産業用ロボット
のアーム部分の構造が複雑あるいは重量が増大する等の
問題があった・ 本発明は、上述した従来形の高周波放電励起レーザにお
ける問題点に鑑み、高周波電源が設けられた電源装置内
にマツチング回路を設け、このマツチング回路の出力と
レーザ管とを同軸ケーブルで接続するように構成するこ
とによって、メインテナンスを簡単に行うと共にレーザ
管の配設個所の構造を簡単軽量さらに信頼の向上を計る
ことを目的とする。
第１図は本発明に係る高周波放電励起レーザの原理を示
すブロック図である。
すブロック図である。
本発明によれば、電源装置５内に配設され、高周波電圧
を出力する高周波電源１と、前記電源装置５内に設けら
れ、前記高周波電源１の出力電圧が印加されたマツチン
グ回路２と、該マツチング回路２の出力に一方の端が接
続された同軸ケーブル３と、該同軸ケーブル３の他方の
端に接続され、レーザ光を発生するレーザ管４と、を具
備する高周波放電励起レーザが提供される。
を出力する高周波電源１と、前記電源装置５内に設けら
れ、前記高周波電源１の出力電圧が印加されたマツチン
グ回路２と、該マツチング回路２の出力に一方の端が接
続された同軸ケーブル３と、該同軸ケーブル３の他方の
端に接続され、レーザ光を発生するレーザ管４と、を具
備する高周波放電励起レーザが提供される。
上述した構成を有する本発明の高周波放電励起レーザに
よれば、高周波電源１が配設された電源装置５内にはマ
ツチング回路２が設けられ、このマツチング回路２の出
力とレーザ管４との間は同軸ケーブル３で接続される。
よれば、高周波電源１が配設された電源装置５内にはマ
ツチング回路２が設けられ、このマツチング回路２の出
力とレーザ管４との間は同軸ケーブル３で接続される。
このように、マツチング回路２は高周波電源１が配設さ
れた電源装置５内に設けられるため、メインテナンスを
簡単に行うと共にレーザ管の配役個所の構造を簡単にす
ることができる。
れた電源装置５内に設けられるため、メインテナンスを
簡単に行うと共にレーザ管の配役個所の構造を簡単にす
ることができる。
以下、図面を参照して本発明に係る高周波放電励起レー
ザの一実施例を説明する。
ザの一実施例を説明する。
第２図は本発明の高周波放電励起レーザの一実施例を概
略的に示す回路図である。
略的に示す回路図である。
第２図に示されるように、本発明の高周波放電励起レー
ザの一実施例は、例えば、数ＭＨｚの周波数の電圧をレ
ーザ管４の２つの電極４３ａと４３ｂとの間に印加して
レーザ出力を得るものであり、概略すると、高周波電源
１、マツチング回路２、同軸ケーブル３、および、レー
ザ管４を具備している。高周波電源１は電源装置５内に
配設され、例えば、数百ボルトの高周波電圧を出力する
もので、この出力電圧は電源装置５内に設けられたマツ
チング回路２の入力に印加されている。
ザの一実施例は、例えば、数ＭＨｚの周波数の電圧をレ
ーザ管４の２つの電極４３ａと４３ｂとの間に印加して
レーザ出力を得るものであり、概略すると、高周波電源
１、マツチング回路２、同軸ケーブル３、および、レー
ザ管４を具備している。高周波電源１は電源装置５内に
配設され、例えば、数百ボルトの高周波電圧を出力する
もので、この出力電圧は電源装置５内に設けられたマツ
チング回路２の入力に印加されている。
マツチング回路２の出力には同軸ケーブル３の一方の端
が接続され、また、同軸ケーブル３の他方の端はレーザ
管４に接続されている。
が接続され、また、同軸ケーブル３の他方の端はレーザ
管４に接続されている。
マツチング回路２は、たとえば高周波電源１の出力に並
列に接続されたコンデンサ２１、同軸ケーブル３の内部
導体３１と外部導体３２とに並列にに接続されたコンデ
ンサ２３、および、高周波電源１の一方の出力と同軸ケ
ーブル３の内部導体３１との間に直列に接続されたコイ
ル２２で構成されたπ型マツチング回路である。このπ
型マツチング回路２は、高周波電源１が配設された電源
装置５内に設けられているため、経年変化等により高周
波放電励起レーザの調整を必要とする場合でも、電源装
置５側だけを分解して調整すればよい。
列に接続されたコンデンサ２１、同軸ケーブル３の内部
導体３１と外部導体３２とに並列にに接続されたコンデ
ンサ２３、および、高周波電源１の一方の出力と同軸ケ
ーブル３の内部導体３１との間に直列に接続されたコイ
ル２２で構成されたπ型マツチング回路である。このπ
型マツチング回路２は、高周波電源１が配設された電源
装置５内に設けられているため、経年変化等により高周
波放電励起レーザの調整を必要とする場合でも、電源装
置５側だけを分解して調整すればよい。
マツチング回路２は、高周波電源１の出力インピーダン
スＺ１と同軸ケーブル３を介したレーザ管４のインピー
ダンスＺＬとを整合させるためのものであるが、レーザ
管２のインピーダンスＺＬは、レーザ光の出力状態等に
より、例えば、５００Ω〜３にΩまで変化するので、こ
のレーザ管４のインピーダンスＺＬとマツチング回路２
の出力インピーダンスＺ２との整合は完全に一致させる
ことはできない。さらに、同軸ケーブル３の特性インピ
ーダンスＺ。は、例えば、５０Ωまたは７５Ωであり、
レーザ管２のインピーダンスｚＬとは大きく異なる。し
かし、たとえレーザ管４のインピーダンスＺＬとマツチ
ング回路２の出力インピーダンスＺ８および同軸ケーブ
ル３の特性インピーダンスＺ−との整合が完全に行えず
にレーザ管４側から同軸ケーブル３を介してマツチング
回路２側に高周波電圧が反射したとしても、その反射し
た高周波電圧は再び同軸ケーブル３を介してレーザ管４
側に反射されることになるので高周波電源１の出力電力
は高効率でレーザ管４に供給されることになる。
スＺ１と同軸ケーブル３を介したレーザ管４のインピー
ダンスＺＬとを整合させるためのものであるが、レーザ
管２のインピーダンスＺＬは、レーザ光の出力状態等に
より、例えば、５００Ω〜３にΩまで変化するので、こ
のレーザ管４のインピーダンスＺＬとマツチング回路２
の出力インピーダンスＺ２との整合は完全に一致させる
ことはできない。さらに、同軸ケーブル３の特性インピ
ーダンスＺ。は、例えば、５０Ωまたは７５Ωであり、
レーザ管２のインピーダンスｚＬとは大きく異なる。し
かし、たとえレーザ管４のインピーダンスＺＬとマツチ
ング回路２の出力インピーダンスＺ８および同軸ケーブ
ル３の特性インピーダンスＺ−との整合が完全に行えず
にレーザ管４側から同軸ケーブル３を介してマツチング
回路２側に高周波電圧が反射したとしても、その反射し
た高周波電圧は再び同軸ケーブル３を介してレーザ管４
側に反射されることになるので高周波電源１の出力電力
は高効率でレーザ管４に供給されることになる。
レーザ管４はレーザ出力装置６内に配設され、たとえば
石英ガラスで形成された管４２、および、石英ガラス管
４２の上下に設けられた電極４３ａ。
石英ガラスで形成された管４２、および、石英ガラス管
４２の上下に設けられた電極４３ａ。
４３ｂを具備している。高周波電源１の出力電圧はマツ
チング回路２で昇圧され、同軸ケーブル３を介してレー
ザ管４の電極４３ａおよび４３ｂに印加されるが、この
レーザ管の電極４３ａおよび４３ｂに印加される高周波
電圧によって、石英ガラス管４１の内部４２では、高周
波放電が生じることになる。このグロー放電により石英
ガラス管の内部４２の炭酸ガス（実際には、ｃｏｔ、Ｎ
ｔ。
チング回路２で昇圧され、同軸ケーブル３を介してレー
ザ管４の電極４３ａおよび４３ｂに印加されるが、この
レーザ管の電極４３ａおよび４３ｂに印加される高周波
電圧によって、石英ガラス管４１の内部４２では、高周
波放電が生じることになる。このグロー放電により石英
ガラス管の内部４２の炭酸ガス（実際には、ｃｏｔ、Ｎ
ｔ。
Ｈｅの混合気体）が励起される。すなわち、石英ガラス
管の内部４２のＣＯ２分子は高準位の振動状態に励起さ
れ、この高準位の分子振動状態から低準位の分子振動状
態にｉ２移する過程において、ＣＯ□分子は所定の波長
の光を放出する。この光はレーザ管４の両側に平行に設
けられた２枚の反射鏡（図示しない）で共振させられ、
その一部の光がレーザ出力として取り出されることにな
る。
管の内部４２のＣＯ２分子は高準位の振動状態に励起さ
れ、この高準位の分子振動状態から低準位の分子振動状
態にｉ２移する過程において、ＣＯ□分子は所定の波長
の光を放出する。この光はレーザ管４の両側に平行に設
けられた２枚の反射鏡（図示しない）で共振させられ、
その一部の光がレーザ出力として取り出されることにな
る。
このように、例えば、産業用ロボットのアーム等に位置
するレーザ出力装置６には、レーザ管４だけしか配設さ
れていないため、ノイズを発生するループはレーザ管４
の両電極４３ａおよび４３ｂと同軸ケーブル３との接続
個所だけと小さい、そのため、レーザ出力装置６からの
ノイズは殆ど発生することがなく、レーザ出力装置６の
外側を完全にシールドしなくてもよい、そのため、例え
ば、レーザ出力装置６が設けられた産業用ロボットのア
ーム部分を複雑な構造とする必要がない。
するレーザ出力装置６には、レーザ管４だけしか配設さ
れていないため、ノイズを発生するループはレーザ管４
の両電極４３ａおよび４３ｂと同軸ケーブル３との接続
個所だけと小さい、そのため、レーザ出力装置６からの
ノイズは殆ど発生することがなく、レーザ出力装置６の
外側を完全にシールドしなくてもよい、そのため、例え
ば、レーザ出力装置６が設けられた産業用ロボットのア
ーム部分を複雑な構造とする必要がない。
第３図は本発明の高周波放電励起レーザの他の実施例を
概略的に示す回路図である。
概略的に示す回路図である。
この第３図に示す高周波放電励起レーザは、前記した第
２図の高周波放電励起レーザにおいて、同軸ケーブル３
をマツチング回路２のコンデンサ２３として使用するも
のである。すなわち、例えば、同軸ケーブル３の長さが
３メートルで、その容量が ３００ｐ Ｆとすると、こ
の３００ｐ Ｆのコンデンサ２３がレーザ管４側に設け
られていると仮定してマツチング回路２におけるコンデ
ンサ２１およびコイル２２の値を決定することになる。
２図の高周波放電励起レーザにおいて、同軸ケーブル３
をマツチング回路２のコンデンサ２３として使用するも
のである。すなわち、例えば、同軸ケーブル３の長さが
３メートルで、その容量が ３００ｐ Ｆとすると、こ
の３００ｐ Ｆのコンデンサ２３がレーザ管４側に設け
られていると仮定してマツチング回路２におけるコンデ
ンサ２１およびコイル２２の値を決定することになる。
このように、同軸ケーブル３をマツチング回路２のコン
デンサ２３として使用すると、マツチング回路２のレー
ザ管４側の容量Ｑ、を最小の値とすることができ、本実
施例のように、高周波電源１の出力インピーダンスＺ、
が小さく、レーザ管４のインピーダンスＺＬが大きく、
しかも、レーザ管４に印加する電圧が高電圧の場合には
、マツチング回路２のコンデンサ２１の容量Ｑ、の値を
小さくすることができるので非常に有効である。すなわ
ち、高耐圧で容量Ｑ１の値が大きいコンデンサ２１は、
製造および入手することが困難であるが、同軸ケーブル
３をマツチング回路２のコンデンサ２３として使用すれ
ば、第２図の実施例のようにコンデンサ２３をマツチン
グ回路２に設けたときよりもコンデンサ２１の容量Ｑ、
を小さくすることができる。この高周波放電励起レーザ
の実施例における他の構成および動作は第２図の高周波
放電励起レーザの実施例と同様であるため、その説明は
省略する。
デンサ２３として使用すると、マツチング回路２のレー
ザ管４側の容量Ｑ、を最小の値とすることができ、本実
施例のように、高周波電源１の出力インピーダンスＺ、
が小さく、レーザ管４のインピーダンスＺＬが大きく、
しかも、レーザ管４に印加する電圧が高電圧の場合には
、マツチング回路２のコンデンサ２１の容量Ｑ、の値を
小さくすることができるので非常に有効である。すなわ
ち、高耐圧で容量Ｑ１の値が大きいコンデンサ２１は、
製造および入手することが困難であるが、同軸ケーブル
３をマツチング回路２のコンデンサ２３として使用すれ
ば、第２図の実施例のようにコンデンサ２３をマツチン
グ回路２に設けたときよりもコンデンサ２１の容量Ｑ、
を小さくすることができる。この高周波放電励起レーザ
の実施例における他の構成および動作は第２図の高周波
放電励起レーザの実施例と同様であるため、その説明は
省略する。
上述した実施例において、マツチング回路２はπ型マツ
チング回路として説明したが、本発明の高周波放電励起
レーザのマツチング回路２はπ型のマツチング回路に限
定されるものではない、また、本発明の高周波放電励起
レーザは、炭酸ガスレーザのみならず、）（ｅ−Ｎｅ、
Ｃｏ （−酸化炭素）、エキシマ等の他の全てのガスレ
ーザに適用することが可能である。
チング回路として説明したが、本発明の高周波放電励起
レーザのマツチング回路２はπ型のマツチング回路に限
定されるものではない、また、本発明の高周波放電励起
レーザは、炭酸ガスレーザのみならず、）（ｅ−Ｎｅ、
Ｃｏ （−酸化炭素）、エキシマ等の他の全てのガスレ
ーザに適用することが可能である。
以上、詳述したように、本発明に係る高周波放電励起レ
ーザは、高周波電源が配設された電源装置内にマツチン
グ回路を設け、このマツチング回路の出力とレーザ管と
を同軸ケーブルで接続するように構成することによって
、メインテナンスを簡単に行うと共にレーザ管の配設個
所の構造を簡単軽量かつ部品数の低減による信頼性の向
上を計ることができる。
ーザは、高周波電源が配設された電源装置内にマツチン
グ回路を設け、このマツチング回路の出力とレーザ管と
を同軸ケーブルで接続するように構成することによって
、メインテナンスを簡単に行うと共にレーザ管の配設個
所の構造を簡単軽量かつ部品数の低減による信頼性の向
上を計ることができる。
第１図は本発明に係る高周波放電励起レーザの原理を示
すブロック図、 第２図は本発明の高周波放電励起レーザの一実施例を概
略的に示す回路図、 第３図は本発明の高周波放電励起レーザの他の実施例を
概略的に示す回路図、 第４図は従来の高周波放電励起レーザの一例を概略的に
示す回路図である。 （符号の説明） ｌ・・・高周波電源、 ２・・・マツチング回路、 ３・・・同軸ケーブル、 ４・・・レーザ管。
すブロック図、 第２図は本発明の高周波放電励起レーザの一実施例を概
略的に示す回路図、 第３図は本発明の高周波放電励起レーザの他の実施例を
概略的に示す回路図、 第４図は従来の高周波放電励起レーザの一例を概略的に
示す回路図である。 （符号の説明） ｌ・・・高周波電源、 ２・・・マツチング回路、 ３・・・同軸ケーブル、 ４・・・レーザ管。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、電源装置内に設けられ、高周波電圧を出力する高周
波電源と、 前記電源装置内に配設され、前記高周波電源の出力電圧
が印加されたマッチング回路と、 該マッチング回路の出力に一方の端が接続された同軸ケ
ーブルと、 該同軸ケーブルの他方の端に接続され、レーザ光を発生
するレーザ管と、 を具備する高周波放電励起レーザ。 ２、前記同軸ケーブルは、前記マッチング回路のリアク
タンス素子として機能することを特徴とする特許請求の
範囲第１項に記載の高周波放電励起レーザ。 ３、前記マッチング回路は、インダクタンス素子および
キャパシタンス素子等によるリアクタンス回路網によっ
て構成されている特許請求の範囲第１項または第２項の
いずれかに記載の高周波放電励起レーザ。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24207286A JPS6396976A (ja) | 1986-10-14 | 1986-10-14 | 高周波放電励起レ−ザ |
| DE3750578T DE3750578T2 (de) | 1986-10-14 | 1987-10-14 | Hf-entladungsangeregte laservorrichtung. |
| EP93119934A EP0592014B1 (en) | 1986-10-14 | 1987-10-14 | RF discharge excitation laser apparatus |
| DE3752083T DE3752083T2 (de) | 1986-10-14 | 1987-10-14 | HF Entladungsangeregter Laser-Apparat |
| PCT/JP1987/000771 WO1988002936A1 (en) | 1986-10-14 | 1987-10-14 | Laser device excited by rf discharge |
| EP87906762A EP0285673B1 (en) | 1986-10-14 | 1987-10-14 | Laser device excited by rf discharge |
| US07/503,149 US4975920A (en) | 1986-10-14 | 1990-03-30 | RF discharge excitation laser apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24207286A JPS6396976A (ja) | 1986-10-14 | 1986-10-14 | 高周波放電励起レ−ザ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6396976A true JPS6396976A (ja) | 1988-04-27 |
Family
ID=17083864
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24207286A Pending JPS6396976A (ja) | 1986-10-14 | 1986-10-14 | 高周波放電励起レ−ザ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6396976A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1991016745A1 (fr) * | 1990-04-16 | 1991-10-31 | Mitsui Petrochemical Industries, Ltd. | Dispositif a laser |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60177692A (ja) * | 1984-02-24 | 1985-09-11 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザ発振装置 |
| JPS6163073A (ja) * | 1984-06-19 | 1986-04-01 | サツト（ソシエテ・アノニム・ド・テレコミユニカシヨン） | Ｒｆ励起レ−ザの周波数安定化装置 |
-
1986
- 1986-10-14 JP JP24207286A patent/JPS6396976A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60177692A (ja) * | 1984-02-24 | 1985-09-11 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザ発振装置 |
| JPS6163073A (ja) * | 1984-06-19 | 1986-04-01 | サツト（ソシエテ・アノニム・ド・テレコミユニカシヨン） | Ｒｆ励起レ−ザの周波数安定化装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1991016745A1 (fr) * | 1990-04-16 | 1991-10-31 | Mitsui Petrochemical Industries, Ltd. | Dispositif a laser |
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