JPS6395461A - Electrophotographic sensitive body and image forming method - Google Patents

Electrophotographic sensitive body and image forming method

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JPS6395461A
JPS6395461A JP61240549A JP24054986A JPS6395461A JP S6395461 A JPS6395461 A JP S6395461A JP 61240549 A JP61240549 A JP 61240549A JP 24054986 A JP24054986 A JP 24054986A JP S6395461 A JPS6395461 A JP S6395461A
Authority
JP
Japan
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film
layer
pattern
dye
forming
Prior art date
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Pending
Application number
JP61240549A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Satoru Haneda
羽根田 哲
Kunihisa Yoshino
吉野 邦久
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Konica Minolta Inc
Original Assignee
Konica Minolta Inc
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Publication date
Application filed by Konica Minolta Inc filed Critical Konica Minolta Inc
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Publication of JPS6395461A publication Critical patent/JPS6395461A/en
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    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03GELECTROGRAPHY; ELECTROPHOTOGRAPHY; MAGNETOGRAPHY
    • G03G5/00Recording members for original recording by exposure, e.g. to light, to heat, to electrons; Manufacture thereof; Selection of materials therefor
    • G03G5/12Recording members for multicolour processes

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Photoreceptors In Electrophotography (AREA)
  • Color Electrophotography (AREA)

Abstract

PURPOSE:To obtain an electrophotographic sensitive body having fine color filters applicable to almost all dyes by forming a photoresist pattern using a photoresist soluble in aliphatic hydrocarbons. CONSTITUTION:An inorganic film 3 is formed on a dye film 2, and on this film 3 the photoresist film 4 is formed using the photoresist dissolved in the aliphatic hydrocarbon solvent, for example, by the coating process using a spinner or the like. This is exposed to ultraviolet rays, far ultraviolet rays, X-rays, electron beams, or the like through a prescribed mask, the unexposed parts of the uppermost layer is selectively dissolved with a developing solution to form the resist pattern 4'. Then, a substrate 1 is set in a dry etching device, the dye layer 2 is selectively etched by the dry etching method using a gas composed essentially of oxygen, or the like method, and the disclosed dye film 2 is removed, thus permitting the obtained electrophotographic sensitive body to have the fine color filters formed on a photosensitive layer or a transparent support to be obtained.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野1 本発明は電子写真法を用いて多色画像を形成するための
電子写真感光体及び該感光体を用いた画像形成方法に関
し、各種の多色画像形成装置、カラー写真、プリンタ等
に利用される。
Detailed Description of the Invention [Industrial Application Field 1] The present invention relates to an electrophotographic photoreceptor for forming multicolor images using electrophotography and an image forming method using the photoreceptor, and Used in color image forming devices, color photographs, printers, etc.

[従来の技術1 従来、電子写真法を用いて多色画像を形成するには、い
くつかの方法及び装置が提案されている。
[Prior Art 1] Conventionally, several methods and apparatuses have been proposed for forming multicolor images using electrophotography.

例えば電子写0感尤体上に各色分解光に応じた像露光及
び現像を施して各色トナー像を形成するたびに記録紙に
転写する多色画像形成方法及び装置(li?J者)があ
る。また例えば分解色数に応じた複数の感光体を配設し
た装置を用い、該感光体のそれぞれに各色の像露光及び
現像を施して各色トナー像を形成し、これを順次記録紙
に転IIする方法及び装ra<後者)がある。
For example, there is a multicolor image forming method and apparatus (Li?J) that performs image exposure and development according to each color separated light on an electrophotographic photoreceptor and transfers each color toner image to recording paper each time it is formed. . For example, using a device equipped with a plurality of photoreceptors corresponding to the number of separated colors, image exposure and development of each color is performed on each of the photoreceptors to form a toner image of each color, which is sequentially transferred to recording paper. There are methods and installations (ra<latter).

しかしながら、前者にあっては感光体を複数回回転して
各色トナー像を形成するため画像記録に長時間を要し、
その高速化が困難であるなどの欠点がある。また後者に
あってはi敗の感光体を併行的に使用するため高速性の
点では有利であるが複数の感光体を使用するrこめ装置
が大型化し、高価となるなどの欠点がある。さらには前
者及び後者共に複数回の転写が繰り返されるため、画像
の位置合わせが困難であるという問題がある。
However, in the former case, the photoreceptor is rotated multiple times to form each color toner image, so it takes a long time to record the image.
There are drawbacks such as difficulty in increasing the speed. In the latter case, since multiple photoreceptors are used in parallel, it is advantageous in terms of high speed, but it has drawbacks such as the large size and high cost of the r-coating device that uses a plurality of photoreceptors. Furthermore, since transfer is repeated multiple times for both the former and the latter, there is a problem in that it is difficult to align the images.

本発明者等はこれらの欠点を改良したものとして特開昭
61−63856号、同61−65262号、特願昭5
9−199547号明Jll書等に色のそれぞれ異なる
複数種類の微少フィルタをモザイク状に配列した微細色
フィルタ層を感光層の上側(現像の際トナーの付着する
側)あるいは下側(現像の際トナーの付着しない側)に
有する感光体を用いた画像形成方法を提案した。この方
法は感光体に接着された微細色フィルタを通して像露光
を与えた後、特定の光によって全面露光を与え、微細色
フィルタ中の特定のフィルタに対応する部分に該フィル
タを透過した光に対応した電位イ↑を形成せしめ、特定
の色のトナーを用いて現像し、再帯電によって平滑化を
行うこの過程をフィルタの81類だけ繰り返して感光体
上に多色像を形成せしめるものであって、露光が1回で
済み、位111合わせの必要がないなどの利点があり、
簡単かつ高品質の多色画像を得ることができる。
The present inventors have proposed improvements to these defects in Japanese Patent Application Laid-open No. 61-63856, No. 61-65262, and Japanese Patent Application No. 5
9-199547, etc., a fine color filter layer in which multiple types of fine filters of different colors are arranged in a mosaic pattern is placed above the photosensitive layer (the side to which toner adheres during development) or below the photosensitive layer (the side to which toner adheres during development). We proposed an image forming method using a photoreceptor on the side to which toner does not adhere. This method applies image exposure through a fine color filter bonded to the photoreceptor, then exposes the entire surface to specific light, and the portion of the fine color filter that corresponds to the specific filter corresponds to the light transmitted through the filter. This process of forming a potential A↑, developing it using a specific color toner, and smoothing it by recharging is repeated for the 81 types of filters to form a multicolor image on the photoreceptor. It has the advantages of requiring only one exposure and no need for 111 alignments.
Easy and high quality multicolor images can be obtained.

これらの微細色フィルタ等の製法について、色素ノ(4
を真空蒸着によって色素の蒸着rv膜として形成する方
法が、例えば特開昭55−146406号公報等に提案
されている。この方法は、色素そのもので着色層が形成
でさ、染色法に於ける媒染層が不要なので、きわめて薄
膜化され、かつ非水工程によって色素層が形成できる。
Regarding the manufacturing method of these fine color filters, etc.,
A method of forming a dye-deposited RV film by vacuum evaporation has been proposed, for example, in JP-A-55-146406. In this method, the colored layer is formed from the dye itself, and the mordant layer in the dyeing method is not required, so the film can be made extremely thin and the dye layer can be formed by a non-aqueous process.

こうして蒸着により形T&された色素J1りをパターニ
ングする方法としては、従来ドライエツチング法が使用
されている。これは、色素層上にレジストマスクパター
ンを形成した後、これをエツチング用マスクとして非レ
ジスト部分の色素層をイオンないしプラズマ雰囲気中で
蒸発させて除去し、所望の形状の微細色フィルタを形成
するものである。
Dry etching has conventionally been used to pattern the T& dye J1 formed by vapor deposition. This involves forming a resist mask pattern on the dye layer, and then using this as an etching mask, the non-resist portions of the dye layer are removed by evaporation in an ion or plasma atmosphere to form a fine color filter in the desired shape. It is something.

しかしながら、このような方法では、ドライエツチング
性の良いレジストの選択が容易ではなく、またレジスト
マスクがフィルタ上に残存するためにvt成が複雑にな
るという問題点を有している。
However, this method has problems in that it is not easy to select a resist with good dry etching properties, and the resist mask remains on the filter, making the Vt formation complicated.

一方、上記方法に対して、基板上に溶解可能なネがパタ
ーンを形成し、しかる後に色素層を形成し、次いで下部
の溶解可能なネガパターンを溶解除去することによって
、その上層に形成された不要な色素層をも同時に遊離除
去させるいわゆるリバースエツチング法(又はり7トオ
7法)が、例えば特公昭47−16815号公報等によ
り知られている。
On the other hand, in contrast to the above method, a dissolvable negative pattern is formed on the substrate, followed by a dye layer, and then a dissolvable negative pattern is formed on the upper layer by dissolving and removing the dissolvable negative pattern. A so-called reverse etching method (or 7-to-7 method) in which an unnecessary dye layer is simultaneously removed is known, for example, from Japanese Patent Publication No. 16815/1983.

このリバースエツチング法によれば、下層レジストパタ
ーンを溶解することによって所望形状の着色パターンを
得ることになる。
According to this reverse etching method, a colored pattern of a desired shape is obtained by dissolving the underlying resist pattern.

[発明が解決しようとする問題点1 しかし、このようなリバースエツチング法による微細色
分解フィルタ形成法は殆ど採用されていない、その原因
は、色素層を損なわずにレジストパターンを溶解除去す
ることが困難なためである。
[Problem to be Solved by the Invention 1] However, this method of forming a fine color separation filter using reverse etching is rarely adopted.The reason for this is that the resist pattern cannot be dissolved and removed without damaging the dye layer. This is because it is difficult.

即ち、パターン形成に用いるパターン形成材料の選択が
極めて困難であり、従来知られているボン型レジストに
対しては、エツチング用マスクとしての要求から成分の
樹脂が強固なために、強い溶解力をもつ溶剤が使われで
いることが多いので、このようなレジストを用いてリバ
ースエツチングを行った場合、レジストの現像及び除去
の際、色素層を溶解してしまったり、溶解にまでには至
らなくともヒビ剖れや白濁が生じたり、−111s溶解
して分光特性を損なうことが多く、かりに成功しても極
めて限られた色素のみにしか適用で島ないという問題点
があった。
In other words, it is extremely difficult to select the pattern forming material used for pattern formation, and the conventionally known BON type resist requires strong dissolving power due to the strong resin component required for use as an etching mask. When reverse etching is performed using such a resist, the dye layer may be dissolved or not even dissolved during the development and removal of the resist. However, cracking and clouding often occur, and -111s dissolves, impairing the spectral characteristics, and even if successful, the problem is that it can only be applied to extremely limited dyes.

本発明者等は特定の製造による微細色フィルタを有する
電子写真感光体を提供するもので、脂肪族炭化水素類に
溶解し得るフォトレジストを使用して7オトレジストパ
ターンを形成することによりて解決できることを見い出
した。
The inventors of the present invention provide an electrophotographic photoreceptor having a fine color filter manufactured in a specific manner. I found out what I can do.

本発明の目的は、ボン型フォトレジストを用いた蒸着色
素膜のリバースエツチング法による欠点、即ち、非常に
限定された色素しか使用できないため、希望する分光特
性を得ることが困難であると同時に多色微細色フィルタ
の形成が難しいという欠点を解消し、殆どすべての色素
に対して適用可能な微細色フィルタを有する電子写真感
光体を提供することを目的とする。
The purpose of the present invention is to solve the disadvantages of the reverse etching method of vapor-deposited dye films using BON-type photoresists, namely, because only a very limited number of dyes can be used, it is difficult to obtain desired spectral characteristics, and at the same time, it is difficult to obtain desired spectral characteristics. It is an object of the present invention to provide an electrophotographic photoreceptor having a fine color filter that can be applied to almost all dyes by eliminating the drawback that it is difficult to form a fine color filter.

本発明の他の目的は、前記微細色フィルタを有する電子
写真感光体を用いて多色画像を形成する画像形成方法を
提供することを目的とする。
Another object of the present invention is to provide an image forming method for forming a multicolor image using an electrophotographic photoreceptor having the fine color filter.

1問題点を解決するための手段1 本発明の前記目的は、基板上に製膜後除去可能なM機物
よりなる膜および脂肪族炭化水素類に溶解でさる樹脂膜
をそれぞれを形成する工程と、これらの被膜の最上層の
表面に対して像様露光を施し、脂肪族炭化水素類現像液
を用いて露光パターンに応じて樹脂膜を除去、および無
機物の膜を除去する工程とにより形成された露光パター
ンにより、基板上にあらかじめf!I1層してある露出
した色素膜を除去するか、露出した基板の露光パターン
部に色素膜を施すことにより所望の形状の色素膜が形成
された微細色フィルタを感光層あるいは透明支持体上に
設けた電子写1′↓感光体によって達成する事ができた
。更に具体的に説明すると、感光層あるいは透明支持体
に、基板上に色素膜を予め形成する工程、この色素膜上
に無機物よりなる膜または脂肪族炭化水素類に溶解され
る樹脂膜のいずれか一方を先に塗設して積重層膜を形成
する工程と、この最上層の未露光部を脂肪族炭化水素類
現像液を用いて除去して、露光パターンを形成する工程
と、このパターンを下層膜に転写して形成し、最後に基
板上の色素膜を除去する工程を繰り返すことによって形
成したモザイク状の微細色フィルタを設けた電子写真感
光体である。また一方基板上に色素膜を形成することな
く、基板上に直接語肪族炭化水素類に溶解有能な樹脂膜
を形成すると共に無機物よりなる膜を形成し、更にこの
上にフォトレジスト膜を形成する工程とからなり、該フ
ォトレジスト膜上に露光マスクを介して電子線等による
光露光を行い、露光パターンを形成し、このときネガ型
またはボッ型の7オトレ7ストを用いれば、それに応じ
てレリーフ (tを形成することができる。ついでこの
パターンを下層膜に転写することによって基板を露出し
、該露出部分に色素膜を形成する工程とによって微細色
フィルタを感光層または透明支持体上に形成した電子写
真感光体である。
1 Means for Solving Problem 1 The object of the present invention is to form a film made of an M material that can be removed after film formation and a resin film that can be dissolved in aliphatic hydrocarbons on a substrate, respectively. Formed by applying imagewise exposure to the surface of the top layer of these films, removing the resin film according to the exposure pattern using an aliphatic hydrocarbon developer, and removing the inorganic film. By using the exposed exposure pattern, f! By removing the exposed dye film of the I1 layer or applying a dye film to the exposed pattern area of the exposed substrate, a fine color filter with a dye film of the desired shape is placed on the photosensitive layer or transparent support. This was achieved using the electrophotographic photoreceptor provided. More specifically, there is a step of pre-forming a dye film on a photosensitive layer or a transparent support on a substrate, and a film made of an inorganic substance or a resin film dissolved in aliphatic hydrocarbons is formed on the dye film. A process of coating one side first to form a stacked film, a process of removing the unexposed part of this uppermost layer using an aliphatic hydrocarbon developer to form an exposed pattern, and a process of forming an exposed pattern by applying this pattern. This is an electrophotographic photoreceptor provided with a mosaic-like fine color filter formed by repeating the steps of transferring the dye to the lower layer film and finally removing the dye film on the substrate. On the other hand, without forming a dye film on the substrate, a resin film soluble in aliphatic hydrocarbons is formed directly on the substrate, a film made of an inorganic substance is formed, and a photoresist film is further formed on this. The photoresist film is exposed to light using an electron beam or the like through an exposure mask to form an exposure pattern. The pattern can then be transferred to an underlying film to expose the substrate, and a fine color filter can be applied to a photosensitive layer or transparent support by exposing the substrate and forming a dye film on the exposed area. This is an electrophotographic photoreceptor formed on the top.

基板上にtAg!後除去°可能な無機物よりなる膜およ
び脂肪族炭化水素類に溶解できるfl(rrfi膜をそ
れぞれを形成する工程と、これらの被膜の最上層の表面
に対して像様露光を施し、咀肪族炭化水素顕現像液を用
いて露光パターンに応じて樹脂膜および無機物の膜を除
去する工程とにより形成された露光パターンにより、基
板上にあらかじめ積層してある露出した色素膜を除去す
るか、露)tパターン部に色素膜を施すことにより所望
の形状の色素膜が形成された微細色フィルタを感光/&
あるいは透明支持体上に有する 電子写真感光体を用い
て、前記感光体に対して、帯電と像様露光後、特定光に
よる全面露光と複数の現像工程を繰り返して、1ifi
記感光体感光多色画像を形成する画像形成方法である。
tAg on the board! A process of forming a film made of an inorganic material that can be removed afterward and a film of fl(rrfi) that can be dissolved in aliphatic hydrocarbons, and imagewise exposure to the surface of the top layer of these films, The exposure pattern formed by the process of removing the resin film and inorganic film according to the exposure pattern using a hydrocarbon developing solution removes the exposed dye film that has been laminated in advance on the substrate, or ) By applying a pigment film to the t-pattern part, a fine color filter with a pigment film of the desired shape is exposed to light.
Alternatively, using an electrophotographic photoreceptor on a transparent support, the photoreceptor is charged, imagewise exposed, and then exposed to specific light over the entire surface and a plurality of development steps are repeated to achieve 1ifi.
This is an image forming method for forming a photoreceptor multicolor image.

本発明による電子写真感光体は、モザイク状の微細色フ
ィルタ層が、色素膜上に無機物よりなる膜と、脂肪族炭
化水素類に溶解される樹脂膜と積層して構成されている
ので、像様露光後のレリーフ像の作成に際して、優れて
おり、複数回の繰り ′返しによる微細色フィルタが、
強固に形成されているので、該電子写真感光体を使用し
ての、多色画像形成方法により、色再現性のよい色彩画
像が得られる。しかもすべての色素に対して適用可能な
電子写真感光体である。
In the electrophotographic photoreceptor according to the present invention, the mosaic-like fine color filter layer is constructed by laminating a film made of an inorganic substance on a dye film and a resin film dissolved in aliphatic hydrocarbons, so that the image It is excellent for creating relief images after multiple exposures, and the fine color filter created by repeating it multiple times
Since it is strongly formed, a color image with good color reproducibility can be obtained by a multicolor image forming method using the electrophotographic photoreceptor. Moreover, it is an electrophotographic photoreceptor that can be applied to all dyes.

色素膜は種々の方法によって形成することができるが、
色素の蒸着によって形成するのが有利である。蒸着によ
る場合は、媒染層が不要なので、極めて薄膜のvAm色
フィルタを形成することができる。
The pigment film can be formed by various methods, but
Advantageously, it is formed by vapor deposition of a dye. In the case of vapor deposition, a mordant layer is not required, so an extremely thin vAm color filter can be formed.

本発明に用いられる微細色フィルタの構成につぃて図面
に示す一実施例について説明すると、第1図aに示され
るように、色素膜2上に無機物膜3を形成する。t%磯
物膜を形成する材料としては、例えば5i02ySiJ
41Ti02+Ce0z+ZnSIMHO1^1zO,
、SnO□。
Regarding the structure of the fine color filter used in the present invention, an embodiment shown in the drawings will be described. As shown in FIG. 1A, an inorganic film 3 is formed on a dye film 2. For example, 5i02ySiJ is used as a material for forming the t% silicon film.
41Ti02+Ce0z+ZnSIMHO1^1zO,
, SnO□.

TazOs、PbFz、Si、Ti、Mo、W、Cr、
CrzOl、GaAs、^1などが挙げられる。これら
の無機材料を用いて薄膜を形成する方法としては、加熱
蒸着、スパッタ蒸着、電子ビーム蒸着、CVD(ケミカ
ル、ヴエイバー、デポジション)法等を用いるのが適当
である。
TazOs, PbFz, Si, Ti, Mo, W, Cr,
Examples include CrzOl, GaAs, and ^1. Appropriate methods for forming thin films using these inorganic materials include thermal evaporation, sputter evaporation, electron beam evaporation, and CVD (chemical vapor deposition) methods.

次に第1図Cに示されるように、無機物膜3上に溶媒の
脂肪族炭化水素類に溶解されたレジストを用いて被膜4
が、例えばスピンナー等の塗布手段により形成される。
Next, as shown in FIG.
is formed by a coating means such as a spinner.

本発明で使用する脂肪族炭化水素類としては、CnH,
n→x(n≧5の整数、x=−2t0,2)の一般式で
表されるものが適当である。その具体例としては、例え
ばペンタン、シクロペンタン、ペンテン、ペンチン、ヘ
キサン、シクロヘキサン、ヘキセン、ヘキシゝン、ヘプ
タン、シクロヘプタン、ヘプテン、ヘプチン、オクタン
、/ナン、シクロノナン、/ネン、ノニン、デカン、シ
クロデカン、デセン、デノン、ウンテ゛カン、シクロウ
ンデカン、ウンデセン、ウンデシン、ドデカン、シフミ
ドデカン、ドデセン、ドブシン等が挙げられる。これら
の溶剤は単体若しくは混合して用いることができる。
The aliphatic hydrocarbons used in the present invention include CnH,
It is appropriate to use the general formula n→x (an integer of n≧5, x=−2t0,2). Specific examples include pentane, cyclopentane, pentene, pentyne, hexane, cyclohexane, hexene, hexyne, heptane, cycloheptane, heptene, heptyne, octane, /nan, cyclononane, /nene, nonine, decane, cyclodecane. , decene, denone, untecan, cycloundecane, undecene, undecine, dodecane, schifmidodecane, dodecene, dobuscine, and the like. These solvents can be used alone or in combination.

一般に、染料や顔料に対する溶解力や溶剤ショック等の
作用力は、溶解度パラメーター(δ値)が目安となるが
、δ値が小さい程その溶剤の作用性は少なく、この順序
は、フルオロカーボン〈脂肪族炭化水素く芳香族炭化水
素くハロゲン化物くケトンくアルコールく水の順である
。従って、殆ど総てのm類の染料、顔料の蒸着膜に対し
て脂肪族炭化水素類は溶解変質等のグメーノを与えない
ことから、たとえ無機物膜が薄かったり、ピンホール等
の欠陥が存在することによって樹脂の塗布時あるいは現
像時に色素膜中に樹脂の溶剤が浸み込んでも、色素膜に
はグメーゾを与えることな(微細色パターンの形成が可
能である。
In general, the solubility parameter (δ value) is a guideline for the dissolving power and solvent shock effects on dyes and pigments, but the smaller the δ value, the less the solvent's activity. The order is hydrocarbons, aromatic hydrocarbons, halides, ketones, alcohols, and water. Therefore, since aliphatic hydrocarbons do not cause deterioration such as dissolution and alteration to almost all M-class dyes and pigments deposited, even if the inorganic film is thin or has defects such as pinholes. As a result, even if the resin solvent permeates into the dye film during resin coating or development, it is possible to form a fine color pattern without imparting gloom to the dye film.

本発明に用いるO(薄膜を形成する材料としては、ゴム
系樹脂を主体とするものが好ましい、ゴム系樹脂の具体
例としては、例えばネオブレンゴム・インプレンゴム、
ブタノエンゴム、環化トリイソプレン、環化ポリブタジ
ェン等の環化ゴム、天然ゴム等が挙げられる。また、こ
れらのtj(脂に加えられる光架橋剤としては、p−7
xニレンビスアミド、4.4−ジアジドベンゾフェノン
、4.4−ノアノドスチルベン、4.4−ジアジドカル
フン、2.6−ノー(4−7シドベンザル)−シクロヘ
キサノン、2.6−ノー(4−アジドシンナミリデン)
−4−ヒドロキシンクロへキサノン等のアンド化合物を
代表的に挙げることができる。もちろん、安定剤、界面
活性剤等の種々のポジ型7オトレジスト用の添加剤が更
に加えられてもよい。
As the material for forming the O (thin film) used in the present invention, it is preferable to use a material mainly composed of rubber-based resin. Specific examples of the rubber-based resin include neoprene rubber, imprene rubber,
Examples include cyclized rubbers such as butanoene rubber, cyclized triisoprene, and cyclized polybutadiene, and natural rubber. In addition, these tj (as a photocrosslinking agent added to the fat, p-7
x nylenebisamide, 4,4-diazidobenzophenone, 4,4-noanodostilbene, 4,4-diazidocarphun, 2,6-no(4-7sidebenzal)-cyclohexanone, 2,6-no(4-azidocinna) Miliden)
Representative examples include and compounds such as -4-hydroxychlorohexanone. Of course, various additives for positive type 7 photoresists such as stabilizers, surfactants, etc. may also be added.

このような成分からなる市販品の具体例を挙げレバ、東
京応化工業製0DORll0WR81,OMR83,0
MR85、OMR87,83SS、83SR,8311
S; イーストマンコグンク製にMR−747,KMf
l−752;日本合成ゴム製 JSII−CBR,JS
R−CBR−901; ハント製Waycoat IC
+WnycoatType31C,Waycoat S
C,11aycoaL IIRvWaycoat 1I
NIt−999等を挙げろことができるが、これらは一
般的にトルエンやキシレン等の芳香族系有機溶媒がその
溶媒として使用されているためにそのままの形で使用す
るのは適当ではなく、溶媒を前記の脂肪族炭化水素類に
置換した後に使用することができる。
Specific examples of commercially available products consisting of such components are listed below: Lever, Tokyo Ohka Kogyo 0DORll0WR81, OMR83,0
MR85, OMR87, 83SS, 83SR, 8311
S; MR-747, KMf made by Eastman Cogunck
l-752; Japan Synthetic Rubber JSII-CBR, JS
R-CBR-901; Waycoat IC manufactured by Hunt
+WnycoatType31C, Waycoat S
C, 11aycoaL IIRvWaycoat 1I
For example, NIt-999 can be mentioned, but since aromatic organic solvents such as toluene and xylene are generally used as the solvent, it is not appropriate to use them as they are; It can be used after being replaced with the aliphatic hydrocarbons mentioned above.

本発明に用いる前述樹脂の組成は特に限定されるもので
はないが、一般に脂肪族炭化水素類100重量部対して
、ゴム糸回117? 3〜30重量部及び光架橋剤0.
3〜10mff1部程度の割合からなるレジスト樹脂材
料を使用するのが適当である。
The composition of the resin used in the present invention is not particularly limited, but generally, 100 parts by weight of aliphatic hydrocarbons and 117 parts by weight of rubber thread are used. 3 to 30 parts by weight and 0.0 parts by weight of a photocrosslinking agent.
It is appropriate to use a resist resin material having a ratio of about 3 to 10 mff/1 part.

このような組成の樹脂膜4は、無機物の膜3上に塗布し
て乾燥後、適当な温度条件下でプリーベークされる。
The resin film 4 having such a composition is coated on the inorganic film 3, dried, and then prebaked under appropriate temperature conditions.

次に、所定の露光マスクを介して、紫外光、遠紫外光、
Xiあるいは電子線等による光露光を行い未露光部分の
最上層を現像液を用いて選択的に溶解し、レジストパタ
ーン4゛を得る。現像液としては、先に最上層の樹脂膜
を溶解するのに用いたと同様な脂肪族炭化水素類が使用
される。
Next, ultraviolet light, far ultraviolet light,
Light exposure is performed using Xi or electron beams, and the unexposed portions of the uppermost layer are selectively dissolved using a developer to obtain a resist pattern 4. As the developer, the same aliphatic hydrocarbons as those used to dissolve the uppermost resin film are used.

次に第1図gに示されたように、レジストパターン4゛
が形成された基板をドライエツチング装置内に1ffl
し−CF4−CIIF*IC2Fs、CJslCCIt
+C[1rFt等の多ハロゲン化炭素ガスまたは))ロ
デン化炭化水素ガス・ある−゛はBCIコ、SF、等の
多ハロゲン化物のガスを主体とするがスを用いてエツチ
ングすることにより為7オトレジストパターン4を下層
の無機物膜に転写し無機物膜パターン5を得る。このハ
ロゲン含有がス等により、露出部の無機物膜3は容易に
エツチングが進行するが、レジストパターン4°およ1
色素膜2は比較的エツチングされ難い。
Next, as shown in FIG.
Shi-CF4-CIIF*IC2Fs, CJslCCIt
7 The photoresist pattern 4 is transferred to the underlying inorganic film to obtain an inorganic film pattern 5. Due to this halogen-containing gas, etching of the exposed portion of the inorganic film 3 progresses easily, but resist patterns 4° and 1
The dye film 2 is relatively difficult to be etched.

その結果、無機物膜3のエツチングは選択的に行われる
。またドライエツチング法の他に、無機物膜の材質を酸
、アルカリ溶液でレジストパターンと選択エツチングが
可能ならのに限定使用すれば、酸、アルカリ等によるウ
ェットエツチングによっても第1図Cに示されるレジス
トパターン4を下層無機物膜に転写し、PA1図eに示
される無機物膜パターン5を得ることも可能である。
As a result, the inorganic film 3 is etched selectively. In addition to the dry etching method, if the material of the inorganic film is used only if the resist pattern and selective etching is possible with an acid or alkaline solution, wet etching with an acid or alkali solution can also produce the resist pattern shown in Figure 1C. It is also possible to transfer pattern 4 to the lower inorganic film to obtain inorganic film pattern 5 shown in Figure PA1 e.

次に該基板をドライエツチング装置内に設置し、例えば
酸素を主体とするガスを用いるドライエツチング法等に
より、色素N2の選択エツチングをイテい、f51図e
に示されるように、露出した色素膜2を除去する。酸素
系ガスを用いたドライエツチングによる場合には、この
過程で第1図gに示されるレジストパターン4は、露出
した色素膜2を除去する際に殆ど炭化されてしまう、酸
素に対してはυ1脂及び色素膜はエツチングされ易(、
反対にp@磯物膜はエツチングされ難いため選択エツチ
ングが可能である。このようにして、基板1上に無機物
膜パターン5で覆われた色素膜パターン6を得ることか
でpる。無fi*IIバター ン5カ、5iOztPb
F2.MgO等の透明膜(カラーフィルタの光透過領域
に関して)であれば、無機物膜パターン5を色素膜パタ
ーン6の保護膜としての役割を果たさせ、このfm1図
eのままでカラーフィルタとして使用してもよい。
Next, the substrate is placed in a dry etching apparatus, and the dye N2 is selectively etched by, for example, a dry etching method using a gas mainly composed of oxygen.
As shown in FIG. 2, the exposed dye film 2 is removed. In the case of dry etching using oxygen-based gas, the resist pattern 4 shown in FIG. 1g is almost carbonized during this process when the exposed dye film 2 is removed. Fat and pigment films are easily etched (,
On the other hand, the p@silicon film is difficult to be etched, so selective etching is possible. In this way, the dye film pattern 6 covered with the inorganic film pattern 5 is obtained on the substrate 1. No fi * II butter 5ka, 5iOztPb
F2. If it is a transparent film such as MgO (regarding the light transmitting area of the color filter), the inorganic film pattern 5 can serve as a protective film for the pigment film pattern 6, and this fm1 diagram e can be used as a color filter. You can.

無機物11々パターン5が、5itAI+Cr等の不透
明なものであれば、多ハロゲン化炭素がス等によるドラ
イエツチング等により無機物膜パターンを除去すること
が必要である。しかし、多色の微細色フィルタを形成す
る場合には、この無機物、膜パターンの除去は、すべて
の色素膜パターンを形成し終わった後に実施する。
If the inorganic material 11 and pattern 5 are opaque such as 5itAI+Cr, it is necessary to remove the inorganic film pattern by dry etching using polyhalogenated carbon gas or the like. However, when forming a multicolor fine color filter, this inorganic substance and film pattern are removed after all dye film patterns are formed.

以上、単色の微細色フィルタの基本的な形成工程を第1
図a−eに於いて説明した。次に第1図f−iによって
、基板上に二色以上の多色微細色フィルタを形成する場
合について説明するが、基本的には、単色の場合と同様
であり、前記工程を繰り返すことによって実施される。
Above is the basic formation process of a single color fine color filter.
This was explained in Figures a-e. Next, with reference to FIG. Implemented.

すなわち、第1図fに示されるように、色素膜パターン
6の形成された基板上に他の色材の色素膜7を蒸着法等
によって形成する6次に第1図gに示されるように、無
機物膜8を形成し、更にレジストパターン9を形成する
。無機物膜及びレジストパターンとしては、先に具体例
として挙げた材料と同じものが用いられる。
That is, as shown in FIG. 1f, a dye film 7 of another coloring material is formed by vapor deposition or the like on the substrate on which the dye film pattern 6 is formed.Next, as shown in FIG. 1g, , an inorganic film 8 is formed, and a resist pattern 9 is further formed. As the inorganic film and the resist pattern, the same materials as those mentioned above as specific examples are used.

次に第1図りに示されるように、「のレジストパターン
9を下層無機物膜8に/%ロゲン含含有ススを用いたド
ライエツチング等の手段により松写し無機物膜パターン
10を得る。
Next, as shown in the first diagram, an inorganic film pattern 10 is obtained by copying the resist pattern 9 onto the lower inorganic film 8 by means such as dry etching using % rogen-containing soot.

次に第1図gに示されるように、酸素系ガスを用いたド
ライエツチングによ’7M磯物膜パターン10により覆
われずに露出した色素膜8及び無機物膜パターン10上
のレジストパターン9を除去し、二色の色素膜パターン
6及び11を有する微細色フィルタが形成される。
Next, as shown in FIG. 1g, the dye film 8 and the resist pattern 9 on the inorganic film pattern 10, which are exposed without being covered with the 7M silicon film pattern 10, are removed by dry etching using an oxygen-based gas. After removal, a fine color filter having two color pigment film patterns 6 and 11 is formed.

更にもう一度第1図f−iの処理工程を繰り返すことに
よって、第1図1に示されるような三色の色素膜パター
ン6.11及び13を有する微細色フィルタを形成する
ことができる。また、以上で説明された工程を繰り返す
ことにより、囲包以上の色素膜パターンを基板上に形成
することも可1ffiである。
By repeating the processing steps of FIG. 1 f one more time, a fine color filter having three color dye film patterns 6, 11 and 13 as shown in FIG. 1 can be formed. Furthermore, by repeating the steps described above, it is also possible to form a dye film pattern larger than the surrounding area on the substrate.

先にも説明したように、第1図jに於ける無機物膜パタ
ーン5.10及び12が不透明なものであれば、多ハロ
ゲン化炭素ガス等によるドライエツチング等により、こ
れらの無機物膜パターンを除去することによって第1図
1に示されるような三色の色素膜パターンを有する微細
色フィルタが形成される。
As explained above, if the inorganic film patterns 5, 10 and 12 in FIG. By doing so, a fine color filter having a three-color dye film pattern as shown in FIG. 1 is formed.

また、このようにして形成された第1図Iの微細色フィ
ルタ上に、透明保w1膜としては、SiO□、 14.
0、PbF2.NgF2+^120*1Sn02等を真
空蒸着若しくはCVD法により成膜するが、ポリウタレ
ン樹脂、ポリカーボネー)1fJ]’ff、シリコン樹
脂、〃ラスレノン、ポリバラキシレンmu等をスピンナ
ー塗布法により成膜することができる。
Further, on the fine color filter of FIG. 1 I formed in this manner, SiO□, 14.
0, PbF2. NgF2+^120*1Sn02, etc. are formed into a film by vacuum evaporation or CVD, but polyurethane resin, polycarbonate) 1fJ]'ff, silicone resin, lathrenone, polyvaraxylene mu, etc. can be formed into a film by spinner coating. can.

又他の微細色フィルタの構成としては、前記基板上の色
素膜上に脂肪族炭化水素で溶解可能な樹脂を塗設し、そ
の上に無機物よりなる膜を形成し、その上に7オトレジ
ストパターンを形成することにより構成してもよい、こ
の場合は、フォトレジストに像様露光を施した後、溶媒
により、7オトレジ久ドパターンを形成し、次いでこの
パターンを樹脂層まで転写して露出した色素膜を除去す
る。
Another configuration of a fine color filter is to coat a resin soluble in aliphatic hydrocarbons on the dye film on the substrate, form a film made of an inorganic substance on top of the resin, and apply a 7-otoresist on top of the resin. It may be constructed by forming a pattern. In this case, after imagewise exposure is applied to the photoresist, a seven-layer resist pattern is formed using a solvent, and then this pattern is transferred to the resin layer and exposed. Remove the pigmented film.

残ったフォトレジストパターン上に第2の色素膜を形成
することにより、微細色フィルタを形成することができ
る。
By forming a second dye film on the remaining photoresist pattern, a fine color filter can be formed.

これについて第2図a−iの微細色フィルタの断面図で
示されるようにして形成することができ、これを繰り返
すことによってモザイク状の第5図に示す微細色フィル
タを形成することがでさる。
This can be formed as shown in the cross-sectional view of the fine color filter in Figure 2 a-i, and by repeating this process, the mosaic-like fine color filter shown in Figure 5 can be formed. .

又微細色フィルタの製造方法として、電子写真感光体に
接着する基板上に色素膜を介在させることなく、直接前
述の樹謂膜を形成し、その上に無機物よりなる膜を形成
し、その上に7オトレシスト膜を施して、7オトレシス
トパターンを形成し、樹脂層まで該パターンを転写した
後、露出した基板を色素膜で染色する工程を繰り返して
、微細色フィルタを形成し、これを本発明電子写真感光
体上に設けてもよい、その方法としては第2図に示す通
りで、第2図a−bに示されるように基板l上に色素膜
2を形成する。該色素膜2は前記方法と同様にして形成
することができる。次に第2図Cに示されるように色素
膜2上に脂肪族炭化水素で溶解可能な樹脂を用いて樹脂
層4を前記と同様に塗設する。該樹脂層4の材料も前記
製造方法の実施例と同じ物が用いられる。この樹脂N4
の上に無機物膜3を形成する。この上に7オトレジス)
/15を形成する。このフォトレジスト層は前記実施例
と同じくゴム系樹脂であるネオプレンゴムに光架橋剤と
してアット化合物である4、4−シアノドベンゾ7エ/
ンとの混合物を塗布して形成する。第2図eに示すよう
に露光マスクを介して、紫外光、遠紫外光、X#iある
いは電子m′4による光露光7を行う。
In addition, as a method for producing a fine color filter, the above-mentioned resin film is directly formed on the substrate to be adhered to the electrophotographic photoreceptor without intervening a dye film, a film made of an inorganic material is formed on top of the resin film, and a film made of an inorganic substance is formed on the resin film. After applying a 7-otolysist film to the 7-otolysist film to form a 7-otolysist pattern and transferring the pattern to the resin layer, the process of dyeing the exposed substrate with a dye film is repeated to form a fine color filter. The dye film 2 which may be provided on the electrophotographic photoreceptor of the invention is shown in FIG. 2, in which a dye film 2 is formed on a substrate 1 as shown in FIGS. 2a and 2b. The dye film 2 can be formed in the same manner as the method described above. Next, as shown in FIG. 2C, a resin layer 4 is coated on the pigment film 2 using a resin soluble in aliphatic hydrocarbons in the same manner as described above. The material for the resin layer 4 is the same as in the embodiment of the manufacturing method described above. This resin N4
An inorganic film 3 is formed thereon. 7 otoregis on this)
/15 is formed. This photoresist layer is made of neoprene rubber, which is a rubber-based resin, and 4,4-cyanodobenzo7-e/4,4-cyanodobenzo-7, which is an at compound as a photocrosslinking agent, as in the previous embodiment.
Formed by applying a mixture with As shown in FIG. 2e, light exposure 7 is performed using ultraviolet light, far ultraviolet light, X#i, or electron m'4 through an exposure mask.

次にPIS2図ノに示されるように、露光部分の7オト
レジストを現像液を用いて選択的に溶解し、フォトレジ
ストパターン9を得る。
Next, as shown in PIS 2, the exposed portion of the photoresist 7 is selectively dissolved using a developer to obtain a photoresist pattern 9.

次に第2図gに示されるように、フォトレジストパター
ン9が形成された基板をドライエツチング装置内に設置
し、CF、、CIIP、、C2F、、C,F、、CCI
、、CBrF。
Next, as shown in FIG. 2g, the substrate on which the photoresist pattern 9 has been formed is placed in a dry etching device, and etched with CF, , CIIP, , C2F, , C, F, , CCI
,,CBrF.

等ノ多ハロゲン化炭素ガスまたはハロゲン化炭化水@ガ
ス、あるいはBCI、、SF、等の多ハロゲン化物のガ
スを主体とするガスを用いてエツチングすることにより
、7オトレジストパターン9を下7Gの無機物層に転写
し無機物層パターン8得る。このハロゲン含有ガス等に
より、露出部の無機物層3は穿易にエツチングが進行す
るが、レジストパターンは比較的エツチングされ難い、
その結果、無機物層3のエツチング選択的に行われる。
By etching using polyhalogenated carbon gas, halogenated hydrocarbon gas, or gas mainly composed of polyhalide gas such as BCI, SF, etc., the 7th photoresist pattern 9 is etched into the lower 7G. Transfer to the inorganic layer to obtain an inorganic layer pattern 8. The exposed portion of the inorganic layer 3 is easily etched by this halogen-containing gas, but the resist pattern is relatively difficult to be etched.
As a result, the inorganic layer 3 is selectively etched.

またドライエツチング法の他に、無機物層の材質を酸、
アルカリ溶液でレジストパターンと選択エツチングが可
能なものに限定使用すれば、酸、アルカリ等1こよるウ
ェットエツチングによっても第2図g1こ示されるレジ
ストパターン9を下層無機物層に転写し、第2図gに示
される無機物層パターン8を得ることも可能である。
In addition to the dry etching method, the material of the inorganic layer can be
If the use is limited to those in which the resist pattern and selective etching can be performed using an alkaline solution, the resist pattern 9 shown in FIG. It is also possible to obtain the inorganic layer pattern 8 shown in g.

次に該基板をドライエツチング装置内に設置し、例えば
酸素を主体とするガスを用いるドライエツチング法等に
より、樹脂層の選択エツチングを行い、第2図Cに示さ
れるように、無機物層パターン8を下層樹脂層に転写し
樹脂層パターン10を得る。
Next, the substrate is placed in a dry etching apparatus, and the resin layer is selectively etched by, for example, a dry etching method using a gas mainly composed of oxygen, so that the inorganic layer pattern 8 is etched as shown in FIG. is transferred to the lower resin layer to obtain a resin layer pattern 10.

酸素系ガスを用いたドライエツチングによる場合には、
この過程で第2図gに示される7オトレジストパターン
9は、無機物層パターン8下層樹脂層に転写する際に殆
ど炭化されてしまう。酸素に対してはフォトレジスト及
びυ(脂層はエツチングされ易く、反対に無機物層はエ
ツチングされ難いため選択エツチングが可能である。ま
た、この時樹脂層のエツチングにより露出する色素膜2
は樹脂層と同じく有機系物質であるため、樹脂層のエツ
チングにのみ留とまらず、基体1が露出するまでエツチ
ングは進行し、無機物層パターン8でカバーされでいな
い部分の色素膜2も除去され、一方、無機物層パターン
8の下層には色素膜11(2)が残存している・ した
がって、この場合には前記工程r及びgが同時に実施さ
れることになる。
In the case of dry etching using oxygen-based gas,
In this process, most of the seven photoresist patterns 9 shown in FIG. 2g are carbonized when transferred to the lower resin layer of the inorganic layer pattern 8. Selective etching is possible for photoresist and υ (fat layers are easily etched, whereas inorganic layers are difficult to be etched. Also, at this time, the dye film 2 exposed by etching the resin layer)
Since etching is an organic substance like the resin layer, the etching is not limited to just the resin layer, but the etching progresses until the substrate 1 is exposed, and the parts of the pigment film 2 not covered by the inorganic layer pattern 8 are also removed. On the other hand, the dye film 11(2) remains in the lower layer of the inorganic layer pattern 8. Therefore, in this case, steps r and g are performed simultaneously.

次に第2図iに示されるように、第2の色素膜12を真
空蒸着法により形成する。
Next, as shown in FIG. 2i, a second dye film 12 is formed by vacuum evaporation.

続いて、前述の脂肪族炭化水素類を用いて樹脂層10を
溶解することにより、無機物層パターン8及びその上層
の不要な色素膜はi離除去され、第2図jに示される色
素膜パターン31及び第2の色素膜パターン32を基板
1上に交互に形成することができる。
Subsequently, by dissolving the resin layer 10 using the aforementioned aliphatic hydrocarbons, the inorganic layer pattern 8 and the unnecessary pigment film on the upper layer are removed, resulting in the pigment film pattern shown in FIG. 2J. 31 and the second dye film pattern 32 can be alternately formed on the substrate 1.

染料や顔料に対する溶解力などについては前述の通りで
ある。本発明の方法に於いては色素膜にはダメージを与
えることなく微細色パターンの形成が可能である。
The dissolving power for dyes and pigments is as described above. In the method of the present invention, fine color patterns can be formed without damaging the dye film.

以上、二色の微細色フィルタの基本的な形成工程を第2
図a−jに於いて説明した0次にPt52図に−iによ
って基板上に三色以上の多色微細色フィルタを形成する
場合について説明するが、二色の場合と同様であり、前
記fj&2図a−iの工程を繰り返すことによって実施
される。
Above is the basic formation process of two-color fine color filter.
A case will be described in which a multicolor fine filter of three or more colors is formed on a substrate using the zero-order Pt52 diagram explained in FIGS. This is carried out by repeating the steps in Figures a-i.

第2図kに示されるように、脂肪族炭化水素類を溶媒と
する11111?溶液を用いて基板1と色素膜ノ(ター
ン11及び32上に脂肪族炭化水素類で溶解可能な樹脂
層14が形成される。ここで用いられる樹脂及び脂肪族
炭化水素類の具体的な例は、先に説明したものと同じ材
料が用いられる。
As shown in FIG. 2k, 11111? using aliphatic hydrocarbons as a solvent? A resin layer 14 that can be dissolved with an aliphatic hydrocarbon is formed on the substrate 1 and the dye film (turns 11 and 32) using a solution.Specific examples of the resin and aliphatic hydrocarbon used here The same materials as previously described are used.

犬に第2図1に示されるように、無機物膜15を形成す
る。無機物膜についても先に具体例として挙げた材料と
同じものが用いられる。
An inorganic film 15 is formed on the dog as shown in FIG. As for the inorganic film, the same material as mentioned above as a specific example is used.

次に!@2図簡に示されるように、7オトレジスト/W
16が塗布される0本工程に用いられる7オトレジスト
についても先に具体例として挙げた材料と同じものが用
いられる。
next! @ As shown in Figure 2, 7 otoresist/W
The same material as that mentioned above as a specific example is also used for the 7-otoresist used in the 0-line process in which 16 is applied.

次に第2図nに示されるように、露光マスク17を介し
て光露光18を行い、更に第2図0に示されるように、
露光部分を選択的に現像液を用いて溶解し7オトレシス
トパターン19を得る。この場合、先の第2図a−iに
於いて形成された第2の色素膜パターン32はフォトレ
ジストパターン19の下層に位置するのが適当である。
Next, as shown in FIG. 2n, light exposure 18 is performed through the exposure mask 17, and further, as shown in FIG. 20,
The exposed portion is selectively dissolved using a developer to obtain a 7 otolithic pattern 19. In this case, it is appropriate that the second dye film pattern 32 formed in FIG. 2 a-i is located below the photoresist pattern 19.

次に第2図1]に示されるように、Pt52図0の7オ
トレジストパターン19を下層無機物層15にノ10デ
ン含有ガス等を用いたドライエツチング等の手段により
転写し無機層パターンZOを得る。
Next, as shown in FIG. 2, the Pt52 photoresist pattern 19 shown in FIG. obtain.

次に第2図qに示されるように、酸素系ガスを用いたド
ライエンチング1こより無機物I閃ノ(ターン20を下
層樹脂層に転写し、樹脂層)(ターンZ1を得る。
Next, as shown in FIG. 2q, the inorganic material I flash (turn 20) is transferred to the lower resin layer to obtain the resin layer (turn Z1) by dry etching using an oxygen-based gas.

更にエツチングを進行させることにより露出した色素膜
も除去される。
The exposed dye film is also removed by further etching.

次に第2図「に示されるように、fjS3色目の色素膜
22を真空蒸着法により形成する。続いて脂肪族炭化水
素類を用いて樹脂層21を溶解することにより無機物層
パターン及びその脂層の不要色素膜は遊離除去され、第
2図Sに示される三色の色素膜パターン32.33及び
34を有する微細色フィルタを形成することができる。
Next, as shown in FIG. 2, a dye film 22 of the third color of fjS is formed by vacuum evaporation.Next, by dissolving the resin layer 21 using aliphatic hydrocarbons, the inorganic layer pattern and its resin are formed. The unnecessary dye film of the layer can be liberated to form a fine color filter having the three color dye film patterns 32, 33 and 34 shown in FIG. 2S.

以上で説明された工程を繰り返すことにより、囲包以上
の色素膜パターンを店板上に形成することが可能である
By repeating the steps described above, it is possible to form a dye film pattern larger than the surrounding area on the store board.

先の場合と同様にして、fjS3図dに示されるように
露光マスク6介して、紫外光、遠紫外光、X線あるいは
電子線等による光露光7を行う。
In the same manner as in the previous case, light exposure 7 using ultraviolet light, deep ultraviolet light, X-rays, or electron beams is performed through an exposure mask 6 as shown in FIG. d of fjS3.

次に第3図gに示されるように、露光部分のフォトレジ
ストを現像液を用いて選択的に溶解し、フォトレジスト
パターン9を得る。
Next, as shown in FIG. 3g, the exposed portions of the photoresist are selectively dissolved using a developer to obtain a photoresist pattern 9.

次に第3図fに示されるように、フォトレジストパター
ン9が形成された基板をドライエツチング装置内に設置
し、CF、CIIF*、CzFs、CJs+CCl+−
CBrF*等の多ハロゲン化炭素ガスまたはハロゲン化
炭化水素ガス、あるいはBCI□SF、等の多ハロゲン
化物のガスを主体とするがスを用いてエツチングするこ
とにより、フォトレジストパターン9を下層の無機物層
に転写し無機層パターン8を得る。このハロゲン含有ガ
ス等により、露出部の無機物M3は容易にエツチングが
進行するが、レジストパターンは比較的エツチングされ
難い。その結果、無機物/FI3のエツチング選択的に
行われる。またドライエツチング法の他に、無機物層の
材質を酸、アルカリ溶液でレジストパターンと選択エツ
チングが可能なものに限定使用すれば、酸、アルカリ等
によ忘ウェットエツチングによっても第3図rに示され
るレジストパターン9を下層無機物層に転写し、第3図
gに示される無機層パターン8を得ることも可能である
Next, as shown in FIG. 3f, the substrate on which the photoresist pattern 9 has been formed is placed in a dry etching apparatus, and CF, CIIF*, CzFs, CJs+CCl+-
The photoresist pattern 9 is etched using a gas mainly composed of polyhalogenated carbon gas or halogenated hydrocarbon gas such as CBrF*, or polyhalogenated gas such as BCI□SF, thereby removing the underlying inorganic material. The layer is transferred to obtain an inorganic layer pattern 8. Although the exposed portion of the inorganic substance M3 is easily etched by this halogen-containing gas, the resist pattern is relatively difficult to be etched. As a result, etching of the inorganic material/FI3 is selectively performed. In addition to the dry etching method, if the material of the inorganic layer is limited to one that can be selectively etched with a resist pattern using an acid or alkaline solution, wet etching using an acid or alkali solution can also be used as shown in Figure 3r. It is also possible to transfer the resist pattern 9 shown in FIG. 3 to the lower inorganic layer to obtain the inorganic layer pattern 8 shown in FIG. 3g.

次に該基板をドライエツチング装置内に設置し、例えば
酸素を主体とするガスを用いるドライエツチング法等に
より、樹脂層の選択エツチングを行い、第3図りに示さ
れるように、無機物層パターン8を下層用脂層に軒写し
樹脂層パターン10を得る。
Next, the substrate is placed in a dry etching apparatus, and the resin layer is selectively etched by, for example, a dry etching method using a gas mainly composed of oxygen, to form an inorganic layer pattern 8, as shown in the third diagram. A resin layer pattern 10 is obtained by copying the eaves onto the lower fat layer.

酸素系ガスを用いたドライエツチングによる場合には、
この過程で第3図rに示されるフォトレジストパターン
9は、無機物層パターン8下層樹脂層に転写する際に殆
ど炭化されてしまう。酸素に対してはフォトレジスト及
びO(脂層はエツチングされ易く、反対に無機物層はエ
ツチングされ難いため選択エツチングが可能である。
In the case of dry etching using oxygen-based gas,
In this process, most of the photoresist pattern 9 shown in FIG. 3r is carbonized when it is transferred to the resin layer below the inorganic layer pattern 8. For oxygen, selective etching is possible because photoresist and O (fatty layers) are easily etched, whereas inorganic layers are difficult to be etched.

次に第3図りに示されるように、第2の色素膜11を形
成する0色素膜は種々の方法によって形成することがで
きるが、特に色素の蒸着によって形成するのが有利であ
る。蒸着による場合には、色素のみで色素膜が形成でき
、染色法に於ける媒染層が不要なので極めて薄膜化でき
かつ非水工程によって色素膜が形成できる。
Next, as shown in the third diagram, the zero dye film forming the second dye film 11 can be formed by various methods, but it is particularly advantageous to form it by vapor deposition of a dye. In the case of vapor deposition, a dye film can be formed using only the dye, and since a mordant layer in the dyeing method is not required, the film can be made extremely thin and the dye film can be formed by a non-aqueous process.

続いて、前述の脂肪族炭化水素類を用いて樹脂/?W1
0を溶解することにより、無機物層パターン8及びその
上層の不要な色素膜は遊離除去され、第3図iに示され
る色素膜パターン11を基板1上に形成することができ
る。
Subsequently, using the aforementioned aliphatic hydrocarbons, resin/? W1
By dissolving the inorganic layer pattern 8 and the unnecessary dye film thereon, the dye film pattern 11 shown in FIG. 3I can be formed on the substrate 1.

以上、微細色フィルタの基本的な形成工程を第3図a−
iに於いて説明した。単色のみで全工程が終了する場合
には、第3図gに示される樹脂層4は脂肪族炭化水素類
を溶媒とする樹脂溶液を用いて形成される必要性は必ず
しも無く、第3図iの工程でこの樹脂層の溶解が脂肪族
炭化水素類により可能ならばよい。
The basic forming process of a fine color filter is shown in Figure 3a-
It was explained in i. When the entire process is completed using only a single color, the resin layer 4 shown in FIG. 3g does not necessarily need to be formed using a resin solution using aliphatic hydrocarbons as a solvent, and It is sufficient if the resin layer can be dissolved by the aliphatic hydrocarbons in the step.

次に第3図j−rによって基板上に二色以上の多色微細
色フィルタを形成する場合について説明するが、単色の
場合と同様であり、前記fjS3図a−gの工程を繰り
返すことによって実施される。f53図jに示されるよ
うに、脂肪族炭化水素類を溶媒とする樹脂溶液を用いて
基板1と色素膜パターン11上に脂肪族炭化水素類で溶
解可能な崩IIIf層12が形成される。ここで用いら
れる樹脂及び脂肪族炭化水素類の具体的な例は、先に説
明したものと同じ材料が用いられる。
Next, the case of forming a multi-color fine filter of two or more colors on a substrate will be explained with reference to FIG. Implemented. As shown in FIG. f53 j, a resin solution containing aliphatic hydrocarbons as a solvent is used to form a decomposition IIIF layer 12 on the substrate 1 and the dye film pattern 11, which is soluble in aliphatic hydrocarbons. As specific examples of the resin and aliphatic hydrocarbons used here, the same materials as those described above are used.

次に第3図kに示されるように、無機物膜13を形成す
る。無機物膜についても先に具体例として挙げた材料同
じものが用いられる。
Next, as shown in FIG. 3k, an inorganic film 13 is formed. The same materials mentioned above as specific examples are used for the inorganic film.

次に第3図1に示されるように、7オトレシずスト層1
4が形成される。本工程に用いられる7オトレジストに
ついても、先に具体例として挙げた材料と同じものが用
いられる。
Next, as shown in FIG.
4 is formed. As for the 7-otoresist used in this step, the same material as mentioned above as a specific example is used.

次に第3図−に示されるように、露光マスク15を介し
て光露光16を佇い、更に第3図gに示されるように、
露光部分を選択的に現像液を用いて溶解し7オトレジス
トパターン17を得る。この場合、先の第3図a−iに
於いて形成された色素層11は7オトレソストパターン
17の下層に位置する。
Next, as shown in FIG. 3-, light exposure 16 is applied through the exposure mask 15, and as shown in FIG. 3-g,
The exposed portions are selectively dissolved using a developer to obtain 7 photoresist patterns 17. In this case, the dye layer 11 formed in FIG.

次に第3図0に示されるように、第3図gの7ォトレジ
ストパターン17を下JVI無機物f118にハロゲン
含有ガス等を用いたドライエツチング等の手段により転
写し無機層パターン18を得る。第3図pに示されるよ
うに、酸素系〃スを坩いたドライエ7チングにより無機
物層パターン18を下層樹脂層に転写し、樹脂層パター
ンI9を得る。第3図qのように第2色目の色素膜20
を真空蒸着法により形成する。
Next, as shown in FIG. 30, the 7 photoresist pattern 17 of FIG. 3g is transferred onto the lower JVI inorganic material f118 by means such as dry etching using a halogen-containing gas or the like to obtain an inorganic layer pattern 18. As shown in FIG. 3P, the inorganic layer pattern 18 is transferred to the lower resin layer by dry etching using an oxygen-based gas, thereby obtaining a resin layer pattern I9. As shown in FIG. 3q, the second color pigment film 20
is formed by a vacuum evaporation method.

続いて脂肪族炭化水素類を用いて樹脂層19を溶解する
ことにより無機物層パターン18及びその上層の不要色
素WX20は遊離除去され、第3図rに示される色素層
21及び色素層11得ることができる。
Subsequently, by dissolving the resin layer 19 using aliphatic hydrocarbons, the inorganic layer pattern 18 and the unnecessary dye WX20 in the upper layer are removed, thereby obtaining the dye layer 21 and the dye layer 11 shown in FIG. 3r. Can be done.

以上で説明された工程を繰り返すことにより、三色及び
囲包のフィルタを基板上に形成することが可能である。
By repeating the steps described above, it is possible to form a tricolor and surround filter on a substrate.

本発明電子写真感光体で用いる微細色フィルタの色素と
しては種々のものが適宜選択されて用いられている。
Various pigments are appropriately selected and used as the pigments of the fine color filter used in the electrophotographic photoreceptor of the present invention.

例えば、 (1)アゾ系着色剤 (n)アセト7セチツクアニリド系 イルガライト、イエローGTN  (C,1,No 1
1680)ノコ、イエローD1250      (C
,1,NO11680)ハンザ、イエローGR(C,!
、No 11730)クコ。イエローD1950   
   (C,1,Na 11710)イルガライト、イ
エロー10G  (C,1,No 11710)イルガ
ライト、イエロー5GL  (C,1,No 1186
5)リソゾール、ファースト、イエローY (C,1,NO11660) ダイムチ。ファースト、イエC7−3Q(C91,!l
θ11670) イルガライl−、(エロー BGC(C,1,No 2
109G)パーマネント、イICr −GR(C,1,
No 21100)パーマネント、イエo −G   
(C,1,No 211195)ベンジジン、イエロー
10G   (C,1,No 2i220)イルガライ
ト、イエロー2GP  (C,1,No 21!05)
(b)ピラゾリンアゾ系 ハンザ、イエローR(C,1,No 12710)(c
)ナフト−ル類のモノアゾ系 モノライト、フγ−スI−、レッドl5(C,1,No
 12070) シフ。7アースト、レッドD3フ52 (C,1,No 12310) シフ。レッドL3750       (C,1,No
 12120)シフ。レッドL3250       
(C,I、No 12085)オリエンタル、レッドF
BNew  (C,1,No 12490)モノライト
、レッドPC(C,I、No 12090)ロッソ、セ
グナール、ルースF4RH (C,1,No 12420) シフ。レッド04250       (C,I、No
 12335)ロッソ、セグナール、ルースF2L (C,I、No  12460) ロッソ、セグナール、ルースFRL (C0I、No  12440) イルガライト、ボルドーFBS  (C,1,No 1
2430)シフ。ボルドーL4851     (C,
I、No )2385)パーマネント、ボルドーFCR
(C,T、No 12380)シミエーラ、7アースト
、マルーン4092(C,I、No 12465) グイニチ、7フースト、ポピー、レッドG(C11,N
o 12390) モノライト、ルビーンN(C,1,No +2350)
アリライド、マシーン。ダーク<C,1,No +24
QO)サンヨー、ファースト、レッドCI (C,1,No 12300) グrニヂ、フl−スト、スカーレットG(C91,No
 +2315) ファースト、し1ド 6ニユー (C,1,No 12355) ボリモ、レッドR(C,i、No 12330)ボリモ
、ロゼFRI、       (C,1,No 123
20)ダイニヂ、ナフチラミン、ボルドー (C,1,No 12+70) シコ、7γ−スト、レッド13855 (C,1,N(+ 12370) シミニラ−。ファースト、カーミンBS(C,1,No
 +2351) パーマネント、カーミンFIIII  (C,!、No
 :2485)バーマネンl−、ピンク!’311  
 (C,!、No +2430)Pv・−カーミンII
R(C,1,No  12290)シ=1.フγ−スト
、スカーレット1.4252(C0I、No  124
75) パーマネント、マルーンHFM  (C0I、No 1
2512)パーマネント、レッドHFT   (C,1
,No 12513)pv−カーミン11F3[:  
        (C,1,No  12515)ハー
マネント、カーミンHF4[;  (C,1,No 1
2516)PV−レッドHF2に          
(C,1,No 12514)モノライト、グリーン、
Y    (C,1,No 12775)(2)7ンス
ラキ7ン系着色剤 ヘリオ、7アーストマルーン、 E3Rサンヨー、カー
ミンL2B    (C,I、No 58000)モノ
ライト、レッドY      (C,I、No 593
00)クロモ7タール、^CR パリオゾン、レッドL3530   (C,I、No 
59710)パリオゾン、マル−ンL3820  (C
,I、No 71130)パリオゾン、レッドL388
0HD  (C,1,No 71155)カヤセット、
スカーレットE−2R(−C,1,No 71140)
へりオ、ファースト、ネイローRLW (3)インジゴイド系着色剤 クロモ7タル、ボルドーR(C01,No 73312
)リオノデン、マゼンタR(C,1,No 73915
)616レツドR(C,1,No 73395)オフリ
ス。ブリリアント、ピンクR (C,1,No 73360) (4)キナクリドン系着色剤 リオノデン、マゼンタR(C1I、No 73915)
ホスタパーム、レッドEC(C,I、No 73905
)リオノデン、レッド2B     (C,lNo 4
6500)゛シンカシア、マゼンタRT −243−D
シンカシア、レッド、ブルーRT −790−D(5)
イソインドリノン系着色剤 ジオ/ケン、イエロー3GX ジオ/ケン、イエローRX モ/う4 )、 4イヒ−BV    (C,1,No
 73000)(6)インダスロン系着色剤 7アーストデン、スーパー、ブルー6011^■^(C
,1,No 69800) ボリモ、ネイビーブルーFR(C,1,No 6983
5)リソゾール、ブルーGL     (C,1,No
 69810)(7)ジオキサジン系着色剤 クロモ7タル、バイオレットB 7アーストデン、スーパー、バイオレッ) BBL(C
,1,No 51319) (8)インダスレン系着色剤 ミグスレン。イエa −(:CM   (C,1,No
 6〕300)ミグスレン。イエロー    (C01
,No 68420)ミグスレン。オレンジR(C,1
,No 73335)ミケスレン、スカーレットG ミグスレン。ブリリアント、ピンクR (C0I、No 73360) ミグスレン。ブリリアント、バイオレットRR(C,1
,No 60010) ミグスレン。ブルー 30     (C,1,No 
69840)(9)トリフェニル、メタン系着色剤 7アナル、ブルー 06340   (C,I、No 
42595:2)グイ二チ、7r−スト、ブルーBOX (C,I、No 44045:2) イルガライト、ブルーTCR(C,I、No 4214
0:1)77ナトン、ブルー6G    (C,1,N
o 42025:1)/N ロイン。ブルーRNN  
  (C0I、No 42600:1)し7レツクス、
ブルーG   (C,1,No 42700:1)アル
カリ、ブルー、トナー (C,I、No 42750:
1)ブルー、レイク、24572^  (C0I、No
 42090:1)し7レツクス、ブルーCG   (
C,1,No 42800)し7レツクス、ブルーRB
    (C,I、No 42795)77ナル、ブル
ー06380 イルガライト、グリーン、 BN(C,I、No 42
040:1)グイニチ、7フーストグリーンB (Cj、No 42000:2) (10)ニトロン系着色剤 モノライト、グリーンB(C,1,No 10006)
モノライト、グリーン口   (C,1,No 100
20:1)(11)7タロシアニン系顔料 銅7タロシアニン(α型)    (C0I、No 7
4160)銅7タロシアニン(β型) 無金属7タロシアニン    (C,1,No 741
00)クロル化7りロシアニン   (C,I、No 
74260)クロル化フタロシアニン   (C,1,
No 74255)鉛7タロシアニン 亜鉛フタロシアニン 鉄7タロシアニン 金7タロシアニン クロム7タロシアニン (12)分散性染料 チバセット、レッド”     (C,1,No 11
210)ルラフィックス、レッドBF   (C,I、
No 60756)セリトン、バイオレットB    
(C,I、No 62030)セリトン、イエo −5
R(C,I、No 26090)テラシル、イエロー2
GM    (C,I、No 47020)ミグトン。
For example, (1) Azo colorant (n) Aceto7Seticanilide Yirgalite, Yellow GTN (C, 1, No 1
1680) Saw, Yellow D1250 (C
, 1, NO11680) Hansa, Yellow GR (C,!
, No. 11730) Goji. Yellow D1950
(C, 1, Na 11710) Irgalite, Yellow 10G (C, 1, No 11710) Irgalite, Yellow 5GL (C, 1, No 1186
5) Lysozol, Fast, Yellow Y (C, 1, NO11660) Daimuchi. First, Ie C7-3Q (C91,!l
θ11670) Irugarai l-, (Yellow BGC(C, 1, No 2
109G) Permanent, ICr-GR(C,1,
No. 21100) Permanent, Ieo-G
(C,1,No 211195) Benzidine, Yellow 10G (C,1,No 2i220) Irgalite, Yellow 2GP (C,1,No 21!05)
(b) Pyrazoline azo Hansa, Yellow R (C, 1, No 12710) (c
) Monoazo monolite of naphthols, Fγ-I-, Red 15 (C, 1, No.
12070) Schiff. 7 Earth, Red D3 Fu52 (C, 1, No 12310) Schiff. Red L3750 (C, 1, No.
12120) Schiff. Red L3250
(C, I, No 12085) Oriental, Red F
BNew (C, 1, No 12490) Monolite, Red PC (C, I, No 12090) Rosso, Segnard, Ruth F4RH (C, 1, No 12420) Schiff. Red 04250 (C, I, No
12335) Rosso, Segnard, Ruth F2L (C, I, No 12460) Rosso, Seignard, Ruth FRL (C0I, No 12440) Ilgarite, Bordeaux FBS (C, 1, No 1
2430) Schiff. Bordeaux L4851 (C,
I, No) 2385) Permanent, Bordeaux FCR
(C, T, No 12380) Simiera, 7 Earth, Maroon 4092 (C, I, No 12465) Guinichi, 7 Fust, Poppy, Red G (C11, N
o 12390) Monolite, Rubine N (C, 1, No +2350)
Ali Ride, Machine. Dark <C, 1, No +24
QO) Sanyo, First, Red CI (C, 1, No. 12300) Grunidge, First, Scarlet G (C91, No.
+2315) First, Shi 1 de 6 New (C, 1, No 12355) Bolimo, Red R (C, i, No 12330) Bolimo, Rose FRI, (C, 1, No 123
20) Dainiji, Naphthyramine, Bordeaux (C, 1, No. 12+70) Shiko, 7γ-St, Red 13855 (C, 1, N (+ 12370) Ciminilla-. Fast, Carmine BS (C, 1, No.
+2351) Permanent, Carmine FIII (C,!, No
:2485) Vermanen l-, pink! '311
(C,!, No +2430) Pv・-Carmine II
R (C, 1, No 12290) C = 1. Feast, Scarlet 1.4252 (C0I, No 124
75) Permanent, Maroon HFM (C0I, No 1
2512) Permanent, Red HFT (C,1
, No. 12513) pv-carmine 11F3 [:
(C, 1, No 12515) Hermanent, Carmine HF4 [; (C, 1, No 1
2516) PV-Red HF2
(C, 1, No 12514) Monolite, green,
Y (C, 1, No 12775) (2) 7thraquine colorant Helio, 7 Earth Maroon, E3R Sanyo, Carmine L2B (C, I, No 58000) Monolite, Red Y (C, I, No 593
00) Chromo7 Tar, ^CR Paliozon, Red L3530 (C, I, No
59710) Paliozone, Maroon L3820 (C
, I, No. 71130) Paris Ozone, Red L388
0HD (C, 1, No 71155) Kaya set,
Scarlet E-2R (-C, 1, No 71140)
Helio, First, Nair RLW (3) Indigoid colorant Cromo 7 Tal, Bordeaux R (C01, No. 73312
) Lionoden, Magenta R (C, 1, No 73915
) 616 Red R (C, 1, No 73395) Ofris. Brilliant, Pink R (C, 1, No 73360) (4) Quinacridone Colorant Lionodene, Magenta R (C1I, No 73915)
Hosta Palm, Red EC (C, I, No 73905
) Lionoden, Red 2B (C,lNo 4
6500) ゛Cyncasia, Magenta RT-243-D
Syncasia, red, blue RT-790-D (5)
Isoindolinone colorant Geo/Ken, Yellow 3GX Geo/Ken, Yellow RX Mo/U4), 4Ihi-BV (C, 1, No.
73000) (6) Indathlon colorant 7 Earthden, Super, Blue 6011^■^(C
, 1, No. 69800) Bolimo, Navy Blue FR (C, 1, No. 6983
5) Lysozol, Blue GL (C, 1, No
69810) (7) Dioxazine colorant Cromo 7 Tal, Violet B 7 Earth Den, Super, Violet) BBL (C
, 1, No. 51319) (8) Migthrene, an indathrene colorant. Yea-(:CM (C, 1, No
6] 300) Migslen. Yellow (C01
, No. 68420) Migslen. Orange R (C, 1
, No. 73335) Mikethren, Scarlet G Migthren. Brilliant, Pink R (C0I, No 73360) Migslen. Brilliant, Violet RR (C, 1
, No. 60010) Migslen. Blue 30 (C, 1, No
69840) (9) Triphenyl, methane colorant 7 anal, blue 06340 (C, I, No
42595:2) Guinichi, 7r-St, Blue BOX (C, I, No 44045:2) Irgalite, Blue TCR (C, I, No 4214
0:1) 77 natons, blue 6G (C, 1, N
o 42025:1)/N Loin. blue RNN
(C0I, No 42600:1) 7 rex,
Blue G (C, 1, No 42700:1) Alkaline, Blue, Toner (C, I, No 42750:
1) Blue, Lake, 24572^ (C0I, No
42090:1) Shi7rex, Blue CG (
C, 1, No 42800) Shi7 Rex, Blue RB
(C, I, No 42795) 77 Naru, Blue 06380 Irgalite, Green, BN (C, I, No 42
040:1) Guinichi, 7 Hoost Green B (Cj, No. 42000:2) (10) Nitron Colorant Monolite, Green B (C, 1, No. 10006)
Monolight, green mouth (C, 1, No 100
20:1) (11) 7 Talocyanine pigment Copper 7 Talocyanine (α type) (C0I, No 7
4160) Copper 7-talocyanine (β type) Metal-free 7-talocyanine (C, 1, No 741
00) Chlorinated 7-lycyanine (C, I, No
74260) Chlorinated phthalocyanine (C,1,
No. 74255) Lead 7 Talocyanine Zinc Phthalocyanine Iron 7 Talocyanine Gold 7 Talocyanine Chromium 7 Talocyanine (12) Dispersible dye Cibaset, Red” (C, 1, No 11
210) Lurafix, Red BF (C, I,
No. 60756) Seriton, Violet B
(C, I, No 62030) Seriton, Ie o-5
R (C, I, No 26090) Terrasil, Yellow 2
GM (C, I, No 47020) Migton.

ファースト、ブルー(C,I、No 64500)チパ
セット、ブルーF3R(C,1,No 61505)ル
ラフイックス、ブルーFFR(C,I、No 8203
5ンカヤセット、ブルー318 カヤセット、ターキ/イズ、ブルー776(13)塩基
性染料 ローダミン6GCP         (C,I、No
 45160)ローダミンF3B         (
C,I、No 45174)アストラ、70キンG  
   (C,I、No 48070)マキロン、イエロ
ー5にL    (C,I、No 48055)クリス
タル、バイオレット  (C,1,No 42555)
ローダミンB          (C,I、No 4
5170)ビクトリア、ブルーFB     (C81
,No 44045)マラカイト、グリーン    (
C,I、No 42000)エチルバイオレット   
  (C,1,No 42600)ナイル、ブルー  
     (C,1,No 51180)す7″’ ”
 :/7(C,1,No 50240)(14)油溶性
染料 カヤセットレッドB カヤセットブルー^2R カヤセットイエo −G     (C,I、No 1
1855)カヤセットブルーFR カヤセットイエロー八〇 カヤセットイエロー963 ピラニン          (C,1,No 590
40)グイヤシノン。レッドH グイヤレジン、プラツン^ グイヤシノン。ブルーN スグンプルー        (C0T、No 615
25)キニザリン キニザリンブルー      (C,1,No 607
25)キニザリングリーン     (C,1,No 
61585)(15)酸性染料 ソラー、ピュア、イエロー8G  (C,I、No 5
6205)ソラー、ピュア、ブルー八FX  (C,1
,No 42080)フルオレセイン       (
C,I、No 45350)フルオレセインNa ローズベンガル       (C,I、No 454
40)アリザリン、シアニングリーンF (C,I、No 61570) (16)建築染料 インノボ          (C,1,No 730
00)チバ、ブルー        (C,1,No 
73065)インノボゾール       (C,1,
No 73002)が挙げられる。
Fast, Blue (C, I, No. 64500) Chipaset, Blue F3R (C, 1, No. 61505) Lula Fix, Blue FFR (C, I, No. 8203
5 Kaya Set, Blue 318 Kaya Set, Turkey/Iz, Blue 776 (13) Basic Dye Rhodamine 6GCP (C, I, No.
45160) Rhodamine F3B (
C, I, No 45174) Astra, 70 Kin G
(C, I, No 48070) Makiron, yellow 5 and L (C, I, No 48055) Crystal, violet (C, 1, No 42555)
Rhodamine B (C, I, No 4
5170) Victoria, Blue FB (C81
, No. 44045) Malachite, Green (
C, I, No 42000) Ethyl violet
(C, 1, No 42600) Nile, Blue
(C, 1, No 51180) 7″' ”
:/7 (C, 1, No 50240) (14) Oil-soluble dye Kayaset Red B Kayaset Blue ^2R Kayaset Yeo -G (C, I, No 1
1855) Kayaset Blue FR Kayaset Yellow 80 Kayasets Yellow 963 Pyranine (C, 1, No 590
40) Guyacinone. Red H Guyacinone. Blue N Sugunpuru (C0T, No 615
25) Quinizarin Quinizarin Blue (C, 1, No 607
25) Quinizarin Green (C, 1, No.
61585) (15) Acid dye Soler, Pure, Yellow 8G (C, I, No 5
6205) Solar, Pure, Blue 8 FX (C, 1
, No. 42080) Fluorescein (
C, I, No 45350) Fluorescein Na Rose Bengal (C, I, No 454
40) Alizarin, Cyanine Green F (C, I, No 61570) (16) Architectural dye Innovo (C, 1, No 730)
00) Chiba, Blue (C, 1, No
73065) Innovozole (C,1,
No. 73002).

本発明電子写真感光体のフィルタ膜の基板としては、そ
の使用目的により種々のものが使用でさて限定されない
が、具体的には以下のようなものが使用できる0例えば
、ガラス板、光学用u1脂仮、ゼラチン、ポリビニルア
ルコール、ヒドロキシルエチルセルロース、メチルメタ
クリレート、ポリエステル、ポリブチラール、ポリアミ
ド、等の?AtrIIフィルムなどである。また、カラ
ーフィルタを適用されるものと基板とを一体として形成
して電子写真感光体を21造する。
As the substrate for the filter film of the electrophotographic photoreceptor of the present invention, various substrates can be used depending on the purpose of use, but the substrate is not limited to the following. Specifically, the following substrates can be used. For example, a glass plate, an optical U1 Lipid, gelatin, polyvinyl alcohol, hydroxyl ethyl cellulose, methyl methacrylate, polyester, polybutyral, polyamide, etc.? For example, AtrII film. Furthermore, an electrophotographic photoreceptor 21 is manufactured by integrally forming the color filter and the substrate.

本発明電子写真感光体に用いられる色素膜パターン形成
時に色素膜が無機物膜により保護されているため、色素
膜がフォトレジストパターンの形成の影響を殆ど受ける
ことがない。また、たとえ無14物膜が藩かったり、粘
膜上にピンホール等の欠陥が存在することによって、7
オトレジストの塗布時あるいは現像時に色素膜中にフォ
トレジストの溶剤が浸み込んでも、脂肪族炭化水素類を
溶剤として使用しているため、色素膜には何??影響を
与えることはない。したがって、色素膜に溶解や白濁が
生ずることはなく、また溶剤シヨ・/りによる色素膜の
ヒビ割れを防止することができ、所望の色素からなる色
素膜を形成して、所望とする分光特性を有するカラーフ
ィルタを作成できる。
Since the dye film used in the electrophotographic photoreceptor of the present invention is protected by an inorganic film during formation of the dye film pattern, the dye film is hardly affected by the formation of the photoresist pattern. In addition, even if there is no mucous membrane or there are defects such as pinholes on the mucous membrane, 7
Even if the photoresist solvent seeps into the dye film during coating or development, since aliphatic hydrocarbons are used as the solvent, what will happen to the dye film? ? It has no effect. Therefore, dissolution or cloudiness does not occur in the pigment film, and cracking of the pigment film due to solvent staining can be prevented, and a pigment film made of the desired pigment can be formed to achieve the desired spectral characteristics. You can create a color filter with

第4図Aは、本発明により形成された前記のカラーフィ
ルタ、即ち色分解フィルタを有する電子写真感光体の構
成を示す断面図であり、微細色7イルタを接着せしめる
基板として電子写真感光体を用いた場合の構成図である
FIG. 4A is a sectional view showing the structure of an electrophotographic photoreceptor having the color filter, that is, a color separation filter, formed according to the present invention, in which the electrophotographic photoreceptor is used as a substrate to which seven fine color filters are adhered. It is a block diagram when it is used.

また第4図Bは、基体としてプラスチックフィルム等の
透明基板を用いたととの微細色フィルタを有する電子写
真感光体の構成を示す断面図で、1は透明基板である。
FIG. 4B is a sectional view showing the structure of an electrophotographic photoreceptor having a fine color filter using a transparent substrate such as a plastic film as a base, and 1 is the transparent substrate.

すなわち、第4図へにおいて、11は導電性基板、10
は感光層で、5は上記感光層10上に形成された微細色
フィルタである。従って5Rは赤色、5Gは緑′色、5
Bは青色の着色部をそれぞれ示している。
That is, in FIG. 4, 11 is a conductive substrate, 10
is a photosensitive layer, and 5 is a fine color filter formed on the photosensitive layer 10. Therefore, 5R is red, 5G is green, 5
B indicates a blue colored portion.

一方の第4図Bは、電子写真感光層10面上に、プラス
チックフィルム等の透明支持体上に形成された微細色フ
ィルタの面を接着層9を介して積層、接着せしめた構成
が示されており、1は基板(保護膜)、5は上記と同様
に赤色、緑色、青色からなる微細色フィルタである。そ
して9は接着層であって、感光層10上に微細色フィル
タを固着せしめる役目を有する層である。
On the other hand, FIG. 4B shows a configuration in which the surface of a fine color filter formed on a transparent support such as a plastic film is laminated and adhered to the surface of the electrophotographic photosensitive layer 10 via an adhesive layer 9. 1 is a substrate (protective film), and 5 is a fine color filter consisting of red, green, and blue as described above. Reference numeral 9 denotes an adhesive layer, which serves to fix the fine color filter on the photosensitive layer 10.

本発明によれば、上記の接着の方法としては、従来のい
かなる接着方法をも用いることができ、例えば?am色
フィルタと上記の感光体とをラミネータを通して接着さ
せる方法゛およびフィルタと感光体とを仮接着させ、負
圧下の状態に置き、大気圧をかけることにより接着させ
る方法、ならびに上記のように仮接着させたものに圧&
52気を当て続けることにより接着させる方法等がある
。 上記のラミネータを通して接着させる方法において
は、シート状感光体に接着Mを塗布せしめて色分解フィ
ルタと共にラミネータローラーを通して加圧、加熱する
ことにより接着が行われる。また後者の方法すなわち負
圧下の状態においた後、大気圧をかけて圧縮空気を吹き
つけることにより接着させる方法においても接着剤の層
を介して接着が行われる。
According to the present invention, any conventional bonding method can be used as the above bonding method, such as ? A method of adhering an am color filter and the above-mentioned photoreceptor through a laminator, a method of adhering the filter and the photoreceptor temporarily, placing it under negative pressure, and applying atmospheric pressure; Pressure &
There is a method of adhesion by continuously applying 52 qi. In the above-described method of adhering through a laminator, adhesion is performed by applying adhesive M to a sheet-like photoreceptor and applying pressure and heat through a laminator roller together with a color separation filter. Furthermore, in the latter method, that is, in the method of bonding by placing under negative pressure and then applying atmospheric pressure and blowing compressed air, bonding is performed through a layer of adhesive.

上記の接着に際しての接着方向は、感光体面上に設けた
a着層に対して微細色フィルタの透明基板の面を接着さ
せてもよく、またフィルタの面を直接、接着させてもよ
い。また感光体とフィルタを接Mさせるために用いられ
る@着剤としては、特に限定はなく、各種の接着剤、粘
着剤を用いることができるが、電気的絶縁性、化T釣下
活性等の、αから、接着性により密着性を保つ目的には
シリコーンオイル(例えば信越シリコーンKF−96)
、粘着性を要する目的にはシリコーンオイル(例えば信
越シリコーンKR−101−10)などが特に好ましく
用いられる。
Regarding the adhesion direction in the above adhesion, the surface of the transparent substrate of the fine color filter may be adhered to the a-adhesive layer provided on the surface of the photoreceptor, or the surface of the filter may be directly adhered. The adhesive used to bring the photoreceptor and the filter into contact is not particularly limited, and various adhesives and pressure-sensitive adhesives can be used. , α, silicone oil (for example, Shin-Etsu Silicone KF-96) is used to maintain adhesion.
For purposes requiring tackiness, silicone oil (for example, Shin-Etsu Silicone KR-101-10) is particularly preferably used.

次に本発明に係る微細色フィルタの形状、配列について
言及すれば、本発明において有用とされる微細色フィル
タの形状、配列は、特に限定されるものではないが、第
5図へのような線条状、例えば感光体がドラム状の場合
、線が回転方向に直交するもの、平行のもの等を用いる
ことができる。
Next, referring to the shape and arrangement of the fine color filter according to the present invention, the shape and arrangement of the fine color filter useful in the present invention are not particularly limited, but as shown in FIG. If the photoreceptor is in the form of a drum, for example, a linear shape may be used, such as one in which the lines are perpendicular to the direction of rotation, or one in which the lines are parallel to the direction of rotation.

しかし通常は第5図B、Cのようなモザイク状に構成し
たものが用いられ、各フィルタのサイズは、色の繰り返
し巾(第3図中1+、12>として30ないし500μ
鎗とするのが好ましい。フィルタのサイズが過少の場合
、隣接した他の色部分の影響を受けやすくなり、またフ
ィルタの1個の巾がトナー粒子の粒径と同程度あるいは
それ以下になると作成も困難となる。またフィルタのサ
イズが過大となると画像の解像性、混色性が低下して画
質が劣化する。なお、第4図Aおよ[7B、第5図A乃
至Cはいずれも赤、緑、青のいわゆる3色分解フィルタ
を設けた場合を示す9図中Rは赤、Gは緑、Bは青のフ
ィルタを示すが、本発明に係る微細色フィルタの着色は
、この3色に限定されるものではなく、必要に応じて任
意の色のフィルタ層を形成することができる。
However, usually a mosaic structure as shown in Figures B and C in Figure 5 is used, and the size of each filter is 30 to 500μ as the color repetition width (1+, 12> in Figure 3).
Preferably a spear. If the size of the filter is too small, it will be easily influenced by other adjacent color parts, and if the width of one filter is equal to or smaller than the particle size of the toner particles, it will be difficult to manufacture. Furthermore, if the size of the filter becomes too large, the resolution and color mixing properties of the image will decrease, resulting in deterioration of the image quality. In addition, FIGS. 4A and 7B and FIGS. 5A to 5C all show the case where so-called three-color separation filters of red, green, and blue are provided. In FIG. 9, R is red, G is green, and B is Although a blue filter is shown, the coloring of the fine color filter according to the present invention is not limited to these three colors, and a filter layer of any color can be formed as necessary.

本発明の電子写真感光体は、前述の通り導電性基体上に
光導電性の感光層を設けたものである。
As described above, the electrophotographic photoreceptor of the present invention has a photoconductive photosensitive layer provided on a conductive substrate.

導電基板1はアルミニツム、鉄、ニッケル、謂等の金属
あるいはそれらの合金等を用いて円筒状無端ベルト成算
必要に応じて適宜の形状、(1η造のものを作成すれば
よい。感光層10は硫黄、セレン、無定形シリコンまた
は硫黄、セレン、テルル、ヒ素、アンチモン等を含有す
る合金等の光導電体、あるいは亜鉛、鉛、水銀、カドミ
ウム、モリブデン等の金属の酸化物、ヨウ化物、硫化物
、セレン化物の黒磯光導電性物質や、アゾ系、ノアゾ系
、トリスアゾ系、7タロシアニン等の染料、顔料とビニ
ルカルバゾール、トリニトロフルオレノン、ポリビニー
ルカルバゾール、オキサノアゾール、ヒドラゾン化合物
、スチルベン誘導体、スチリル誘導体等の電荷輸送物質
とtj(脂とを分散した後塗布して形成される。
The conductive substrate 1 may be made of metals such as aluminum, iron, nickel, so-called metals, or their alloys, etc. to form a cylindrical endless belt, or may be formed into an appropriate shape (1η structure) as required. Photosensitive layer 10 photoconductors such as sulfur, selenium, amorphous silicon or alloys containing sulfur, selenium, tellurium, arsenic, antimony, etc., or oxides, iodides, and sulfides of metals such as zinc, lead, mercury, cadmium, molybdenum, etc. materials, Kuroiso photoconductive substances of selenides, dyes such as azo, noazo, trisazo, and 7-talocyanine, pigments and vinyl carbazole, trinitrofluorenone, polyvinyl carbazole, oxanoazole, hydrazone compounds, stilbene derivatives, It is formed by dispersing and coating a charge transporting substance such as a styryl derivative and TJ (fat).

かかる結着剤樹脂としではポリエチレン、ポリエステル
、ポリプロピレン、ポリスチレン、ポリ塩化ビニル、ポ
リ酢酸ビニール、ポリカーボネート、アクリルat m
 、シリコン樹脂、7);X樹脂、エポキシ樹脂等の絶
縁性樹脂が挙げられる。
Such binder resins include polyethylene, polyester, polypropylene, polystyrene, polyvinyl chloride, polyvinyl acetate, polycarbonate, acrylic at m
, silicone resin, 7); Examples include insulating resins such as X resin and epoxy resin.

また電荷発生層と電荷移動層とにわけた機能分離型の光
導電体も用いられる。
A functionally separated photoconductor having a charge generation layer and a charge transfer layer is also used.

本プロセスによれば、可視光全域にわたる感光性ををも
った感光層に複数の色分解フィルタを微細な線条状ある
いはモザイク状等に組み合わせて配置した感光体を用い
、まず像露光を与え、各フィルタの下部の感光層に分解
画像濃度に応じた第一次潜像を形成せしめ、ついで感光
体を特定の(実施例ではフィルタの色と同色)光によっ
て全面露光することによって該色のフィルタにのみ第二
次潜像を形成せしめ、第一次潜像形成過程の光強度に応
じた電位パターンを形成する。そして、フィルタの色に
対応する色、好ましくはフィルタを透過する色の補色の
関係にある色の力2−トナーで現像される。
According to this process, a photoreceptor is used, in which a photoreceptor layer having photosensitivity over the entire visible light range and a plurality of color separation filters arranged in a fine linear or mosaic pattern is first subjected to image exposure. A primary latent image corresponding to the resolved image density is formed on the photosensitive layer at the bottom of each filter, and then the entire surface of the photoreceptor is exposed to light of a specific color (in the example, the same color as the filter) to filter the filter of the color. A second latent image is formed only in the second latent image, and a potential pattern corresponding to the light intensity of the first latent image forming process is formed. Then, it is developed with toner of a color corresponding to the color of the filter, preferably a color complementary to the color transmitted through the filter.

以後表面電位を平滑化するための再帯電、次の分解フィ
ルタ部での電位パターンを形成する特定光の全面露光、
該フィルタと補色の関係にあるトナーによる現像の工程
を繰り返すことにより感光体上に多色画像が形成される
。この多色ii!ii像は唯一回の転写によって記録紙
上に重ね合わせて転写されるや fjS6図[1]乃至[8]は感光層として硫化カドミ
ウムのようなn型半導体を用いた感光体の一部分を取り
出し、そこにおける像形成過程を模式的に表したもので
ある。図中11.10は第4図と同じく、それぞれ導電
性基板、感光層であり、5は前記の高抵抗の3色(I3
. G、 R)分解フィルタである。
Thereafter, recharging is performed to smooth the surface potential, and the entire surface is exposed to specific light to form a potential pattern in the next decomposition filter section.
A multicolor image is formed on the photoreceptor by repeating the development process using toner having a complementary color to that of the filter. This multicolor ii! The ii images are superimposed and transferred onto the recording paper in a single transfer.fjS6 Figures [1] to [8] show that a part of the photoconductor, which uses an n-type semiconductor such as cadmium sulfide as the photosensitive layer, is taken out and This is a schematic representation of the image formation process in . In the figure, 11 and 10 are a conductive substrate and a photosensitive layer, respectively, as in FIG.
.. G, R) are decomposition filters.

第6図中の各図の下部のグラフは感光体各部表面の電位
を示している。
The graphs at the bottom of each figure in FIG. 6 show the potential on the surface of each part of the photoreceptor.

まず帯電器14によって全面に正のコロナ放電を与える
フィルタ5表面に正の電荷を生じ、それに対応して感光
層10とフィルタ5の境界面に負の電荷が誘発されFA
6図[1]の状態となる。
First, a positive charge is generated on the surface of the filter 5 by applying a positive corona discharge to the entire surface by the charger 14, and correspondingly, a negative charge is induced at the interface between the photosensitive layer 10 and the filter 5, and the FA
The state will be as shown in Figure 6 [1].

次いで露光スリットを備えた帯電器15により交流若し
くは負の放電を与え、フィルタ5表面の電荷を消去しな
がら多色原稿からの像露光を施す。
Next, alternating current or negative discharge is applied by a charger 15 equipped with an exposure slit to erase the charges on the surface of the filter 5 while exposing the image from the multicolor original.

本発明の感光体においては、前記のように赤色、緑色、
青色の多色像露光が施されて像形成が行われるが、わか
り易くするため赤色像のみを有する原稿を例として像形
成プロセスを説明する。
In the photoreceptor of the present invention, red, green,
Image formation is performed by performing blue multicolor image exposure, but for the sake of clarity, the image formation process will be described using an original having only a red image as an example.

第6図[2]は前記赤色像からの像露光(矢印Lr)が
施された部分の状態を示す。赤色光Lrは赤色分解フィ
ルタ部5Rを通過し、その下部にある感光M10を導電
性とす°るため、フィルタS上の殆どの正電荷が消去さ
れると共に感光N10中に誘発された前記負電荷も消去
され、表面電位が@電位に近いものとなる。
FIG. 6 [2] shows the state of the portion subjected to image exposure (arrow Lr) from the red image. The red light Lr passes through the red color separation filter section 5R and makes the photosensitive layer M10 located below it conductive, so that most of the positive charges on the filter S are erased and the negative charges induced in the photosensitive layer N10 are removed. Charges are also erased, and the surface potential becomes close to the @ potential.

これに対して緑色、青色分解フィルタ部5(:、5Bは
赤色光L「を透過しないため、フィルタ5上の正電荷の
一部は消去されるが、感光NJ10巾の前記負電荷はそ
のまま残留し、かつ前記消去された一部正電荷に相当す
る電荷が導電性基板11に誘発される。このような電荷
配置においては緑色、青色分Mフィルタ部5G、5B上
の表面電位は零電位に近いものとなる。但し帯電器15
をスフロトロン帯電器としてグリッド電圧を制御するこ
とにより極性を反転させ、例えば−200V等の均一な
表面電位となるようにしてもよい。したがってフィルタ
は一次潜像としての電荷模様が内在しているが、表面電
位差が生じないためトナー像を形成することができない
9次に分解フィルタの一部にのみ電位パターンを生じさ
せる特定光、例えば光源16及び青色フィルタFIIに
よって得られた青色光(矢印LB)で全面露光を施す。
On the other hand, since the green and blue separation filter section 5 (:, 5B) does not transmit the red light L, some of the positive charges on the filter 5 are erased, but the negative charges of the photosensitive NJ10 width remain as they are. Then, charges corresponding to the partially erased positive charges are induced in the conductive substrate 11. In this charge arrangement, the surface potential on the green and blue M filter parts 5G and 5B becomes zero potential. It will be close. However, the charger 15
The polarity may be reversed by controlling the grid voltage using a Suflotron charger to obtain a uniform surface potential of, for example, -200V. Therefore, the filter has a charge pattern as a primary latent image, but a toner image cannot be formed because no surface potential difference is generated.Specific light that causes a potential pattern only in a part of the 9th order resolution filter, for example, The entire surface is exposed to blue light (arrow LB) obtained by the light source 16 and the blue filter FII.

この場合青色光L[lを透過する分解フィルタ5B下部
の感光層10の負電荷の一部と導電性基板11の正電荷
が中和されて、第6図[31のような分解フィルタ5B
の部分と、感光層10との間に正負の電荷が残留して色
分解フィルタ5上に正の表面電位が与えられる。これを
第6図[4]に示されるように負のイエロートナーTy
を担持した現像器17により現像することにより、分解
フィルタ5Bの部分イエロートナー像が形成される。こ
のイエロートナー像が形成された分解フィルタ5Bの領
域は未だ表面電位がトナーにより飽和されずに残ってい
るため、下方グ?7に示されるように、比較的に高い表
面電位が残存していて、次の工程の現像により別のトナ
ーが付着でさる余地が残されている。
In this case, part of the negative charges on the photosensitive layer 10 under the decomposition filter 5B that transmits the blue light L[l and the positive charges on the conductive substrate 11 are neutralized, and the decomposition filter 5B as shown in FIG. 6 [31] is neutralized.
Positive and negative charges remain between the portion and the photosensitive layer 10, giving a positive surface potential to the color separation filter 5. As shown in FIG. 6 [4], this is applied to the negative yellow toner Ty.
A partial yellow toner image of the separation filter 5B is formed by developing with the developing device 17 carrying the toner. In the area of the separation filter 5B where this yellow toner image was formed, the surface potential remains unsaturated by the toner, so the lower part of the filter 5B remains unsaturated. As shown in No. 7, a relatively high surface potential remains, and there is still room for another toner to adhere during the next development step.

そこでフィルタ5の表面に交流または負の直流再帯電、
好ましくはスフロトロン帯電器18による負のコロナ放
電を付与して、第6図[51下方のグラフのようなフラ
ットな表面電位の状態に復帰せしめ、第6図[2]のと
きの表面電位と等しくするとよい。
Therefore, the surface of the filter 5 is recharged with alternating current or negative direct current.
Preferably, a negative corona discharge is applied by the Suflotron charger 18 to restore the flat surface potential as shown in the lower graph of FIG. It's good to do that.

次に光a16及び緑色フィルタFCによって得られた緑
色光(矢印LG)で全面露光を施すことにより、第6図
[6]に示されるように感光層10中の負の電荷と導電
性基板11の正電荷が中和されて、フィルタ5の5Gの
領域に下方グラフの高い表面電位が得られる。これを第
6図[7]のマゼンタトナーTMを担持した現像器19
で現像することにより、5Gの領域にマゼンタトナー像
が得られる0次に再帯電後(t56図[8])、赤色フ
ィルタFRによって得られた赤色光で全面露光を施すが
、この時には電位パターンが発生せず、シアントナーT
Cによる現像は行われない、かくして前記イエロートナ
ー像とマゼンタトナー像を記録紙上に転写され、このト
ナー像を有する記録紙を定rjt3で定着すれば、記1
通紙には視覚的にイエローとマゼンタが重畳された赤色
像が視察される。
Next, by exposing the entire surface to light a16 and green light (arrow LG) obtained by the green filter FC, the negative charges in the photosensitive layer 10 and the conductive substrate 11 are removed as shown in FIG. The positive charges of are neutralized, and a high surface potential in the lower graph is obtained in the 5G region of the filter 5. The developing device 19 carrying the magenta toner TM shown in FIG. 6 [7]
A magenta toner image is obtained in the 5G region by developing with 5G. After being recharged to the 0th order (t56 diagram [8]), the entire surface is exposed to red light obtained by the red filter FR, but at this time, the potential pattern No cyan toner T
In this way, the yellow toner image and the magenta toner image are transferred onto the recording paper, and if the recording paper carrying the toner images is fixed at a constant rjt3,
As the paper passes, a red image in which yellow and magenta are visually superimposed is observed.

以上の説明は原稿が赤色像である場合について説明した
が、原稿が白、緑、青、イエロー、マゼンタ、シアンま
たは黒の画像である場合についても同様3色分解法と加
法混色3原色トナーの組み合わせにより色再現が行われ
る。第7図はかかる各色原稿を用いたときの色再現のプ
ロセスを説明する図表である。第7図中横軸は原稿の色
調を表し、縦軸は各色原稿を用いたときのトナー像形成
に至る各段階のプロセスを表している。
The above explanation is based on the case where the original is a red image, but the same applies when the original is a white, green, blue, yellow, magenta, cyan, or black image. Color reproduction is achieved through combinations. FIG. 7 is a diagram illustrating the process of color reproduction when such originals of each color are used. In FIG. 7, the horizontal axis represents the color tone of the original, and the vertical axis represents the process at each stage leading to toner image formation when each color original is used.

符号「CD」 は−次潜像形成、符号「O」は二次潜像
形成、符号「■」はトナー像形成の各段階のプロセスを
表している。また符号「↓」は上欄の状態がそのまま維
持されていることを表し、空欄は潜像形成が行われない
部分を表している。
The symbol "CD" represents the -order latent image formation, the symbol "O" represents the secondary latent image formation, and the symbol "■" represents the process of each stage of toner image formation. Further, the symbol "↓" indicates that the state in the upper column is maintained as it is, and the blank column indicates a portion where latent image formation is not performed.

なお、面記説明では感光体としてn型半導体が用いられ
ているが、セレン等のp型半導体を用いた感光体であっ
てもよく、この場合は電荷の正負符号が逆になるだけで
基本的には変わりがない。
In addition, although an n-type semiconductor is used as the photoreceptor in the description, it may also be a photoreceptor using a p-type semiconductor such as selenium, and in this case, the basic sign is reversed. There is no difference.

無論n型及びp型としても使い得る感光体ではどちらを
用いてもよい。
Of course, as long as the photoreceptor can be used as an n-type or a p-type, either type may be used.

以−1−の説明から明らかなように本発明に係る感光体
は、感光層上に絶縁性微細色フィルタを設けた感光体で
あり、さらに該感光体を用いて画像を形成方法として、
唯一回の像露光により一次潜像を形成した後、3色分解
法による全面露光を施して微細色フィルタの色別毎に二
次潜像を形成し、対応する色のトナーで現像し、かつ再
帯電する工程を繰り返して多色画像を得るようにしたも
のである。
As is clear from the explanation in -1- below, the photoreceptor according to the present invention is a photoreceptor in which an insulating fine color filter is provided on the photoreceptor layer, and a method for forming an image using the photoreceptor includes:
After a primary latent image is formed by a single image exposure, a secondary latent image is formed for each color of the fine color filter by full exposure using a three-color separation method, and is developed with toner of the corresponding color. A multicolor image is obtained by repeating the recharging process.

前記のごとく感光層中に誘発させる電荷を利用する例え
ば、NP方式が用いられるが、二回目以降の全面露光に
よる二次潜像形成に際して、先の一回目の潜像の残留に
よる弊害を除去するため再帯電が必要とされる。この再
帯電は交流または負の直流放電、好ましくはスフロトロ
ン帯電器による負のコロナ放電により行われる。
For example, the NP method is used, which utilizes charges induced in the photosensitive layer as described above, but when forming a secondary latent image by second and subsequent full-surface exposures, it eliminates the negative effects caused by the residual latent image from the first exposure. Therefore, recharging is required. This recharging is carried out by an alternating current or negative direct current discharge, preferably by a negative corona discharge using a Sufrotron charger.

なお、本発明の方法でいう「帯電」とは、帯電を行った
とき得られた表面電位が0となったり、表面の電荷が消
失するような場合も含むものである。
Note that "charging" as used in the method of the present invention includes cases in which the surface potential obtained when charging becomes 0 or the surface charge disappears.

また本発明は、−次帯電、−次帯電とは実質的に逆極性
の二次帯電、像露光の後、電位パターンの平滑化のため
の再帯電、特定光による全面露光、特定の色トナーによ
る現像を繰り返す画像形成法にも適用することができる
。(特願昭60−22952.4号)本発明における現
像は磁気ブラシ法によって行うのが好ましく、現像剤は
非磁性トナーや磁性トナーを用いるいわゆる一成分現像
削、トナーとと鉄粉等の磁性キャリアを混合した二成分
現像剤のいずれとも使用することができる。現像に当た
っては磁気ブラシで直接摺擦する方法を用いてもよいが
、待に第2の現像以後は形成されたトナー像の避けるた
め現像剤層が感光体面に接着しない現像方式であって、
現像スリーブと感光体との間隙が該スリーブ上の現像剤
層の厚さより大きく設定(但し両者間に電位差がない場
合)されている現像方式、例えば米国特許3,893,
418号明JI3、特開昭55−18656号公報、特
願昭58−57446号、特願昭58−2:11829
5号公報、特願昭58−238236号の各明ts書に
記載されているような方式を用いることが特に好ましい
。この方式においては、彩色を自由に選べる非磁性トナ
ーのみからなる一成分現像剤、非磁性トナーを含んだ二
成分現像Mを用い、現像域に交流電場を形成しグー像支
持体と現像剤層を接触せずに現像を行うものが好ましい
。但し磁性トナーを用いた現像剤であってもよい。
The present invention also provides -order charging, secondary charging with a polarity substantially opposite to the -order charge, recharging for smoothing the potential pattern after image exposure, full-surface exposure with specific light, and specific color toner. It can also be applied to an image forming method in which development is repeated. (Japanese Patent Application No. 60-22952.4) The development in the present invention is preferably carried out by a magnetic brush method, and the developer is so-called one-component development using a non-magnetic toner or a magnetic toner, or a magnetic toner such as toner and iron powder. It can be used with any two-component developer mixed with a carrier. For development, a method of direct rubbing with a magnetic brush may be used, but after the second development, in order to avoid the formed toner image, a development method is used in which the developer layer does not adhere to the photoreceptor surface,
A developing method in which the gap between the developing sleeve and the photoreceptor is set to be larger than the thickness of the developer layer on the sleeve (provided there is no potential difference between the two), for example, U.S. Pat. No. 3,893,
No. 418 Meiji JI3, Japanese Patent Application Publication No. 18656/1983, Japanese Patent Application No. 58/1974, Japanese Patent Application No. 58/1982: 11829
It is particularly preferable to use the methods described in Japanese Patent No. 5 and Japanese Patent Application No. 58-238236. In this method, a one-component developer consisting only of non-magnetic toner that can freely select the coloring, and a two-component developer M containing non-magnetic toner are used, and an alternating current electric field is formed in the development area to form a goo image support and a developer layer. It is preferable that development is carried out without contacting. However, a developer using magnetic toner may be used.

現像に用いるカラートナーは、通常トナーに用いられる
公知の粘着用樹脂、有機、無機の顔料、染料等の各種有
彩色、及び荷電制御剤などの各種の添加剤等からなる、
公知技術によって作られたグー像現像用トナーを用いる
ことがでさ、・キャリアとしては通常靜電像に用いられ
る鉄粉、フェライト粉、更に好ましくは鉄粉やフェライ
トに樹脂被覆を施したもの、あるいは+H血中に磁性体
を分散したもの等の高抵抗磁性キャリア等各種公知のキ
ャリアを用いることができる。
The color toner used for development consists of known adhesive resins commonly used in toners, various chromatic colors such as organic and inorganic pigments and dyes, and various additives such as charge control agents.
It is possible to use a toner for developing a goo image made by a known technique, and as a carrier, iron powder or ferrite powder usually used for Seiden images, more preferably iron powder or ferrite coated with a resin, or Various known carriers can be used, such as a high-resistance magnetic carrier such as one in which a magnetic substance is dispersed in +H blood.

また本件出願人が先に出願した特願昭58−24966
9号、同58−240066号各明細書に記載された現
像方法が用いられてもよい。
In addition, the applicant filed the patent application No. 58-24966 earlier.
9 and No. 58-240066 may be used.

[発明の効果1 前記により明らかなように、本発明に係る微細色フィル
タは、色材膜のエツチング処理が不要のため、既に形成
された色要素が侵食されることがないので中間層等は必
要としない。従って本発明に係るフィルタの色要素のみ
となるための透過光の減少は生じない、また本発明の電
子写真感光体によれば中間層やレジストマスクがなくて
もよいので耐熱性にも優れ、さらに色材膜が表面に沿っ
て平行に形成されるので分光特性の均一な微細色フィル
タを得ることができる。
[Effect of the invention 1] As is clear from the above, the fine color filter according to the present invention does not require etching of the coloring material film, so the already formed color elements are not eroded, so the intermediate layer etc. do not need. Therefore, there is no reduction in transmitted light due to only the color elements of the filter according to the present invention, and since the electrophotographic photoreceptor of the present invention does not require an intermediate layer or a resist mask, it has excellent heat resistance. Furthermore, since the coloring material film is formed parallel to the surface, a fine color filter with uniform spectral characteristics can be obtained.

従って上記微細色フィルタを有する本発明の電子写真感
光体を用いた画像形成に際しては、帯電と像露光後、特
定光による全面露光と現像を繰り返すことにより、濃度
ムラ、鮮鋭性あるν1は色調等について従来の感光体に
比べてよI)優れた画質の多色画像を得ることができた
Therefore, when forming an image using the electrophotographic photoreceptor of the present invention having the above-mentioned fine color filter, after charging and image exposure, repeating the entire surface exposure with specific light and development will prevent density unevenness, sharpness ν1, color tone, etc. Compared to conventional photoreceptors, it was possible to obtain multicolor images with superior image quality.

以下本発明を実施例により具体的に説明するが本発明の
実施の態様は、これにより限定されるものではない。
EXAMPLES The present invention will be specifically explained below with reference to Examples, but the embodiments of the present invention are not limited thereto.

(本発明の感光体を用いた画像形成) 第8図は本発明に係る画像形成方法により得られた前記
の感光体を用いた多色画像を複写するための多色画像形
成装置の要部断面図である。 SDは金属製ドラム上に
前記フィルム状感光体40を取り付けた感光ドラム、4
1は正の直流−次帯電器、42は像露光り用スリットを
有する負の直流コロナ放電用スコロトロン帯電器、43
Bは青色フィルタF[lを有し青色光LBを照射する光
源、44Yはイエロートナーを収容した現像器である。
(Image Formation Using Photoreceptor of the Present Invention) FIG. 8 shows essential parts of a multicolor image forming apparatus for copying a multicolor image using the photoreceptor described above obtained by the image forming method according to the present invention. FIG. SD is a photosensitive drum 4 in which the film-like photosensitive member 40 is mounted on a metal drum;
1 is a positive DC-order charger, 42 is a negative DC corona discharge scorotron charger having a slit for image exposure, 43
B is a light source that has a blue filter F[l and irradiates blue light LB, and 44Y is a developer containing yellow toner.

45は負の直流コロナ放電用スコロトロン帯電器、46
Gは緑色フィルタFCを有し緑色光Lll、を照射する
光源、47Mはマゼンタトナーを収容した現像器、48
は負の直流コロナ放電用スコロトロン帯電器、49Rは
赤色フィルタFRを有し赤色光LRを照射する光源、5
0はシアントナーを収容した現像器である。Pは記録紙
、51は転写電極、52は分離電極、53は電極背面か
ら白色光を露光しつつ除電を行う残留電荷除去用除電器
、54は残留トナー除去用クリーニングブレードである
45 is a scorotron charger for negative DC corona discharge, 46
G is a light source that has a green filter FC and emits green light Lll; 47M is a developer containing magenta toner; 48
5 is a scorotron charger for negative DC corona discharge; 49R is a light source that has a red filter FR and emits red light LR;
0 is a developing device containing cyan toner. P is a recording paper, 51 is a transfer electrode, 52 is a separation electrode, 53 is a static eliminator for removing residual charges that removes static electricity while exposing the back side of the electrode to white light, and 54 is a cleaning blade for removing residual toner.

前記纏成の感光体40にまず帯電器41により一様な正
の帯電を施し、次いでコロナ放電用スコロトロン帯電器
42を作用させると同時に青、緑、赤の3原色原稿から
の像露光りを走査露光する。感光体40上には複合フィ
ルタの各色分解フィルタ別に原稿からの像露光の強度に
対応した一次潜像が形成される。次に青色フィルタFr
lを備えた白色光源43Bによる全面露光L8を施し、
青色分IIIFフィルタの領域に前記−次潜像に対応し
た静電荷像を形成し、これをイエロー現像器44Yでイ
エロー現像する。次に負のスフロトロン?i?電器45
により前記青色分解フィルタの領域に残存するグー荷像
を消去した後縁色フィルタFCを備えた白色光源46G
による全面露光LGを施し、マゼンタ現像器47Nでマ
ゼンタ現イ衾する。
First, the assembled photoreceptor 40 is uniformly positively charged by a charger 41, and then a scorotron charger 42 for corona discharge is applied, and at the same time image exposure from the three primary color originals of blue, green, and red is performed. Perform scanning exposure. A primary latent image corresponding to the intensity of image exposure from the original is formed on the photoreceptor 40 for each color separation filter of the composite filter. Next, the blue filter Fr
The entire surface is exposed L8 by a white light source 43B equipped with
An electrostatic charge image corresponding to the second-order latent image is formed in the region of the blue color IIIF filter, and this is developed into yellow by a yellow developing device 44Y. Next is the negative suflotron? i? Electric appliances 45
A white light source 46G equipped with a trailing edge color filter FC that erases a goo image remaining in the area of the blue separation filter by
The entire surface is exposed LG using the following method, and magenta development is carried out using a magenta developing device 47N.

次に負のスフロトロン帯電器48により残存するグー像
を消去した後、赤色フィルタFltを備えた白色光源4
9Rによる全面露光LRを施し、シアン現像器50でシ
アン現像する。かくして感光体上には原稿に対応した多
色トナー像が形成され、次いでタイミングを合わせて給
紙された記録紙Pに転写71を極51の作用で転写され
、かつ分離電極52の作用で分離された後図示しない定
着器により定着される。
Next, after erasing the remaining goo image with a negative suflotron charger 48, a white light source 4 equipped with a red filter Flt
Full-surface exposure LR is performed using 9R, and cyan development is performed using a cyan developer 50. In this way, a multicolor toner image corresponding to the original is formed on the photoconductor, and then the transfer 71 is transferred to the recording paper P fed at the same timing by the action of the pole 51, and separated by the action of the separation electrode 52. After that, the image is fixed by a fixing device (not shown).

一方転写後の感光体40は除電器53により除電された
後、クリーニングブレード54により残留トナーが清掃
され次の像形成に備えられる。
On the other hand, after the transfer, the photoreceptor 40 is neutralized by a static eliminator 53, and then residual toner is cleaned by a cleaning blade 54, and the photoreceptor 40 is prepared for the next image formation.

以上の説明はすべていわゆる3色分Mフィルタと3原色
トナーを用いたカラー複写機の実施例について述べたが
、本発明の実施態様はこれに限定されるものではなく、
各種の多色画像記録装置、カラー写真プリンタ等広く使
用することができる。
All of the above explanations have been made regarding embodiments of a color copying machine using so-called three-color M filters and three primary color toners, but the embodiments of the present invention are not limited to this.
It can be widely used in various multicolor image recording devices, color photo printers, etc.

分解フィルタの色、及びそれに対応するトナーの色の組
み合わせも目的に応じて任意に選択でさることはいうま
でもない。
It goes without saying that the color of the separation filter and the combination of the corresponding toner color can be arbitrarily selected depending on the purpose.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図、第2図、第3図は、本発明の電子写真感光体に
用いる微細色フィルタの製造工程の一実施例を示すフィ
ルタの断面図、第4図は、上記の微細色フィルタを有す
る電子写真感光体の構成を示す断面図、#IJ5図は前
記微細色フィルタの形状、配列を示す概略構成図、第6
図は色g、稿からの像形成プロセスを説明する図、第7
図は各種着色原稿からの像形成プロセスを説明する図表
、第8図は、本発明による感光体を用いた多色画像形成
装置の要部断面図である。 1・・・透明基板  5・・・色フィルタ層9・・・接
着WJ’to・・・感光層 11・・・導電性基板 出願人 小西六写真工業株式会社 第1 第2図 第2図 第3図 第5図 ヒノ・→ 第6 い]
1, 2, and 3 are cross-sectional views of a filter showing an example of the manufacturing process of the fine color filter used in the electrophotographic photoreceptor of the present invention, and FIG. Figure #IJ5 is a cross-sectional view showing the configuration of the electrophotographic photoreceptor having
The figure is color g, a diagram explaining the process of forming an image from a manuscript, number 7.
The figure is a diagram illustrating the process of forming images from various colored originals, and FIG. 8 is a sectional view of essential parts of a multicolor image forming apparatus using a photoreceptor according to the present invention. 1... Transparent substrate 5... Color filter layer 9... Adhesion WJ'to... Photosensitive layer 11... Conductive substrate Applicant Konishi Roku Photo Industry Co., Ltd. No. 1 Fig. 2 Fig. 2 Figure 3 Figure 5 Hino → No. 6]

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1)基板上に製膜後除去可能な無機物よりなる膜および
脂肪族炭化水素類に溶解できる樹脂膜を、それぞれを形
成する工程と、これらの被膜の最上層の表面に対して像
様露光を施し、露光パターンに応じて最上層膜を除去し
てレリーフ像を形成する工程と、これにより形成された
基板上にあらかじめ積層してある露出した色素膜を除去
するか、露光パターン部に色素膜を施すことにより所望
の形状の色素膜が形成された微細色フィルタを感光層あ
るいは透明支持体上に有することを特徴とする電子写真
感光体。 2)基板上に色素膜を形成する工程、該表面に無機物よ
りなる膜および脂肪族炭化水素類に溶解する樹脂膜を形
成する工程と、最上層の樹脂膜に像様露光を施し、露光
パターンによるレジスト像を下層膜に転写して、露出し
た色素膜を除去する工程とにより微細色フィルタを感光
層および透明支持体上に形成した特許請求の範囲第1項
記載の電子写真感光体。 3)基板上に脂肪族炭化水素で溶解する樹脂を形成する
工程、この上に無機物よりなる膜を形成し、最上層にフ
ォトレジスト層を形成する工程と、このレジスト層に像
様露光し、レジストパターンを形成する工程、該パター
ンを下層膜に転写して、基板を露出し、該露出部分に色
素膜を形成する工程とによる微細色フィルタを感光層お
よび透明支持体上に有する特許請求の範囲第1〜2項の
いずれか1項記載の電子写真感光体。 4)基板上に製膜後除去可能な無機物よりなる膜および
脂肪族炭化水素類に溶解できる樹脂膜をそれぞれを形成
する工程と、これらの被膜の最上層の表面に対して像様
露光を施し、脂肪族炭化水素類現像液を用いて露光パタ
ーンに応じて樹脂膜を除去、および無機物の膜を除去す
る工程とにより形成された露光パターンにより、基板上
にあらかじめ積層してある露出した色素膜を除去するか
、露光パターン部に色素膜を施すことにより所望の形状
の色素膜が形成された微細色フィルタを感光層あるいは
透明支持体上に有する電子写真感光体を用いて、前記感
光体に対して、帯電と像様露光後、特定光による全面露
光と複数の現像工程を繰り返して、前記感光体上に多色
画像を形成することを特徴とする画像形成方法。
[Claims] 1) A step of forming on a substrate a film made of an inorganic material that can be removed after film formation and a resin film that can be dissolved in aliphatic hydrocarbons, and a step of forming a film made of an inorganic material that can be removed after film formation and a resin film that can be dissolved in aliphatic hydrocarbons, and applying a film on the surface of the top layer of these films. A step of performing imagewise exposure on the surface and removing the uppermost layer film according to the exposure pattern to form a relief image, and removing the exposed dye film previously laminated on the formed substrate, An electrophotographic photoreceptor comprising, on a photosensitive layer or a transparent support, a fine color filter in which a dye film of a desired shape is formed by applying a dye film to an exposed pattern area. 2) A step of forming a dye film on the substrate, a step of forming a film made of an inorganic material and a resin film soluble in aliphatic hydrocarbons on the surface, and performing imagewise exposure on the uppermost resin film to form an exposure pattern. 2. The electrophotographic photoreceptor according to claim 1, wherein a fine color filter is formed on the photosensitive layer and the transparent support by a step of transferring a resist image according to the above method to a lower layer film and removing the exposed dye film. 3) A step of forming a resin that is soluble in aliphatic hydrocarbons on a substrate, forming a film made of an inorganic substance on this, forming a photoresist layer as the top layer, and imagewise exposing this resist layer, A patent claim having a fine color filter formed on a photosensitive layer and a transparent support by forming a resist pattern, transferring the pattern to a lower layer film, exposing the substrate, and forming a dye film on the exposed portion. The electrophotographic photoreceptor according to any one of the ranges 1 to 2. 4) Forming a film made of an inorganic material that can be removed after film formation and a resin film that can be dissolved in aliphatic hydrocarbons on a substrate, and performing imagewise exposure on the surface of the top layer of these films. , removing the resin film according to the exposure pattern using an aliphatic hydrocarbon developer and removing the inorganic film. Using an electrophotographic photoreceptor having, on a photosensitive layer or a transparent support, a fine color filter on which a dye film of a desired shape is formed by removing or applying a dye film to the exposed pattern area, On the other hand, an image forming method is characterized in that after charging and imagewise exposure, a multicolor image is formed on the photoreceptor by repeating whole-surface exposure with specific light and a plurality of development steps.
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