JPS6394960U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の第１の実施例におけるスパツ
タ用ターゲツトの分解斜視図、第２図は同ターゲ
ツトの組立状態の第１図のＪＫＬ断面図、第３図
、第４図は同ターゲツトの組立方法を示す断面図
、第５図は本考案の第２の実施例におけるスパツ
タ用ターゲツトの組立状態の断面図、第６図は同
他の実施例の要部拡大断面図、第７図は同ターゲ
ツトに用いるスナツプリングの他の実施例の説明
図、第８図、第９図、第１０図は同他の実施例の
部分断面図、第１１図、第１２図、第１３図はタ
ーゲツトと基板の位置関係の説明図、第１４図は
従来例におけるスパツタ用ターゲツトの斜視断面
図、第１５図、第１６図は第１４図の要部拡大図
である。 ２０……ターゲツト、２１……パツキングプレ
ート、２３……第１のターゲツト部材、２４……
環状の凹部、２５……第２のターゲツト部材、２
７……第１の溝、２９……第２の溝、３０……ス
ナツプリング。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 円形の凹部と該凹部の円周面に沿つて形成
   された第１の溝とを有する部材であつて、少なく
   とも前記円形の凹部が形成される前記部材の表層
   部は第１の成分で構成された第１のターゲツト部
   材と、前記円形の凹部に嵌合する外形部と前記第
   １の溝に対向して前記外形部に形成した第２の溝
   とを有する部材であつて第２の成分から構成され
   た第２のターゲツト部材と、前記第１の溝と第２
   の溝にまたがつて係合する略Ｃ形の輪状の弾性部
   材とを具備してなるスパツタ用ターゲツト。 (2) 第１の溝を、弾性部材がこの弾性部材の持
   つ弾性により前記第１の溝を押圧する際、前記弾
   性部材が円形の凹部の底の方向に向つて分力を受
   ける向きに前記弾性部材との接触面をテーパ面に
   形成した溝としてなる実用新案登録請求の範囲第
   １項記載のスパツタ用ターゲツト。 (3) 弾性部材を、この弾性部材が第１の溝と第
   ２の溝にまたがつて係合する際、前記弾性部材が
   円形の凹部の底の方向に向つて第１の溝から押圧
   力を受ける向きに反りを設けた形状としてなる実
   用新案登録請求の範囲第１項記載のスパツタ用タ
   ーゲツト。