JPS6394959U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6394959U JPS6394959U JP18704786U JP18704786U JPS6394959U JP S6394959 U JPS6394959 U JP S6394959U JP 18704786 U JP18704786 U JP 18704786U JP 18704786 U JP18704786 U JP 18704786U JP S6394959 U JPS6394959 U JP S6394959U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- target
- sputtering
- hole
- protrusion
- target body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005477 sputtering target Methods 0.000 claims description 6
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims 2
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案の第１の実施例におけるスパツ
タリング用ターゲツトの断面図、第２図は本考案
の第２の実施例におけるスパツタリング用ターゲ
ツトの平面図、第３図は同断面図、第４図、第５
図、第６図はターゲツトと基板の位置関係を説明
するための図、第７図は従来例におけるスパツタ
リング用ターゲツトの斜視断面図、第８図、第９
図は第７図の要部拡大断面図である。 １８……ターゲツト、１９……バツキングプレ
ート、２０……ロウ、２１……第１のターゲツト
部材、２１ａ……ツメ、２２……第２のターゲツ
ト部材、２２ａ……孔。
タリング用ターゲツトの断面図、第２図は本考案
の第２の実施例におけるスパツタリング用ターゲ
ツトの平面図、第３図は同断面図、第４図、第５
図、第６図はターゲツトと基板の位置関係を説明
するための図、第７図は従来例におけるスパツタ
リング用ターゲツトの斜視断面図、第８図、第９
図は第７図の要部拡大断面図である。 １８……ターゲツト、１９……バツキングプレ
ート、２０……ロウ、２１……第１のターゲツト
部材、２１ａ……ツメ、２２……第２のターゲツ
ト部材、２２ａ……孔。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 第一の成分から成るターゲツト本体に少な
くとも１個の孔を形成し、前記孔の径方向に弾性
変形自在な突起を、少なくとも１個具備した第二
の成分からなるターゲツト部材を、前記突起を前
記孔に弾性係合せしめて前記ターゲツト本体に密
着固定するよう構成したスパツタリング用ターゲ
ツト。 (2) ターゲツト本体に固定されるターゲツト部
材が、前記ターゲツト本体に形成された凹溝に緩
装され、前記弾性変形自在な突起により固定され
た実用新案登録請求の範囲第１項記載のスパツタ
リング用ターゲツト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18704786U JPS6394959U (ja) | 1986-12-04 | 1986-12-04 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18704786U JPS6394959U (ja) | 1986-12-04 | 1986-12-04 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6394959U true JPS6394959U (ja) | 1988-06-18 |
Family
ID=31137164
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18704786U Pending JPS6394959U (ja) | 1986-12-04 | 1986-12-04 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6394959U (ja) |
-
1986
- 1986-12-04 JP JP18704786U patent/JPS6394959U/ja active Pending