JPS6393117A - Carrier plate drying machine - Google Patents
Carrier plate drying machineInfo
- Publication number
- JPS6393117A JPS6393117A JP23879586A JP23879586A JPS6393117A JP S6393117 A JPS6393117 A JP S6393117A JP 23879586 A JP23879586 A JP 23879586A JP 23879586 A JP23879586 A JP 23879586A JP S6393117 A JPS6393117 A JP S6393117A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carrier plate
- rotary table
- plate
- splash
- net
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野廖
本発明は、研摩後のウェーハを貼り付けたキャリアプレ
ートの水切り乾燥を行なうキャリアプレートの乾燥機に
関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a carrier plate dryer for draining and drying a carrier plate to which a polished wafer is attached.
「従来の技術」
従来、研摩後のウェーハを貼り付けたキャリアプレート
の水切り乾燥を行なう装置としては、該キャリアプレー
トを回転テーブル上に載置して高速回転させ、キャリア
プレートから水滴を外方に跳ね飛ばす遠心乾燥機か用い
られている。``Prior Art'' Conventionally, a device for draining and drying a carrier plate to which a polished wafer is attached is a device that places the carrier plate on a rotary table and rotates it at high speed to remove water droplets from the carrier plate. A splash centrifugal dryer is used.
「発明が解決しようとする問題点」
しかしながら、上記従来の遠心乾燥機にあっては、キャ
リアプレートか高速回転した場合に、キャリアプレート
から外方にはイ〕飛ばされた水滴が、回転テーブルの外
方に設けられた容器の周壁に当ｆこって跳ね返り、再び
キャリアプレート上に付着して、十分に水切り乾燥かで
きないという問題がある。``Problems to be Solved by the Invention'' However, in the conventional centrifugal dryer described above, when the carrier plate rotates at high speed, water droplets blown outward from the carrier plate are There is a problem in that the particles bounce off the peripheral wall of the outer container and adhere to the carrier plate again, making it impossible to drain and dry them thoroughly.
本発明は、上記事情に鑑みてなされｌこ乙ので、その目
的とするところは、キャリアプレートから跳ね飛ばさイ
また水滴が再ひキャリアプレートに付着ずろのを防止で
き、円滑に水切り乾燥を行なうごとができるキャリアプ
レートの乾燥機を提供ずろことにある。The present invention has been made in view of the above circumstances, and its purpose is to prevent water droplets from being splashed off the carrier plate, prevent water droplets from re-adhering to the carrier plate, and to smoothly drain and dry the water. We would like to provide a carrier plate dryer that can be used for drying.
「問題点を解決ずろためυ）手段」
上記目的を達成するために、本発明は、キャリアプレー
トを載置して回転させる回転テーブルの外方に、該回転
テーブルを囲繞して、跳ね返り防止網を配置しｌこ乙の
である。"Means for solving the problem υ)" In order to achieve the above object, the present invention surrounds the rotary table on the outside of the rotary table on which the carrier plate is placed and rotates, and provides an anti-rebound net. This is where you place it.
「作用Ｊ
本発明のキャリアプレートの乾燥機にあっては、キャリ
アプレートを載置した回転テーブルを高速回転して、キ
ャリアプレートに付着した水滴を外方に跳ね飛ばすと共
に、回転プレートの外方に配置した跳ね返り防止網によ
って、上記水滴を捕捉して再びキャリアプレートに該水
滴が付着するのを防止する。"Function J" In the carrier plate dryer of the present invention, the rotary table on which the carrier plate is mounted is rotated at high speed to splash water droplets adhering to the carrier plate outward and The disposed anti-reflection net captures the water droplets and prevents them from adhering to the carrier plate again.
［実施例」
以丁、第１図と第２図に仄づいて本発明の一実施例を説
明する。[Embodiment] An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 and 2.
図中符号１は、箱状の容器であり、この容器Ｉの底部１
ａを貫通して該底部１ａに回転機構２が設（さｖされ、
かつ回転機（Ｉ■２の回転軸には、回転テーブル３が装
置されている。そして、この回転テーブル３は、研摩後
のウェーハを貼り付けたキャリアプレートを載置して回
転させるものであり、その外周部にあ、等間隔に４箇所
に半円状の切欠部３ａが形成されていると共に、上記外
周部の、上記各切欠部３ａに隣接する部位に、それぞれ
８側の突起３ｂが形成されている。また、上記容器Ｉの
一端上部に上下方向に回動自在に取付けた支持アーム４
には、中央部に穴５ａを有する薄い円盤状の水切りプレ
ート５が固定されている。そして、この水切りプレート
５は、水平状態を維持することにより、上記回転テーブ
ル３の」二方に所定間隔離間して配置されるようになっ
ている。さらに、上記木毛状態の水切りプレート５の上
面に装置の外部から清浄な気体を供給する送風管６が、
上記容器１の底部１ａを貫通した状態で、かつ水平方向
に回動自在に容器１に取付けられている。そして、上記
容器ｌの底部１ａには、水回収用のポース７か連結され
ている。さらにまた、上記容器Ｉ内の、上記回転テーブ
ル３と側壁１ｂとの間には、円筒状のナイロン網（跳ね
返り防止網）８か配置されている。Reference numeral 1 in the figure is a box-shaped container, and the bottom 1 of this container I is
A rotation mechanism 2 is provided (spanned) in the bottom portion 1a by penetrating through the bottom portion 1a.
A rotary table 3 is installed on the rotary shaft of the rotary machine (I2).The rotary table 3 is used to rotate a carrier plate on which a polished wafer is attached. , semicircular notches 3a are formed at four equally spaced locations on the outer periphery, and eight protrusions 3b are formed on the outer periphery adjacent to each of the notches 3a. In addition, a support arm 4 is attached to the upper part of one end of the container I so as to be rotatable in the vertical direction.
A thin disc-shaped draining plate 5 having a hole 5a in the center is fixed to the. The draining plate 5 is placed on two sides of the rotary table 3 with a predetermined distance between them by maintaining a horizontal state. Furthermore, a blower pipe 6 supplies clean gas from the outside of the device to the top surface of the draining plate 5 in the state of wood wool.
It penetrates the bottom 1a of the container 1 and is attached to the container 1 so as to be freely rotatable in the horizontal direction. A port 7 for water recovery is connected to the bottom 1a of the container 1. Furthermore, within the container I, a cylindrical nylon net (splash prevention net) 8 is arranged between the rotary table 3 and the side wall 1b.
上記のように構成された乾燥機において、キャリアプレ
ートの水切り乾燥を行なう場合には、まず、支持アーム
４を上方に回動さ仕て、水切りプレート５を起立させる
と共に、送風管６を水平方向に回動させて、回転テーブ
ル３上から離脱さけた状態において、回転テーブル３上
に、乾燥させるためのキャリアプレートを載置する。次
いで、水切りプレート５を倒した後に、送風管６を回動
させて、水切りプし・−ト５の上方に位置させる。In the dryer configured as described above, when draining and drying the carrier plate, first rotate the support arm 4 upward to make the draining plate 5 stand up, and move the air pipe 6 in the horizontal direction. A carrier plate for drying is placed on the rotary table 3 in a state in which the carrier plate is rotated to avoid being removed from the rotary table 3. Next, after the draining plate 5 is folded down, the blower pipe 6 is rotated to be positioned above the draining plate 5.
そして、回転機構２によって回転テーブル３を回転さＵ
ろと共に、送風管６によって水切りプレー ｈ ５ Ｊ
〕に空気を供給する。この場合、回転テーブル３０回転
によって、水切りプレート５の中央部の穴５ａがら空気
が吸い込まれ、しから送風管６によ−）で強制的に水切
りプレー１−５の穴５ａに老′へが供給されるから、回
転テーブル３上においζ：」、その中央部から外周部に
向かって流れろ層流か形成され、キャリアプレー１・に
付ｎしていた水が円滑に＋滴となってキャリアプレート
から離れ、この離れた水滴は、再びキャリアプレートに
付着することなく、キャリアプレートの外方に確実に飛
ばされるっ
さらに、このギヤリアプレートから飛ばされた水油は、
ナイロン網８に捕捉されて、集められて容２：；ｌの底
部１ａのポース７を介して円滑に排出され、従来のよう
に、容２１） １の側壁１１）等に衝突することにより
、跳ね返って再びキャリアプレートに付着するようなこ
とかない。Then, the rotation table 3 is rotated by the rotation mechanism 2.
Along with the filter, drain the water using the air pipe 6 h 5 J
) to supply air. In this case, by rotating the rotary table 30 times, air is sucked in through the hole 5a in the center of the drain plate 5, and the air is forced into the hole 5a of the drain plate 1-5 through the air pipe 6. As the water is supplied, a laminar flow is formed on the rotary table 3, flowing from the center toward the outer periphery, and the water that was attached to the carrier play 1 smoothly turns into droplets and flows onto the carrier. The water droplets that have separated from the plate are reliably blown to the outside of the carrier plate without adhering to the carrier plate again.Furthermore, the water and oil blown off from the gear rear plate are
It is captured by the nylon net 8, collected, and smoothly discharged through the port 7 of the bottom 1a of the container 2:1, and collides with the side wall 11) of the container 21), etc., as in the conventional case. It will not bounce back and stick to the carrier plate again.
「発明の効果」
以上説明したように、本発明によれば、キャリアプレー
トを載置して回転させる回転テーブルの外方に、該回転
テーブルを囲繞して、跳ね返り防Ｉｌ：網を配置した乙
のでｇ５ろから、回転テーブルの高速回転により、キャ
リアプレー１・から飛ばさ、イ〕た水滴が、跳ね返り防
止網によって捕捉さイすることにより、再びキャリアプ
レートに何首することがなく、円滑に水切り乾燥を行な
うことができろという効果を何する。"Effects of the Invention" As explained above, according to the present invention, a ricochet prevention net is arranged outside the rotary table on which the carrier plate is placed and rotated, surrounding the rotary table. Therefore, due to the high-speed rotation of the rotary table, the water droplets blown away from the carrier plate 1 are captured by the splash prevention net, so that they do not hit the carrier plate again and drain smoothly. What is the effect of being able to dry?
第１図と第２図は本発明の一実施例を示す乙ので、第１
図は正面図、第２図は平面図である。
１・・・・・・容器、３・・・・・・回転テーブル、５
・・・・・・水切りプレート、８・・・・・・ナイロン
網（跳ね返り防止網）。Since Figures 1 and 2 show one embodiment of the present invention,
The figure is a front view, and FIG. 2 is a plan view. 1...container, 3...rotary table, 5
...Draining plate, 8...Nylon net (splash prevention net).
Claims (1)
、この回転テーブルに対向して配置された水切りプレー
トとを容器内に備えたキャリアプレートの乾燥機におい
て、上記回転テーブルの外方に、この回転テーブルを囲
繞して、跳ね返り防止網を配置したことを特徴とするキ
ャリアプレートの乾燥機。In a carrier plate dryer that is equipped with a rotary table on which a carrier plate is placed and rotated, and a draining plate placed opposite to the rotary table in a container, the rotary table is placed outside the rotary table. A carrier plate dryer characterized in that a rebound prevention net is placed surrounding the carrier plate.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23879586A JPS6393117A (en) | 1986-10-07 | 1986-10-07 | Carrier plate drying machine |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23879586A JPS6393117A (en) | 1986-10-07 | 1986-10-07 | Carrier plate drying machine |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6393117A true JPS6393117A (en) | 1988-04-23 |
Family
ID=17035394
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23879586A Pending JPS6393117A (en) | 1986-10-07 | 1986-10-07 | Carrier plate drying machine |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6393117A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015023205A (en) * | 2013-07-22 | 2015-02-02 | 株式会社ディスコ | Washing apparatus |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4918613U (en) * | 1972-05-22 | 1974-02-16 | ||
| JPS4918614U (en) * | 1972-05-20 | 1974-02-16 | ||
| JPS6064436A (en) * | 1983-09-19 | 1985-04-13 | Fujitsu Ltd | Spin drier |
-
1986
- 1986-10-07 JP JP23879586A patent/JPS6393117A/en active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4918614U (en) * | 1972-05-20 | 1974-02-16 | ||
| JPS4918613U (en) * | 1972-05-22 | 1974-02-16 | ||
| JPS6064436A (en) * | 1983-09-19 | 1985-04-13 | Fujitsu Ltd | Spin drier |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015023205A (en) * | 2013-07-22 | 2015-02-02 | 株式会社ディスコ | Washing apparatus |
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