JPS639214U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS639214U JPS639214U JP10410686U JP10410686U JPS639214U JP S639214 U JPS639214 U JP S639214U JP 10410686 U JP10410686 U JP 10410686U JP 10410686 U JP10410686 U JP 10410686U JP S639214 U JPS639214 U JP S639214U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dust
- dust removal
- vacuum cleaner
- control valve
- recovering
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims description 6
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 claims description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Separating Particles In Gases By Inertia (AREA)
- Separation Of Particles Using Liquids (AREA)
Description
第１図は本考案装置の全体構造を例示する斜視
図であり、第２図Ａは湿式除塵装置を具えた掃除
機の平面図、第２図Ｂはその正面図である。また
、第３図はデイスパージヨンヘツドの略示正面図
である。 ３５……デイスパージヨンヘツド、３６ａ，３
６ｂ……コントロールバルブ、３７ａ，３７ｂ…
…分岐管、３８……掃除機、３９……湿式除塵装
置。
図であり、第２図Ａは湿式除塵装置を具えた掃除
機の平面図、第２図Ｂはその正面図である。また
、第３図はデイスパージヨンヘツドの略示正面図
である。 ３５……デイスパージヨンヘツド、３６ａ，３
６ｂ……コントロールバルブ、３７ａ，３７ｂ…
…分岐管、３８……掃除機、３９……湿式除塵装
置。
Claims (1)
- 微粉末状のダストを含んだ空気の吸引装置と吸
引された空気中から前記ダストを分離回収する湿
式除塵装置とを具えた掃除機と、デイスパージヨ
ンヘツドの排気管とを、コントロールバルブ付き
の分岐管で接続し、イン・プロセス方式のダスト
除去機構を構成したことを特徴とする半導体製造
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986104106U JPH059061Y2 (ja) | 1986-07-07 | 1986-07-07 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986104106U JPH059061Y2 (ja) | 1986-07-07 | 1986-07-07 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS639214U true JPS639214U (ja) | 1988-01-21 |
| JPH059061Y2 JPH059061Y2 (ja) | 1993-03-05 |
Family
ID=30977291
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986104106U Expired - Lifetime JPH059061Y2 (ja) | 1986-07-07 | 1986-07-07 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH059061Y2 (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50577U (ja) * | 1973-05-01 | 1975-01-07 | ||
| JPS60136722U (ja) * | 1984-02-24 | 1985-09-11 | ゼムコインタナシヨナル株式会社 | 集塵機 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50577B2 (ja) * | 1972-09-25 | 1975-01-10 |
-
1986
- 1986-07-07 JP JP1986104106U patent/JPH059061Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50577U (ja) * | 1973-05-01 | 1975-01-07 | ||
| JPS60136722U (ja) * | 1984-02-24 | 1985-09-11 | ゼムコインタナシヨナル株式会社 | 集塵機 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH059061Y2 (ja) | 1993-03-05 |