JPS639128U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS639128U JPS639128U JP10190186U JP10190186U JPS639128U JP S639128 U JPS639128 U JP S639128U JP 10190186 U JP10190186 U JP 10190186U JP 10190186 U JP10190186 U JP 10190186U JP S639128 U JPS639128 U JP S639128U
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- JP
- Japan
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- light
- illumination light
- illumination
- storage battery
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- Pending
Links
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本考案の露光装置の一実施例を示す図
である。 １……照明光学系、３……投影レンズ、１０…
…光源、１２……コールドミラー、２１……太陽
電池、２２……蓄電池、２５……モニター装置。
である。 １……照明光学系、３……投影レンズ、１０…
…光源、１２……コールドミラー、２１……太陽
電池、２２……蓄電池、２５……モニター装置。
Claims (1)
- 原版上のパターンを被露光体に転写するために
所定波長の光で上記原版を照明する照明光学系中
に光源からの光を波長の違いにより照明光と非照
明光に分離する光分離器を配置し、この光分離器
からの非照明光を光電変換した電気エネルギーを
蓄電池に蓄え、この蓄電池を電源として装置機能
の少なくとも一部を作動するようなしたことを特
徴とする露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10190186U JPS639128U (ja) | 1986-07-02 | 1986-07-02 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10190186U JPS639128U (ja) | 1986-07-02 | 1986-07-02 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS639128U true JPS639128U (ja) | 1988-01-21 |
Family
ID=30973057
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10190186U Pending JPS639128U (ja) | 1986-07-02 | 1986-07-02 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS639128U (ja) |
-
1986
- 1986-07-02 JP JP10190186U patent/JPS639128U/ja active Pending
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