JPS6381472A - 感光体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 崖朶上Ω利■分野 本発明は、電荷発生層と電荷輸送層とを有する感光体に
関する。

従来技術 カールソン法の発明以来、電子写真の応用分野は著しい
発展を続け、電子写真用感光体にも様々な材料が開発さ
れ実用化きれてきた。

従来用いられて来た電子写真感光体材料の主なものとし
ては、非晶質セレン、セレン砒素、セレンテルル、硫化
カドミウム、酸化亜鉛、アモルファスシリコン等の無機
物質、ポリビニルカルバゾール、金属フタロシアニン、
ジスアゾ顔料、トリスアゾ顔料、ペリレン顔料、トリフ
ェニルメタン化合物、トリフェニルアミン化合物、ヒド
ラゾン化合物、スチリル化合物、ピラゾリン化合物、オ
キサゾール化合物、オキサジアゾール化合物、等の有機
物質が挙げられる。また、その構成形態としては、これ
らの物質を単体で用いる単層型構成、結着材中に分散き
せて用いるバインダー型構成、機能別に電荷発生層と電
荷輸送層とを設ける積層型構成等が挙げられる。

しかしながら、従来用いられて来た電子写真感光体材料
にはそれぞれ欠点があった。その一つとして人体への有
害性が挙げられるが、前述したアモルファスシリコンを
除く無機物質においては、何れも好ましくない性質を持
つものであった。また、電子写真感光体が実際に複写機
内で用いられるためには、帯電、露光、現像、転写、除
電、清掃等の苛酷な環境条件に＠された場合においても
、常に安定な性能を維持している必要があるが、前述し
た有機物質においては、何れも耐久性に乏しく、性能面
での不安定要素が多かった。

このような欠点を解消すべく、近年、有害性を改善し耐
久性に富んだ材料として、グロー放電法により生成され
るアモルファスシリコンの電子写真感光体への応用が進
んで来ている。しかし、アモルファスシリコンは、原料
としてシランガスを多量に必要とする反面、高価なガス
であることから、出来上がった電子写真感光体も従来の
感光体に比べ大幅に高価なものとなる。また、成膜速度
が遅く、成膜時間の増大に伴い爆発性を有するシラン未
分解生成物を粉塵状に発生する等、生産上の不都合も多
い。また、この粉塵が製造時に感光層中に混入した場合
には、画像品質に著しく悪影響を及ぼす。ざらに、アモ
ルファスシリコンは、元来、比誘電率が高いため帯電性
能が低く、複写機内で所定の表面電位に帯電するために
は膜厚を厚くする必要があり、高価なアモルファスシリ
コン膜を長時間堆積きせなくてはならない。

ところでアモルファスカーボン膜自体は、プラズマ有機
重合膜として古くより知られており、例えばジエン（Ｍ
、５ｈｅｎ）及びベル（Ａ、Ｔ。

Ｂｅ１ｌ）により、１９７３年発行ののジャーナル・オ
ブ・アプライド・ポリマー・サイエンス（Ｊｏｕｒｎａ
ｌ　　ｏｆ　　Ａｐｐｌｉｅｄ　　Ｐ。

ｌｙｍｅｒ　　５ｃｉｅｎｃｅ）第１７巻の第８８５頁
乃至第８９２頁において、あらゆる有機化合物のガスか
ら作製きれ得る事が、また、同著者により、１９７９年
のアメリカンケミカルソサエティー（Ａｍｅｒｉｃａｎ
　　ＣｈｅｍｉｃａｌＳｏｃｉｅｔｙ）発行によるプラ
ズマボリマライゼーション（Ｐｌａｓｍａ　　Ｐｏｌｙ
ｍｅｒｉｚａｔｉｏｎ）の中でもその成膜性が論じられ
ている。

しかしながら従来の方法で作製したプラズマ有機重合膜
は絶縁性を前提とした用途に限って用いられ、即ちそれ
らの膜は通常のポリエチレン膜の如＜１０”Ωｃｍ程度
の比抵抗を有する絶縁膜と考えられ、或は、少なくとも
そのような膜であるとの認識のもとに用いられていた。

実際に電子写真感光体への用途にしても同様の認識から
、保護層、接着層、ブロッキング層もしくは絶縁層に限
られており、所謂アンダーコート層もしくはオーバーコ
ート層としてしか用いられていなかった。

例えば、特開昭５９−２８１６１号公報には、基板上に
ブロッキング層及び接着層としてプラズマ重合された網
目構造を有する高分子層巻設け、その上にアモルファス
シリコン層を設けた感光体が開示きれている。特開昭５
９−３８７５３号公報には、基板上にブロッキング層及
び接着層として酸素と窒素と炭化水素の混合ガスから生
成される１０１３〜１０１５ΩＣｍの高抵抗のプラズマ
重合膜を１０人〜１００人設けた上にアモルファスシリ
コン層を設けた感光体が開示されている。特開昭５９−
１３６７４２号公報には、アルミ基板上に設けたアモル
ファスシリコン層内へ光照射時にアルミ原子が拡散する
のを防止するための保護層として１〜５μｍ程度の炭素
膜を基板表面に形成せしめた感光体が開示きれている。

特開昭６０−６３５４１号公報には、アルミ基板とその
上に設けたアモルファスシリコン層との接着性を改善す
るために、接着層として２００人〜２μｍのダイヤモン
ド状炭素膜を中間に設けた感光体が開示きれ、残留電荷
の面から膜厚は２μｍ以下が好ましいとされている。

これらの開示は、何れも基板とアモルファスシリコン層
との間に、所謂アンダーコート層を設けた発明であり、
電荷輸送性についての開示は全くなく、また、ａ−３ｉ
の有する前記した本質的問題を解決するものではない。

また、例えば、特開昭５０−２０７２８号公報には、ポ
リビニルカルバゾール−セレン系感光体の表面に保護層
としてグロー放電重合によるポリマー膜を０．１〜１μ
ｍ設けた感光体が開示されている。特開昭５９−２１４
８５９号公報には、アモルファスシリコン感光体の表面
に保護層としてスチレンやアセチレン等の有機炭化水素
モノマーをプラズマ重合させて５μｍ程度の膜を形成さ
せる技術が開示されている。特開昭６０−６１７６１号
公報には、表面保護層として、５００人〜２μｍのダイ
ヤモンド状炭素薄膜を設けた感光体が開示され、透光性
の面から膜厚は２μｍ以下が好ましいとされてている。

特開昭６０−２４９１１５号公報には、０．０５〜５μ
ｍ程度の無定形炭素または硬質炭素膜を表面保護層とし
て用いる技術が開示され、膜厚が５μｍを越えると感光
体活性に悪影響が及ぶときれている。

これらの開示は、何れも感光体表面に所謂オーバーコー
ト層を設けた発明であり、電荷輸送性についての開示は
全くなく、また、ａ−ｓｔの有する前記した本質的問題
を解決するものではない。

また、特開昭５１−４６１３０号公報には、ポリビニル
カルバゾール系電子写真感光体の表面にグロー放電重合
を行なって０．００１〜３μｍのポリマー膜を形成せし
めた電子写真感光板が開示されているが、電荷輸送性に
ついては全く言及されていないし、ａ−Ｓｔの持つ前記
した本質的問題を解決するものではない。

一方、アモルファスシリコン膜については、スピア（Ｗ
、Ｅ、５ｐｅａｒ）及びレコンバ（Ｐ。

Ｇ、ＬｅＣｏｍｂｅｒ）により１９７６年発行のフィロ
ソフィカル・マガジン（Ｐｈｉｌｏｓｏｐｈｉｃａｌ　
　Ｍａｇａｚｉｎｅ）第３３巻の第９３５頁乃至第９４
９頁において、極性制罪が可能な材料である事が報じら
れて以来、種々の光電デバイスへの応用が試みられて来
た。感光体への応用に関しては、例えば、特開昭５６−
６２２５４号公報、特開昭５７−１１９３５６号公報、
特開昭５７−１７７１４７号公報、特開昭５７−１１９
３５７号公報、特開昭５７−１７７１４９号公報、特開
昭５７−１１９３５７号公報、特開昭５７−１７７１４
６号公報、特開昭５７−１７７１４８号公報、特開昭５
７−１７４４４８号公報、特開昭５７−１７４４４９号
公報、特開昭５７−１７４４５０号公報、等に、炭素原
子を含有したアモルファスシリコン感光体が開示されて
いるが、何れもアモルファスシリコンの光導電性を炭素
原子により調整する事を目的としたものであり、また、
アモルファスシリコン自体厚い膜を必要としている。

βが　゛　しようとする　　Φ 以上のように、従来、電子写真感光体に用いられている
プラズマ有機重合膜は所謂アンダーコート層もしくはオ
ーバーコート層として使用されていたが、それらはキャ
リアの輸送機能を必要としない膜であって、有機重合膜
が絶縁性で有るとの判断にたって用いられている。従っ
てその膜厚も高々５μｍ程度の極めて薄い膜としてしか
用いられず、キャリアはトンネル効果で膜中を通過する
か、トンネル効果が期待できない場合には、残留電位の
発生に関して事実上問題にならずに済む程度の薄い膜で
しか用いられていない。また、従来、電子写真に用いら
れているアモルファスシリコン膜は所謂厚膜で使用され
ており、価格或は生産性等に、不都合な点が多い。

本発明者らは、アモルファスカーボン膜の電子写真感光
体への応用を検討しているうちに、本来絶縁性であると
考えられていた水素化アモルファスカーボン膜が窒素原
子を含有せしめる事により、燐原子及び硼素原子のうち
少なくとも一方を含有してなる水素化或は弗素化アモル
ファスシリコンゲルマニウム膜との積層においては電荷
輸送性を有し、容易に好適な電子写真特性を示し始める
事を見出した。その理論的解釈には本発明者においても
不明確な点が多く詳細に亙り言及はできないが、窒素原
子含有水素化アモルファスカーボン膜中に捕捉きれてい
る比較的不安定なエネルギー状態の電子、例えばπ電子
、不対電子、残存フリーラジカル等が形成するバンド構
造が、燐原子及び硼素原子のうち少なくとも一方を含有
してなる水素化或は弗素化アモルファスシリコンゲルマ
ニウム膜が形成するバンド構造と電導帯もしくは荷電子
帯において近似したエネルギー準位を有するため、燐原
子及び硼素原子のうち少なくとも一方を含有してなる水
素化或は弗素化アモルファスシリコンゲルマニウム膜中
で発生したキャリアが容易に窒素原子含有水素化アモル
ファスカーボン膜中へ注入され、ざらに、このキャリア
は前述の比較的不安定なエネルギー状態の電子の作用に
より窒素原子含有水素化アモルファスカーボン膜中を好
適に走行し得るためと推定される。

本発明はその新たな知見を利用することにより、アモル
ファスシリコン感光体の持つ前述の如き本質的問題点を
全て解消し、また従来とは全く使用目的も特性も異なる
、有機プラズマ重合膜、特に少なくとも窒素原子を含有
してなる水素化アモルファスカーボン膜を電荷輸送層と
して使用し、かつ、燐原子及び−素原子のうち少なくと
も一方を含有してなる水素化或は弗素化アモルファスシ
リコンゲルマニウムの薄膜を電荷発生層として使用した
感光体を提供する事を目的とする。

ｒｐ″′壱をｎ２するための 即ち、本発明は、電荷発生層と電荷輸送層とを有する機
能分離型感光体において、該電荷輸送層がプラズマ重合
反応から生成される少なくとも窒素原子を含有してなる
水素化アモルファスカーボン膜であり、かつ、該電荷発
生層が燐原子及び硼素原子のうち少なくとも一方を含有
してなる水素化或は弗素化アモルファスシリコンゲルマ
ニウム膜であることを特徴とする感光体に関する（以下
、本発明による電荷輸送層をａ−Ｃ膜及び電荷発生層を
ａ−Ｓｉ膜と称する）。

本発明は、従来のアモルファスシリコン感光体において
は、電荷発生層として優れた機能を有するアモルファス
シリコンを、電荷発生能が無くても電荷輸送能ざえあれ
ば済む電荷輸送層としても併用していたため発生してい
たこれらの問題点を解決すべく成されたものである。

即ち、本発明は、電荷輸送層としてグロー放電により生
成きれる少なくとも窒素原子を含有してなる水素化アモ
ルファスカーボン膜を設け、かつ、電荷発生層として同
じくグロー放電により生成される燐原子及び硼素原子の
うち少なくとも一方を含有してなる水素化或は弗素化ア
モルファスシリコンゲルマニウム膜を設けた事を特徴と
する機能分離型感光体に関する。該電荷輸送層は、可視
光もしくは半導体レーザー光付近の波長の光に対しては
明確なる光導電性は有きないが、好適な輸送性を有し、
ざらに、帯電能、耐久性、耐候性、耐環境汚染性等の電
子写真感光体性能に優れ、しかも透光性にも優れるため
、機能分離型感光体としての積層構造を形成する場合に
おいても極めて高い自由度が得られるものである。また
、該電荷発生層は、可視光もしくは半導体レーザー光付
近の波長の光に対して優れた光導電性を有し、しかも従
来のアモルファスシリコン感光体に比べて極めて薄い膜
厚で、その機能を活かす事ができるものである。

本発明においては、ａ　−Ｃ膜を形成するために有機化
合物ガス、特に炭化水素ガスが用いられる。

該炭化水素における相状態は常温常圧において必ずしも
気相である必要はなく、加熱或は減圧等により溶融、蒸
発、昇華等を経て気化しうるものであれば、液相でも固
相でも使用可能である。

使用可能な炭化水素には種類が多いが、飽和炭化水素と
しては、例えば、メタン、エタン、プロパン、ブタン、
ペンタン、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、ノナン、テ
°カン、ウンデカン、ドデカン、トリデカン、テトラデ
カン、ペンタデカン、ヘキサデカン、ヘプタデカン、オ
クタコサン、ノナデカン、エイコサン、ヘンエイコサン
、トコサン、トリコサン、テトラコサン、ペンタコサン
、ヘキサコサン、ヘプタコサン、オクタコサン、ノナコ
サン、トリアコンタン、トドリアコンタン、ペンタトリ
アコンタン、等のノルマルパラフィン並びに、イソブタ
ン、イソペンタン、ネオペンタン、イソヘキサン、ネオ
ヘキサン、２．３−ジメチルブタン、２−メチルヘキサ
ン、３−エチルペンタン、２．２−ジメチルペンタン、
２，４−ジメチルペンタン、３，３−ジメチルペンタン
、トリブタン、２−メチルへブタン、３−メチルへブタ
ン、２，２−ジメチルヘキサン、２，２．５−ジメチル
ヘキサン、２，２．３−）ジメチルペンタン、２，２．
４−トリメチルペンタン、２．３゜３−トリメチルペン
タン、２．３．４−トリメチルペンタン、イソナノン、
等のイソパラフィン、等が用いられる。不飽和炭化水素
としては、例えば、エチレン、プロピレン、イソブチレ
ン、１−ブテン、２−ブテン、１−ペンテン、２−ペン
テン、２−メチル−１−ブテン、３−メチル−１−ブテ
ン、２−メチル−２−ブテン、１−ヘキセン、テトラメ
チルエチレン、ｌ−ヘプテン、１−オクテン、１−ノネ
ン、１−デセン、等のオレフィン、並びに、アレン、メ
チルアレン、ブタジェン、ペンタジェン、ヘキサジエン
、シクロペンタジェン、等のジオレフィン、並びに、オ
シメン、アロオシメン、ミルセン、ヘキサトリエン、等
のトリオレフイン、並びに、アセチレン、ブタジイン％
１１３−ペンタジイン、２．４−へキサジイン、メチル
アセチレン、１−ブチン、２−ブチン、１−ペンチン、
１−ヘキシン、１−ヘプチン、１−オクチン、１−ノニ
ン、１−デシン、等が用いられる。

脂環式炭化水素としては、例えば、シクロプロパン、シ
クロブタン、シクロペンタン、シクロヘキサン、シクロ
へブタン、シクロオクタン、シクロノナン、シクロデカ
ン、シクロウンデカン、シクロトチ”カン、シクロトリ
デカン、シクロテトラデカン、シクロペンタデカン、シ
クロヘキサデカン、等のシクロパラフィン並びに、シク
ロプロペン、シクロブテン、シクロペンテン、シクロヘ
キセン、シクロヘプテン、シクロオクテン、シクロノネ
ン、シクロデセン、等のシクロオレフィン並びに、リモ
ネン、テルピノレン、フエランドレン、シルベストレン
、ツエン、カレン、ピネン、ボルニレン、カンフエン、
フェンチェン、シクロウンデカン、トリシクレン、ビサ
ボレン、シンギベレン、クルクメン、フムレン、カジネ
ンセスキベニヘン、セリネン、カリオフィレン、サンタ
レン、セドレン、カンホレン、フィロクラテン、ボドヵ
ルブレン、ミレン、等のテルペン並びに、ステロイド等
が用いられる。芳香族炭化水素としては、例えば、ベン
ゼン、トルエン、キシレン、ヘミメンテン、プソイドク
メン、メシチレン、プレニテン、イソジュレン、ジュレ
ン、ペンタメチルベンゼン、ヘキサメチルベンゼン、エ
チルベンゼン、プロピルベンゼン、クメン、スチレン、
ビフェニル、テルフェニル、ジフェニルメタン、トリフ
ェニルメタン、ジベンジル、スチルベン、インデン、ナ
フタリン、テトラリン、アントラセン、フェナントレン
、等が用いられる。

さらに、炭化水素以外でも、例えば、アルコール類、ケ
トン類、エーテル類、エステル類、等炭素と成りうる化
合物であれば使用可能である。

本発明におけるａ　−Ｃ膜中に含まれる水素原子の量は
グロー放電を用いるというその製造面から必然的に定ま
るが、炭素原子と水素原子の総量に対して、概ね３０乃
至６０原子％含有される。ここで、炭素原子並びに水素
原子の膜中含有量は、有機元素分析の常法、例えばＯＮ
Ｈ分析を用いる事により知る事ができる。

本発明におけるａ　−Ｃ膜中に含まれる水素原子の量は
、成膜装置の形態並びに成膜時の条件により変化するが
、例えば、基板温度を高くする、圧力を低くする、原料
炭化水素ガスの希釈率を低くする、印加電力を高くする
、交番電界の周波数を低くする、交番電界に重畳せしめ
た直流電界強度を高くする、等の手段、或は、これらの
組合せ操作は、含有水素量を低くする効果を有する。

本発明における電荷輸送層としてのａ　−Ｃ膜の膜厚は
、通常の電子写真プロセスで用いるためには、５乃至５
０μｍ１特に７乃至２０μｍが適当であり、５μｍより
薄いと、帯電電位が低いため充分な複写画像濃度を得る
事ができない。また、５０μｍより厚いと、生産性の面
で好ましくない。

このａ−Ｃ膜は、高透光性、高暗抵抗を有するとともに
電荷輸送性に富み、膜厚を上記の様に５μｍ以上として
もキャリアはトラップきれる事無く輸送され明減衰に寄
与する事が可能である。

本発明における原料気体からａ　−Ｃ膜を形成する過程
としては、原料気体が、直流、低周波、高周波、或はマ
イクロ波等を用いたプラズマ法により生成されるプラズ
マ状態を経て形成される方法が最も好ましいが、その他
にも、イオン化蒸着法、或はイオンビーム蒸着法等によ
り生成されるイオン状態を経て形成されてもよいし、真
空蒸着法、或はスパッタリング法等により生成される中
性粒子から形成されてもよいし、ざらには、これらの組
み合わせにより形成されてもよい。

本発明においては炭化水素の他に、ａ　−Ｃ膜中に少な
くとも窒素原子を添加するための原料として、窒素化合
物が用いられる。該窒素化合物における相状態は常温常
圧において必ずしも気相である必要はなく、加熱或は減
圧等により溶融、蒸発、昇華等を経て気化しうるもので
あれば、液相でも固相でも使用可能である。窒素化合物
としては、例えば、窒素、アンモニア等の無機化合物、
アミノ基（−ＮＨ２）　、シアノ基（−ＣＮ）等の官能
基を有する有機化合物、並びに窒素を含む複素環等が用
いられる。

使用可能な有機化合物には種類が多いが、アミノ基を有
する有機化合物としては、例えば、メチルアミン、エチ
ルアミン、プロピルアミン、ブチルアミン、アミルアミ
ン、ヘキシルアミン、ヘプチルアミン、オクチルアミン
、ノニルアミン、デシルアイミン、ウンデシルアミン、
ドデシルアミン、トリデシルアミン、テトラデシルアミ
ン、ペンタデシルアミン、セチルアミン、ジメチルアミ
ン、ジエチルアミン、ジプロピルアミン、ジブチルアミ
ン、シアミルアミン、トリメチルアミン、トリエチルア
ミン、トリプロピルアミン、トリブチルアミン、トリア
ミルアミン、アリルアミン、ジアリルアミン、トリアリ
ルアミン、シクロプロピルアミン、シクロブチルアミン
、シクロペンチルアミン、シクロヘキシルアミン、アニ
リン、メチルアニリン、ジメチルアニリン、エチルアニ
リン、ジエチルアニリン、トルイジン、ベンジルアミン
、ジベンジルアミン、トリベンジルアミン、ジフェニル
アミン、トリフェニルアミン、ナフチルアミン、エチレ
ンジアミン、トリメチレンジアミン、テトラメチレンジ
アミン、ペンタメチレンジアミン、ヘキサメチレンジア
ミン、ジアミノへブタン、ジアミノオクタン、ジアミノ
ノナン、ジアミノデカン、フェニレンジアミン、等が用
いられる。シアノ基を有する有機化合物としては、例え
ば、アセトニトリル、プロピオニトリル、ブチロニトリ
ル、バレロニトリル、カプロニトリル、エナントニトリ
ル、カプリロニトリル、フエラルゴンニトリル、カブリ
ニトリル、ラウロニトリル、パルミトニトリル、ステア
ロニトリル、クロトンニトリル、マロンニトリル、ステ
アロニトリル、ダルタルニトリル、アジポニトリル、ベ
ンゾニトリル、トルニトリル、シアン化ベンジルケイ皮
酸ニトリル、ナフトニトリル、シアンピリジン、等が用
いられる。複素環化合物としては、例えば、ビロール、
ビロリン、ピロリジン、オキサゾール、チアゾール、イ
ミダゾール、イミダシリン、イミダゾリジン、ピラゾー
ル、ピラゾリン、ピラゾリジン、トリアゾール、テトラ
ゾール、ピリジン、ピペリジン、オキサジン、モルホリ
ン、チアジン、ピリダジン、ピリミジン、ピラジン、ピ
ペラジン、トリアジン、インドール、インドリン、ベン
ゾオキサゾール、インダゾール、ベンゾイミダゾール、
キノリン、シンノリン、フタラジン、フタロシアニン、
キナゾリン、キンキサリン、カルバゾール、アクリジン
、フエナントロリン、フェナジン、フェノキサジン、イ
ンドリジン、キノリジン、キヌクリジン、ナフチリジン
、プリン、プテリジン、アジリジン、アゼピン、オキサ
ジアジン、ジチアジン、ベンゾキノリン、イミダゾチア
ゾール、等が用いられる。

本発明において化学的修飾物質として含有される窒素原
子の量は、全構成原子に対して５．０原子％以下である
。ここで、窒素原子の膜中含有量は、元素分析の常法、
例えばオージェ分析により知る事ができる。窒素原子を
含まない場合には、好適な輸送性が確保されず、成膜速
度が遅く、更に、成膜後の経時劣化を招きやすくなる。

一方、窒素原子の量が５．０原子％を越える場合には、
少量の添加では好適な輸送性を保証していた窒素原子が
、逆に膜の低抵抗化を招く作用を示し、帯電能が低下し
てしまう。従って、本発明における窒素の添加量範囲は
重要である。

本発明に於いて化学的修飾物質として含有される窒素原
子の量は、主に、プラズマ反応を行なう反応室への前述
の窒素化合物の導入量を増減することにより制御するこ
とが可能である。窒素化合物の導入量を増大させれば、
本発明によるａ−Ｃ膜中への窒素原子の添加量を高（す
ることが可能であり、逆に窒素化合物の導入量を減少き
せれば、本発明によるａ　−Ｃ膜中への窒素原子の添加
量を低くすることが可能である。

本発明においては、ａ−Ｓｉ膜を形成するためにシラン
ガス、ジシランガス、或は、弗化シランガスが用いられ
る。また、化学的修飾物質として燐原子或は硼素原子を
膜中に含有せしめるための。

原料ガスとして、ホスフィンガス或はジボランガスが用
いられる。また、ゲルマニウム原子を含有させるために
、ゲルマンガスが用いられる。

本発明におけるａ−Ｓｉ膜中に含有されるゲルマニウム
原子の含有量は、シリコン原子とゲルマニウム原子との
総和に対して、３０原子％以下が好ましい。ここで、ゲ
ルマニウム原子及びシリコン原子の含有率は、元素分析
の常法、例えばオージェ分析により知る事ができる。ゲ
ルマニウム原子の含有量は、膜形成時に流入するゲルマ
ンガスの流量を増加する事により高くなる。ゲルマニウ
ム原子の含有量が高くなるにつれ本発明感光体の長波長
感度は向上し、短波長領域から長波長領域にまで幅広く
露光源が選択され得るようになり好ましいが、ゲルマニ
ウム原子が３０原子％より多く含有きれると帯電能の低
下を招くため、過剰の添加は好ましくない。従って、本
発明におけるａ　−３ｉ膜中に含有きれるゲルマニウム
原子の含有量は重要である。

本発明において化学的修飾物質として含有きれる燐原子
或は硼素原子の量は、全構成原子に対して２００００原
子ｐｐｍ以下である。ここで燐原子或は硼素原子の膜中
含有量は、元素分析の常法、例えばオージェ分析或はＩ
ＭＡ分析により知る事ができる。燐原子或は硼素原子の
膜中含有量が２００００原子ｐｐｍより高い場合には、
少量の添加では好適な輸送性、或は、極性制御効果を保
証していた燐原子或は硼素原子が、逆に膜の低抵抗化を
招（作用を示し、帯電能の低下を来たす。従って、本発
明における燐原子或は硼素原子添加量の範囲は重要であ
る。

本発明におけるａ−３ｉ膜中に含まれる水素原子或は弗
素原子の量はグロー放電を用いるというその製造面から
必然的に定まるが、シリコン原子と水素原子或はシリコ
ン原子と弗素原子の総量に対して、概ね１ｏ乃至３５原
子％含有される。ここで、水素原子或は弗素原子の膜中
含有量は、元素分析の常法、例えばＯＮＨ分析、オージ
ェ分析等を用いる事により知る事ができる。

本発明における電荷発生層としてのａ−Ｓｉ膜の膜厚は
、通常の電子写真プロセスで用いるためには、０．１乃
至５μｍが適当であり、０．１μｍより薄いと、光吸収
が不十分となり充分な電荷発生が行なわれなくなり、感
度の低下を招く。また、５μｍより厚いと、生産性の面
で好ましくない。このａ−Ｓｉ膜は電荷発生能に富み、
さらに、本発明の最も特徴とするところのａ−σ膜との
積層構成において効率よ＜ａ−Ｃ膜中に発生キャリアを
注入せしめ、好適な明減衰に寄与する事が可能である。

本発明における原料気体からａ−３ｉ膜を形成する過程
は、ａ−Ｃ膜を形成する場合と同様にして行なわれる。

本発明において化学的修飾物質として含有きれる燐原子
或は硼素原子の量は、主に、プラズマ反応を行なう反応
室への前述のホスフィンガス或はジボランガスの導入量
を増減することにより制御することが可能である。ホス
フィンガス或はジボランガスの導入量を増大させれば、
本発明によるａ−Ｓｉ膜中への燐原子或は硼素原子の添
加量を高くすることが可能であり、逆にホスフィンガス
或はジボランガスの導入量を減少させれば、本発明によ
るａ−Ｓｉ膜中への燐原子或は硼素原子の添加量を低く
することが可能である。

本発明における感光体は、電荷発生層と電荷輸送層から
成る機能分離型の構成とするのが最適で、該電荷発生層
と該電荷輸送層の積層構成は、必要に応じて適宜選択す
ることが可能である。

第１図は、その一形態として、導電性基板（１）上に電
荷輸送層（２）と電荷発生層（３）を順次積層してなる
構成を示したものである。第２図は、別の一形態として
、導電性基板（１）上に電荷発主層（３）と電荷輸送層
（２）を順次積層してなる構成を示したものである。第
３図は、別の一形態として、導電性基板（１）上に、電
荷輸送層（２）と電荷発生層（３）と電荷輸送層（２）
を順次積層してなる構成を示したものである。

感光体表面を、例えばコロナ帯電器等により正帯電した
後、画像露光して使用する場合においては、第１図では
電荷発生層（３）で発生した正孔が電荷輸送層（２）中
を導電性基板（１）に向は走行し、第２図では電荷発生
層（３）で発生した電子が電荷輸送層（２）中を感光体
表面に向は走行し、第３図では電荷発生層（３）で発生
した正孔が導電性基板側の電荷輸送層（２）中を導電性
基板（１）に向は走行すると共に、同時に電荷発生層（
３）で発生した電子が表面側の電荷輸送層（２）中を感
光体表面に向は走行し、好適な明減衰に保証された静電
潜像の形成が行なわれる。反対に感光体表面を負帯電し
た後、画像露光して使用する場合においては、電子と正
孔の挙動を入れ代えて、キャリアーの走行性を解すれば
よい。第２図及び第３図では、画像露光用の照射光が電
荷輸送層中を通過する事になるが、本発明による電荷輸
送層は透光性に優れることから、好適な潜像形成を行な
うことが可能である。

第４図は、ざらなる一形態として、導電性基板（１）上
に電荷輸送層（２）と電荷発生層（３）と表面保護層（
４）を順次積層してなる構成を示したものである。即ち
第１図の形態に表面保護層を設けた形態に相当するが、
第１図の形態では、最表面が耐湿性に乏しいａ−３ｉ膜
で有ることから、多くの場合実用上の対湿度安定性を確
保するために表面保護層を設けることが好ましい。第２
図及び第３図の構成の場合、最表面が耐久性に優れたａ
−Ｃ膜であるため表面保護層を設けなくてもよいが、例
えば現像剤の付着による感光体表面の汚れを防止するよ
うな、複写機内の各種エレメントに対する整合性を調整
する目的から、表面保護層を設けることもざらなる一形
態と成りうる。

第５図は、ざらなる一形態として、導電性基板（１）上
に中間層（５）と電荷発生Ｎ（３）と電荷輸送層（２）
を順次積層してなる構成を示したものである。即ち第２
図の形態に中間層を設けた形態に相当するが、第２図の
形態では、導電性基板との接合面がａ−３ｉ膜である事
から、多くの場合接着性及び注入阻止効果を確保するた
めに中間層を設ける事が好ましい。第１図及び第３図の
構成の場合、導電性基板との接合面が、接着性及び注入
阻止効果に優れた、本発明による電荷輸送層であるため
、中間層を設けなくてもよいが、例えば導電性基板の前
処理方法のような、感光層形成以前の製造工程との整合
性を調整する目的から、中間層を設けることもざらなる
一形態と成りうる。

第６図は、ざらなる一形態として、導電性基板（１）上
に中間層（５）と電荷輸送層（２）と電荷発生層（３）
と表面保護層（４）を順次積層してなる構成を示したも
のである。即ち第１図の形態に中間層と表面保護層を設
けた形態に相当する。

中間層と表面保護層の設置理由は前述と同様であり、従
って第２図及び第３図の構成において中間層と表面保護
層を設けることもざらなる一形態と成りうる。

本発明において中間層と表面保護層は、材料的にも、製
法的にも、特に限定を受けるものではなく所定の目的が
達せられるものであれば、適宜選択することが可能であ
る。本発明によるａ−Ｃ膜を用いてもよい。但し、用い
る材料が、例えば従来例で述べた如き絶縁性材料である
場合には、残留電位発生の防止のため膜厚は５μｍ以下
に留める必要がある。

本発明による感光体の電荷輸送層は、気相状態の分子を
減圧下で放電分解し、発生したプラズマ雰囲気中に含ま
れる活性中性種あるいは荷電種を基板上に拡散、電気力
、あるいは磁気力等により誘導し、基板上での■結合反
応により固相として堆積させる、所謂プラズマ重合反応
から生成される事が好ましい。

第７図は本発明に係わる感光体の製造装置を示し、図中
（７０１）〜（７０６）は常温において気相状態にある
原料化合物及びキャリアガスを密封した第１乃至第６タ
ンクで、各々のタンクは第１乃至第６調節弁（７０７）
〜（７１２）と第１乃至第６流量制御器（７１３）〜（
７１８）に接続きれている。図中（７１９）〜（７２１
）は常温において液相または固相状態にある原料化合物
を封入した第１乃至第３容器で、各々の容器は気化のた
め第１乃至第３温調器（７２２）〜（７２４）により与
熱可能であり、ざらに各々の容器は第７乃至第９調節弁
（７２５）〜（７２７）と第７乃至第９流量制御器（７
２８）〜（７３０）に接続されている。これらのガスは
混合！（７３１）で混合された後、主管（７３２）を介
して反応室（７３３）に送り込まれる。途中の配管は、
常温において液相または固相状態にあった原料化合物が
気化したガスが、途中で凝結しないように、適宜配置さ
れた配管加熱器（７３４）により、与熱可能とされてい
る。反応室内には接地電極（７３５）と電力印加電極（
７３６）が対向して設置され、各々の電極は電極加熱器
（７３７）により与熱可能ときれている。電力印加電極
（７３６）には、高周波電力用整合Ｍ　（７３８）を介
して高周波電源（７３９）、低周波電力用整合ｕ　（７
４０）を介して低周波電源（７４１）、ローパスフィル
タ（７４２）を介して直流電源（７４３）が接続されて
わり、接続選択スイッチ（７４４）により周波数の異な
る電力が印加可能とされている。反応室（７３３）内の
圧力は圧力１１ｉｌＪ御弁（７４５）により調整可能で
あり、反応室（７３３）内の減圧は、排気系選択弁（７
４６）を介して、拡散ポンプ（７４７）　、油回転ポン
プ（７４８）　、或は、冷却除外装置（７４９）　、メ
カニカルブースターポンプ（７５０）、油回転ポンプ（
７４８）により行なわれる。排ガスについては、ざらに
適当な除外装置（７５３）により安全無害化した後、大
気中に排気きれる。これら排気系配管についても、常温
において液相または固相状態にあった原料化合物が気化
したガスが、途中で凝結しないように、適宜配置された
配管加熱器（７３４）により、与熱可能ときれている。

反応室（７３３）も同様の理由から反応室加熱器（７５
１）により与熱可能とされ、内部に配された電極上に導
電性基板（７５２）が設置される。第７図において導電
性基板（７５２）は接地電極（７３５）に固定して配き
れているが、電力印加電極（７３６）に固定して配され
てもよく、さらに双方に配されてもよい。

第８図は本発明に係わる感光体の製造装置の別の一形態
を示し、反応室（８３３）内部の形態以外は、第７図に
示した本発明に係わる感光体の製造装置と同様であり、
付記された番号は、７００番台のものを８００番台に置
き換えて解すればよい。第８図において、反応室（８３
３）内部には、第７図における接地電極（７３５）を兼
ねた円筒形の導電性基板（８５２）が設置され、内側に
は電極加熱器（８３７）が配きれている。導電性基板（
８５２）周囲には同じく円筒形状をした電力印加電極（
８３６）が配され、外側には電極加熱器（８３７）が配
されている。導電性基板（８５２）は、外部より駆動モ
ータ（８５４）を用いて自転可能となっている。

感光体製造に供する反応室は、拡散ポンプにより予め１
０−４乃至１Ｏ−６Ｔｏｒｒ程度にまで減圧し、真空度
の確認と装置内部に吸着したガスの脱着を行なう。同時
に電極加熱器により、電極並びに電極に固定して配きれ
た導電性基板を所定の温度まで昇温する。導電性基板に
は、前述の如き感光体構成の中から所望の構成を得るた
めに、必要であれば、予めアンダーコート層或は電荷発
生層を設けて置いてもよい。アンダーコート層或は電荷
発生層の設置には、本装置を用いてもよいし別装置を用
いてもよい。次いで、第１乃至第６タンク及び第１乃至
第３容器から、原料ガスを適宜第１乃至第９流量制御器
を用いて定流量化しながら反応室内に導入し、圧力調節
弁により反応室内を一定の減圧状態に保つ。ガス流量が
安定化した後、接続選択スイッチにより、例えば高周波
電源を選択し、電力印加電極に高周波電力を投入する。

両電極間には放電が開始され、時間と共に基板上に固相
の膜が形成される。ａ−ＳｉＭ或はａ−ＣＭは、原料ガ
スを代える事により任意に形成可能である。放電を一旦
停止し、原料ガス組成を変更した後、再び放電を再開す
れば異なる組成の膜を積層する事ができる。また、放電
を持続させながら原料ガス流量だけを徐々に代え、異な
る組成の膜を勾配を持たせながら積層する事も可能であ
る。

反応時間により膜厚を制御し、所定の膜厚並びに積層構
成に達したところで放電を停止し、本発明による感光体
を得る。次いで、第１乃至第９調節弁を閉じ、反応室内
を充分に排気する。ここで所望の感光体構成が得られる
場合には反応室内の真空を破り、反応室より本発明によ
る感光体を取り出す。更に所望の感光体構成において、
電荷発生層或はオーバーコート層が必要とされる場合に
は、そのまま本装置を用いるか、或は同様に一旦真空を
破り取り出して別装置に移してこれらの層を設け、本発
明による感光体を得る。

以下実施例を挙げながら、本発明を説明する。

Ｘ旅ガ１ 本発明に係わる製造装置を用いて、第１図に示す如き、
導電性基板、電荷輸送層、電荷発生層をこの順に設けた
本発明感光体を作製した。

電荷輸送層形成工程： 第７図に示すグロー放電分解装置において、まず、反応
装置（７３３）の内部を１０＝Ｔｏ　ｒ　ｒ程度の高真
空にした後、第１、第２、及び第３（７０７，７０８、
及び７０９）を解放し、第１タンク（７０１）より水素
ガス、第２タンク（７０２）よりエチレンガス、及び第
３タンク（７０３）より窒素ガスを各々出力圧１．０Ｋ
ｇ／ｃｍ２の下で第１、第２、及び第３流量制御器（７
１３，７１４、及び７１５）内へ流入させた。そして各
流量制御器の目盛を調整して、水素ガスの流量を５０ｓ
ｃｃｒｒ＋、エチレンガスの流量を６０ｓｅｃｍ１及び
窒素ガスの流量を７ｓｅｃｍとなるように設定して、途
中混合Ｗ（７３１）を介して、主’Ｉ！”　（７３２）
より反応室（７３３）内へ流入した。

各々の流量が安定した後に、反応室（７３３）内の圧力
が１．３Ｔｏｒｒとなるように圧力調節弁（７４５）を
調整した。一方、導電性基板（７５２）としては、樅５
０×横５０Ｘ厚３ｍｍのアルミニウム基板を用いて、予
め２５０℃に加熱しておき、ガス流量及び圧力が安定し
た状態で、予め接続選択スイッチ（７４４）により接続
しておいた高周波電源（７３９）を投入し、電力印加電
極（７３６）に２００Ｗａｔｔの電力を周波数１３゜５
６ＭＨｚの下で印加して約８時間４０分プラズマ重合反
応を行ない、導電性基板（７５２）上に厚ざ１５μｍの
ａ−Ｃ膜を電荷輸送層として形成した。成膜完了後は、
電力印加を停止し、調節弁を閉じ、反応室（７３３）内
を充分に排気した。

以上のようにして得られたａ　−Ｃ膜につぎ有機元素分
析を行なったところ、含有される水素原子の量は炭素原
子と水素原子の総量に対して３９原子％、また、オージ
ェ分析より含有される窒素原子の量は全構成原子に対し
て０．３原子％であった。

電荷発生層形成工程： 次いで、一部タンクを交換し、第１調節弁（７０７）、
第２調節弁（７０８）、及び第６調節弁（７１２）を解
放し、第１タンク（７０１）から水素ガス、第２タンク
（７０２）からゲルマンガス、及び第６タンク（７０６
）からシランガスを、出力圧ＩＫｇ／ｃｍ２の下で第１
、第２、及び第６流量制御！（７１３，７１４、及び７
１８）内へ流入させた。同時に、第４調節弁（７１０）
を解放し、第４タンク（７０４）より水素ガスで１１０
０ｐｐに希釈されたジボランガスを、出力圧１゜５Ｋｇ
／ｃｍ２の下で第４流量制御器（７１６）内へ、流入さ
せた。各流量制御器の目盛を調整して水素ガスの流量を
２００ｓｅｃｍ、ゲルマンガスの流量を６ｓｅｃｍ、シ
ランガスの流量を１０１００５ｅ、水素ガスで１１００
ｐｐに希釈されたジボランガスの流量を１０１０５ｅに
設定し、反応室（７３３）内に流入させた。各々の流量
が安定した後に、反応室（７３３）内の圧力が１．０Ｔ
ｏｒｒとなるように圧力調節弁（７４５）を調整した。

一方、ａ−Ｃ膜が形成されている導電性基板（７５２）
は、２４０℃に加熱しておき、ガス流量及び圧力が安定
した状態で、高周波電源（７３９）より周波数１３．５
６ＭＨｚの下で電力印加電極（７３６）に４０Ｗａｔｔ
の電力を印加し、グロー放電を発生させた。この放電を
５分間貸ない、厚き０．３μｍの電荷発生層を得た。

得られたａ−５ｉｆｆにつき、金属中ＯＮＨ分析（板場
製作所製ＥＭＧＡ−１３００）　、オージェ分析、及び
ＩＭＡ分析を行なったところ、含有される水素原子は全
構成原子に対して１８原子％、硼素原子は１０原子ｐｐ
ｍ、ゲルマニウム原子は９．７原子％であった。

特性： 得られた感光体を常用のカールソンプロセスの中で負帯
電並びに正帯電で用いたところ次の如き性能が得られた
。ここでは、正帯電時の測定値を括弧内に示すが、最高
帯電電位は一４９０Ｖ　（＋４８０Ｖ）で有り、即ち、
全感光体膜厚が１５゜３μｍであることから１μｍ当り
の帯電能は３２Ｖ／μｍ（３１Ｖ／μｍ）と極めて高く
、このことから充分な帯電性能を有する事が理解された
。

また、暗中にてＶｍａｘからＶｍａｘの９０％の表面電
位にまで＃減衰するのに要した時間は約１２秒（約１３
秒）であり、このことから充分な電荷保持性能を有する
事が理Ｍきれた。また、最高帯電電位に初期帯電した後
、白色光を用いて最高帯電電位の２０％の表面電位にま
で明減衰きせたとこる必要とされた光量は１．３ルツク
ス・秒（１，２ルツクス・秒）であり、このことから充
分な光感度性能を有する事が理解された。また、最高帯
電電位に初期帯電した後、半導体レーザー光（発光波長
７８０　ｎｍ）を用いて最高帯電電位の２０％の表面電
位にまで明減衰きせたとこる必要とされた光量は８．８
ｅｒｇ／ｃｍ２（７，４ｅｒｇ／ｃｍ２）であり、この
ことから充分な長波長光感度性能を有する事が理解され
た。

以上より、本例に示した本発明による感光体は、感光体
として優れた性能を有するものである事が理解される。

また、この感光体に対して常用のカールソンプロセスの
中で、作像して転写したところ、鮮明な画像が得られた
。

Ｘ塵透旦 本発明に係わる製造装置を用いて、第１図に示す如き、
導電性基板、電荷輸送層、電荷発生層をこの順に設けた
本発明感光体を作製した。

電荷輸送層形成工程： 第７図に示すグロー放電分解装置において、まず、反応
装置（７３３）の内部を１０−’Ｔｏ　ｒ　ｒ程度の高
真空にした後、第１、第２、及び第３調節弁（７０７，
７０８、及び７０９ンを解放し、第１タンク（７０１）
より水素ガス、第２タンク（７０２）よりアセチレンガ
ス、及び第３タンク（７０３）より窒素ガスを各々出力
圧１．０Ｋｇ／ｃｍ２の下で第１、第２、及び第３流量
Ｍｍ器（７１３，７１４、及び７１５）内へ流入させた
。

そして各流ｍ制御器の目盛を調整して、水素ガスの流量
を８０ｓｅｃｍ、アセチレンガスの流量を４０ｓｅｃｍ
ｓ及び窒素ガスの流量が１８ｓｅｃｍとなるように設定
して、途中混合器（７３１）を介して、主！　（７３２
）より反応室（７３３）内へ流入した。各々の流量が安
定した後に、反応室（７３３）内の圧力がｌ　５Ｔｏｒ
ｒとなるように圧力調節弁（７４５）を調整した。一方
、導電性基板（７５２）としては、＊５０Ｘ横５０Ｘ厚
３ｍｍのアルミニウム基板を用いて、予め２０Ｏ℃に加
熱しておき、ガス流量及び圧力が安定した状態で、予め
接続選択スイッチ（７４４）により接続しておいた高眉
波電源（７３９）を投入し、電力印加Ｗｆｉ（７３６）
に２００Ｗａｔｔの電力を周波数１３．５６ＭＨｚの下
で印加して約４時開平プラズマ重合反応を行ない、導電
性基板（７５２）上に厚さ１５μｍのａ−Ｃ膜を電荷輸
送層として形成した。成膜完了後は、電力印加を停止し
、調節弁を閉じ、反応室（７３３）内を充分に排気した
。

以上のようにして得られたａ　−Ｃ１ｌｊにつき有機元
素分析を行なったところ、含有きれる水素原子の量は炭
素原子と水素原子の総量に対して３０原子％、また、オ
ージェ分析より含有される窒素原子の量は全構成原子に
対して１．４原子％であった。

電荷発生層形成工程： 次いで、一部タンクを交換し、第１調節弁（７０７）、
第２調節弁（７０８）　、及び第６調節弁（７１２）を
解放し、第１タンク（７０１）から水素ガス、第２タン
ク（７０２）からゲルマンガス、及び第６タンク（７０
６）からシランガスを、出力圧ＩＫｇ／ａｍ２の下で第
１、及び第６流量制都器（７１３、及び７１８）内へ流
入させた。同時に、第４調節弁（７１０）を解放し、第
４タンク（７０４）より水素ガスで１１００ｐｐに希釈
されたホスフィンガスを、出力圧１．５Ｋｇ／ｃｍ２の
下で第４流量制御器（７１６）内へ、流入させた。各流
量１ｔｉ１１御器の目盛を調整して水素ガスの流量を２
００ｓｅｃｍ、ゲルマンガスの流量を６ｓｅｃｍ１シラ
ンガスの流量を１０１００５ｅ。

水素ガスで１１００ｐｐに希釈されたホスフィンガスの
流量を１０１０５ｅに設定し、反応室（７３３）内に流
入させた。各々の流量が安定した後に、反応室（７３３
）内の圧力が０．８Ｔｏｒｒとなるように圧力調節弁（
７４５）を調整した。

一方、ａ−Ｃ膜が形成されている導電性基板（７５２）
は、２５０℃に加熱しておき、ガス流量及び圧力が安定
した状態で、高周波電源（７３９）より周波数１３．５
６ＭＨｚの下で電力印加電極（７３６）に４０Ｗａｔｔ
の電力を印加し、グロー放電を発生させた。この放電を
５分間行ない、厚ざ０．３μｍの電荷発生層を得た。

得られたａ−Ｓｉ膜につき、金属中ＯＮＨ分析（板場製
作所＊ＥＭＧＡ−４３００）　、オージェ分析、及びＩ
ＭＡ分析を行なったところ、含有きれる水素原子は全構
成原子に対して２０原子％、燐原子は１１原子ｐｐｍ５
ゲルマニウム原子は１０原子％であった。

特性： 得られた感光体を常用のカールソンプロセスの中で負帯
電並びに正帯電で用いたところ次の如き性能が得られた
。ここでは、正帯電時の測定値を括弧内に示すが、最高
帯電電位は一４３０Ｖ　（＋６５０Ｖ）で有り、即ち、
全感光体膜厚が１５゜３μｍであることから１μｍ当り
の帯電能は２８Ｖ／μｍ（４３Ｖ／μｍ）と極めて高く
、このことから充分子帯電性能を有する事が理解きれた
。

また、暗中にてＶｍａｘからＶｍａｘの９０％の表面電
位にまで暗減衰するのに要した時間は約２Ｏ秒（約３１
秒）であり、このことから充分な電荷保持性能を有する
事が理解された。また、最高帯７ｊ１電位に初期帯電し
た後、白色光を泪いて最高帯電電位の２０％の表面電位
にまで明減衰させたとこる必要ときれた光量は１．３ル
ツクス・秒（２，フルックス・秒）であり、このことか
ら充分な光感度性能を有する事が理解された。また、最
高帯電電位に初期帯電した後、半導体レーザー光（発光
波長７８０ｎｍ）を用いて最高帯電電位の２０％の表面
電位にまで明減衰させたとこる必要とされた光量は９．
５ｅｒｇ／ｃｍ２（１３，３ｅｒｇ／ａｍ２）であり、
このことから充分な長波長光感度性能を有する事が理解
された。

以上より、本例に示した本発明による感光体は、感光体
として優れた性能を有するものである事が理解される。

また、この感光体に対して常用のカールソンプロセスの
中で、作像して転写したところ、鮮明な画像が得られた
。

Ｘ旅倒旦 本発明に係わる製造装置を用いて、第１図に示す如ざ、
導電性基板、電荷輸送層、電荷発生層をこの順に設けた
本発明感光体を作製した。

電荷輸送層形成工程： 第７図に示すグロー放電分解装置において、まず、反応
装置（７３３）の内部を１０−６Ｔｏ　ｒ　ｒ程度の高
真空にした後、第３調節弁（７０９）を解放し、第３タ
ンク（７０３）より亜酸化窒素ガスを出力圧１．０Ｋｇ
／ｃｍ２の下で第３流量制御器（７１５）内へ流入させ
た。同時に、第１容器（７１９）よりミルセンガスを第
１温調器（７２２）温度８０℃のもとで第７流量制御器
（７２８）内へ流入きせた。亜酸化窒素ガスの流量を３
８ｓＣＣｍ％及びミルセンガスの流量を１８ｓｅｃｍと
なるように設定して、途中混合器（７３１）を介して、
主管（７３２）より反応室（７３３）内へ流入した。各
々の流量が安定した後に、反応室（７３３）内の圧力が
０．９Ｔｏｒｒとなるように圧力調節弁（７４５）を調
整した。一方、導電性基板（７５２）としては、樅５０
×横５０Ｘ厚３ｍｍのアルミニウム基板を用いて、予め
２００℃に加熱しておき、ガス流量及び圧力が安定した
状態で、予め接続選択スイッチ（７４４）により接続し
ておいた低周波電源（７４１）を投入し、電力印加電極
（７３６）に１５０Ｗａｔｔの電力を周波数３０ＫＨｚ
の下で印加して約２時間４０分プラズマ重合反応を行な
い、導電性基板（７５２）上に厚ざ１５μｍのａ−Ｃ膜
を電荷輸送層として形成した。成膜完了後は、電力印加
を停止し、調節弁を閉じ、反応室（７３３）内を充分に
排気した。

以上のようにして得られたａ　−Ｃ膜につき有機元素分
析行なったところ、含有される水素原子の量は炭素原子
と水素原子の！ｆ！３Ｊ！ｉに対して４７原子％であっ
た。また、オージェ分析より含有される窒素原子の量は
全構成原子に対して２．１原子％であった。

電荷発生層形成工程： 次いで、一部タンクを交換し、第１調節弁（７ｏ７）、
第２調節弁（７０８）、第３調節弁（７０９）、及び第
６調節弁（７１２）を解放し、第１タンク（７０１）か
ら水素ガス、第２タンク（７０２）から四弗化シランガ
ス、第３タンク（７０２）からゲルマンガス、及び第６
タンク（７０６）からシランガスを、出力圧ＩＫｇ／ｃ
ｍ２の下で第１、第２、第３、及び第６流量制ｖＳ器（
７１３，７１４，７１５、及び７１８）内へ流入させな
。同時に、第４調節弁（７１０）を解放し、第４タンク
（７０４）より水素ガスで１１００ｐｐに希釈されたジ
ボランガスを、出力圧１゜５Ｋｇ／ｃｍ２の下で第４流
量制御器（７１６）内へ、流入きせた。各流量制御器の
目盛を調整して水素ガスの流量を２００ｓｅｃｍ、四弗
化シランガスの流量を５０ｓｅｃｍ、ゲルマンガスの流
量を６ｓｅｃｍ、シランガスの流量を５０ｓｅｃｍ。

及び水素ガスで１１００ｐｐに希釈されたジボランガス
の流量を１０１０５ｅとなるように設定し、反応室（７
３３）内に流入させた。各々の流量が安定した後に、反
応室（７３３）内の圧力が０゜９Ｔｏｒｒとなるように
圧力調節弁（７４５）を調整した。一方、ａ　−ＣＷｉ
が形成されている導電性基板（７５２）は、２３０℃に
加熱しておぎ、ガス流量及び圧力が安定した状態で、高
周波電源（７３９）より周波数１３．５６ＭＨｚの下で
電力印加電極（７３６）に３５Ｗａｔｔの電力を印加し
、グロー放電を発生させた。この放電を５分間行ない、
厚さ０．３μｍの電荷発生層を得た。

得られたａ−３ｔ膜につき、金属中○ＮＨ分析（板場製
作所！！！ＥＭＧＡ−１３００）　、オージェ分析、及
びＩＭＡ分析を行なったところ、含有きれる水素原子は
全構成原子に対して２４原子％、硼素原子は１０原子ｐ
ｐｍ、弗素原子は５原子％、ゲルマニウム原子は１０．
５原子％であった。

特性： 得られた感光体を常用のカールソンプロセスの中で負帯
電並びに正帯電で用いたところ次の如き性能が得られた
。ここでは、正帯電時の測定値を括弧内に示すが、最高
帯７４電位は一７００Ｖ　（＋７２０Ｖ）で有り、即ち
、全感光体膜厚が１５゜３μｍであることから１μｍ当
りの帯電能は４６■／μｍ（４７Ｖ／μｍ）と極めて高
く、このことから充分な帯電性能を有する事が理解きれ
た。

また、暗中にてＶｍａｘからＶｍａｘの９０％の表面電
位にまで暗減衰するのに要した時間は約３５秒（約４３
秒）であり、このことから充分な電荷保持性能を有する
事が理解された。また、最高帯電電位に初期帯電した後
、白色光を用いて最高帯電電位の２０％の表面電位にま
で明減衰させたとこる必要ときれた光量は３．８ルツク
ス・秒（３，６ルツクス・秒）であり、このことから充
分な光感度性能を有する事が理解された。

以上より、本例に示した本発明による感光体は、感光体
として優れた性能を有するものである事が理解される。

また、この感光体に対して常用のカールソンプロセスの
中で、作像して転写したところ、鮮明な画像が得られた
。

実旅広丘 本発明に係わる製造装置を用いて、第１図に示す如き、
導電性基板、電荷輸送層、電荷発生層をこの頭に設けた
本発明感光体を作製した。

電荷輸送層形成工程： 第７図に示すグロー放電分解装置において、まず、反応
装置（７３３）の内部を１０−８Ｔ　ｏ　ｒ　ｒ程度の
高真空にした後、第１、第２、及び第３調節弁（７０７
，７０８、及び７０９）を解放し、第１タンク（７０１
）より水素ガス、第２タンク（７０２）よりブタジェン
ガス、及び第３タンク（７０３）よりアンモニアガスを
各々出力圧１゜０Ｋｇ／ｃｍ２の下で第１、第２、及び
第３流量制御器（７１３，７１４、及び７１５）内へ流
入させな。水素ガスの流量を４０ｓｅｃｍ、ブタジェン
ガスの流量を６０ｓｅｃｍ、及びアンモニアガスの流量
を２０ｓｅｃｍとなるように設定して、途中混合器（７
３１）を介して、主管（７３２）より反応室（７３３）
内へ流入した。各々の流量が安定した後に、反応室（７
３３）内の圧力が１゜５Ｔｏｒｒとなるように圧力調節
弁（７４５）を調整した。一方、導電性基板（７５２）
としては、縦５０Ｘ横５０Ｘ厚３ｍｍのアルミニウム基
板を月いて、予め２００℃に加熱しておき、ガス流量及
び圧力が安定した状態で、予め接続選択スイッチ（７４
４）により接続しておいた低周波電源（７４１）を投入
し、電力印加電極（７３６）に１２０Ｗａｔｔの電力を
周波数４００ＫＨｚの下で印加して約３０分間プラズマ
重合反応を行ない、導電性基板（７５２）上に厚ざ１５
μｍのａ　−Ｃ膜を電荷輸送層として形成した。成膜完
了後は、電力印加を停止し、調節弁を閉じ、反応室（７
３３）内を充分に排気した。

以上のようにして得られたａ−Ｃ膜につき有機元素分析
を行なったところ、含有される水素原子の量は炭素原子
と水素原子の総量に対して５５原子％、また、オージェ
分析より含有される窒素原子の量は全構成原子に対して
４．８原子％であった。

電荷発生層形成工程： 次いで、一部タンクを交換し、第１調節弁（７０７）、
第２調節弁（７０８）、第３調節弁（７０９）、及び第
６調節弁（７１２）を解放し、第１タンク（７０１）か
ら水素ガス、第２タンク（７０２）から四弗化シランガ
ス、第３タンク（７０３）からゲルマンガス、及び第６
タンク（７０６）からシランガスを、出力圧ＩＫｇ／ｃ
ｍ２の下で第１、第２、第３、及び第６流量制御器（７
１３，７１４，７１５、及び７１８）内へ流入させた。

同時に、第４調節弁（７１０）を解放し、第４タンク（
７０４）より水素ガスで１１００ｐｐに希釈されたホス
フィンガスを、出力圧１゜５Ｋｇ／ｃｍ２の下で第４流
量制御器（７１６）内へ流入させた。各流量制都藩の目
盛を調整して水素ガスの流量を２００ｓｅｃｍ、ゲルマ
ンガスの流量を６ｓｅｃｍ、四弗化シランガスの流量を
５０ｓｅｃｍ、シランガスの流量を５０３　ＣＣｍ　％
水素ガスで１１００ｐｐに希釈されたホスフィンガスの
流量を１０１０５ｅに設定し、反応室（７３３）内に流
入させた。各々の流量が安定した後に、反応室（７３３
）内の圧力が０．８Ｔｏｒｒとなるように圧力調節弁（
７４５）を調整した。

一方、ａ−Ｃ膜が形成きれている導電性基板（７５２）
は、２４０℃に加熱しておき、ガス流量及び圧力が安定
した状態で、高周波電源（７３９）より周波数１３．５
６ＭＨｚの下で電力印加電極（７３６）に４０Ｗａｔｔ
の電力を印加し、グロー放電を発生させた。この放電を
５分間行ない、厚ざ０．３μｍの電荷発生層を得た。

得られたａ−Ｓｉ膜につき、金属中○ＮＨ分析（板場製
作所製ＥＭＧＡ−１３００）　、オージェ分析、及びＩ
ＭＡ分析を行なったところ、含有される水素原子は全構
成原子に対して２６原子％、燐原子は１３原子ｐｐｍ、
弗素原子は５．６原子％、ゲルマニウム原子は９．８原
子％であった。

特性： 得られた感光体を常用のカールソンプロセスの中で負帯
電並びに正帯電で用いたところ次の如き性能が得られた
。ここでは、正帯電時の測定値を括弧内に示すが、最高
帯電電位は一７２０Ｖ　（＋９４０Ｖ）で有り、即ち、
全感光体膜厚が１５゜３μｍであることから１μｍ当り
の帯電能は４７Ｖ／μｍ（６１Ｖ／μｍ）と極めて高く
、このことから充分な帯電性能を有する事が理解された
。

また、暗中にてＶｍａｘからＶｍａｘの９０％の表面電
位にまで暗減衰するのに要した時間は約３５秒（約４８
秒）であり、このことから充分な電荷保持性能を有する
事が理解された。また、最高帯電電位に初期帯電した後
、白色光を用いて最高帯電電位の２０％の表面電位にま
で明減衰させたとこる必要とされた光量は５．６ルツク
ス・秒（１２，フルックス・秒）であり、このことから
充分な光感度性能を有する事が理解きれた。

以上より、本例に示した本発明による感光体は、′感光
体として優れた性能を有するものである事が理Ｎされる
。また、この感光体に対して常用のカールソンプロセス
の中で、作像して転写したところ、鮮明な画像が得られ
た。

大施透互 本発明に係わる製造装置を用いて、第１図に示す如き、
導電性基板、電荷輸送層、電荷発生層をこの順に設けた
本発明感光体を作製した。

電荷輸送層形成工程： 第７図に示すグロー放電分解装置において、まず、反応
装置（７３３）の内部を１０−６Ｔｏ　ｒ　ｒ程度の高
真空にした後、第１、第２、及び第３調節弁（７０７，
７０８、及び７０９）を解放し、第１タンク（７０ｆ　
）より水素ガス、第２タンク（７０２）よりブタジイン
ガス、及び第３タンク（７０３）より窒素ガスを各々出
力圧１．０Ｋｇ／ｃｍ２の下で第１、第２、及び第３流
量制御器（７１３，７１４、及び７１５）内へ流入させ
な。

水素ガスの流量を７０ｓｃｃｍｓブタジインガスの流量
を４０ｓｃｃｍｓ及び窒素ガスの流量を２０ｓｅｃｍと
なるように設定して、途中混合器（７３１）を介して、
主管（７３２）より反応室（７３３）内へ流入した。各
々の流量が安定した後に、反応室（７３３）内の圧力が
１．２７ｏｒｒとなるように圧力調節弁（７４５）を調
整した。

一方、導電性基板（７５２）としては、樅５０×ｍ５０
Ｘ厚３ｍｍのアルミニウム基板を用いて、予め１７０℃
に加熱しておき、ガス流量及び圧力が安定した状態で、
予め接続選択スイッチ（７４４）により接続しておいた
低周波電源（７４１）を投入し、電力印加電極（７３６
）に１４０Ｗａ１１の電力を周波数５００ＫＨｚの下で
印加して約２６分間プラズマ重合反応を行ない、導電性
基板（７５２）上に厚ざ１５μｍのａ−Ｃ膜を電荷輸送
層として形成した。成膜完了後は、電力印加を停止し、
調節弁を閉じ、反応室（７３３）内を充分に排気した。

以上のようにして得られたａ　−Ｃ膜につぎ有機元素分
析を行なったところ、含有される水素原子の量は炭素原
子と水素原子の総量に対して５５原子％、また、オージ
ェ分析より含有きれる窒素原子の量は全構成原子に対し
て３．７原子％であった。

電荷発生層形成工程： 次いで、実施例１と同様にして本発明による感光体の電
荷発生層を形成した。

特性： 得られた感光体を常用のカールソンプロセスの中で負帯
電並びに正帯電で用いたところ次の如き性能が得られた
。ここでしよ、正帯電時の測定値を括弧内に示すが、最
高帯電電位は一６９０Ｖ　（＋６７０Ｖ）で有り、即ち
、全感光体膜厚が１５゜３μｍであることから１μｍ当
りの帯電能は４５Ｖ／μｍ　（４４Ｖ／μｍ）と極めて
高く、このことから充分な帯電性能を有する事が理解さ
れた。

また、暗中にてＶｍａｘからＶｍａＸの９０％の表面電
位にまで暗減衰するのに要した時間は約３９秒（約４７
秒）であり、このことから充分な電荷保持性能を有する
事が理解された。また、最高帯電電位に初期帯電した後
、白色光を用いて最高帯電電位の２０％の表面電位にま
で明減衰させたとこる必要とされた光量は４．１ルツク
ス・秒（３，８ルツクス・秒）であり、このことから充
分な光感度性能を有する事が理解された。

以上より、本例に示した本発明による感光体は、感光体
として優れた性能を有するものである事が理解きれる。

また、この感光体に対して常用のカールソンプロセスの
中で、作像して転写したところ、鮮明な画像が得られた
。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第６図は本発明感光体の構成を示す図面、第
７図乃至第８図は本発明に係わる感光体の製造装置を示
す図面である。 出願人　ミノルタカメラ株式会社 第１図　第２図 第３図　　第４図 第５図　　第６図 手続補正書 昭和６２年１０月２１日

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 電荷発生層と電荷輸送層とを有する機能分離型感光体に
   おいて、該電荷輸送層は少なくとも窒素原子を含有して
   なる水素化アモルファスカーボン膜であり、かつ、該電
   荷発生層は燐原子及び硼素原子のうち少なくとも一方を
   含有してなる水素化アモルファスシリコンゲルマニウム
   膜或は燐原子及び硼素原子のうち少なくとも一方を含有
   してなる弗素化アモルファスシリコンゲルマニウム膜で
   あることを特徴とする感光体。