JPS6380452A - ライトバルブのこぼれ光マスク - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の分野 本発明は全般的にシュリーレン暗視野形ライトバルブ集
成体置の改良、更に具体的に云えば、普通のマスクの縁
からの回折光線によるスプリアス光を除く様な、ライト
バルブのこぼれ光（ｓｐｉｌｌｌｌｇｈｔ　）の改良さ
れたマスクに関する。

従来技術の説明 シュリーレン暗視野形ライトパルプ投影装置は長年の間
商業的に使われており、すぐれた性能を発揮することが
出来る。この形式の従来の典型的なカラー投影装置が米
国特許第３．　２９０．　４３６号、同第３，３５２．
５９２号及び同第３，４３７．７４６号に記載されてい
る。この形式の投影装置の動作原理を最初に第１図、第
２図及び第３図について簡単に説明する。

最初に第１図について説明すると、ランプ１０゜密封し
たライトバルブ１２及びシュリーレン投影レンズ１４を
含む単一銃テレビジョン・ライトバルブ集成体が図式的
に示されている。密封したライトバルブ１２は硝子外被
で構成されており、その中に電子銃１６、入力バープレ
ート１８、集束偏向装置２０、回転円板２２上の制御層
３２及び流体貯蔵槽２４が入っている。

電子銃１６が陽極開口１１から電子ビームを発生し、こ
れを使って制御層３２上に電荷パターンを「書込む」。

こういうパターンがこの層に表面の変形を生じ、光回折
格子を形成する。電子ビームが、電極２３．２５，２７
．２１により集束及び偏向されて変調される。制御層の
表面の変形が、層３２及び円板２２を通過する光線を回
折して変調する。

集束偏向装置２０は、夫々４つの直交する電極を持って
いて、こ−でボックス２３．　２５．　２７と呼ぶ３つ
の電極「ボックス」を形成する３組の電極と、円筒形電
極２１とで構成されている。この１番目のボックス２３
は、入力窓の開口の周りに配ｔｕされていて、電子ビー
ムの中心合せをするのに役立つと共に、予備偏向が出来
る様にする。

次の２つのボックス２５．２７には、制御層３２上のラ
スク平面を走査する、開口１１の一様に集束された電子
ビーム像が達成される様な形で、直流電圧及び交流電圧
が印加されている。これによって、制御層の流体を電荷
制御によって一様に変調して、−様な色の投影像を発生
することが出来る。集束偏向ボックス２５．２７の後に
ドリフト・リングすなわち円筒形電極２１が配置されて
おり、これが円板２２上の透明電極と共に、集束偏向装
置２０の最後の電子レンズ要素として作用する。

光変調流体の具体例が米国特許第３．２８８゜９２７号
、同第３，３１７．６６４号、同第３゜３１７．６６５
号、同第３．５４１．９９２号、及び同第３，７６１．
６１６号に記載されている。

こういう流体は、米国特許第３，７６４，５４９号及び
同第３，９２８．３９４号に記載されている様な添加剤
を含んでいてもよい。一般的に、制御層又は光変調流体
は非常に特殊な化合物で、特別の添加剤を用いて変性し
てあり、電子ビームでアドレスされるライトバルブに有
効な制御層の性質を作るのに必要な電気機械的な性質及
び粘弾性を持っている。

基本的な集光装置がアーク・ランプ１ｏを持ち、これは
キセノン・ランプであってよく、そのアークが反射器装
置の焦点に配置される。この反射器装置は、図示の様な
単純な楕円面反射器であってもよいし、或いは米国特許
第４，３０５．０９９号に記載されている様な複合反射
器であってもよい。アークからの光が反射器により反射
されて１対の相隔たるレンズプレートを通る。レンズプ
レートは、水平の行及び垂直の列に分けて配置した複数
個の矩形のレンチキュラルを持っている。１番目のレン
ズプレートが第１図の２８に示されており、２番目のレ
ンズプレートがライトバルブ１２の硝子外被の光入力面
の上に形成されている。

アーク・ランプ１０からの光がカラー・フィルタ・プレ
ート２６及びレンチキュラ・レンズ２８を介して投射さ
れてから、ライトバルブ１２に入る。

ライトバルブ１２の硝子外被の内面は、入力バープレー
ト１８の形をした入力光マスクを担持しており、これは
例えば蒸着によって形成することが出来る。入力バープ
レート１８は一連の透明なスロットを有し、全体的に第
１図に示すパターンで、それと交互に不透明なバーがあ
る。アーク・ランプ１０からのフィルタを通った光線が
、こういう透明なスロットを通ってライトバルブ１２に
入る。レンチキュラ・レンズ２８の小レンズ及びライト
バルブ１２の硝子外被の光入力面に形成された対応する
小レンズは、集光レンズの対を形成し、この対のレンズ
により最初にフィルタを通った光のスポットを光マスク
のスロット上に集束し、その後この光線を制御層のラス
ク平面３２に再び結像する。この構成により、アーク・
ランプからの光が効率的に利用され、光変調媒質又は制
御層３２上に矩形パターンで−様な光の分布が発生され
る。

シュリーレン投影レンズ１４がシュリーレン・レンズ要
素２９、出力カラーバープレート３０及び投影レンズ系
３１を含む。出力バープレート３０は入力バープレート
１８に対して相補的な形になっている。即ち、出力バー
プレートでは、バーカ入カバープレート１８のスロット
と光学的に整合しており、この為、制御層３２を通過す
る光が回折されない場合、光線が出力バープレートのバ
ーに集束され、そこで終る。これによって「暗視野」状
態が出来る。即ち、偏向装置２０の水平及び垂直偏向板
に印加されるラスク走査信号に重畳される変調信号が存
在しない時、光が透過しない。

ニーで、ラスク走査して制御層に電荷を加える電子ビー
ムが一定流電子ビームであり、（ビームがオフである水
平及び垂直帰線期間の間以外は）電子銃１６によって発
生されるビームの強度自体は何ら変調されないことに注
意されたい。

第１図の下半分には光の断面及びライトバルブの部品の
断面を示す。一番下のスペクトル線図は、ライトバルブ
に入る前に光が通るフィルタの作用を示す。

第２図は３つの基本的な格子のカラー選択作用を示すラ
イトバルブの略図である。回転円板２２（第１図に示す
）に支持された制御層３２が、赤、緑及び青の光成分に
対する３つの異なる回折格子を持つものとして示されて
いる。これらの回折格子は個別に又は同時に書込むこと
が出来、実際に重畳しているのが普通であるが、判り易
くする為、第２図では制御層３２の上に別々に示しであ
る。

第１図及び第２図に示すライトバルブ投影装置では、緑
の光が入力バープレート１８の水平スロットを通過し、
そして制御層３２上の被走査ラスク線の高さを変調する
ことによって形成された回折格子によって、制御される
。これを行うには、第３図に示す様に、垂直偏向阪に印
加される高周波搬送波の振幅を緑のビデオ信号によって
変調して制御する。マゼンタ（赤及び青）の光は入力バ
ープレート１８の垂直スロットを通過し、そして水平方
向に走査する時の電子ビームを速度変調することによっ
てラスク線に対して直角に作られた電荷によって発生さ
れる回折格子により、制御される。第３図に示す例では
、これを行うには、１６　Ｍｌｌｚおよび１２ＭＩＩｚ
の信号を水平偏向板に印加し、第３図に示す様に、その
信号を赤および青のビデオ信号で夫々変調する。１６Ｍ
ＩＩｚの信号により制御層３２に作られる溝は、スペク
トルの赤部分をプレート３０の垂直出力スロットを通る
様に回折するのに適切な間隔を持っているが、青の部分
は阻止する。１２Ｍ１ｌｚの搬送波を使う時、青の光が
プレート３０の垂直スロットを通過し、赤の光が阻止さ
れる。

この為、同じ電子ビームを用いて、３つの重畳された原
色影像を同時に書込むことが出来、完全に整合した金色
影像としてスクリーン３３に投影することが出来る。１
個の走査７ｕ子ビームを操作することにより、流体面上
の各々の画素の中に小形の回折格子を書込むことによっ
て、色が発生される。こういう格子が透過光線を出力バ
ーで終端する状態から遠ざける様に回折し、そこで空間
的なフィルタ作用にかけられて、所望の色がスクリーン
に達する様にする。回折光量は、制御層に形成される格
子の深さに関係する。この方式は、１個の制御層の上に
金色テレビジョン影像を書込むことが出来る様にし、特
別の整合を必要としない。

第３図はライトバルブ投影装置の基本回路のブロック図
である。複合ビデオ信号が復号器３４の入力に供給され
、この復号器が赤、青及び緑のビデオ信号をその出力に
発生する。これらの信号が変調器３６，３８．４０に夫
々印加される。格子発生器４２が搬送波信号を供給する
。図示の場合、これは変調器３６．３８に対する１６Ｍ
ＩＩｚ及び１２　Ｍｌｌｚの周波数を持つと共に、変：
ＪＪ器４０に対する４　８　Ｍｌｌｚの周波数を持つ信
号である。赤及び青変調器３６．３８の出力を組合せ、
水平偏向信号発生器４４からの水平偏向信号に重畳する
。緑の変調器４０の出力を垂直偏向発生器４６からの垂
直偏向信号に重畳する。

第１図、第２図及び第３図に図式的に示した基本的なシ
ュリーレン暗視方形ライトバルブ投影装置は何年かの期
間にわたって開発されて、カラーバランスがよく、解像
度の高いすぐれた品質の影像を発生する非常に効率のよ
い投影装置になっている。新型のライトバルブでは、−
層厚手の出力窓を使うことによって問題が起った。すな
わち、厚手の出力窓のより、普通は出力窓の外側にある
マスクが焦点面（制御層）から遠くなりすぎて、周囲光
を完全に除去することが出来なくなる。この為種々の場
所及び設計が研究され、その結果本発明を達成した。

投影装置に光マスクを使うことは勿論公知である。こう
いうマスクが°前に述べた様なシュリーレン暗視方形ラ
イトバルブ投影装置に使われている。

従来の他の例が米国特許第３．７０２．３９５号、及び
同第３．８０６，２３６号に記載されている。

この何れの米国特許にも、高光度の光源を使う投影装置
の例が示されている。米国特許第３，８０６．２３６号
ではフィルムの直ぐそばにマスク・プレートを配置して
いる。米国特許第３，７０２゜３９５号には２つの実施
例が示されている。その１つでは、マスク・プレートが
焦点に配置され、他方では、マスク・プレートが透明陽
画のそばに配置されている。この何れの米国特許でも、
マスク・プレートの目的は、ｆｉ？光を遮ることである
。

同様な技術が米国特許第１，６３０．６１６号及び同第
２．０１９．６９８号にも見られる。特に米国特許第２
，０１９，６９８号には、フィルムの両側に設けたマス
ク・プレートが示されている。

発明の要約 本発明の目的は、シュリーレン暗視方形ライトバルブ投
影装置の設計と製造を改良することである。

本発明の別の特定の目的は、上に述べた形式のライトバ
ルブに対し、マスクの縁から回折するスプリアス光を有
効に除く改良されたマスクを提供することである。

本発明では、出力窓の内側又は外側にマスクを堆積し、
このマスクの縁部が澄明から不透明まで次第に変化する
濃度を有することを特徴とする。

出力窓の内面はライトバルブの焦点面すなわち制御層に
接近しており、これはこぼれ光を最小限に抑えるのに望
ましい。然し、マスクを出力窓の外面すなわち空気側に
設けても同様な結果を得ることができる。マスクの可変
濃度の縁部が、スプリアス光を除く点で予想外のよい結
果をもたらした。

これは、従来の普通のマスクの明確に限定された縁と、
本発明の可変濃度の縁部とを直接的に実験で比較するこ
とによって判った。用途によっては、制御層の電子銃側
のマスクと組合せて、可変濃度の縁部を持ちマスクを使
うのが望ましいことがある。特定の実施例では、このマ
スクを制御層から約２ｍｍの所に配置しても、ぬれ又は
流体の架橋をな（すことが出来る。収斂する光線及び発
散する電子ビームがこの場合に特別の利点をもたらす。

出力窓の内側にある可変濃度の縁を持つマスクと組合せ
て使う時、ライトバルブの性能のすぐれた結果が得られ
た。特に可変濃度の縁を持つマスクを出力窓の内側に用
いる時、出力窓の外側に更に別のマスクを用いることも
可能である。第２及び第３のマスクを使う場合、これら
は普通の設計にする。

本発明の上記及びその他の目的、並びに本発明の種々の
面及び利点は、以下図面を参照して詳しく説明する所か
ら更によく理解されよう。

好ましい実施例の説明 図面全体にわたり、同じ又は対応する部分には同じ参照
数字を用いている。第４図には、新世代のシュリーレン
暗視升形ライトバルブの内部真空部品の分解図が示され
ている。真空外被が入力窓５１、集束偏向円筒５２）ポ
ンプ集成体７０を受入れる成形凹部５５を持つ後側ハウ
ジング５３、及びフェースプレート５８で構成される。

電子銃集成体１６が入力窓５１の中心開口に取付けられ
、入力バープレート１８が入力窓５１の内面に形成され
、これは従来のこの形式のライトバルブと機能的に同様
である。

集束偏向集成体が３組の電極を有する。４側御組の電極
６１は、１対の水平板及び１対の垂直板で構成されてい
るが、入力窓５１の中心開口の周りに取付けられる。１
対の垂直偏向板６２及び１対の水平偏向板６７が円筒５
２内にあって、２番目の電極の組を形成する。３番目の
組は垂直偏向板６３及び水平偏向板６５で構成される。

第４図に示す様に、偏向板６２．６３．６５．６７は、
ブラケット６６によって円筒５２内に支持されており、
このブラケットがこれらの偏向板に対する電気接続もす
る。偏向板６３．６５より先で、後側ハウジング５３の
中に円筒形ドリフト・リング２１があり、これが円板８
３上の透明電極と共に、集束偏向装置を完成する。

全体を７０に示すギヤ・ポンプ集成体が後側ハウジング
５３の凹部５５内に配置される。ギヤ・ポンプは、ハウ
ジング７２内にあって磁石７３によって駆動されるギヤ
７１を有する。磁石７３は、ポンプを収容した凹部５５
の後側外面上で、ポンプ７０と軸方向に整合した電動機
（図面に示してない）によって駆動される回転する磁石
に結合されている。磁石７３に対し、その磁界が電子ビ
ームに影響しない様にする軸方向遮蔽体７４が設けられ
ている。ライトバルブ投影装置の中には、電子ビームが
投影装置の磁界又は地磁気の影響を受けない様にする為
のこの他の磁気遮蔽が施されている。

ポンプ集成体７０を収容する凹部５５を含む後側ハウジ
ング５３とフェースプレート５８が全体として、流体を
収容する貯蔵槽２４（第１図に図式的に示した）を構成
する。ギヤ・ポンプ７０がこの貯蔵槽内に配置され、フ
ィルタ７６を介して流体を圧送する様に作用する。フィ
ルタ７６がフィルタやハウジング７７と穿孔パネル７８
の間に挟まれていて、この集成体がじゃま板８１の裏側
下面に固定される。じゃま板８１は全体的に円形の円板
で、前向きに突出するフランジを持ち、それが回転円板
８３を取囲む。円板８３は軸受８４によって回転出来る
様に支持されており、じゃま板８１の中心に取付けられ
たピンがこの軸受の中に突入する。リング・ギヤ８５が
円板８３の周縁に取付けられていて、ギヤ・ポンプ７０
から突出するピニオン・ギヤ７５によって駆動される。

円筒５２の側面には真空維持装置８９が取付けられてお
り、これは外被を密封した後に外彼内に残る気体状材料
並びライトバルブの動作の生成物として発生される気体
状材料を収集する。

第５図はマスクの平面図と基本的な寸法を示す。

マスクが蒸着又はその他の適当な方法により、出力窓す
なわちフェースプレート５８の内面上に形成される。マ
スクを設ける別の場所としては、窓の外側すなわち空気
側である。普通のマスクを電子銃側のマスクの前に配置
することが出来る。特定の実施例では、電子銃側のマス
クは円板８３から２ｍｍ隔たっており、これはぬれ又は
制御流体の架橋を防ぐに十分である。出力窓に設けたマ
スクは円板８３の制御層側から光学的に大体同じ距離の
所にある。ニーで説明する特定の実施例では、２つのマ
スクに対する最小寸法は下記の表に示す通りである。

こ−で説明する特定の実施例では、こういう寸法は、そ
れより小さいと、投影像の縁に若干の照明の陰影が入る
様な閾値である。

光学的な観点からすると、２つの場所の間に強いてどち
らがよいということはないが、両方の場所にマスクを配
置した場合、−層よい性能が得られる。その理由が第６
図に示されている。入力窓の上側からの極限の光線が近
い方のマスクの最小寸法を決定するが、こうすると、負
の側からの全てのこぼれ光がマスクの外側の領域を照明
することが出来る様になる。同様に、マスクより先に配
置されたマスクでは、入力窓の負の側からの極限の光線
がその最小寸法を決定し、正のひとみからの光が依然と
してマスクの外側にこぼれ光を生ずる。２つのマスクの
組合せにより、入力窓の両側からのこぼれ光がなくなり
、従って像の周囲領域を更に効果的に暗くする。

シュリーレン暗視野光学系の中に配置されるナイフ・エ
ツジの都合の悪い特性として、縁部が透明から不透明に
変化すると、光の波頭の回折が起る。位相の干渉に対す
る正確な摂動は、ナイフ・エツジが導体であるか誘電体
材料であるかによって変わるが、結果は同様である。ナ
イフ・エツジの裾を廻る光線は、元の光線の軌跡を取巻
く角度スペクトルにそらされる。この角度偏移スペクト
ル・エネルギがシュリーレン・バーを照射し、その若干
が通過して暗視野を損う。

２つのマスクを組合せることにより、回折による縁の光
を増加するよりも少なくする。これは、各々のマスクが
他方のマスクを照射する合計の光を少なくするからであ
る。ところで、ライトバルブの出力窓の様な硝子面の上
に配置されたマスクに対して、本発明は回折によって起
る縁の光を完全になくす方法を提供する。それがどの様
に達成されるかを理解する為に、光学的な空間フィルタ
と電気的なフィルタのスペクトル関係を較べる。

数学的に云うと、両方の関係は、フーリエ変換方程式で
表わすことが出来る。電気的なフィルタでは、ステップ
関数の入力波形の立上り時間は、フィルタの帯域幅が減
少するにつれて長くなる。この関係が第７Ａ及び７Ｂ図
に示されている。ステップ関数の波形、即ち不透明な空
間領域から透明な空間領域への急激な変化をする波形に
対する光学的な空間フィルタの応答では、第８Ａ及び８
Ｂ図に示す同様な関係が得られる。従って、立上りが遅
いステップ関数の周波数スペクトルは、電気的な場合に
ついて第９Ａ及び９Ｂ図に示し、光学的な場合について
第１０Ａ及び１０８図に示す様に、立上りが急な波形よ
りも狭くなる。第１０Ａ図はまた、本発明のライトバル
ブの出力窓の内面に形成されたマスクの縁部の不透明か
ら透明への濃度変化を表わす。第１０Ｂ図に示す様に、
この変化がそれ程急でなくなるにつれ、角度スペクトル
が一層狭くなる。

暗視升形装置のガードバンドが約１．６ミリラジアン（
バーの表面で４ミル）であると仮定すれば、回折光をガ
ードバンド内に保つ様な、マスクの縁部に於けるこの変
化の勾配を計算することが出来る。近似式を使うと、角
度スペクトルとマスクの変化の空間とは次の関係にある
。

０．８０５λ ｄ　脂□ ｒ ＡＧＢ こ＼でｄ　は不透明から透明への変化寸法、λはｒ 入射光の波長、ＡＧＢはシュリーレン角度ガードバンド
である。λ−０，５５ミクロンで”　ＣＢ−１，６Ｘ１
０−３ラジアンであれば ｄ　　−２７６，７２ミクロン（０，０１０９吋）ｔ「 である。従って、マスクの縁部に於ける不透明から透明
への変化を１１ミル又は更に大きな空間にわたって分布
させることが出来れば、回折光はシュリーレン光学系の
ガードバンド内に収まり、縁の光を発生しない。

第４図及び第１１図について説明すると、木発明の可変
濃度を持つマスクをライトバルブの出力窓１８に適用し
た場合が示されている。マスクが、透明な出力窓区域２
１を取囲む不透明なマスク区域９０を有する。区域９０
が、シュリーレン投影レンズ１４の球面光学系に対応し
て円形として示されているが、不透明なマスク区域９０
とシュリーレン投影レンズ１４の入口ひとみの間に十分
なオーバーラツプがある限り、どんな幾何学的な形でも
よい。透明な出力窓区域９１は矩形であり、その寸法は
ラスタ像に対応する。不透明なマスク区域９０と透明な
出力窓区域９１の間に可変濃度の変化区域９２がある。

この変化区域の幅がｄｔｒである。

第１２図及び第１３図は本発明の可変濃度を持つマスク
の別の配置を示す。具体的に云うと、第１２図では、マ
スクが出力窓５８の内側すなわち真空側或いは流体側に
適用されている。第１３図では、マスクが出力窓５８の
外側すなわち空気側に適用されている。どちらの場所で
も同様な結果が得られる。第１２図及び第１３図のいず
れでも、円板８３の電子銃側にある第２のマスク９３の
場所を示している。前に述べた様に、このマスク９３は
随意選択であるが、本発明の可変濃度の縁部を持つマス
クと組合せて使う時、すぐれた結果が得られる。特に第
１２図の場合、出力窓の外側に更に別の第３のマスク９
４を用いて、性能を更に高めることが可能である。

光学的な試験装置でシュリーレン暗視升形装置に写真フ
ィルムを使うことにより、軟らかい縁部の変化の全体的
な影響を検証した。フィルム乳剤の変化が透明から不透
明になる時、縁の回折が実際になくなった。

本発明の好ましい実施例と種々の代案及び変形を説明し
たが、当業者であれへ！１本発明が特許請求の範囲によ
って定められた本発明の範囲内で種々変更することが出
来ることは理解されよう。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のライトバルブ投影装置の構造を示す簡略
断面図、第２図は従来のライトバルブ投影装置の動作原
理を示す簡略斜視図、第３図は従来のライトバルブ投影
装置の変調偏向装置の基本回路を示すブロック図、第４
図は本発明を実施した新世代のライトバルブの主な要素
を示す分解斜視図、第５図はライトバルブに使われるマ
スクの平面図で、その基本寸法を示す。第６図はマスク
の寸法を決定する時の幾何学的な関係を示す略図、第７
Ａ及び７Ｂ図は電気的なフィルタに於ける電気的な信号
応答とステップ関数の入力波形の間の関係を示すグラフ
、第８Ａ及び８Ｂ図は光学的なフィルタの光学的な信号
応答とステップ関数の入力波形の間の同様な関係を示す
グラフ、第９Ａ及び９Ｂ図は電気的なフィルタの電気的
な信号応答とゆっくりと立上るステップ関数の入力波形
の間の関係を示すグラフ、第１０Ａ及び１０８図は光学
的なフィルタの光学的な信号応答とステップ関数の入力
波形の間の同様な関係を示すグラフ、第１１図はライト
バルブの出力窓に堆積した本発明可変濃度の縁部を持つ
のマスクの平面図、第１２図は出力窓の真空側すなわち
流体側に配置ηした光学的なマスクの断面図、第１３図
は出力窓の外側（すなわち空気側）に配置された光学的
なマスクの断面図である。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）出力窓から密な間隔だけ隔たる変形可能な光変調制
   御層、電子ビームを発生して該電子ビームで前記変形可
   能な光変調制御層をラスタ走査して前記層の表面を変形
   させる電子銃及び偏向集成体、及び前記変形可能な光変
   調制御層上のラスタ走査される区域に光を投射する光源
   を持つシュリーレン暗視野形ライトバルブに於て、前記
   出力窓上に形成されて、前記ラスタと光学的に整合し且
   つ該ラスタに関係する寸法を持つ第１のマスクを有し、
   該マスクが、回折光をシュリーレン暗視野光学系のガー
   ドバンド内に収めるのに十分な空間にわたり、透明から
   不透明までの可変濃度の縁部を持っているシュリーレン
   暗視野形ライトバルブ。 ２）特許請求の範囲第１項に記載したシュリーレン暗視
   野形ライトバルブに於て、前記出力窓から密な間隔で隔
   たる回転円板と、該円板を被覆するための光変調流体を
   収容した貯蔵槽とを有し、前記円板は一部分が前記貯蔵
   槽の中を回転し、前記円板を被覆する前記流体が前記変
   形可能な光変調制御層であるシュリーレン暗視野形ライ
   トバルブ。 ３）特許請求の範囲第２項に記載したシュリーレン暗視
   野形ライトバルブに於て、前記マスクが前記出力窓の内
   面に形成されているシュリーレン暗視野形ライトバルブ
   。 ４）特許請求の範囲第３項に記載したシュリーレン暗視
   野形ライトバルブに於て、前記第１のマスクと光学的に
   整合して、前記回転円板に隣接して前記出力窓とは反対
   側に第２のマスクが設けられているシュリーレン暗視野
   形ライトバルブ。 ５）特許請求の範囲第４項に記載したシュリーレン暗視
   野形ライトバルブに於て、前記第１のマスク及び前記第
   ２のマスクと光学的に整合して、前記出力窓の外面上に
   第３のマスクが設けられているシュリーレン暗視野形ラ
   イトバルブ。 ６）特許請求の範囲第２項に記載したシュリーレン暗視
   野形ライトバルブに於て、前記第１のマスクが前記出力
   窓の外面上に形成されているシュリーレン暗視野形ライ
   トバルブ。 ７）特許請求の範囲第６項に記載したシュリーレン暗視
   野形ライトバルブに於て、前記出力窓上の前記第１のマ
   スクと光学的に整合して、前記回転円板に隣接して前記
   出力窓とは反対側に配置された第２のマスクが設けられ
   ているシュリーレン暗視野形ライトバルブ。