JPS6376784A - Rotary head for laser beam machine - Google Patents

Rotary head for laser beam machine

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Publication number
JPS6376784A
JPS6376784A JP61221615A JP22161586A JPS6376784A JP S6376784 A JPS6376784 A JP S6376784A JP 61221615 A JP61221615 A JP 61221615A JP 22161586 A JP22161586 A JP 22161586A JP S6376784 A JPS6376784 A JP S6376784A
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JP
Japan
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rotary head
optical device
axis
optical
laser beam
Prior art date
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Application number
JP61221615A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yasuhiko Iwai
靖彦 祝
Mitsunobu Oshimura
押村 光信
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
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Publication of JPS6376784A publication Critical patent/JPS6376784A/en
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Abstract

PURPOSE:To perform a circle working at high speed and high accuracy by displacing in the optical axis direction the laser light incident from the horizontal direction for the optical axis and moving the optical instrument leading to a work head in the radial direction for a rotary part. CONSTITUTION:An optical instrument 25 is composed of a bend mirror and adjusted by moving in the radial direction of the rotary shaft of a rotary part 7 for the rotary part 7 by a movement adjusting mechanism 40. A rack 43 is provided on a slide member 41, the slide member 41 is moved by the engagement part provided on a cylindrical part 20 and the bend mirror 25 is moved. A circle working of high speed and high accuracy is enabled with the device of this composition.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明はレーザ光をある軸まわりに回動させて立体加
工するレーザ加工機の回転ヘッド、特にワークに照射さ
れるレーザ光の回転半径を任意に調節できる回転ヘッド
の改良に関するものである。
[Detailed Description of the Invention] [Field of Industrial Application] This invention relates to a rotating head of a laser processing machine that rotates a laser beam around a certain axis to perform three-dimensional processing, and in particular, to a rotating radius of the laser beam irradiated onto a workpiece. This invention relates to an improvement in a rotary head that can be adjusted arbitrarily.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

従来のレーザ加工機用の回転ヘッドには例えば2軸回転
式のものがあり、このものは、ワークテーブルに垂直な
2@方向の第1軸(以下C@という)を中心に回動する
第1回転部と、このCf1Ilに直交する第2軸(以下
A軸という)を中心に回動する第2回転部とを備えると
ともに、上記各回転部はレーザ光の進行方向を横方向に
変位させて加工ヘッド部の集光レンズにレーザ光を導き
、もってワークを加工するように構成されている。
Conventional rotary heads for laser processing machines include, for example, a two-axis rotary type, and this type has a first axis that rotates around a first axis (hereinafter referred to as C@) in the 2@ direction perpendicular to the work table. The second rotating part rotates around a second axis (hereinafter referred to as A axis) perpendicular to Cf1Il, and each of the rotating parts transversely displaces the traveling direction of the laser beam. The laser beam is guided to the condensing lens in the processing head, and the workpiece is processed using the laser beam.

この2軸回転式の回転ヘッドは上述のように、C軸及び
A軸という2つの回転軸を具備するため、これら各軸を
中心に、第1、第2回転部を個々に回動させることによ
ってワークを3次元加工することができる。
As mentioned above, this two-axis rotary head is equipped with two rotation axes, the C axis and the A axis, so the first and second rotation parts can be rotated individually around each of these axes. It is possible to process a workpiece three-dimensionally.

このような回転ヘッドの構成を第4図に基づいて具体的
に説明する。この第4図は回転ヘッドの部分断面図であ
り、図において、(1)はレーザ光(2)を発振するレ
ーザ発振器、(3)はレーザ発振器(1)から発振され
たレーザ光(2)をZ方向から回転ヘッド(4)に入射
させるためのペンドミラーである。なお、図中、x、y
、zは3次元空間の各方向を示している。この回転ヘッ
ド(4)はレーザ加工機の本体(図示せず)にポールね
じ(5)を介して取付けられるとともに、サーボモータ
(8)により上下方向及び周方向にそれぞれ移動可能に
なっている。
The structure of such a rotary head will be specifically explained based on FIG. 4. This FIG. 4 is a partial cross-sectional view of the rotating head. In the figure, (1) is a laser oscillator that oscillates a laser beam (2), and (3) is a laser beam (2) that oscillates from the laser oscillator (1). This is a pendor mirror for making the light incident on the rotary head (4) from the Z direction. In addition, in the figure, x, y
, z indicate each direction in the three-dimensional space. This rotary head (4) is attached to the main body (not shown) of the laser processing machine via a pole screw (5), and is movable vertically and circumferentially by a servo motor (8).

この回転ヘッド(4)の下部は入射されるレーザ光(2
)の光軸を中心として回動自在な回転部(7)を構成し
ており、さらにこの回転部(7)は、C軸を中心として
第1回転部(以下C軸回転部という)(8)を回動させ
るC軸駆動部(3)と、A軸を中心として第2回転部(
以下A軸回転部という)(lO)を回動させるA軸駆動
部(11)とを備えている。
The lower part of this rotary head (4) is the laser beam (2) to which the laser beam is incident.
), which is rotatable around the optical axis of the rotary part (7), and further comprises a first rotating part (hereinafter referred to as the C-axis rotating part) (8) which is rotatable around the optical axis of the C-axis. ), a C-axis drive unit (3) that rotates the second rotating unit (
(hereinafter referred to as the A-axis rotating section) (lO).

C@回転部(8)には上方に突出する筒状部(12)が
固定されており、この筒状部(12)はC軸駆動部(9
)によって駆動される。即ち、この筒状部(12)は、
ブラケッ) (13)と一体化したケース(14)内に
ベアリング(15)を介して回動自在に装着され、サー
ボモータ(1B)により歯車列(17)を介して駆動さ
れ、これによりC軸回転部(8)が回動する。このC@
11回転部(8)のケース(1日)にはレーザ光を反射
する第1のペンドミラー(18)が取付けられている。
A cylindrical part (12) that protrudes upward is fixed to the C@rotating part (8), and this cylindrical part (12) is connected to the C-axis drive part (9).
) is driven by. That is, this cylindrical part (12) is
It is rotatably mounted via a bearing (15) in a case (14) integrated with a bracket (13), and is driven by a servo motor (1B) via a gear train (17), thereby driving the C-axis. The rotating part (8) rotates. This C@
A first pendor mirror (18) that reflects laser light is attached to the case (1st) of the 11th rotation section (8).

一方、このC軸回転部(8)とともに回転部(7)を構
成するA軸回転部(10)はA軸駆動部(11)により
駆動される。即ち、C軸回転部(8)のケース(18)
内にはA軸回転部(10)の筒部(20)がベアリング
(21)を介して回動自在に装着され、サーボモータ(
22)により歯車列(23)を介して駆動され、これに
よりA軸回転部(10)が回動する。このA軸回転部(
10)のケース(24)には、第1のペンドミラー(1
9)で反射されたレーザ光を再び反射する第2のペンド
ミラー(25)が第1のペンドミラー(18)に対向し
て配置されて入射レーザ光(2)の光軸を横方向に変位
ごせるようにしている。また、このA軸回転部(10)
の下方には82のペンドミラー(25)により反射され
て案内された射出光を集光してワーク(26)に照射す
る集光レンズ(27)を備えた加工ベンド(28)が配
設されている。ワーク(2B)はサーボモータ(29)
 、(30)によりX、Y方向にそれぞれ駆動されるX
、Yテーブル(31)上に載置されている。これら各サ
ーボモータ(13)、(113) 、 (22)、(2
9)。
On the other hand, the A-axis rotation section (10), which constitutes the rotation section (7) together with the C-axis rotation section (8), is driven by the A-axis drive section (11). That is, the case (18) of the C-axis rotating part (8)
Inside, the cylindrical part (20) of the A-axis rotating part (10) is rotatably mounted via a bearing (21), and a servo motor (
22) via a gear train (23), thereby rotating the A-axis rotating section (10). This A-axis rotating part (
10), the case (24) has a first pend mirror (1
A second pendulous mirror (25) that re-reflects the laser beam reflected by step 9) is disposed opposite to the first pended mirror (18) to laterally displace the optical axis of the incident laser beam (2). That's what I do. In addition, this A-axis rotating part (10)
A processing bend (28) equipped with a condensing lens (27) that condenses the emitted light reflected and guided by the 82 pend mirrors (25) and irradiates it onto the workpiece (26) is disposed below. There is. Workpiece (2B) is servo motor (29)
, (30) respectively in the X and Y directions.
, are placed on the Y table (31). Each of these servo motors (13), (113), (22), (2
9).

(30)はNC制御装置 (数値制御装置) (32)
により制御されている。
(30) is NC control device (numerical control device) (32)
controlled by.

従来のレーザ加工機用の加工ヘッド(4)は上記のよう
に構成され、レーザ発振器(1)から射出されたレーザ
光(2)はペンドミラー(3)を介してC軸に沿って回
転ヘッド(4)に入射する。この入射したレーザ光(2
)は第1、第2のペンドミラー(19) 、(25)に
より光軸を横方向に距giHだけ変位した後、集光レン
ズ(27)を介してワーク(26)に照射される。この
ワーク(26)を立体加工するには、数値制御装置(3
2)により、サーボモータ(6)。
The processing head (4) for a conventional laser processing machine is configured as described above, and the laser beam (2) emitted from the laser oscillator (1) passes through the pend mirror (3) to the rotating head (4) along the C-axis. 4). This incident laser light (2
) is irradiated onto the workpiece (26) through the condensing lens (27) after the optical axis is laterally displaced by a distance giH by the first and second pendor mirrors (19) and (25). In order to three-dimensionally process this workpiece (26), a numerical control device (3
2) by the servo motor (6).

(+6) 、 (22)を動作させて回転ヘッド(4)
下部の加工ヘッド(28)を3次元運動させるとともに
、サーボモータ(29) 、 (30)を動作させ、X
、Yテーブル(31)を移動させることにより行なって
いる。
(+6) and (22) to rotate the rotating head (4).
The lower processing head (28) is moved three-dimensionally, and the servo motors (29) and (30) are operated to
, by moving the Y table (31).

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problem that the invention seeks to solve]

しかしながら、上記の様な従来装置により、ワーク(2
6)を円加工する場合にあっては、回転部(7)の回動
中心であるC軸に対して第2のペンドミラー(25)が
スライド不可能であることから、レーザ光(2)の光軸
の横方向変位Hを調節することはできなかった。
However, with the conventional equipment as described above, the workpiece (2
6), the laser beam (2) is It was not possible to adjust the lateral displacement H of the optical axis.

そこで、従来の円加工においては、ワーク(26)に照
射されるレーザ光が、ワーク(2B)に対して相対的に
所定の円を描くように、NC制御装置(32)による円
弧補完指令により、x、Yテーブル(31)の方を逐次
移動させていた。ところが、この方法では、NCl値開
vII)によるフィードバック制御のために遅れ時間に
よる誤差が生じ、そのため精度が悪く正確な円を描くこ
とが難しく、また加工速度も遅いという問題点があった
Therefore, in conventional circular machining, the laser beam irradiated to the workpiece (26) draws a predetermined circle relative to the workpiece (2B) by an arc complement command from the NC control device (32). , x, and Y table (31) were moved sequentially. However, in this method, an error occurs due to a delay time due to feedback control based on the NCl value (VII), resulting in poor accuracy and difficulty in drawing an accurate circle, as well as slow machining speed.

この発明はかかる問題点を解決するためになされたもの
で、高速かつ高精度にワークを円加工することができる
レーザ加工機用の回転ヘッドを得ることを目的とする。
The present invention was made to solve these problems, and an object of the present invention is to obtain a rotary head for a laser processing machine that can circularly process a workpiece at high speed and with high precision.

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving problems]

この発明に係るレーザ加工機用の回転ヘッドは、回転部
を、入射されるレーザ光の光軸を中心として回動させ、
この回転側内に対向配置された第1と第2の光学機器に
より、入射レーザ光の光軸を横方向に変位させ、回転部
下方に配設された加工ヘッドにより第2の光学機器に案
内された射出レーザ光を集光してワークに照射するよう
に構成したものにおいて、第2の光学機器を、回転部に
対し半径方向に移動調節可能に配設したものである。
The rotating head for a laser processing machine according to the present invention rotates the rotating part around the optical axis of the incident laser beam,
The optical axis of the incident laser beam is laterally displaced by the first and second optical devices arranged oppositely within this rotating side, and guided to the second optical device by the processing head arranged below the rotating side. The second optical device is configured to condense the emitted laser beam and irradiate it onto the workpiece, and the second optical device is arranged to be movable and adjustable in the radial direction with respect to the rotating part.

〔作用〕[Effect]

この発明においては、第2の光学機器を取付けたスライ
ド部材をA軸回転部に対してスライド可能としたから、
第2の光学機器と第1の光学機器との相対位置を調節す
ることができることとなる。
In this invention, since the slide member to which the second optical device is attached is slidable with respect to the A-axis rotating section,
This means that the relative positions of the second optical device and the first optical device can be adjusted.

〔実施例〕〔Example〕

以下第1図に示したこの発明の一実施例に基づいて、従
来と同−又は相当部分には同一符号を付して、この発明
の特徴を中心に説明する。第1図は第4図相当の実施例
装置の部分断面図であり、図示のように、(19) 、
(25)はそれぞれ第1、第2の光学機器であって、こ
の実施例では反射鏡であるペンドミラーの場合を示して
いる。この光学機器(19) 、(25)はプリズム等
地の光学機器であってもよい。この第2のペンドミラー
(25)は、移動調節機構(40)によって、回転部(
7)に対して、該回転部(7)の回転軸(入射レーザ光
の光軸、即ちC軸)の半径方向(図中矢印(a)方向)
に移動jJ!lWJ可能に配設されている。即ち、この
移動調節機構(40)は、第2のペンドミラーを取付け
るスライド部材(41)を、A軸回転部(10)の筒部
(20)内に、該筒部(20)の軸方向に摺動自在に嵌
装させるとともに、このスライド部材(41)と筒部(
20)とが係止機構(42)によって移動可能になって
いる。この実施例では係止機構(42)として、スライ
ド部材(41)にランク(43)を設け、筒部(20)
にこのラック(43)に係合する係合部材(44)を設
けた場合を示している。また、係合部材(44)として
は第2図に示すようにつめを備えて軸(44a)を中心
に矢印(b)方向に揺動可能なものであってもよいが、
第3図に示すように、筒部(20)に軸(44a)を介
して取付けられているピニオン(44b)を用いれば自
動調節が可能となる利点がある。
Hereinafter, based on an embodiment of the present invention shown in FIG. 1, the features of the present invention will be mainly explained, with the same or corresponding parts as those in the prior art being designated by the same reference numerals. FIG. 1 is a partial sectional view of the embodiment device corresponding to FIG. 4, and as shown, (19),
(25) are the first and second optical devices, respectively, and this embodiment shows the case of a pendor mirror which is a reflecting mirror. The optical devices (19) and (25) may be optical devices such as prisms. This second pend mirror (25) is moved by the rotating part (
7), the radial direction (direction of arrow (a) in the figure) of the rotation axis (optical axis of the incident laser beam, that is, C axis) of the rotating part (7)
Move to jJ! IWJ is possible. That is, this movement adjustment mechanism (40) moves the slide member (41) for attaching the second pendor mirror into the cylindrical part (20) of the A-axis rotating part (10) in the axial direction of the cylindrical part (20). This sliding member (41) and the cylindrical portion (
20) are movable by a locking mechanism (42). In this embodiment, a rank (43) is provided on the slide member (41) as a locking mechanism (42), and a rank (43) is provided on the slide member (41).
A case is shown in which an engaging member (44) that engages with this rack (43) is provided. Further, as shown in FIG. 2, the engaging member (44) may be provided with a pawl and swingable in the direction of the arrow (b) about the shaft (44a).
As shown in FIG. 3, there is an advantage that automatic adjustment is possible by using a pinion (44b) attached to the cylindrical portion (20) via a shaft (44a).

即ち、この移動調節機構(40)は、第2のペンドミラ
ー(25)を回転部(7)に対し、半径方向に移動可能
な係止機4Ii(42)を設けて第1のペンドミラー(
!9)との距離を変化させて、回転部の光軸(即ちcr
tに相当)と、第2のペンドミラー(25)での射出光
の光軸との光軸間圧#Hが調節可能に構成されているこ
とになる。
That is, this movement adjustment mechanism (40) is provided with a locking device 4Ii (42) that can move the second pend mirror (25) in the radial direction with respect to the rotating part (7), so that the first pend mirror (
! 9), the optical axis of the rotating part (i.e. cr
t) and the optical axis of the emitted light at the second pendor mirror (25) can be adjusted.

したがって、上記のように構成されたこの発明の回転ヘ
ッド(0においては、スライド部材(41)を筒部(2
0)に対して相対的に移動させた桟、係止機構(42)
により所定の位置に係上させることにより、光軸間圧t
lHを調節することができるため。
Therefore, in the rotary head (0) of the present invention configured as described above, the slide member (41) is connected to the cylindrical portion (2).
Crosspiece and locking mechanism (42) moved relative to 0)
By engaging the optical axis at a predetermined position, the pressure between the optical axes t
Because it can regulate lH.

回転ヘッド(4)の回転部(7)がC@を中心に回動す
ることにより、加工ヘッド(2日)からのレーザ光がC
軸まわりに所定の半径Hの真円を正確に描くこととなる
。これによりワーク(2G)を高速かつ高精度に円加工
することができる。即ち、従来は、光軸間距離Hは固定
寸法であり、円弧補完指令によりX、Yテーブル(31
)を逐次移動させていたのに対し、この発明では光軸間
圧i2Hを31節できるようにしたので、制御の遅れ詩
間による誤差等が発生することがなく1機械的に円加工
をすることができる。よって、その加工精度は移動7A
節機構(40)等の機械的精度にのみ依存することとな
り、高速かつ高精度の円加工が可能となる。
As the rotating part (7) of the rotating head (4) rotates around C@, the laser beam from the processing head (2nd)
A perfect circle with a predetermined radius H is accurately drawn around the axis. Thereby, the workpiece (2G) can be circularly machined at high speed and with high precision. That is, conventionally, the distance H between optical axes is a fixed dimension, and the X and Y tables (31
) was moved sequentially, but in this invention, the optical axis pressure i2H can be moved 31 times, so errors due to control delays do not occur, and circular machining can be performed mechanically. be able to. Therefore, the machining accuracy is 7A
This depends only on the mechanical accuracy of the joint mechanism (40), etc., and enables high-speed and highly accurate circular machining.

なお、上記実施例では加工ヘッド(28)はA軸回転部
(10)の筒部(20)に対しては相対移動しないが、
スライド部材(41)と加工ヘッド(2日)とを係着さ
せる構成にすれば、第2のペンドミラー(25)と−緒
に加工ヘッド(28)も移動することとなり、第2のペ
ンドミラー(25)からの射出光の光軸と加工ベンド(
28)の中心線がほぼ一致することとなる。
In addition, in the above embodiment, the processing head (28) does not move relative to the cylindrical part (20) of the A-axis rotating part (10),
If the slide member (41) and the processing head (2nd day) are configured to be engaged, the processing head (28) will also move together with the second pend mirror (25), and the second pend mirror (25) will move together. ) and the processing bend (
The center lines of 28) will almost coincide.

よって、第2のペンドミラー(25)の移動可能範囲が
さらに大きくなって寸法Hを広い範囲でa1節できるこ
ととなり、各種類の円を描くことができる。
Therefore, the movable range of the second pendor mirror (25) is further increased, and the dimension H can be extended to a1 in a wide range, making it possible to draw various types of circles.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

この発明は以上説明したとおり、第2の光学機器を回転
部に対し半径方向に移動TA節可能にするという構成を
とったことから、入射光とワークへの照射光との間の光
軸間距離を調節できることとなり、ワークを高速かつ精
度良く円加工できるという効果がある。
As explained above, this invention has a configuration in which the second optical device can be moved in the radial direction with respect to the rotating part, so that the distance between the optical axes between the incident light and the irradiated light on the workpiece is Since the distance can be adjusted, the workpiece can be circularly machined at high speed and with high precision.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図はこの発明の一実施例を示す部分断面図、第2図
、第3図は同じく係止機構を示す拡大説明図、第4図は
従来のレーザ加工機用の回転ヘッドを示す第1図相当の
部分断面図である。 (2)・・・入射レーザ光、(4)・・・回転ヘッド、
(7)・・・回転部、 (19)・・・第1の光学機器(第1のペンドミラー)
、(25)・・・第2の光学機器(第2のペンドミラー
)、(26)・・・ワーク、    (28)・・・加
工ヘッド、(40)・・・移動制WJ機構、(42)・
・・係止機構、(43)・・・ラック、    (44
)・・・係合部材、(44b)・・・ピニオン。 なお、各図中同一符号は同−又は相当部分を示す。
FIG. 1 is a partial sectional view showing an embodiment of the present invention, FIGS. 2 and 3 are enlarged explanatory views showing the locking mechanism, and FIG. 4 is a diagram showing a rotary head for a conventional laser processing machine. 1 is a partial cross-sectional view corresponding to FIG. (2)...Incoming laser beam, (4)...Rotating head,
(7)... Rotating part, (19)... First optical device (first pend mirror)
, (25)...Second optical device (second pend mirror), (26)...Workpiece, (28)...Processing head, (40)...Movement control WJ mechanism, (42)...・
...locking mechanism, (43) ... rack, (44
)...Engagement member, (44b)...Pinion. Note that the same reference numerals in each figure indicate the same or corresponding parts.

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)入射されるレーザ光の光軸を中心として回動する
回転部と、この入射されたレーザ光の光軸を横方向に変
位させるべく上記回転側内に対向配置された第1と第2
の光学機器と、上記回転部下方に配設されて、上記第2
の光学機器に案内された射出光を集光してワークに照射
する加工ヘッドとを備えたレーザ加工機用の回転ヘッド
において、上記第2の光学機器を上記回転部に対し半径
方向に移動調節可能に配設したことを特徴とするレーザ
加工機用の回転ヘッド。
(1) A rotating part that rotates around the optical axis of the incident laser beam, and a first and a second rotating part that are arranged oppositely within the rotating side to horizontally displace the optical axis of the incident laser beam. 2
an optical device disposed below the rotation, and a second optical device disposed below the rotation.
In a rotary head for a laser processing machine, the rotary head is equipped with a processing head that condenses emitted light guided by an optical device and irradiates the workpiece, and the second optical device is adjusted by moving in a radial direction with respect to the rotating part. A rotary head for a laser processing machine, which is characterized in that it can be arranged in a manner that allows
(2)上記移動調節機構は、第2の光学機器を回転部に
対し半径方向に移動可能な係止機構を設けて第1の光学
機器との距離を変化させて、回転部の光軸と第2の光学
機器での射出光の光軸との光軸間距離を調節可能に構成
したことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載のレー
ザ加工機用の回転ヘッド。
(2) The above-mentioned movement adjustment mechanism includes a locking mechanism that allows the second optical device to move in the radial direction relative to the rotating section, and changes the distance between the second optical device and the first optical device so that the optical axis of the rotating section can be adjusted. 2. The rotary head for a laser processing machine according to claim 1, characterized in that the distance between the optical axis of the emitted light and the optical axis of the second optical device can be adjusted.
(3)上記第1と第2の光学機器は反射鏡であることを
特徴とする特許請求の範囲第1項又は第2項記載のレー
ザ加工機用の回転ヘッド。
(3) The rotary head for a laser processing machine according to claim 1 or 2, wherein the first and second optical devices are reflecting mirrors.
(4)上記係止機構は、ラックと、このラックに係合す
る係合部材とから構成したことを特徴とする特許請求の
範囲第2項記載のレーザ加工機用の回転ヘッド。
(4) The rotary head for a laser processing machine according to claim 2, wherein the locking mechanism includes a rack and an engaging member that engages with the rack.
(5)上記ラックに係合する係合部材はピニオンである
ことを特徴とする特許請求の範囲第4項記載のレーザ加
工機用の回転ヘッド。
(5) The rotary head for a laser processing machine according to claim 4, wherein the engaging member that engages with the rack is a pinion.
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JP (1) JPS6376784A (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0268972A (en) * 1988-09-02 1990-03-08 Mitsubishi Electric Corp Laser oscillator
JPH03193290A (en) * 1989-12-25 1991-08-23 Fanuc Ltd Laser beam machine and laser beam machining method
KR101373839B1 (en) * 2012-05-18 2014-03-18 한국기계연구원 Optical head for machining cone shape and the laser processing apparatus using thereof

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