JPS6376713U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6376713U JPS6376713U JP17130886U JP17130886U JPS6376713U JP S6376713 U JPS6376713 U JP S6376713U JP 17130886 U JP17130886 U JP 17130886U JP 17130886 U JP17130886 U JP 17130886U JP S6376713 U JPS6376713 U JP S6376713U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- air cylinder
- cylinder
- operating
- pressure chamber
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Special Conveying (AREA)
- Reciprocating Conveyors (AREA)
- Pressure Vessels And Lids Thereof (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Description
第１図及び第２図は本考案の１実施例を示し、
第１図は圧力解放機構部分の説明図、第２図は信
号発生機構部分の説明図である。第３図はＩＣと
マガジンとの斜視図、第４図はＩＣとシユートレ
ールとの斜視図、第５図はＩＣをマガジンに装填
する従来例の装置の模式図である。 １……ＩＣ、２……マガジン、３……シユート
レール、４……エアシリンダ、１７……電磁弁、
１８……解放弁。
第１図は圧力解放機構部分の説明図、第２図は信
号発生機構部分の説明図である。第３図はＩＣと
マガジンとの斜視図、第４図はＩＣとシユートレ
ールとの斜視図、第５図はＩＣをマガジンに装填
する従来例の装置の模式図である。 １……ＩＣ、２……マガジン、３……シユート
レール、４……エアシリンダ、１７……電磁弁、
１８……解放弁。
Claims (1)
- シユートレールによつて搬送されたＩＣを押動
してマガジン内に装填するためのエアシリンダ装
置において、エアシリンダを伸縮作動せしめる為
の操作弁と、該エアシリンダの圧力室とを連通す
る管路と大気との間に解放弁を設けるとともに、
上記解放弁を開放作動させる為の操作シリンダを
設け、かつ、前記エアシリンダの圧力室と操作弁
とを連通する管路の途中に電磁弁を介装接続し、
一方、エアシリンダによるＩＣ押動力が異常に大
きくなつた場合にこれを検出するセンサを設け、
上記のセンサが異常を表わす信号を発していない
ときは前記の電磁弁は操作弁とシリンダ圧力室と
を連通せしめる構造とし、かつ、前記のセンサが
異常を表わす信号を発したとき前記電磁弁は、操
作弁から送られてくる圧力空気を前述の解放弁操
作シリンダに供給するように切り換えられる構造
としたことを特徴とする、ＩＣ装填用の安全装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17130886U JPS6376713U (ja) | 1986-11-10 | 1986-11-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17130886U JPS6376713U (ja) | 1986-11-10 | 1986-11-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6376713U true JPS6376713U (ja) | 1988-05-21 |
Family
ID=31106814
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17130886U Pending JPS6376713U (ja) | 1986-11-10 | 1986-11-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6376713U (ja) |
-
1986
- 1986-11-10 JP JP17130886U patent/JPS6376713U/ja active Pending
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