JPS6370020U - - Google Patents

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JPS6370020U
JPS6370020U JP16544586U JP16544586U JPS6370020U JP S6370020 U JPS6370020 U JP S6370020U JP 16544586 U JP16544586 U JP 16544586U JP 16544586 U JP16544586 U JP 16544586U JP S6370020 U JPS6370020 U JP S6370020U
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JP
Japan
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phase
sensing element
magnetic sensing
detecting
magnetic
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JP16544586U
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  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第1図はこの考案の一実施例の検出部の平面図
、第2図は全体の斜視図、第3図および第4図は
第1相と第2相の位相差を説明する説明図、第5
図は従来例の斜視図、第6図はその検出部の平面
図、第7図は他の従来例の検出部の平面図、第8
図はさらに他の従来例の斜視図、第9図および第
10図はその固定板の平面図である。 1…第1相検知用の磁気検知素子、2…第1相
の反転相検知用の磁気検知素子、3…第2相検知
用の磁気検知素子、4…第2相の反転相検知用の
磁気検知素子、5…検出部、6…ロータ、N,S
…磁極。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 所定の半径の円周上に配置される第1相検知用
    の磁気検知素子および第1相の反転相検知用の磁
    気検知素子を有するとともに前記円周上であつて
    前記第1相検知用の磁気検知素子および第1相の
    反転相検知用の磁気検知素子の相互間の中心に対
    して対称となる位置に配置された第2相検知用の
    磁気検知素子および第2相の反転相検知用の磁気
    検知素子を有する検出部と、軸方向の表面の前記
    半径と同じ半径の円周上に交互に異なる磁極が多
    数着磁されたロータとを備えた磁気式エンコーダ
JP16544586U 1986-10-27 1986-10-27 Pending JPS6370020U (ja)

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JP16544586U JPS6370020U (ja) 1986-10-27 1986-10-27

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JP16544586U JPS6370020U (ja) 1986-10-27 1986-10-27

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JPS6370020U true JPS6370020U (ja) 1988-05-11

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ID=31095491

Family Applications (1)

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JP16544586U Pending JPS6370020U (ja) 1986-10-27 1986-10-27

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JP (1) JPS6370020U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018179745A (ja) * 2017-04-13 2018-11-15 株式会社ニコン 誤差検出方法、誤差検出プログラム、誤差検出装置、エンコーダ装置の製造方法、エンコーダ装置、駆動装置、ステージ装置、及びロボット装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018179745A (ja) * 2017-04-13 2018-11-15 株式会社ニコン 誤差検出方法、誤差検出プログラム、誤差検出装置、エンコーダ装置の製造方法、エンコーダ装置、駆動装置、ステージ装置、及びロボット装置

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