JPS6362295A - プリント基板製造方法 - Google Patents

プリント基板製造方法

Info

Publication number
JPS6362295A
JPS6362295A JP20578786A JP20578786A JPS6362295A JP S6362295 A JPS6362295 A JP S6362295A JP 20578786 A JP20578786 A JP 20578786A JP 20578786 A JP20578786 A JP 20578786A JP S6362295 A JPS6362295 A JP S6362295A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
catalyst
hydrophilic
resist
hydrophobic
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP20578786A
Other languages
English (en)
Inventor
宏司 近藤
邑川 克彦
薫 野本
石田 信正
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Denso Corp
Original Assignee
NipponDenso Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NipponDenso Co Ltd filed Critical NipponDenso Co Ltd
Priority to JP20578786A priority Critical patent/JPS6362295A/ja
Publication of JPS6362295A publication Critical patent/JPS6362295A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/10Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
    • H05K3/18Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using precipitation techniques to apply the conductive material
    • H05K3/181Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using precipitation techniques to apply the conductive material by electroless plating
    • H05K3/182Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using precipitation techniques to apply the conductive material by electroless plating characterised by the patterning method
    • H05K3/185Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using precipitation techniques to apply the conductive material by electroless plating characterised by the patterning method by making a catalytic pattern by photo-imaging

Landscapes

  • Chemically Coating (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はプリント基板の製造方法に関するものであり、
さらに詳しく述べるならば、電気絶縁性基板の回路形成
部分に化学的金属めりきによシ導体図形を形成するアデ
ィティツ°法によるプリント基板の製造方法に関するも
のである。
〔従来の技術〕
電気絶縁性基板に化学金属めりき法によシ導体図形を形
成する際に貴金属などの触媒性がある物質を所定部分に
付着させた後、該基板をめっき液に浸漬するアディティ
フ゛プロセスは周知である。
所望の回路形成部分に回路を形成する方法として次の二
連シの方法がある。その一つは所望図形部のみに選択的
に触媒を付着させる方法であり、他の一つは基板の全表
面に触媒を付着させたのち、所望回形部以外の触媒をレ
ジストで被覆する方法である。
これらの方法で製造された印刷回路では選択的触媒付着
、レジスト塗布などにも拘わらず、図形形成部分以外に
めっき金属が析出するために図形形成部分以外で電気絶
縁性が不十分になることが起る。またレジスト被膜の下
に存在する触媒のために、レジスト被膜の上にめっき金
属が析出し同様に図形形成部分以外で電気絶縁性が不十
分になることが起る。
レジスト被膜上への異常析出を防止する特公昭56−4
2154号の方法によると、無機酸水溶液によりレジス
ト上の触媒を除去すること、およびレジストに、TI 
、 Nl、sbの酸化物固溶体を含有させることによっ
て、レジスト上へのめっき金属の析出を抑制するととも
にレジストを無機酸水溶液に安定にして、触媒除去を容
易にすることが提案されている。さらに、特公昭57−
4116号公報によると、触媒の付着を害する抑制剤を
含む樹脂組成物をレジストとして用い、また化学めりき
前に洗浄剤として有機酸と塩酸または有機酸と硝酸を用
いてレジスト上に付着した触媒を除去する方法が提案さ
れている。
レジストなしで基板に直接ノターンを形成する方法とし
て、近紫外、赤外、紫外光による光分解、光還元などの
光化学反応を利用して、触媒金属の図形を形成し、これ
を化学めっきによシ導体ノ々ターンとすることが提案さ
れている(電子材料、第19巻、第6号、第73頁およ
び日経エレクトロニクス、1982年4月26日号)。
〔発明が解決しようとする問題点〕
従来の触媒を選択的に付着させる方法に於いては、触媒
を所望の図形で選択的に付着させることが困難であり、
ま要因形非形成部分にレジストを形成する方法に於いて
は、触媒を付着させた後、レジストを印刷する為、−旦
乾燥を要し、流れ作業に有利で外<、また、レジスト下
に残る触媒によりて電気絶縁性が低下するといった欠点
があった。本発明は、これらの欠点を解消し、レジスト
を不要とし、触媒を選択的に付与することで、所望回路
を形成できる方法を提供することを目的とする。この目
的を解決する手段として光を利用した回路形成を採用す
るが、本発明は従来より提案されている光還元または分
解により触媒を付着させる方法とは根本的に異なる光回
路形成法に依る。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明は光によって親水性から疎水性にまたは逆に性質
が変化する物質を基板材質中に取り入れるかあるいは基
板表面に存在させ、導体図形形成部分の基材を光によっ
て疎水性から親水性に変えるか、もしくは導体非形成部
分の基板を光によって親水性から疎水性に変え、そして
基板を触媒含有媒体と接触させることにより、基板の親
水性部分に触媒を付着させることを特徴とする。
以下、本発明の詳細な説明する。
本発明においては、導体金属を化学めっきする触媒を基
板を選択的に親水性部分に付着させ、疎水性部分に付着
させないことによジノ臂ターンニングを行なうこと、お
よび親水性から疎水性への変化あるいはこの逆の変化を
光の選択的照射によシ行ない触媒の親和性を制御するこ
とが基本になっている。
具体的には、光応答性分子、光応答性高分子、光反応性
分子または光反応性高分子を、絶縁基板に、コーティン
グもしくは含浸あるいは基板材料の分子鎖に取りいれた
基板を使用する。
光応答性分子の例はスピロベンゾピランおよびアゾベン
ゼンである。スピロベンゾピランは紫外光に応答して次
式に示すように疎水性分子から親水性分子(双極イオン
形成)にまたは可視光に応答してこの逆に変化する。
またアゾベンゼンは紫外光に応答して次式に示すように
疎水性分子から現水性分子(双極モーメント向上)また
は可視光に応答してこの逆に変化する・ 光反応性分子の例は0−ニトロベンズアルデヒドでアシ
、紫外光に反応して親水基の生成が非可逆的に起る。
疎水性        親水性 上記した基板に部分的に親(疎)水性領域を作シ出す物
質は、光により親(疎)水性から疎Cり水性に光変化を
呈する物質であれば伺でもよく、また光としては紫外線
、赤外線、可視光など何でもよい。ただし、量子収率が
高いほど変化が容易であシ実用上のぞましい。
基板の絶縁材料としては、ニーキシ樹脂、紙フェノール
樹脂、ポリイミド樹脂などあらゆる有機質材料を用いる
ことができる。光応答性(高)分子、光反応性(高)分
子などをコーティングもしくは取り入れる前の通常の状
態では、基板は親水性もしくは疎水性であることが望ま
しい。基板が親(疎)水性の場合は親(疎)水性から疎
(親)水性に光変化を呈する物質を用いることによシ、
光の照射領域と非照射領域を反対の性質とし、微細なノ
4ターンの形成が容易になる。
光を基板の所定部分に照射するにはレジストに図形をパ
ターンニングするため従来使用されていたリソグラフィ
ー手法をそのtま適用することができる。
化学めっきのための触媒付与は通常の方法により行なう
と、触媒は基板の親水性部分に付着するのでパターン状
に化学めっきが形成することができる。この触媒付与工
程の方法を例示すると、例えば塩化スズと塩化/JPラ
ジウムの溶液に基板を浸漬した後、酸またはアルカリに
よシ触媒を活性化する。
〔作用〕
本発明において、レジストなしで化学めりきがパターン
状に形成されるのは、触媒はぬれ性の差により親水性の
部分にのみ付着することによる。
化学めっき金属は触媒が付着した部分にのみ析出し、回
路ノ母ターンが形成される。したがって、本発明で光は
ぬれ性制御の手段として用いられている。よって、本発
明は、光還元または分解によシ触媒を部分的に形成する
公知の方法とは原理的に全く異なる。また、親水性化処
理された物質表面を基板の均一粗化に利用する技術(特
開昭60−109.298号公報)とは原理的に異なシ
、本発明はめっき用触媒の付着に利用する。
以下、さらに実施例によυ本発明の詳細な説明する。
〔実施例〕
基板材料が疎水性の場合の実施例を第1〜4図に示した
用意された基板1には光の照射により所定の変化をする
物質が予めその表面に露出するように加えられている。
その方法は特に限定しないが、例えば基板1の表面だけ
にかかる物質を適用する。
又は所定の物質を基板1に含浸せしめる。又は、基板1
の材料の分子鎖の中に所定物質を取り入れる。このよう
表添加方法あるいは混合方法に限らず、基板に所定物質
を配置する方法であればいかなる方法でも使用すること
ができる。
かくして用意された基板1にスルーホール1aを形成す
る穴あけをする(第1図)。スルーホール1aの壁面は
凹凸が激しく、必ず親水性となシ、触媒は付着する。親
水性表面は鎖線で図示した。
続いて、回路・母ターンの通シ、光を照射する(第2図
)。光の照射された部分は親水性表面1b。
le、ldとなる。続いて触媒を付与すると、親水性表
面1a、lb、lc、ldにのみ触媒4が付着する。触
媒付与条件、すなわち触媒含有媒体の組成、付着時間、
温度などは従来の通常の付与条件と変わっていない。最
後に化学めりきを行なうことによって触媒付着部分に導
体5を形成する。
この化学めっき条件も従来通常の条件と変わってはいな
い。
基板材料が親水性の場合の実施例を第5〜8図に示した
用意された基板1にスルーホール1aを形成する穴あけ
をする(第5図)。スルーホール1mの壁面は親水性状
態を維持する。続いて、回路ノ臂ターンとは反対のパタ
ーンで光を照射する(第6図)。
光の照射された部分は疎水性表面(鎖線を削除した)と
なる。続いて触媒を付与すると親水性表面1aに触媒4
が付着する。最後に化学めっきを行なうことによって触
媒付着部分に導体5を形成する。
上記した二つの実施例では化学めっきが親水性領域から
その外側に横方向に広がりファインライン化に不利であ
る。そこで横方向への化学めっきの広がシを阻止しまた
疎水−親水のコントラストの補強をするためにレジスト
を使用することができる。その実施例を第9〜13図に
示した。基板1にスルーホール1aを形成する穴あけを
行ない(第9図)、次に基板1が疎水性の場合は回路/
ぐターン非形成部に、基板1が親水性の場合は回路ノ4
ターン形成部に、レジストパターン6を配置する。この
実施例では基板の性質如何に拘わらず、レジストパター
ン6を形成する印刷工程を行なうため、ノ臂ターン形成
を現存のめつきラインの中で行外うことができる。続い
て全面に光を照射する(第11図)。レジストパターン
6外に露出された部分は親水性表面1bとなる。その後
触媒を付与すると親水性表面1a、1bにのみ触媒4が
付着する(第12図)。最後にレジストパターン6を残
したまま化学めりきを行なうことによって触媒付着部分
に導体5を形成する(第13図)。
なお、第10〜12図の段階ではレジストパターン6を
形成せず、第11図の段階では回路形成領域のみ露光し
、触媒4の付着後第13図に示すようにレジストパター
ン水性化 この方法ではレジストパターンの形成がメツキラインと
は別のラインで行なわざるを得ないことになシ、効率的
ではない。
〔発明の効果〕
本発明によると、所望部分の基板にのみ触媒がレジスト
を使用せずに付着するようになる。このためレジスト塗
布工程が省略でき、工程の簡略化が可能になる。レジス
トをめりき金属の広がりを防止するために使用すると、
ファインパターンが作成できる。なお、レジストを使用
する場合でもレジストで被覆された基板表面は疎水性に
しているからめっき用触媒がレジストで被覆されていな
い部分にのみめっき金属が付着するので電気絶縁性低下
が起らない。
【図面の簡単な説明】
第1匈〒餠、2,3.4図は基板が疎水性の場合のプリ
ント基板製造法の実施例を示す図面、第5〜第8図は基
板が親水性の場合のプリント基板製造法の実施例を示す
図面、刷モホ→看個や第9〜13図はレジストを使用す
る場合のプリント基板製造法の実施例を示す図面〒哨1
嘴向す←噌である。 1一基板、2−スルーホール、4−触媒、5−導体、6
−レジストパターン。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1、電気絶縁性基板の回路形成部分に化学的に金属めっ
    きにより導体図形を形成するプリント基板の製造方法に
    おいて、光によって親水性から疎水性にまたは逆に性質
    が変化する物質を基板材質中に取り入れるかあるいは基
    板上に存在させ、導体図形形成部分の基板を光によって
    疎水性から親水性に変えるか、もしくは導体非形成部分
    の基材を光によって親水性から疎水性に変え、そして基
    板を触媒含有媒体と接触させることにより、基板の親水
    性部分に触媒を付着させることを特徴とするプリント基
    板製造方法。
JP20578786A 1986-09-03 1986-09-03 プリント基板製造方法 Pending JPS6362295A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP20578786A JPS6362295A (ja) 1986-09-03 1986-09-03 プリント基板製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP20578786A JPS6362295A (ja) 1986-09-03 1986-09-03 プリント基板製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6362295A true JPS6362295A (ja) 1988-03-18

Family

ID=16512665

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP20578786A Pending JPS6362295A (ja) 1986-09-03 1986-09-03 プリント基板製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6362295A (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000129211A (ja) * 1998-10-22 2000-05-09 Shin Etsu Chem Co Ltd 金属パターン用被膜形成用ポリシラン組成物及び金属パターン形成方法
JP2006165198A (ja) * 2004-12-06 2006-06-22 Ricoh Co Ltd 三次元成形回路部品の製造方法およびこれにより製造された三次元成形回路部品
JP2009509048A (ja) * 2005-09-23 2009-03-05 ネーデルランドセ オルガニサティエ フォール トエゲパストナトールヴェテンシャッペリク オンデルゾエク ティエヌオー 生成物を部分的に金属化する方法
JP2011232368A (ja) * 2010-04-23 2011-11-17 Ricoh Co Ltd 現像剤担持体の製造方法

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000129211A (ja) * 1998-10-22 2000-05-09 Shin Etsu Chem Co Ltd 金属パターン用被膜形成用ポリシラン組成物及び金属パターン形成方法
JP2006165198A (ja) * 2004-12-06 2006-06-22 Ricoh Co Ltd 三次元成形回路部品の製造方法およびこれにより製造された三次元成形回路部品
JP4675096B2 (ja) * 2004-12-06 2011-04-20 株式会社リコー 三次元成形回路部品の製造方法およびこれにより製造された三次元成形回路部品
JP2009509048A (ja) * 2005-09-23 2009-03-05 ネーデルランドセ オルガニサティエ フォール トエゲパストナトールヴェテンシャッペリク オンデルゾエク ティエヌオー 生成物を部分的に金属化する方法
JP2011232368A (ja) * 2010-04-23 2011-11-17 Ricoh Co Ltd 現像剤担持体の製造方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6194785B1 (en) Method for circuitizing through-holes by photo-activated seeding
US4666735A (en) Process for producing product having patterned metal layer
EP0510711B1 (en) Processes and compositions for electroless metallization
KR100325790B1 (ko) 컨덕터 트랙 구조물, 및 이의 제조 방법
US5468597A (en) Selective metallization process
JP2768390B2 (ja) 無電解金属付着のために基体をコンディショニングする方法
US4853252A (en) Method and coating material for applying electrically conductive printed patterns to insulating substrates
US4869930A (en) Method for preparing substrates for deposition of metal seed from an organometallic vapor for subsequent electroless metallization
JPH01501402A (ja) 選択的金属化法及びプリント回路基板の加層的製造方法
JP2000503817A (ja) 非導電性支持体材料の上に配置されたパターン導体構造物、特に微細なパターン導体構造物およびそれの製造方法
KR101311591B1 (ko) 제품을 부분적으로 금속화하는 방법
WO2010068104A1 (en) Method for electric circuit deposition
US6607981B1 (en) Method for forming a Cu interconnect pattern
KR100906317B1 (ko) 폴리이미드 수지의 무기 박막 형성방법 및 표면 개질된무기 박막 형성용 폴리이미드 수지의 제조방법
US3775121A (en) Method of selectively depositing a metal on a surface of a substrate
JPH0688243A (ja) ガラス基板上に金属パターンを無電解法で設ける方法
PT788728E (pt) Processo para o revestimento de superficies electricamente nao condutoras com estruturas metalicas ligadas entre si
JP4628914B2 (ja) 回路パターン形成方法
JPS6362295A (ja) プリント基板製造方法
JP5001550B2 (ja) ポリイミド樹脂の無機薄膜形成方法及び表面改質した無機薄膜形成用ポリイミド樹脂の製造方法
JP2005029735A (ja) ポリイミド樹脂の無機薄膜形成方法及び表面改質した無機薄膜形成用ポリイミド樹脂の製造方法
JP2005045236A (ja) ポリイミド樹脂の無機薄膜パターン形成方法
EP0577187B1 (en) Method of providing a metal pattern on glass in an electroless process
JPS60231388A (ja) 基板の活性化方法
JP4826020B2 (ja) 多層配線基板の製造方法