JPS6347624A - 二重周波数変調及び検出を用いた周波数変調分光装置 - Google Patents
二重周波数変調及び検出を用いた周波数変調分光装置Info
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- JPS6347624A JPS6347624A JP62185339A JP18533987A JPS6347624A JP S6347624 A JPS6347624 A JP S6347624A JP 62185339 A JP62185339 A JP 62185339A JP 18533987 A JP18533987 A JP 18533987A JP S6347624 A JPS6347624 A JP S6347624A
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- laser beam
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- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims description 14
- 238000001307 laser spectroscopy Methods 0.000 claims description 5
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims 1
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/42—Absorption spectrometry; Double beam spectrometry; Flicker spectrometry; Reflection spectrometry
- G01J3/433—Modulation spectrometry; Derivative spectrometry
- G01J3/4338—Frequency modulated spectrometry
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、一般に、レーザ分光技術に係り、特に、周波
数変調のレーザ分光装置に係る。
数変調のレーザ分光装置に係る。
従来の技術
レーザ技術の進歩により強力で新しい分光装置が開発さ
れた。周波数変調(FM)のレーザ分光技術は、光学媒
体における吸収及び分散を測定するための高感度な分光
技術である。1985年5月1日発行のアブライドオプ
チックス(AppliedOptics)、第24巻、
第9号の第1327−1334頁に掲載されたクーパ(
Cooper)氏及びガルファ(Gallagher)
氏著の「二重周波数変調分光技術:高変調周波数、狭帯
域中の検出器(Double Fra−quency
Modulation 5pectroscopy :
High Modu−1ation Frequen
cy Low Bandtzith Detector
s)Jと題する論文に述べられたように、FM分光技術
の応用についての最も有望な分野の1つは、雰囲気中の
トレースガス及び危険な材料を検出することである。1
0−’という微量の吸収は、単一モード又は多モードの
CWレーザを用いたFM分光技術によって容易に検出さ
れており、目に見える波長についての最適なFMシステ
ムは、1秒の積分時間で10″″′といった微量の吸収
を検出できねばならない。
れた。周波数変調(FM)のレーザ分光技術は、光学媒
体における吸収及び分散を測定するための高感度な分光
技術である。1985年5月1日発行のアブライドオプ
チックス(AppliedOptics)、第24巻、
第9号の第1327−1334頁に掲載されたクーパ(
Cooper)氏及びガルファ(Gallagher)
氏著の「二重周波数変調分光技術:高変調周波数、狭帯
域中の検出器(Double Fra−quency
Modulation 5pectroscopy :
High Modu−1ation Frequen
cy Low Bandtzith Detector
s)Jと題する論文に述べられたように、FM分光技術
の応用についての最も有望な分野の1つは、雰囲気中の
トレースガス及び危険な材料を検出することである。1
0−’という微量の吸収は、単一モード又は多モードの
CWレーザを用いたFM分光技術によって容易に検出さ
れており、目に見える波長についての最適なFMシステ
ムは、1秒の積分時間で10″″′といった微量の吸収
を検出できねばならない。
FMレーザ分光装置においては、周波数ω0のレーザビ
ームが、レーザのライン巾Δω0よりも通常大きい周波
数Ωで位相変調される。典型的な値は、Ω= 500
M Hzであり、Δ(IJO:LMHzである。低い変
調インデックスの範囲において、レーザビームはω0±
Ωに側波帯を得、変調されたレーザビームが方形の実際
の検出器、例えば、ホトダイオードに当たった時に、各
々の側波帯が搬送波とビートを生じ、Ωにおける光電流
の成分を形成する。吸収がない時には、2つのビート信
号が180°位相ずれし、互いに打ち消し合う。光検出
の前に、変調されたビームが、2つの側波帯に対して複
屈折率の異なる媒体を横切る場合には、側波帯の打ち消
しが不完全となり、Ωにおける光電流が発生される。
ームが、レーザのライン巾Δω0よりも通常大きい周波
数Ωで位相変調される。典型的な値は、Ω= 500
M Hzであり、Δ(IJO:LMHzである。低い変
調インデックスの範囲において、レーザビームはω0±
Ωに側波帯を得、変調されたレーザビームが方形の実際
の検出器、例えば、ホトダイオードに当たった時に、各
々の側波帯が搬送波とビートを生じ、Ωにおける光電流
の成分を形成する。吸収がない時には、2つのビート信
号が180°位相ずれし、互いに打ち消し合う。光検出
の前に、変調されたビームが、2つの側波帯に対して複
屈折率の異なる媒体を横切る場合には、側波帯の打ち消
しが不完全となり、Ωにおける光電流が発生される。
FM側波帯の発生において、前記のクーパ氏及びガルフ
ァ氏は、2つの変調器を用いてレーザビームを変調して
いる。一方の変調器の周波数は、2Ω+σでありそして
他方の変調周波数は、Ωである。その回路は、部品数と
いう点と、光学的及び電子的な整列という点において若
干複雑である。
ァ氏は、2つの変調器を用いてレーザビームを変調して
いる。一方の変調器の周波数は、2Ω+σでありそして
他方の変調周波数は、Ωである。その回路は、部品数と
いう点と、光学的及び電子的な整列という点において若
干複雑である。
発明が解決しようとする問題点
そこで、本発明の目的は、FM分光装置のための改良さ
れた復調技術を提供することである。
れた復調技術を提供することである。
本発明の別の目的は、圧力で拡げられたスペクトルの特
徴をa察するための実用的な高い周波数のFMレーザ分
光装置を提供することである。
徴をa察するための実用的な高い周波数のFMレーザ分
光装置を提供することである。
問題点を解決するための手段
本発明の特徴は、2つの周波数で駆動される単一の変調
器を使用して、光学媒体の分光分析のための側波帯を形
成することにある。
器を使用して、光学媒体の分光分析のための側波帯を形
成することにある。
簡単に述べると、周波数がΔ(即ち、Δ=ω1−ω2)
だけ異なる2つの高い周波数ω□及びω2で作動する1
つの変調器を用いてレーザビームが変調される。この変
調により、変調されたレーザビームω0に、ω0±ω1
.ω0±ω2及びω0±Δにおいて側波帯が形成される
。Δにおけるビート音は、搬送波ω0が互いに近い2つ
の側波帯ω0±Δの各々とビートを生じると共にω0±
ω1の側波帯がω0±ω2の側波帯とビートを生じるこ
とから得られる。
だけ異なる2つの高い周波数ω□及びω2で作動する1
つの変調器を用いてレーザビームが変調される。この変
調により、変調されたレーザビームω0に、ω0±ω1
.ω0±ω2及びω0±Δにおいて側波帯が形成される
。Δにおけるビート音は、搬送波ω0が互いに近い2つ
の側波帯ω0±Δの各々とビートを生じると共にω0±
ω1の側波帯がω0±ω2の側波帯とビートを生じるこ
とから得られる。
レーザ周波数ω0、ひいては、側波帯を吸収周波数レン
ジにわたって走査することにより吸収の周波数を検出す
ることができる。ω0±ω1及びω0±ω2からのビー
ト音作用の符号は正であり、搬送波ω0及び側波帯ω0
±Δからの作用は負である。全体的なビート音作用は、
吸収も分散もない時にゼロとなる。ω0±ω、又はω0
±ω2の側波帯が吸収された時には、全ビート音作用が
正となる。
ジにわたって走査することにより吸収の周波数を検出す
ることができる。ω0±ω1及びω0±ω2からのビー
ト音作用の符号は正であり、搬送波ω0及び側波帯ω0
±Δからの作用は負である。全体的なビート音作用は、
吸収も分散もない時にゼロとなる。ω0±ω、又はω0
±ω2の側波帯が吸収された時には、全ビート音作用が
正となる。
本発明の更に別の目的及び特徴は、添付図面を参照した
以下の詳細な説明及び特許請求の範囲から容易に理解さ
れよう。
以下の詳細な説明及び特許請求の範囲から容易に理解さ
れよう。
実施例
添付図面の第1図は、本発明の一実施例によるFMレー
ザ分光装置の機能的なブロック図である。レーザ10か
らのビームは変調器12に供給される。変調器12のた
めの変調信号ω□及びω2は、発振器14及び16とミ
クサ18から導出される。これら2つの周波数は、Δ(
Δ=Qよ−ω2)だけ異なる1発振器14は、Δ/2.
即ち(ω□−ω2)/2の周波数を発生する。発振器1
6は、(ω1+ω2)/2の周波数を発生する。ミクサ
18は、2つの発振器周波数、即ち、ω1及びω2の和
と差の出力を発生する。2つの周波数は、変調信号とし
て増幅器20を経て変調器12に供給される。
ザ分光装置の機能的なブロック図である。レーザ10か
らのビームは変調器12に供給される。変調器12のた
めの変調信号ω□及びω2は、発振器14及び16とミ
クサ18から導出される。これら2つの周波数は、Δ(
Δ=Qよ−ω2)だけ異なる1発振器14は、Δ/2.
即ち(ω□−ω2)/2の周波数を発生する。発振器1
6は、(ω1+ω2)/2の周波数を発生する。ミクサ
18は、2つの発振器周波数、即ち、ω1及びω2の和
と差の出力を発生する。2つの周波数は、変調信号とし
て増幅器20を経て変調器12に供給される。
レーザ10からの変調された搬送波信号は、次いで、ガ
スのスペクトルを分析するために吸収セル22を通して
送られる。吸収セル22を通して送られた後に受け取っ
た信号は、24において検出される。検出された信号は
、ミクサ26に送られ、発振器14からのΔ/2信号を
周波数ダブラ28に通すことによって得た周波数Δの信
号と混合される。ミクサ26の出力は、30において記
録される。
スのスペクトルを分析するために吸収セル22を通して
送られる。吸収セル22を通して送られた後に受け取っ
た信号は、24において検出される。検出された信号は
、ミクサ26に送られ、発振器14からのΔ/2信号を
周波数ダブラ28に通すことによって得た周波数Δの信
号と混合される。ミクサ26の出力は、30において記
録される。
第2図aないしCは、変調されないレーザビームω0の
周波数スペクトルを第2図aに示し、単一の信号ω1で
変調されたレーザビームの周波数スペクトルを第2図す
に示しそして第1図の回路の2つの変調信号を用いた周
波数スペクトルを第2図Cに示している。異なった側波
帯の符号は、矢印の方向で指示されている0周波数Δの
ビート音を招く第2図Cの側波帯のグループは、図示さ
れたように、グループ+1.0及び−1としてグループ
分けされている。グループの相称は、(ω、+ω2)/
2に関する平均的な変位を示している。
周波数スペクトルを第2図aに示し、単一の信号ω1で
変調されたレーザビームの周波数スペクトルを第2図す
に示しそして第1図の回路の2つの変調信号を用いた周
波数スペクトルを第2図Cに示している。異なった側波
帯の符号は、矢印の方向で指示されている0周波数Δの
ビート音を招く第2図Cの側波帯のグループは、図示さ
れたように、グループ+1.0及び−1としてグループ
分けされている。グループの相称は、(ω、+ω2)/
2に関する平均的な変位を示している。
周波数Δにおけるビート音作用の符号は、グルー−11
7−+1.O及び−1の積の符号によって決定される。
7−+1.O及び−1の積の符号によって決定される。
第2図Cに示すように、+1及び−1からのビート音の
作用は符号が正であり、0からの作用は符号が負である
。低い変調インデックス、実際のケースとしては周波数
ω1及びω2におけるβ1及びβ2の範囲では、それよ
り高い側波帯を無視することができ、グループ0からの
Δにおけるビート音は、搬送波が2つの接近した側波帯
の各々とビートを生じることによって得られる。+1.
0及び−1からのビート音信号は、次の式によって与え
られる。
作用は符号が正であり、0からの作用は符号が負である
。低い変調インデックス、実際のケースとしては周波数
ω1及びω2におけるβ1及びβ2の範囲では、それよ
り高い側波帯を無視することができ、グループ0からの
Δにおけるビート音は、搬送波が2つの接近した側波帯
の各々とビートを生じることによって得られる。+1.
0及び−1からのビート音信号は、次の式によって与え
られる。
r+1=r−1=J工(β1)JO(β2)Jo(β1
)J工(β2)r’o=−Jo(β1)Jo(β2)J
□(βx)、y、(β1)−Jo(β1)Jo(β2)
J、(β2)J工(βL) 但し、Jo及びJ、はベッセル関数である。
)J工(β2)r’o=−Jo(β1)Jo(β2)J
□(βx)、y、(β1)−Jo(β1)Jo(β2)
J、(β2)J工(βL) 但し、Jo及びJ、はベッセル関数である。
低い変調インデックスの範囲では、Jo(β1)=JO
(β2)=1であり、吸収がない時には、実効らかであ
る。然し乍ら、+1グループ又は−1グループのいずれ
かが吸収された時には、負の信号が観察され、一方、O
グループの吸収の場合には、正の信号が発生される。従
って、レーザ(ω0)、ひいては、側波帯を吸収部にわ
たって走査すると、第3図の曲線が得られる。これは、
実際には、この技術を実験的に示すために第4図に示さ
れたケースであり、これは、第1図の部品及びパラメー
タとして次のものを用いている。
(β2)=1であり、吸収がない時には、実効らかであ
る。然し乍ら、+1グループ又は−1グループのいずれ
かが吸収された時には、負の信号が観察され、一方、O
グループの吸収の場合には、正の信号が発生される。従
って、レーザ(ω0)、ひいては、側波帯を吸収部にわ
たって走査すると、第3図の曲線が得られる。これは、
実際には、この技術を実験的に示すために第4図に示さ
れたケースであり、これは、第1図の部品及びパラメー
タとして次のものを用いている。
レーザ: スペクトラフィジックス375ダイレーザ
変調器: 8.4GHz共振空胴変調器吸収セル:N
a蒸気セル 検出器: EG&G FND100ホトダイオード 発振器1ニアバンチツクAVD7872(ω1+ωz/
2)=8.380)Iz発振器2:ヒユーレットパラカ
ード606B(ω、 −(、+ 2= 10 M Hz
)ミクサ1:ワットキンスジョンソ>’M31A増幅
器: ハラシーズ1277HO2増幅器8−12GHz ダブラ: ミニサーキットFK−5 ミクサ2:ミニサーキットZ FM−3記録器: I
(P7035B 本発明は、高い周波数のFMレーザ分光動作を非常に実
際的に行なうことができる。高い周波数は、圧力によっ
て拡げられたスペクトルの特徴を観察するために必要で
あり、光学的に記憶された情報を広い周波数帯域にわた
って検索できるようにする。
a蒸気セル 検出器: EG&G FND100ホトダイオード 発振器1ニアバンチツクAVD7872(ω1+ωz/
2)=8.380)Iz発振器2:ヒユーレットパラカ
ード606B(ω、 −(、+ 2= 10 M Hz
)ミクサ1:ワットキンスジョンソ>’M31A増幅
器: ハラシーズ1277HO2増幅器8−12GHz ダブラ: ミニサーキットFK−5 ミクサ2:ミニサーキットZ FM−3記録器: I
(P7035B 本発明は、高い周波数のFMレーザ分光動作を非常に実
際的に行なうことができる。高い周波数は、圧力によっ
て拡げられたスペクトルの特徴を観察するために必要で
あり、光学的に記憶された情報を広い周波数帯域にわた
って検索できるようにする。
特定の実施例について本発明を説明したが、これは本発
明を単に解説するものに過ぎず、本発明をこれに限定す
るものではない。特許請求の範囲で規定された本発明の
精神及び範囲から逸脱することなく種々の変更や修正が
なされることが当業者に明らかであろう。
明を単に解説するものに過ぎず、本発明をこれに限定す
るものではない。特許請求の範囲で規定された本発明の
精神及び範囲から逸脱することなく種々の変更や修正が
なされることが当業者に明らかであろう。
第1図は1本発明の一実施例によるFM分光回路の機能
的なブロック図、 第2図aないしCは、変調しない場合と変調した場合の
レーザビームの振幅スペクトルを示す図。 第3図は、第1図の装置を用いた理論的な吸収スペクト
ルの曲線を示す図、そして 第4図は、第1図の装置を用いた実際の2トーン吸収ス
ペクトルを示すグラフである。 1o・・・レーザ 12・・・変調器14.16・
・・発振器 18・・・ミクサ 20・・・増幅器22・・・吸
収セル 24・・・検出器26・・・ミクサ 28・・・周波数ダブラ 30・・・記S器
的なブロック図、 第2図aないしCは、変調しない場合と変調した場合の
レーザビームの振幅スペクトルを示す図。 第3図は、第1図の装置を用いた理論的な吸収スペクト
ルの曲線を示す図、そして 第4図は、第1図の装置を用いた実際の2トーン吸収ス
ペクトルを示すグラフである。 1o・・・レーザ 12・・・変調器14.16・
・・発振器 18・・・ミクサ 20・・・増幅器22・・・吸
収セル 24・・・検出器26・・・ミクサ 28・・・周波数ダブラ 30・・・記S器
Claims (3)
- (1)FMレーザ分光に使用する装置において、レーザ
ビーム(ω0)を発生するレーザと、第1周波数(ω_
1+ω_2)/2の第1信号を発生するための第1発振
器と、 第2周波数(ω_1−ω_2)/2の第2信号を発生す
るための第2発振器と、 上記第1及び第2発振器から上記信号を受け取り、第3
周波数(ω_1)の第3信号と、第4周波数(ω_2)
の第4信号とを発生する第1のミクサであって、上記第
3及び第4の信号の周波数が周波数差(Δ=ω_1−ω
_2)だけ異なるようにする第1のミクサと、 第1の変調器と、 上記レーザからのレーザビーム及び上記第3及び第4信
号を上記変調器に供給する手段であって、上記変調器が
上記レーザビームを上記第3及び第4信号で変調して低
変調インデックスの範囲内で上記レーザビームにおける
側波帯グループ(ω0±ω_1、ω0±ω_2、ω0±
Δ)を形成するようにする手段と、 上記変調されたレーザビームを、分析すべき物質を通し
て供給する手段と、 上記物質を通過した後に上記変調されたレーザビームを
検出するための検出手段であって、上記物質による上記
変調されたビームの吸収を表わす信号を発生する検出手
段とを具備することを特徴とする装置。 - (2)上記検出器によって発生された信号を記録するた
めの手段を更に具備する特許請求の範囲第1項に記載の
装置。 - (3)上記の記録手段は、第2のミクサと、上記第2信
号を受け取って2倍にするためのダブラとを備え、上記
ミクサは、上記検出器からの上記信号及び上記ダブラか
らの信号を受け取って出力信号を発生し、そして上記記
録手段は、更に、上記出力信号を受け取って記録するた
めの記録器を備えている特許請求の範囲第2項に記載の
装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US889507 | 1986-07-24 | ||
US06/889,507 US4765736A (en) | 1986-07-24 | 1986-07-24 | Frequency modulation spectroscopy using dual frequency modulation and detection |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6347624A true JPS6347624A (ja) | 1988-02-29 |
Family
ID=25395248
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62185339A Pending JPS6347624A (ja) | 1986-07-24 | 1987-07-24 | 二重周波数変調及び検出を用いた周波数変調分光装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4765736A (ja) |
JP (1) | JPS6347624A (ja) |
DE (1) | DE3724139A1 (ja) |
GB (1) | GB2193582B (ja) |
Families Citing this family (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3819531A1 (de) * | 1988-06-08 | 1989-12-14 | Reiner Dipl Phys Szepan | Signalprozess- und betriebstechnik zur laserspektroskopischen mengenbestimmung von ammoniak in gasgemischen |
US5969825A (en) * | 1991-08-06 | 1999-10-19 | Southwest Sciences Incorporated | Dual-modulation laser line-locking for wavelength modulation spectroscopy |
US6351309B1 (en) | 1991-08-06 | 2002-02-26 | Southwest Sciences Incorporated | Dual modulation laser line-locking technique for wavelength modulation spectroscopy |
US5746210A (en) * | 1993-02-26 | 1998-05-05 | David A. Benaron | Device and method for detection, localization, and characterization of inhomogeneities in turbid media |
US5772597A (en) * | 1992-09-14 | 1998-06-30 | Sextant Medical Corporation | Surgical tool end effector |
US5762609A (en) * | 1992-09-14 | 1998-06-09 | Sextant Medical Corporation | Device and method for analysis of surgical tissue interventions |
DE4300853C2 (de) * | 1993-01-15 | 2003-09-04 | Daimler Chrysler Ag | Verfahren zur spektroskopischen Bestimmung des Stickstoffoxidgehalts |
DE4320038C1 (de) * | 1993-06-17 | 1994-12-15 | Fraunhofer Ges Forschung | Anordnung zum Bewerten eines Meßsignals nach Betrag und Phase in Bezug auf ein Referenzsignal |
EP0629851A3 (de) * | 1993-06-17 | 1995-03-22 | Fraunhofer Ges Forschung | Vorrichtung zur absorptionsspektroskopischen Spurengasanalytik. |
US5570697A (en) | 1994-07-15 | 1996-11-05 | Vixel Corporation | Sensor for analyzing molecular species |
US5637872A (en) * | 1995-08-24 | 1997-06-10 | Tulip; John | Gas detector |
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