JPS6344447U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6344447U JPS6344447U JP13796386U JP13796386U JPS6344447U JP S6344447 U JPS6344447 U JP S6344447U JP 13796386 U JP13796386 U JP 13796386U JP 13796386 U JP13796386 U JP 13796386U JP S6344447 U JPS6344447 U JP S6344447U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- clamping frame
- handle
- frame
- wafer carrier
- integrally molded
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 2
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 claims 1
Description
第１図および第２図はこの考案の一実施例によ
るウエハキヤリア移動治具の平面図と側断面図、
第３図は治具の使用状態の外観図、第４図は従来
のウエハキヤリア移動治具の正面図である。 １……取手枠、２……挟持板、３……主柱、４
……パツト材、５……ウエハキヤリア。
るウエハキヤリア移動治具の平面図と側断面図、
第３図は治具の使用状態の外観図、第４図は従来
のウエハキヤリア移動治具の正面図である。 １……取手枠、２……挟持板、３……主柱、４
……パツト材、５……ウエハキヤリア。
Claims (1)
- 弾性部材からなり両端に取手枠と、両取手枠と
一体成形され中央部が内方へ弯曲する挟持枠およ
び挟持枠の内面に設けたパツト材と、上記取手枠
の近くで挟持枠に横断して一体成形した主柱とか
らなることを特徴とするウエハキヤリア移動治具
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13796386U JPS6344447U (ja) | 1986-09-10 | 1986-09-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13796386U JPS6344447U (ja) | 1986-09-10 | 1986-09-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6344447U true JPS6344447U (ja) | 1988-03-25 |
Family
ID=31042507
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13796386U Pending JPS6344447U (ja) | 1986-09-10 | 1986-09-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6344447U (ja) |
-
1986
- 1986-09-10 JP JP13796386U patent/JPS6344447U/ja active Pending