JPS6344445U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6344445U JPS6344445U JP13679486U JP13679486U JPS6344445U JP S6344445 U JPS6344445 U JP S6344445U JP 13679486 U JP13679486 U JP 13679486U JP 13679486 U JP13679486 U JP 13679486U JP S6344445 U JPS6344445 U JP S6344445U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- capacitance
- wafer
- detects
- type sensor
- capacitance type
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- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Description
第１図は、この考案の一実施例に係るウエハ検
出装置を示す概略図である。第２図は、従来のウ
エハ検出装置の一例を示す概略図である。 ２……ウエハ、４……静電容量形センサ、６…
…調整ねじ（調整手段）。
出装置を示す概略図である。第２図は、従来のウ
エハ検出装置の一例を示す概略図である。 ２……ウエハ、４……静電容量形センサ、６…
…調整ねじ（調整手段）。
Claims (1)
- 静電容量の変化によつて物体を検出する静電容
量形センサを用いてウエハを検出する装置におい
て、静電容量形センサとの間で静電容量を生じさ
せるものであつてその静電容量の大きさが調整可
能な調整手段を設けたことを特徴とするウエハ検
出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13679486U JPS6344445U (ja) | 1986-09-06 | 1986-09-06 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13679486U JPS6344445U (ja) | 1986-09-06 | 1986-09-06 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6344445U true JPS6344445U (ja) | 1988-03-25 |
Family
ID=31040242
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13679486U Pending JPS6344445U (ja) | 1986-09-06 | 1986-09-06 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6344445U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH056482U (ja) * | 1991-07-12 | 1993-01-29 | ホリアキ株式会社 | 立体リボンを備えた貼着用のシール |
-
1986
- 1986-09-06 JP JP13679486U patent/JPS6344445U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH056482U (ja) * | 1991-07-12 | 1993-01-29 | ホリアキ株式会社 | 立体リボンを備えた貼着用のシール |