JPS634379U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS634379U JPS634379U JP9771686U JP9771686U JPS634379U JP S634379 U JPS634379 U JP S634379U JP 9771686 U JP9771686 U JP 9771686U JP 9771686 U JP9771686 U JP 9771686U JP S634379 U JPS634379 U JP S634379U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cooling panel
- attached
- cryopump
- cold stage
- heater
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 claims 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Description
第１図は、本考案によるクライオポンプの一実
施例を示す全体断面図、第２図は第１図のＡ部詳
細図、第３図はヒーターで加温した場合の第１図
のＡ部詳細図である。 １……冷凍機、２……コールドステージ、３…
…コールドステージ、４……取付ブラケツト、５
……取付ブラケツト、６……冷却パネル、７……
バツフル、８……冷却パネル、９……ケース、１
０ａ……取付ボルト、１０ｂ……ナツト、１１…
…リード線、１２……制御装置、１７……ヒータ
ー。
施例を示す全体断面図、第２図は第１図のＡ部詳
細図、第３図はヒーターで加温した場合の第１図
のＡ部詳細図である。 １……冷凍機、２……コールドステージ、３…
…コールドステージ、４……取付ブラケツト、５
……取付ブラケツト、６……冷却パネル、７……
バツフル、８……冷却パネル、９……ケース、１
０ａ……取付ボルト、１０ｂ……ナツト、１１…
…リード線、１２……制御装置、１７……ヒータ
ー。
Claims (1)
- 冷媒が循環するコールドステージに冷却パネル
を取付けた構造のクライオポンプにおいて、冷却
パネルを取付ける取付ボルト、ナツトを冷却パネ
ルやコールドステージ等よりも熱膨張係数の大き
い材料とし、かつ、取付ボルトにヒーターを配設
したことを特徴とするクライオポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9771686U JPS634379U (ja) | 1986-06-27 | 1986-06-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9771686U JPS634379U (ja) | 1986-06-27 | 1986-06-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS634379U true JPS634379U (ja) | 1988-01-12 |
Family
ID=30964959
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9771686U Pending JPS634379U (ja) | 1986-06-27 | 1986-06-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS634379U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008101576A (ja) * | 2006-10-20 | 2008-05-01 | Toppan Printing Co Ltd | クライオポンプ及びそれを用いた真空装置 |
-
1986
- 1986-06-27 JP JP9771686U patent/JPS634379U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008101576A (ja) * | 2006-10-20 | 2008-05-01 | Toppan Printing Co Ltd | クライオポンプ及びそれを用いた真空装置 |