JPS6333651A - Optical disk inspecting device - Google Patents

Optical disk inspecting device

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Publication number
JPS6333651A
JPS6333651A JP17730886A JP17730886A JPS6333651A JP S6333651 A JPS6333651 A JP S6333651A JP 17730886 A JP17730886 A JP 17730886A JP 17730886 A JP17730886 A JP 17730886A JP S6333651 A JPS6333651 A JP S6333651A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
signal
disk
defect
spindle motor
optical head
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP17730886A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Shinya Otsuki
真也 大槻
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP17730886A priority Critical patent/JPS6333651A/en
Publication of JPS6333651A publication Critical patent/JPS6333651A/en
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/9506Optical discs

Abstract

PURPOSE:To detect even a small defect existing on a guide groove of a disc, by varying the feed speed of a linear motor and revolutions of a spindle motor to always keep a scanning speed constant, when a fine spot of laser light scans over a guide groove in the surface of the disc. CONSTITUTION:A drive signal is outputted to a spindle motor 2 to scan along a guide groove in the surface of an object to be inspected placed on the spindle motor spirally with light irradiated from a light head 7 while a linear motor 4 is moved radially based on a radius position signal outputted from a radius position detector 5 so as to keep the scanning speed constant. The surface of a disc 1 is irradiated with a fine spot of laser light and an electrical signal of the reflected light thereof is converted into digital from analog synchronizing a rotation position signal, and the data thus converted is memorized 10 sequentially at a specified address. Thus, the length of a defect is determined 9 based upon the electrical signal and the results of inspecting the defect is displayed.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、光ディスク等の被検査物表面のゴミ・傷等の
欠陥を検査する光ディスク検査装置に関する0 〔発明の概要〕 本発明は、光ディスクの表面のゴミ、傷等の欠陥を検出
する光ディスク検査装置において・光ヘッドからのレー
ザビームを光ディスクの案内溝に沿って走査し、かつス
ピンドルモータとリニアモータを制御して走査するレー
ザビームの線速度を一定に保つことにより、ディスクの
半径位置によらず欠陥の長さを検知する分解能を一定に
保つことができるものである。
Detailed Description of the Invention [Field of Industrial Application] The present invention relates to an optical disc inspection device for inspecting defects such as dust and scratches on the surface of an object to be inspected such as an optical disc. In an optical disk inspection device that detects defects such as dust and scratches on the surface of an optical disk, the laser beam from the optical head scans along the guide groove of the optical disk, and the line of the laser beam is scanned by controlling the spindle motor and linear motor. By keeping the speed constant, the resolution for detecting the length of a defect can be kept constant regardless of the radial position of the disk.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

従来の光ディスク検査装置は、光源にノ10ゲンランブ
を用いていたのでディスク表面でのビームスポットは案
内溝を幾つにも渡る大きな長円形であり、かつディスク
の回転数は一定であったためディスクの半径位置で線速
度が変わっていた0〔発明が解決しようとする問題点〕 しかし、前述の従来技術では、ビームスポットよりも小
さい欠陥については検出されない上に、ディスクの半径
位置によって欠陥検出分解能が異なるという問題点を有
する。
Conventional optical disk inspection equipment used a 10-gen lamp as a light source, so the beam spot on the disk surface was a large oval that spanned several guide grooves, and since the rotation speed of the disk was constant, the radius of the disk [Problem to be solved by the invention] However, with the above-mentioned conventional technology, defects smaller than the beam spot are not detected, and the defect detection resolution differs depending on the radial position of the disk. There is a problem.

そこで本発明はこのような問題点を解決するもので、そ
の目的とするところは、ディスクの案内溝上にしか存在
しないような小さな欠陥も検出でき、かつディスクの半
径位置によって欠陥検出分解能を不変にすることにより
ディスク表面の欠陥の長さと欠陥数を精度良く検出でき
る光ディスク検査装置を提供するところにある。
The present invention is intended to solve these problems, and its purpose is to be able to detect even small defects that exist only on the guide groove of the disk, and to keep the defect detection resolution unchanged depending on the radial position of the disk. An object of the present invention is to provide an optical disc inspection device that can accurately detect the length and number of defects on the disc surface by doing this.

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving problems]

本発明の光ディスク検査装置は、下記構成を具備するこ
とを特徴とする。
The optical disk inspection apparatus of the present invention is characterized by having the following configuration.

ビ)ディスク表面に微小スポットのレーザ光を照射し、
ディスク表面での反射光を検出する光検出器を備えた光
ヘッド。
b) Irradiate the disc surface with a minute spot of laser light,
An optical head equipped with a photodetector that detects light reflected on the disk surface.

(ロ)光ヘッドを載置し、ディスクの半径方向に駆動す
るリニアモータ。
(b) A linear motor that drives the optical head in the radial direction of the disk.

(ハ)光ヘッドのディスクでの半径位置を示す半径位置
信号を出力する半径位置検出器。
(c) A radial position detector that outputs a radial position signal indicating the radial position of the optical head on the disk.

に)被検査物を載置するスピンドルモータ。2) A spindle motor on which the object to be inspected is placed.

(ホ)スピンドルモータの回転位置を示す回転位置信号
を出力する回転位置検出器。
(E) A rotational position detector that outputs a rotational position signal indicating the rotational position of the spindle motor.

(へ)スピンドルモータに駆動信号を出力してスピンド
ルモータ上に載置された被検査物表面の案内溝に沿って
光ヘッドから照射された光でスパイラル状に走査すると
ともに、走査速度が一定となる様に半径位置検出器から
出力された半径位置信号に基づいてリニアモータを半径
方向に移動させる駆動信号をリニアモータに出力する制
御部。
(f) A drive signal is output to the spindle motor to scan the surface of the object placed on the spindle motor in a spiral manner along the guide groove with the light emitted from the optical head, and the scanning speed is kept constant. A control unit that outputs a drive signal to the linear motor to move the linear motor in the radial direction based on the radial position signal output from the radial position detector.

(ト)光検出器からの電気信号を回転位置信号と同期し
てアナログ−デジタル変換しアナログ−デジタル変換さ
れたデータを順次所定のアドレスに記憶する一時メモリ
部。
(g) A temporary memory section that converts the electrical signal from the photodetector into analog-to-digital in synchronization with the rotational position signal and sequentially stores the analog-to-digital converted data at predetermined addresses.

(ト)光検出器からの電気信号から欠陥の長さを判定す
る比較器◎ (男比較器によってなされた欠陥検査結果を表示する表
示部。
(G) Comparator that determines the length of the defect from the electrical signal from the photodetector◎ (Display unit that displays the defect inspection results made by the male comparator.

〔作 用〕[For production]

本発明の上記の構成によれば、半径位置検出器から出力
される半径位置信号から、微小スポットのレーザ光をデ
ィスク表面の案内溝上を走査するとき走査速度が常に一
定となる様にリニアモータの送り速度とスピンドルモー
タの回転数を逐次変化させていくことができる。
According to the above configuration of the present invention, the linear motor is controlled so that the scanning speed is always constant when scanning the minute spot of laser light over the guide groove on the disk surface based on the radial position signal output from the radial position detector. The feed rate and the rotation speed of the spindle motor can be successively changed.

〔実施例〕〔Example〕

以下図面を参照して本発明を説明する。 The present invention will be explained below with reference to the drawings.

第1図は本発明による光ディスク検査装置のブロック図
を示したもので、同図において1は光ディスク、2はス
ピンドルモータ、3はスピンドルモータの回転位置を検
出する回転位置検出器、4は光ヘッドをディスクの半径
方向に移動させるリニアモータ、5はリニアモータの半
径位置を検出する半径位置検出器、6は回転位置検出器
と半径位置検出器とからのスピンドルモータの回転位置
信号と光ヘッドのディスク半径位置信号とから走査ビー
ムが線速度一定となる様にスピンドルモータの駆動信号
とリニアモータの駆動信号を制御しながら出力する制御
部で、マイクロコンピュータより成る。7は光へノドで
、半導体レーザ、光ディスクの案内溝に微小スポットを
集光する対物レンズ、ディスクが回転するとき案内溝に
微小スポットを追従させるアクチエエータ機構、光ディ
スクからの反射光をRIP信号として検出する光検出器
から成る。8は光検出器からのRP倍信号欠陥信号とし
て欠陥の長さを判定する比較器。
FIG. 1 shows a block diagram of an optical disk inspection apparatus according to the present invention, in which 1 is an optical disk, 2 is a spindle motor, 3 is a rotational position detector for detecting the rotational position of the spindle motor, and 4 is an optical head. 5 is a radial position detector that detects the radial position of the linear motor; 6 is a radial position detector that detects the rotational position signal of the spindle motor and the optical head from the rotational position detector and the radial position detector; This is a control section that controls and outputs a spindle motor drive signal and a linear motor drive signal so that the linear velocity of the scanning beam is constant based on the disk radial position signal, and is made up of a microcomputer. Reference numeral 7 denotes an optical nozzle, which includes a semiconductor laser, an objective lens that focuses a minute spot on the guide groove of the optical disk, an actuator mechanism that makes the minute spot follow the guide groove when the disk rotates, and detects the reflected light from the optical disk as a RIP signal. It consists of a photodetector. 8 is a comparator that determines the length of the defect as an RP multiplied signal defect signal from the photodetector.

9は比較器によって判定された各々の長さの欠陥の数を
カウントし、その結果を表示する表示部010は光ディ
スク上の欠陥の分布の様子を知るために欠陥信号の光デ
ィスク上での位置情報を記憶する一時メモリ部。11は
RF傷信号ある。30回転位置検出器からの回転位置信
号はスピンドルモータが1回転毎に1回出力されるイン
デックスパルスと1000回出力されるロータリーエン
コーダパルスとがある0インデツクスパルスヲテイスク
の周方向の原点として1、ロータリーエンコーダパルス
をカウントすることによってディスク上の傷のディスク
の周方向の位置を定める◎また・インデックスパルスを
カウントすることによりてトラック数をカウントしてい
る。本実施例では、100トラック分カウントすれば、
6の制御部から4のリニアモータに対して100トラッ
ク分だけ移動させる信号を出力すると同時に走査ビーム
のS速度が一定となる様に3のスピンドルモータに対し
て回転数を変化させる信号を出力している。
9 counts the number of defects of each length determined by the comparator, and a display unit 010 that displays the result displays position information on the optical disc of the defect signal in order to know the distribution of defects on the optical disc. A temporary memory section that stores. 11 is an RF wound signal. The rotational position signal from the 30-rotation position detector is 1 as the origin in the circumferential direction of the 0-index pulse, which has an index pulse that is output once per rotation of the spindle motor and a rotary encoder pulse that is output 1000 times. , The position of the scratch on the disk in the circumferential direction of the disk is determined by counting the rotary encoder pulses. ◎ Also, the number of tracks is counted by counting the index pulses. In this embodiment, if 100 tracks are counted,
The control unit 6 outputs a signal to the linear motor 4 to move it by 100 tracks, and at the same time outputs a signal to the spindle motor 3 to change the rotation speed so that the S speed of the scanning beam is constant. ing.

第1図の比較器8を具体化した第2図の実施例につき説
明する。11はRF傷信号ありこれがディスクの傷信号
である。12はコンパレータで1可変抵抗13および1
4はコンパレータ12のスレショオルドレベルを設定す
るもので、15はOR回路を示したものである。16は
比較器から出力されるディスクの傷信号である。
The embodiment shown in FIG. 2, which embodies the comparator 8 shown in FIG. 1, will be described. 11 is an RF scratch signal, which is a disc scratch signal. 12 is a comparator, 1 variable resistor 13 and 1
Reference numeral 4 sets the threshold level of the comparator 12, and reference numeral 15 indicates an OR circuit. 16 is a disc scratch signal output from the comparator.

第3図は第2図の比較器の動作を説明するものである。FIG. 3 explains the operation of the comparator of FIG. 2.

第3図において、17はR?傷信号、18と19は可変
抵抗15および14で設定されるコンパレータ12のス
レショオルドレベルでアル20はスレショオルドレベル
18および19で比較された後OR回路から出力される
ディスクの傷信号である。第3図に示される様に傷信号
20はRIP信号17がプラスレベルに変位する傷もマ
イナスレベルに変位する傷でも一律にディスク上の傷と
して検出する◇傷信号20から傷の長さを判定するため
に本実施例では、4MHzのクロックパルスを傷信号2
0が立ち上がっている間だけカウントすることにより行
った。
In Figure 3, 17 is R? Scratch signals 18 and 19 are threshold levels of the comparator 12 set by variable resistors 15 and 14, and Al 20 is a disc scratch signal output from the OR circuit after being compared at the threshold levels 18 and 19. As shown in FIG. 3, the scratch signal 20 uniformly detects as a scratch on the disk whether the RIP signal 17 shifts to a positive level or a scratch shifts to a negative level. ◇The length of the scratch is determined from the scratch signal 20. Therefore, in this embodiment, the 4MHz clock pulse is used as the flaw signal 2.
This was done by counting only while 0 was rising.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上述べたように本発明によれば、ディスクの半径位置
によらず走査ビームの線速度が一定であることにより、
ディスク上の傷の長さを検出する分解能が一定であるた
めに、ディスク上に分布する傷の長さを精度よく検出で
きるという効果を有する。さらに、走査ビームが、微小
スポットに絞られ案内溝に沿って走査されることにより
、BER(ピットエラーレート)に寄与する案内溝上に
存在する微小サイズの傷について、精度よく検出できる
という効果を有する。
As described above, according to the present invention, since the linear velocity of the scanning beam is constant regardless of the radial position of the disk,
Since the resolution for detecting the length of scratches on the disk is constant, it has the effect that the lengths of the scratches distributed on the disk can be detected with high accuracy. Furthermore, since the scanning beam is narrowed down to a minute spot and scanned along the guide groove, it is possible to accurately detect minute scratches existing on the guide groove that contribute to BER (pit error rate). .

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の光ディスク検査装置の一実施例を示す
ブロック図0 第2図は本発明の光ディスク検査装置の具体例を示す図
。 第6図は第2図回路の動作波形図0 1・・・光ディスク 2・・・スピンドルモータ 3・・・回転位置検出器 4・・・リニアモータ 5・・・半径位置検出器 6・・・制御部 7・・・光ヘッド 8・・・比較器 9・・・表示部 10・・・一時メモリ部 11・・・RF傷信 号  上 出願人 セイコーエプソン株式会社 3一回転イ立薯険出器 5:手径イ立1荊船斂器 b:@直J−1fl モ’aP 7−九ヘットパ 8:に卓効番 第 j 図 I→ 第2図 第3図
FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of the optical disc inspection apparatus of the present invention. FIG. 2 is a diagram showing a specific example of the optical disc inspection apparatus of the present invention. FIG. 6 is an operational waveform diagram of the circuit shown in FIG. 2. Control unit 7... Optical head 8... Comparator 9... Display unit 10... Temporary memory unit 11... RF scratch signal Applicant: Seiko Epson Corporation 5: Hand diameter I standing 1 荊fune tool b: @ straight J-1 fl Mo'aP 7-9 head pa 8: ni Zaku number j Figure I → Figure 2 Figure 3

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)下記構成を具備することを特徴とする光ディスク
検査装置。 イ)ディスク表面に微小スポットのレーザ光を照射し、
前記ディスク表面での反射光を検出する光検出器を備え
た光ヘッド。 ロ)前記光ヘッドを載置し、ディスクの半径方向に駆動
するリニアモータ。 ハ)前記光ヘッドのディスクでの半径位置を示す半径位
置信号を出力する半径位置検出器。 ニ)被検査物を載置するスピンドルモータ。 ホ)前記スピンドルモータに駆動信号を出力して前記ス
ピンドルモータ上に載置された被検査物表面の案内溝に
沿って前記光ヘッドから照射された光でスパイラル状に
走査するとともに、走査速度が一定となる様に前記半径
位置検出器から出力された半径位置信号に基づいて前記
光ヘッドを半径方向に移動させる前記リニアモータを駆
動する駆動信号を前記リニアモータに出力する制御部。 ト)前記光検出器からの電気信号を前記回転位置信号と
同期してアナログ−デジタル変換し前記アナログ−デジ
タル変換されたデータを順次所定のアドレスに記憶する
一時メモリ部。 チ)前記光検出器からの電気信号から欠陥の長さを判定
する比較器。 リ)前記比較器によってなされた欠陥検査結果を表示す
る表示部。
(1) An optical disc inspection device characterized by having the following configuration. b) Irradiate a minute spot of laser light onto the disk surface,
An optical head including a photodetector for detecting light reflected from the disk surface. b) A linear motor on which the optical head is mounted and drives the optical head in the radial direction of the disk. c) A radial position detector that outputs a radial position signal indicating the radial position of the optical head on the disk. d) A spindle motor on which the object to be inspected is placed. e) A drive signal is output to the spindle motor to scan the surface of the object placed on the spindle motor in a spiral manner along the guide groove with the light irradiated from the optical head, and the scanning speed is increased. A control unit that outputs a drive signal to the linear motor to drive the linear motor to move the optical head in the radial direction based on the radial position signal output from the radial position detector so as to be constant. g) A temporary memory unit that performs analog-to-digital conversion of the electric signal from the photodetector in synchronization with the rotational position signal and sequentially stores the analog-to-digital converted data at predetermined addresses. H) A comparator that determines the length of the defect from the electrical signal from the photodetector. (i) A display unit that displays the defect inspection results made by the comparator.
(2)一時メモリ部に記憶された欠陥データはディスク
の回転中心を中心として極座標状に分割して得られた複
数の画素の各画素領域において設定されたスレッショル
ドレベルで判定されたある長さ以上の欠陥データである
ことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の光ディス
ク検査装置。
(2) The defect data stored in the temporary memory section has a length longer than a certain length determined by the threshold level set in each pixel area of a plurality of pixels obtained by dividing into polar coordinates around the rotation center of the disk. 2. The optical disc inspection apparatus according to claim 1, wherein the defect data is the defect data.
JP17730886A 1986-07-28 1986-07-28 Optical disk inspecting device Pending JPS6333651A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP17730886A JPS6333651A (en) 1986-07-28 1986-07-28 Optical disk inspecting device

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JP17730886A JPS6333651A (en) 1986-07-28 1986-07-28 Optical disk inspecting device

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JPS6333651A true JPS6333651A (en) 1988-02-13

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ID=16028712

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JP17730886A Pending JPS6333651A (en) 1986-07-28 1986-07-28 Optical disk inspecting device

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JP (1) JPS6333651A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0371444A (en) * 1989-08-09 1991-03-27 Seiko Epson Corp Defect inspecting device for optical recording medium
WO2010100973A1 (en) * 2009-03-06 2010-09-10 株式会社日立ハイテクノロジーズ Surface inspecting apparatus and surface inspecting method

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