JPS63311514A - Control system for position of linear pulse motor - Google Patents
Control system for position of linear pulse motorInfo
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- JPS63311514A JPS63311514A JP62148432A JP14843287A JPS63311514A JP S63311514 A JPS63311514 A JP S63311514A JP 62148432 A JP62148432 A JP 62148432A JP 14843287 A JP14843287 A JP 14843287A JP S63311514 A JPS63311514 A JP S63311514A
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- Control Of Position Or Direction (AREA)
- Control Of Linear Motors (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
[技術分野]
本発明は、複数の可動子を備えたリニアパルスモータの
位置制御方式に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Technical Field] The present invention relates to a position control system for a linear pulse motor equipped with a plurality of movers.
[背L1技術1
従来より、部材をつかんで移動させる搬送VC置が提供
されでおり、この種の搬送装置は、搬送する部材をつか
むチャック装置と、チャック装置を移動させる移動装置
との2つの装置によって構成されでいる。したがって、
独立した2つの装置が必要であり、構成が比較的複雑に
なるという問題があるとともに、移動装置は、搬送する
部材のほかに比較的重量の大きいチャック装置も移動さ
せなければならないから、高速移動ができないという問
題がある。[Spine L1 Technology 1 Conventionally, a conveyance VC device that grips and moves a member has been provided, and this type of conveyor has two parts: a chuck device that grips the member to be conveyed, and a moving device that moves the chuck device. It is made up of devices. therefore,
There is a problem that two independent devices are required, making the configuration relatively complicated.In addition, the moving device must move a relatively heavy chuck device in addition to the components to be transported, so it cannot be moved at high speed. The problem is that it is not possible.
こうした問題を解消するものとして、リニアパルスモー
タを使用した搬送装置が提案されている。To solve these problems, a conveyance device using a linear pulse motor has been proposed.
この搬送装置は、直線状に形成された固定子に複数の可
動子を設けたものであって、複数の可動子間に部材を挟
持することにより、チャック装置と移動装置とを可動子
自身で兼用できるようにしたものである。この搬送装置
において、搬送する部材を途中で落としたすせずにしっ
かりとつかんんで搬送するには、所定の保持力を維持し
ながら可動子間に部材を挟持する必要がある。この保持
力を得るために、従来は、可動子間の距離を一定に保つ
ようにして複数の可動子を同じ速さで移動させていた。This conveyance device has a stator formed in a straight line and a plurality of movable elements, and by holding a member between the plurality of movable elements, the chucking device and the moving device can be operated by the movable element itself. It is designed so that it can be used for both purposes. In this conveying device, in order to firmly grip and convey the member to be conveyed without dropping it on the way, it is necessary to hold the member between the movers while maintaining a predetermined holding force. In order to obtain this holding force, conventionally, a plurality of movers were moved at the same speed while keeping the distance between the movers constant.
しかしながら、可動子間の距離を一定に保った状態で移
動させるには、最悪の負荷条件に対しても脱調すること
がないように、可動子の移動速度を十分低速にする必要
があった。However, in order to move the movers while keeping the distance constant, the moving speed of the movers had to be slow enough so that they would not step out even under the worst load conditions. .
一方、負荷変動が生じてもリニアパルスモータを脱y4
させずに高速に動作させる方法として、逆起電力センサ
やエンコーグ等の位置検出センサを用いて可動子の位置
を検出し、閉ループ制御により可動子の位置制御を行な
う方法が知られている。On the other hand, even if load fluctuations occur, the linear pulse motor can be removed.
As a method for operating the movable element at high speed without causing the movable element to move, a method is known in which the position of the movable element is detected using a position detection sensor such as a back electromotive force sensor or an encoder, and the position of the movable element is controlled by closed loop control.
閏ループ制御によれば、可動子の移動中に位置検出を行
ないながら移動のタイミングをフィードバックして励磁
位相の進みや遅れを制御するから、第4図に示すように
(閉ループ制御の場合を実線で示す)、開ループ制a<
破線で示す)の場合に比べて高速に加減速が行なえるの
であり、一般には数倍程度の高速化が望めるものである
。According to leap loop control, the position of the mover is detected while it is moving, and the movement timing is fed back to control the advance or delay of the excitation phase. ), open-loop system a<
Compared to the case shown by the broken line), acceleration and deceleration can be performed at a higher speed, and generally several times higher speed can be expected.
このように、閉ループ制御では開ループ制御に比較して
高速に加減速が行なえるから、リニアパルスモータを用
いた搬送装置における上述のような欠点を解決できそう
に思われる。しかしながら、複数の可動子を用いて部材
の搬送を行なうと、各可動子ごとに作用する負荷が異な
るから、各可動子をそれぞれ個別に閉ループ制御すると
、可動子間の距離を一定に保つことができず、搬送する
部材を落として搬送できないという問題が生じる。In this way, since closed-loop control allows acceleration and deceleration to be performed at a higher speed than open-loop control, it seems possible to solve the above-mentioned drawbacks of conveyance devices using linear pulse motors. However, when a member is transported using multiple movers, the load acting on each mover is different, so if each mover is individually controlled in a closed loop, it is difficult to maintain a constant distance between the movers. This causes the problem that the member to be transported may drop and cannot be transported.
したがって、可動子を個々に閉ループ制御する方法では
、目的を達成することができず、結局は部材の搬送を高
速に行なえないことになる。Therefore, the method of individually controlling the movable elements in a closed loop cannot achieve the objective, and in the end, the members cannot be conveyed at high speed.
[発明の目的1
本発明は上述の点に鑑みて為されたものであって、その
目的とするところは、複数の可動子を備え、各可動子が
負荷の状態に適応しながら、高速かつ効率よく移動する
ようにしたリニアパルスモークの位置制御方式を提供す
ることにある。[Objective of the Invention 1 The present invention has been made in view of the above-mentioned points, and its object is to provide a plurality of movers, each mover adapting to the load state, and achieving high speed and An object of the present invention is to provide a position control system for a linear pulse smoke that moves efficiently.
[発明の開示]
(M成)
本発明に係るリニアパルスモータの位置制御方式は、直
線状の固定子に沿って移動する複数の可動子を備えたリ
ニアパルスモータの各可動子の位置を制御する位置制御
方式において、各可動子はそ、れぞれ固定子上での位置
をデジタル量として検出した位置検出信号を出力する位
置センサを有し、各可動子に対応した複数の位置検出信
号の中でもつとも遅く出力される位置検出信号に基づい
てすべての可動子の位置をフィードバック制御する制御
部を有して成るものであり、複数の可動子を加減速する
ときに、移動のもっとも遅い可動子に合わせで調速する
ことにより、各可動子間の間隔を一定に保てるようにし
たものである。[Disclosure of the Invention] (M) A position control method for a linear pulse motor according to the present invention controls the position of each movable element of a linear pulse motor including a plurality of movable elements that move along a linear stator. In the position control method, each movable element has a position sensor that outputs a position detection signal that detects the position on the stator as a digital quantity, and multiple position detection signals corresponding to each movable element are output. It has a control unit that performs feedback control of the positions of all movers based on the position detection signal that is outputted the slowest among the movers, and when accelerating or decelerating multiple movers, By adjusting the speed of each movable element, the distance between each movable element can be kept constant.
(実施例)
本実施例においては、第1図に示すように、直線状に形
成された1個の固定子1に2個の可動子2 at 2
bが装着されでおり、各可動子2 at Z bはそれ
ぞれ4相駆動されるようになっている。各可動子2a、
2bには、それぞれ固定子1上での可動子2a、2bの
位置を検知して位置検出信号を出力する逆起電力検出コ
イル(図示せず)が組み込まれている。(Example) In this example, as shown in FIG. 1, one stator 1 formed linearly and two movers 2 at 2
b is installed, and each movable element 2 at Z b is driven in four phases. Each mover 2a,
2b incorporates back electromotive force detection coils (not shown) that detect the positions of the movers 2a and 2b on the stator 1 and output position detection signals.
このリニアパルスモータを制御する制御部は、励磁制御
部10と、位置制御部11と、励磁制御部10からの相
励磁指令信号を受けて各可動子2at 2 b内のコイ
ルをそれぞれ励磁する一対のトライバ回路12a、12
bと、各可動子2 at 2 b内の逆起電力検出コイ
ルからの出力をそれぞれ受けて励磁制御部10に位置検
出信号を出力する一対の逆起電力検出回路13a、13
bとを有している。位置制御部11からは、励磁制御部
10に対しで、各可動子2a*2bをそれぞれ第1図中
右方向(正方向)に移vhさせる右移動指令信号S 、
、S 、と、左方向(逆方向)に移動させる左移動指令
信号との合計4つの信号が出力されるとともに、リニア
パルスモータを同期制御するか非同期制御するか(同期
、非同期の別は後述する)を選択する同期選択信号S、
が出力される。一方、励磁制御部10は、位置制御部1
1に対して、各可動子2 at 2 bがそれぞれ右方
向に移動したことを示す右移動信号S 41S5と、左
方向に移動したことを示す左移動信号との合計4つの信
号を出力する。右移動指令信号S 、、S 2と左移動
指令信号とは、単に可動子2a。The control unit that controls this linear pulse motor includes an excitation control unit 10, a position control unit 11, and a pair of units that receive a phase excitation command signal from the excitation control unit 10 to respectively excite the coils in each movable element 2at 2b. driver circuits 12a, 12
b, and a pair of back electromotive force detection circuits 13a, 13 that respectively receive outputs from the back electromotive force detection coils in each movable element 2 at 2 b and output position detection signals to the excitation control section 10.
It has b. The position control unit 11 sends a right movement command signal S to the excitation control unit 10 to move each movable element 2a*2b in the right direction (positive direction) in FIG.
. a synchronization selection signal S for selecting
is output. On the other hand, the excitation control section 10
1, a total of four signals are output: a right movement signal S41S5 indicating that each movable element 2 at 2 b has moved to the right, and a left movement signal indicating that it has moved to the left. The right movement command signal S,, S2 and the left movement command signal are simply the movable element 2a.
2bの移動時間を示すものであって、PIS2図(a)
(b)に示すように、これらの信号レベルが“H”とな
ると、励磁制御部10では、相励磁指令信号を出力して
ドライバ回路12a、12bを介して可動子2av2b
を駆動するのである。一方、可動子2 a、 2 bが
移動すると、可動子2 at 2 bが1ステップ進む
ごとに、上述した逆起電力検出コイルから出力が得られ
、これを逆起電力検出回路13a、13bにより波形整
形して位置検出信号S、〜S、に変換する。This shows the travel time of PIS 2 (a).
As shown in (b), when these signal levels become "H", the excitation control unit 10 outputs a phase excitation command signal to control the movable element 2av2b via the driver circuits 12a and 12b.
It drives the. On the other hand, when the movers 2 a and 2 b move, each time the mover 2 at 2 b advances one step, an output is obtained from the above-mentioned back electromotive force detection coil, and this is sent to the back electromotive force detection circuits 13 a and 13 b. The waveform is shaped and converted into position detection signals S, -S.
位置検出信号86〜S、は、デジタル信号であって、可
動子2 a、 2 bが2ステップ進むごとに反転する
一対の信号によって構成されており、両信号は位相が互
いに90度ずれている。したがって、t52図m〜(i
)に示すように、両信号の組み合わせにより、“HL”
、’HH“、’LH“、“LL“の4つの状態の組み合
わせが得られるのであり、可動子2a、2bが1ステッ
プ進むごとに状態が変化するようになっている。この位
置検出信号86〜S、の状態変化に基づいて励磁制御部
10では、第2図(d)(e)に示すように、可動子2
ms 2 bが1ステップ進むごとに1個のパルスを
出力するのであり、このパルスを右移動信号S、、S、
または左移動信号として位置制御部11に入力する。位
置制御部11では、この信号を受けて可動子2 a、
2 bがどれだけ進んだかを判定し、設定しておいた所
望位置土で進むと、右移動指令信号S 、、S 2また
は左移動指令信号の出力を停止して、可動子28t 2
bを停止させるのである。The position detection signals 86 to S are digital signals, and are composed of a pair of signals that are inverted every time the movers 2 a and 2 b advance two steps, and the phases of both signals are 90 degrees out of phase with each other. . Therefore, t52 diagram m~(i
), the combination of both signals causes “HL”
, 'HH', 'LH', and 'LL' are obtained, and the states change each time the movers 2a, 2b advance by one step. Based on the state changes of the position detection signals 86 to S, the excitation control unit 10 detects the movable element 2 as shown in FIGS. 2(d) and 2(e).
One pulse is output every time ms 2 b advances one step, and this pulse is used as the right movement signal S, , S,
Alternatively, it is input to the position control unit 11 as a leftward movement signal. In response to this signal, the position control unit 11 controls the movable elements 2 a,
2b determines how far it has advanced, and when it has moved to the preset desired position, it stops outputting the right movement command signal S2 or the left movement command signal, and moves the mover 28t2.
b is stopped.
ところで、励磁制御gioでは、弁開M制御の場合(す
なわち、第2図(c)に示すように、同期選択信号S3
が“L″の場合)に、各可動子2 at 2 bを駆動
する相励磁指令信号を出力するタイミングを、各可動子
2 a、 2 bに対応した各位置検出信号86〜S、
によりそれぞれ独立してフィードバック制御する。した
がって、各可動子2a、2bは、それぞれの負荷の状態
等に応じて個々に速度調節がなされ、両町動子2 a、
2 b間の距離は必ずしも一定にならない、つまり、
一方の可動子2bが搬送する部材3を押す状態であれば
、当然、可動子2aよりも可動子2bにががる負荷が大
きくなるから、第2図の左半分に示すように(特に、第
2図(d)(e)がよく示している)、可動子2aより
も可動子2bの移動速度が遅くなる。By the way, in the excitation control gio, in the case of valve open M control (that is, as shown in FIG. 2(c), the synchronization selection signal S3
is "L"), the timing of outputting the phase excitation command signal for driving each movable element 2 at 2 b is determined by each position detection signal 86 to S corresponding to each movable element 2 a, 2 b.
Feedback control is performed independently of each other. Therefore, the speed of each mover 2a, 2b is individually adjusted according to the state of each load, etc.
2 The distance between b is not necessarily constant, that is,
If one of the movers 2b is pushing the member 3 to be conveyed, the load applied to the mover 2b will naturally be greater than that of the mover 2a, so as shown in the left half of FIG. (Fig. 2(d) and (e) clearly show this), the moving speed of the movable element 2b is slower than that of the movable element 2a.
一方、同期制御の場合(すなわち、第2図(c)に示す
ように、同期選択信号S、が“H“の場合)には、励磁
制御部10では、両町動子2 m、 2 bのうちで立
も上が9の遅いほうの位置検出信号86〜89(すなわ
ち、上述の例では可動子2bから得られる位置検出信号
)に基づいて相励磁信号を出力する。On the other hand, in the case of synchronous control (that is, when the synchronous selection signal S is "H" as shown in FIG. 2(c)), the excitation control unit 10 A phase excitation signal is output based on the position detection signals 86 to 89 (that is, the position detection signal obtained from the movable element 2b in the above example), which is the slower one among them.
このように、つねに移動の遅いほうの可動子2a。In this way, the mover 2a always moves slower.
2bに他方の可動子2 a、 2 bを合わせるように
するから、両町動子2 a、 26間の距離が略一定に
保たれるのである。Since the other movers 2a and 2b are aligned with the mover 2b, the distance between the two movers 2a and 26 is kept substantially constant.
以下、第3図に示した搬送装置により部材3を搬送する
動作を説明する。まず、初めは弁開M制御としておき、
可動子2a、2bを個々に移動させて部材3をつかむ。The operation of transporting the member 3 by the transport device shown in FIG. 3 will be described below. First of all, set the valve open M control,
The member 3 is gripped by moving the movers 2a and 2b individually.
部材3をつかんだならば、同期’I11御に切り換えて
、両町動子2 a、 2 b間に部材3を挟持した状態
で可動子2 a、 2 bを移動させる。Once the member 3 is grasped, the control is switched to synchronous 'I11, and the movers 2a and 2b are moved with the member 3 sandwiched between the movers 2a and 2b.
ここに、第3図中の右向きに移動するものとすれば、次
の関係が成立する。すなわち、可動子2aには、推力F
a、摩擦力r raS部材3からの押圧力fgaが作用
して、加速度aaで移動するから、可動子2aのamを
maとすると、次式が成立する。Here, if it is assumed that the movement is to the right in FIG. 3, the following relationship holds true. That is, the movable element 2a has a thrust force F
a, Frictional force r ra Since the pressing force fga from the raS member 3 acts and the movable element 2a moves at an acceleration aa, the following equation holds true, assuming that am of the movable element 2a is ma.
F atma ・ 6 a−fga+ fraまた、同
様にして可動子2bには、推力Fb、摩擦力f rb、
部材3への押圧力rgbが作用するとともに、質mar
sの部材3を押しながら加速度αbで移動するから、可
動子2bの質量をmbとすると、次式が成立する。F atma ・ 6 a-fga+ fra Similarly, the movable element 2b has a thrust force Fb, a friction force f rb,
A pressing force rgb acts on the member 3, and the quality mar
Since the movable element 2b moves at an acceleration αb while pushing the member 3 of s, the following equation holds true, assuming that the mass of the movable element 2b is mb.
Fb=mb−ab+fgb+frb+m5−alIここ
に、可動子2 a、 2 b間に部材3が保持された状
態で移動しているならば、αa=Qb=αS(=α)で
あり、また、摩擦力fra= 「rb(= fr)、押
圧力fga= rgb(= fg)、fl 量ma#
mb(= m)と考えられるから、
Fb Fa#m5−G+2fg
となり、両町動子2 a、 2 bの推力差は無視でき
ない値となる。つまり、両町動子2 a、 2 bの推
力に差があるということは、両町動子2 a、 2 b
の1ステップ当たりの移動時間に差が生じるということ
を意味する。ここに、Fb−Faの値は、正であるから
、可動子2bのほうがより大きい推力を要し、したがっ
て、両回動子2a、2bの出力が同じ程度であれば、可
動子2bのほうが移動速度が遅いことになる。そこで、
同期制御の場合、可動子2bの位置検出信号に基づいて
次ステツプの励磁タイミングが決定されるから、可動子
2bの速度に合わせて可動子2aの速度が設定され、結
局、両回動子2 am 2 b間の距離が一定に保たれ
たままで移動することになる。このようにして目的位置
まで移動したら、非同期制御に戻して可動子2 at
2 bを個々に移動させて部材3を離すのである。Fb=mb-ab+fgb+frb+m5-alIHere, if the member 3 is moving while being held between the movers 2a and 2b, αa=Qb=αS (=α), and the frictional force fra = "rb (= fr), pressing force fga = rgb (= fg), fl Amount ma#
Since it is considered that mb (= m), it becomes Fb Fa#m5-G+2fg, and the thrust difference between Ryoumachi Moko 2a and 2b becomes a value that cannot be ignored. In other words, there is a difference in the thrust of Ryomachi Moko 2 a, 2 b, which means that Ryomachi Moko 2 a, 2 b
This means that there is a difference in the travel time per step. Here, since the value of Fb-Fa is positive, mover 2b requires a larger thrust. Therefore, if the outputs of both rotors 2a and 2b are about the same, mover 2b has a larger thrust force. Movement speed will be slow. Therefore,
In the case of synchronous control, the excitation timing of the next step is determined based on the position detection signal of the movable element 2b, so the speed of the movable element 2a is set in accordance with the speed of the movable element 2b, and eventually both rotators 2 It will move while keeping the distance between am 2 b constant. After moving to the target position in this way, return to asynchronous control and move the mover 2 at
2b are moved individually to separate the members 3.
上述の実施例では、位置検出に逆起電力検出コイルを用
いたが、エンコーグや固定子1の磁極歯を検出する光セ
ンサ等を用いてもよい、さらに、可動子2 at 2
bは2個として説明したが、3個以上の場合であっても
、もっとも遅いものを基準として同期制御を行なえば、
本発明の技術思想が適用可能なのはいうまでもない。In the above embodiment, a back electromotive force detection coil is used for position detection, but an encoder, an optical sensor that detects the magnetic pole teeth of the stator 1, etc. may also be used.
The explanation has been made assuming that there are two b's, but even if there are three or more, if synchronous control is performed using the slowest one as a reference,
It goes without saying that the technical idea of the present invention is applicable.
[発明の効果J
本発明は上述のように、直親状の固定子に沿って移動す
る複数の可動子を備えたリニアパルスモータの各可動子
の位置を制御する位置制御方式において、各可動子はそ
れぞれ固定子上での位置をデジタル量として検出した位
置検出信号を出力する位置センサを有し、各可動子に対
応した複数の位置検出信号の中でもっとも遅く出力され
る位置検出信号に基づいてすべての可動子の位置をフィ
ードバック制御する制御部を有して成るものであり、複
数の可動子を加減速するときに、移動のもっとも遅い可
動子に合わせてフィードバック制御するから、各可動子
間の間隔を一定に保った状態で移動することができ、し
かもフィードバック制御であるから、開ループ制御に比
較してかなり高速に可動子を移動することができるとい
う利点を有する。[Effect of the Invention J As described above, the present invention provides a position control method for controlling the position of each movable element of a linear pulse motor equipped with a plurality of movable elements that move along a straight stator. Each movable element has a position sensor that outputs a position detection signal that detects the position on the stator as a digital quantity. The controller has a control unit that performs feedback control of the positions of all movable elements based on the position of each movable element. It is possible to move the movable elements while keeping the distance between them constant, and since it is feedback control, it has the advantage that the movable elements can be moved at a considerably higher speed than open-loop control.
第1図は本発明の一実施例を示す概略慴成図、第2図は
同上の動作説明図、第3図は同上に使用するリニアパル
スモータに作用する力を示す動作説明図、第4図は開ル
ープ制御と閉ループ制御との相異を示す動作説明図であ
る。
1は固定子、2 a、 2 bは可動子、3は部材、1
0は励磁制御部、11は位置制御部、12as12bは
ドライバ回路、13a、13bは逆起電力検出回路であ
る。
代理人 弁理士 石 1)艮 七
3・・部材
鳴2図
一井同期u!r、 −一令 −一同期j扛−一一一一◆
@3図
4、5
]′−ドロー71しFig. 1 is a schematic diagram showing one embodiment of the present invention, Fig. 2 is an explanatory diagram of the operation of the same, Fig. 3 is an explanatory diagram of the operation showing the force acting on the linear pulse motor used in the same, and Fig. 4 The figure is an operation explanatory diagram showing the difference between open-loop control and closed-loop control. 1 is a stator, 2 a, 2 b are movers, 3 is a member, 1
0 is an excitation control section, 11 is a position control section, 12as12b is a driver circuit, and 13a and 13b are back electromotive force detection circuits. Agent Patent attorney Ishi 1) Ai 73... Member Mei 2 Figure Ichii synchronization u! r, −1st order −1st period j扛−1111◆
@3 Figure 4, 5]'-Draw 71
Claims (1)
備えたリニアパルスモータの各可動子の位置を制御する
位置制御方式において、各可動子はそれぞれ固定子上で
の位置をデジタル量として検出した位置検出信号を出力
する位置センサを有し、各可動子に対応した複数の位置
検出信号の中でもっとも遅く出力される位置検出信号に
基づいてすべての可動子の位置をフィードバック制御す
る制御部を有して成ることを特徴とするリニアパルスモ
ータの位置制御方式。(1) In a position control method that controls the position of each movable element of a linear pulse motor equipped with multiple movable elements that move along a linear stator, each movable element has a digital position on the stator. It has a position sensor that outputs a position detection signal detected as a quantity, and the position of all movers is feedback-controlled based on the position detection signal that is output the latest among the multiple position detection signals corresponding to each mover. 1. A position control method for a linear pulse motor, comprising a control section that controls the position of a linear pulse motor.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62148432A JPH0786772B2 (en) | 1987-06-15 | 1987-06-15 | Position control system of linear pulse motor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62148432A JPH0786772B2 (en) | 1987-06-15 | 1987-06-15 | Position control system of linear pulse motor |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JPS63311514A true JPS63311514A (en) | 1988-12-20 |
JPH0786772B2 JPH0786772B2 (en) | 1995-09-20 |
Family
ID=15452662
Family Applications (1)
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---|---|---|---|
JP62148432A Expired - Lifetime JPH0786772B2 (en) | 1987-06-15 | 1987-06-15 | Position control system of linear pulse motor |
Country Status (1)
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JP (1) | JPH0786772B2 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10562720B2 (en) | 2017-05-17 | 2020-02-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Transport system, processing system, and control method of transport system |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP6521772B2 (en) | 2015-07-07 | 2019-05-29 | キヤノン株式会社 | Transport system and control method thereof, and carriage and control method thereof |
-
1987
- 1987-06-15 JP JP62148432A patent/JPH0786772B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10562720B2 (en) | 2017-05-17 | 2020-02-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Transport system, processing system, and control method of transport system |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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