JPS63298879A - Magnetic head slider and its manufacture - Google Patents
Magnetic head slider and its manufactureInfo
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、磁気ヘッドスライダに係り、特に塵埃等の影
響を除き、ヘッドクラッシュを防止するのに好適な磁気
ヘッドスライダに関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a magnetic head slider, and particularly to a magnetic head slider suitable for eliminating the influence of dust and the like and preventing head crashes.
磁気ディスク装置等に用いられる浮動型の磁気ヘッドス
ライダは、磁気ディスクとサブミクロンオーダの浮上量
を維持して高速運動するため、塵埃がその間に入り込み
、かみ込まれたりすると磁気ディスク面を破壊するなど
のヘッドクラッシュを引き起こす。塵埃誘起のヘッドク
ラッシュを防止するためには、磁気ディスク上から塵埃
を取り去ればよいが、サブミクロンの粒径を有する塵埃
を除去することは容易でなく、また装置稼動中に発生す
る塵埃が磁気ディスク上に付着することにも対策が必要
となる。磁気ディスク上の微小な塵埃が容易にとれない
のは、面積度の高い磁気ディスクが回転した際に表面に
形成される層流底層内に塵埃が埋没し、外部から力が容
易に加わらないためである。層流底層内の塵埃に最も近
づくのは、その上を運動する磁気ヘッドスライダであり
、磁気ヘッドスライダに塵埃排除機能を備えるのが、塵
埃対抗手段としては最も好ましい。Floating magnetic head sliders used in magnetic disk devices move at high speed while maintaining a submicron-order flying height with respect to the magnetic disk, so if dust gets between them and gets caught, it can destroy the magnetic disk surface. etc., causing head crashes. In order to prevent dust-induced head crashes, it is possible to remove dust from the magnetic disk, but it is not easy to remove dust with submicron particle sizes, and dust generated during equipment operation is difficult to remove. Measures must also be taken against adhesion on magnetic disks. The reason why microscopic dust on magnetic disks cannot be easily removed is because the dust is buried in the laminar flow layer that forms on the surface when a magnetic disk with a high surface area rotates, and external forces cannot be easily applied to it. It is. The thing that comes closest to the dust in the laminar flow bottom layer is the magnetic head slider that moves above it, and it is most preferable as a dust countermeasure that the magnetic head slider is provided with a dust removal function.
回転する磁気ディスク上に付着する塵埃を磁気ディスク
表面から遊離させるためには、遠心力以上の力を塵埃に
加える必要がある。これには、磁気ヘッドスライダと磁
気ディスクの間に形成される気体ベアリングの流体力を
利用することができる。磁気ヘッドスライダのレール部
の面で磁気ディスクとの間で圧縮された気体と大気圧と
の圧力差に基づく差力が塵埃に働くようにすればよい。In order to release dust adhering to a rotating magnetic disk from the surface of the magnetic disk, it is necessary to apply a force greater than centrifugal force to the dust. For this purpose, the fluid force of the gas bearing formed between the magnetic head slider and the magnetic disk can be used. A differential force based on the pressure difference between the gas compressed between the rail portion of the magnetic head slider and the magnetic disk and the atmospheric pressure may be applied to the dust.
これを実現する手段としては、レール部の一部に溝を設
けると、その部分は圧力が低下し上記の機能を発起する
。このような溝を有するスライダの例としては、従来実
開昭６０−１８６５６２号公報にその例がみられる。As a means of achieving this, if a groove is provided in a part of the rail part, the pressure in that part is reduced and the above function is activated. An example of a slider having such a groove can be found in Japanese Utility Model Application Publication No. 186562/1983.
しかしながら、従来例の溝は、浮上姿勢の制御を目的と
しているため、溝部分の有する塵埃排出機能は充分なも
のとは言えない。従来例にみられる溝は、第１２図に示
すものであり、磁気ヘッドスライダ１と磁気ディスク８
間の流れは溝１６中で渦１７を形成し、この流れに含ま
れる塵埃（図示せず）は、一旦、１１気デイスク８より
離脱しても、再び該ディスク８上に付着するか、同図の
紙面に垂直な方向に運ばれ、層流底層の中に再び放出さ
れ、その後磁気ディスク８に付着する。However, since the purpose of the conventional groove is to control the flying posture, the dust discharge function of the groove portion cannot be said to be sufficient. The grooves seen in the conventional example are shown in FIG.
The flow between them forms a vortex 17 in the groove 16, and even if dust (not shown) contained in this flow is once separated from the disk 8, it may adhere to the disk 8 again or It is carried in a direction perpendicular to the plane of the drawing, is ejected again into the laminar bottom layer, and then adheres to the magnetic disk 8.
従って、上記従来例は、磁気ディスク８表面から遊離さ
せた塵埃を、この磁気ディスク８表面から充分離れた位
置に排除できず、再び磁気ディスク面に再付着するおそ
れがあるという問題があった。Therefore, the above-mentioned conventional example has a problem in that the dust released from the surface of the magnetic disk 8 cannot be removed to a position sufficiently away from the surface of the magnetic disk 8, and there is a possibility that the dust may re-adhere to the surface of the magnetic disk 8.
本発明の目的は、磁気ディスク上の塵埃を該磁気ディス
ク上から離脱させ、当該磁気ディスク表面に形成される
層流底層から充分に離れた位置に導き排除することがで
き、磁気ディスクに塵埃が再付着するおそれの少ない磁
気ヘッドスライダを提供するにある。An object of the present invention is to allow dust on a magnetic disk to separate from the magnetic disk, guide it to a position sufficiently away from the laminar bottom layer formed on the surface of the magnetic disk, and remove dust from the magnetic disk. To provide a magnetic head slider with less risk of re-adhesion.
更に本発明の他の目的は、上記磁気ヘッドスライダを効
率良く製造することのできる磁気ヘッドスライダの製造
方法を提供するにある。Still another object of the present invention is to provide a method for manufacturing a magnetic head slider that can efficiently manufacture the above-mentioned magnetic head slider.
上記目的は、溝内に形成される流れが、磁気ディスク面
から、磁気ヘッドスライダの背面に至るようにすること
で達成される。すなわち、溝を形成する位置を、レール
部の面内とするのではなく、磁気ヘッドスライダの側面
とし、溝の一端がレール部の面に開口し、他端が磁気ヘ
ッドスライダ背面に開口するようにすればよい。The above object is achieved by allowing the flow formed in the groove to flow from the magnetic disk surface to the back surface of the magnetic head slider. In other words, the groove is not formed in the surface of the rail section, but on the side surface of the magnetic head slider, with one end of the groove opening on the surface of the rail section and the other end opening on the back surface of the magnetic head slider. Just do it.
すなわち、本発明に係る磁気ヘッドスライダは、磁気デ
ィスクとの間に気体ベアリング作用を発生するレール部
を有する磁気ヘッドスライダにおいて、磁気ディスクと
対向するレール部側からスライダ背面側に至り、且つ、
該スライダの側面にスリットを切欠き形成したものであ
る。That is, in the magnetic head slider according to the present invention, in a magnetic head slider having a rail portion that generates a gas bearing action between the magnetic disk and the magnetic disk, the magnetic head slider extends from the rail portion side facing the magnetic disk to the back side of the slider, and
A slit is cut out in the side surface of the slider.
また、本発明に係る製造方法は、磁気ヘッドスライダの
磁気ヘッドをウェハ上に複数一括形成し、それぞれの磁
気ヘッド毎のウェハを切断分離する磁気ヘッドスライダ
の製造方法において、先ずスライダ側面となる部分に添
って複数の磁気ヘッドが一列に並設されたスライダピー
スを切断分離し、このスライダ側面にスリットを複数個
の磁気ヘッドスライダに対して一括形成した後、個々の
磁気ヘッド毎に前記スライダピースを切断分離するもの
である。Further, in the manufacturing method according to the present invention, in the manufacturing method of a magnetic head slider in which a plurality of magnetic heads of a magnetic head slider are formed on a wafer at once, and the wafer is cut and separated for each magnetic head, first, a portion that will become a side surface of the slider is formed. After cutting and separating a slider piece in which a plurality of magnetic heads are arranged in a line along the slider, and forming slits for the plurality of magnetic head sliders at once on the side surface of the slider, the slider piece is cut and separated for each magnetic head. It is used to cut and separate the parts.
磁気ヘッドスライダの側面に設けられたスリット内の流
れは、ディスク面より磁気ヘッドスライダの背面にまで
達し、流体力によってディスク表面より遊離させた塵埃
を有効に排出する。The flow in the slit provided on the side surface of the magnetic head slider reaches from the disk surface to the back surface of the magnetic head slider, and effectively discharges dust released from the disk surface by the fluid force.
また、本発明に係る製造方法はスリットを個々に形成す
ることなく、まとめて一括形成できるものである。Moreover, the manufacturing method according to the present invention allows the slits to be formed all at once without forming them individually.
以下、本発明を図面の実施例に基いて説明する。 Hereinafter, the present invention will be explained based on embodiments shown in the drawings.
第１図において、磁気ヘッドスライダ１は、端部に磁気
ヘッド５及びリード端子６を有する。レール部３の磁気
ヘッド５と反対側には、テーパ２を有し、該テーパ２に
続いて当該レール部３が形成されている。このレール部
３に一端を開口し、該スライダ１の背面に他端を開口す
るスリット４が設けられている。すなわち、磁気ディス
クと対向するレール部３側から該スライダ１の背面側に
至り、且つ該スライダの側面にスリット４が切欠き形成
されている。In FIG. 1, a magnetic head slider 1 has a magnetic head 5 and a lead terminal 6 at its end. The rail portion 3 has a taper 2 on the side opposite to the magnetic head 5, and the rail portion 3 is formed following the taper 2. A slit 4 is provided in the rail portion 3 with one end open, and on the back surface of the slider 1 with the other end open. That is, a slit 4 is cut out and extends from the side of the rail section 3 facing the magnetic disk to the back side of the slider 1 and on the side surface of the slider.
前記スライダ１のテーパ２及びレール部３と、対向する
磁気ディスクとの間に形成される気体ベアリングの圧力
分布は、第２図に示す形となる。The pressure distribution of the gas bearing formed between the taper 2 and rail portion 3 of the slider 1 and the opposing magnetic disk is as shown in FIG.
テーパ２より流入した気体は図中Ａの領域で圧縮される
。スリット４に相当する領域Ｂは、大気圧のままとなる
。The gas flowing in from the taper 2 is compressed in the region A in the figure. Region B corresponding to the slit 4 remains at atmospheric pressure.
次に作用を第３図に基いて説明する。テーパ２の方向よ
り侵入する塵埃７は、領域ＡとＢの境界で圧力差からく
る差力を受け、磁気ディスク８から遊離し磁気ヘッドス
ライダ１の背面へ導かれる。Next, the operation will be explained based on FIG. Dust 7 entering from the direction of the taper 2 receives a differential force due to a pressure difference at the boundary between areas A and B, and is released from the magnetic disk 8 and guided to the back surface of the magnetic head slider 1.
該スライダ１の背面は、磁気ディスク８面の層流底層か
ら布分離れた高さにあり、ここまで導かれた塵埃７は、
該ディスク８の回転に伴って発生する磁気ディスク８の
中心から外縁へと向う流れに乗って排除される。第４図
はスリット４部分における気体の流れを流線で示したも
のである。The back surface of the slider 1 is at a height that is a cloth distance from the laminar bottom layer of the magnetic disk 8 surface, and the dust 7 that has been led up to this point is
The particles are removed along with the flow generated from the center of the magnetic disk 8 toward the outer edge as the disk 8 rotates. FIG. 4 shows the flow of gas in the slit 4 portion with streamlines.
次に上記磁気ヘッドスライダの製造方法を説明する。Next, a method of manufacturing the above magnetic head slider will be explained.
先ず磁気ヘッドスライダ１の側面となる部分に添って複
数の磁気ヘッド５が一列に並設されたスライダピースを
切断分離し、このスライダ側面にスリット４を複数個の
磁気ヘッドスライダに対して一括形成した後、個々の磁
気ヘッド５毎に前記スライダピースを切断分離する。First, a slider piece in which a plurality of magnetic heads 5 are arranged in a line along the side surface of the magnetic head slider 1 is cut and separated, and slits 4 are formed on the side surface of the slider for the plurality of magnetic head sliders at once. After that, the slider pieces are cut and separated into individual magnetic heads 5.
第５図に基いて、磁気ヘッド５を薄膜工程を用いて形成
する場合に適したスリット４の製造方法を示す。ウェハ
１８に磁気ヘッド５及びリード端子６を形成した後、破
線りに示す方向に切断し、第６図に示した如くスライダ
ピース１９を作る。Based on FIG. 5, a method of manufacturing the slit 4 suitable for forming the magnetic head 5 using a thin film process is shown. After forming the magnetic head 5 and lead terminals 6 on the wafer 18, the wafer 18 is cut in the direction shown by the broken line to form a slider piece 19 as shown in FIG.
次にＭに示す部分に、多数のスライダ１に対して一括し
てスリット４を形成する０次に破線Ｎに示す方向に切断
し、レール部３、テーパ２を削り出すことでスリット４
を有する磁気ヘッドスライダを大量に効率良く生産する
ことができる。Next, in the part indicated by M, the slits 4 are formed for a large number of sliders 1 at once by cutting in the direction indicated by the broken line N, and by cutting out the rail portion 3 and the taper 2, the slit 4 is formed.
It is possible to efficiently produce large quantities of magnetic head sliders having the following characteristics.
第７図に本発明の第２実施例を示す、スリット４の側面
に側板９をかぶせることで塵埃排出効率を高めた例であ
る。側板９は塵埃の磁気ヘッドスライダ１の側面方向へ
の流出を防止するために使用される。更にスリット４内
に導風板１０を挿入することでスリット４内の気体の流
れを一層効率よくすることもできる。ここで、導風板１
０は、 ′スリット４内の略中心位置にレール部３の長
手方向と直交すると共に、該導風板１０のレール部３側
の端辺はスリット４内に没している。FIG. 7 shows a second embodiment of the present invention, in which a side plate 9 is placed over the side surface of the slit 4 to improve dust discharge efficiency. The side plate 9 is used to prevent dust from flowing out in the side direction of the magnetic head slider 1. Furthermore, by inserting the baffle plate 10 into the slit 4, the flow of gas within the slit 4 can be made even more efficient. Here, the air guide plate 1
0 is located at a substantially central position within the slit 4 and perpendicular to the longitudinal direction of the rail portion 3, and the end side of the baffle plate 10 on the rail portion 3 side is sunk into the slit 4.
第９図は、レール部３を精度よく形成するためにレール
エッヂ１６が形成された磁気ヘッドスライダ１に側板９
を設けるときの構造を示すもので。FIG. 9 shows a side plate 9 attached to the magnetic head slider 1 on which a rail edge 16 is formed in order to accurately form the rail portion 3.
This shows the structure when installing.
レールエッヂ１６をエッチブロック１１で塞ぐことで、
横方向の流れを防ぐものである。第１０図は第９図の縦
断面図である。By blocking the rail edge 16 with the etch block 11,
This prevents lateral flow. FIG. 10 is a longitudinal sectional view of FIG. 9.
第１１図は本発明の第３実施例を示す。ジンバル１２及
びロードアーム１５はスリット４を有する磁気スライダ
１を支持するための支持バネより成る。スリット４を該
スライダ１の側面より塞ぐ舌片１３を１対有し、スリッ
ト４に対向する面には穴１４．１４′を有する。本実施
例によれば。FIG. 11 shows a third embodiment of the invention. The gimbal 12 and the load arm 15 are composed of support springs for supporting the magnetic slider 1 having the slit 4. It has a pair of tongues 13 that close the slit 4 from the side of the slider 1, and has holes 14 and 14' on the surface facing the slit 4. According to this example.
側板９を有する磁気ヘッドスライダ１と同様の作用効果
を達成するものである。This achieves the same effect as the magnetic head slider 1 having the side plate 9.
以上、いずれの実施例においても、磁気ディスク８上の
塵埃を磁気ディスク８より遊離させ、外部に排出するこ
とが可能となる。In any of the embodiments described above, it is possible to release the dust on the magnetic disk 8 from the magnetic disk 8 and discharge it to the outside.
尚、いずれの実施例も、レール部３を平面とするものを
示したが、この部分にわずかなりラウンを有する磁気ヘ
ッドスライダに対してもスリット４は有効に機能するこ
とは勿論である。In each of the embodiments, the rail portion 3 is flat, but it goes without saying that the slit 4 can function effectively even in a magnetic head slider having a slight roundness in this portion.
本発明によれば、磁気ディスク上の塵埃を磁気ディスク
上から離脱させ、スリットを通して磁気ディスク表面に
形成される層流底層から充分に離れた位置に導き排除す
ることが可能となり塵埃誘起のヘッドクラッシュをなく
すことができる。According to the present invention, it is possible to separate the dust on the magnetic disk from the magnetic disk and guide it through the slit to a position sufficiently away from the laminar bottom layer formed on the surface of the magnetic disk, thereby preventing dust-induced head crashes. can be eliminated.
また、本発明の製造方法によれば、スリットを個々に形
成することなく一括形成する方法であるため、効率良く
磁気ヘッドスライダを製造することができる。Further, according to the manufacturing method of the present invention, since the slits are formed all at once without forming them individually, the magnetic head slider can be manufactured efficiently.
第１図は本発明の第１実施例の斜視図、第２図は第１図
に示す磁気ヘッドスライダの圧力分布図。
第３図は同実施例の作用説明のための断面図、第４図は
スリット部分での気体の流線を示す断面図、第５図及び
第６図は製造方法を示す斜視図、第７図は第２実施例の
斜視図、第８図は第７図の使用状態での要部断面図、第
９図はエッチブロックを含む部分の拡大斜視図、第１０
図は同要部縦断面図、第１１図は第３実施例の支持バネ
を示す分解斜視図、第１２図は従来例の断面図である。
符号の説明
１・・・磁気スライダ、 ２・・・テーパ、３・・・
レール部、 ４・・・スリット、９・・・側板、
１０・・・導風板、１２・・・ジンバル、
１５・・・ロードアーム。FIG. 1 is a perspective view of a first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a pressure distribution diagram of the magnetic head slider shown in FIG. 1. FIG. 3 is a cross-sectional view for explaining the operation of the same embodiment, FIG. 4 is a cross-sectional view showing gas streamlines at the slit portion, FIGS. 5 and 6 are perspective views showing the manufacturing method, The figure is a perspective view of the second embodiment, FIG. 8 is a sectional view of the main part in the usage state of FIG. 7, FIG. 9 is an enlarged perspective view of the part including the etch block, and FIG.
11 is an exploded perspective view showing the support spring of the third embodiment, and FIG. 12 is a sectional view of the conventional example. Explanation of symbols 1...Magnetic slider, 2...Taper, 3...
Rail part, 4...Slit, 9...Side plate,
10... Wind guide plate, 12... Gimbal,
15...Load arm.
Claims (5)
するレール部を有する磁気ヘッドスライダにおいて、磁
気ディスクと対向するレール部側から磁気ヘッドスライ
ダ背面側に至り、且つ、該スライダの側面にスリットを
切欠き形成したことを特徴とする磁気ヘッドスライダ。(1) In a magnetic head slider having a rail portion that generates a gas bearing action between the magnetic disk and the magnetic disk, a slit is provided on the side surface of the slider extending from the rail portion facing the magnetic disk to the back side of the magnetic head slider. A magnetic head slider characterized by having a notch formed therein.
ヘッドスライダ側面から、側板で遮蔽した磁気ヘッドス
ライダ。(2) The magnetic head slider according to claim 1, wherein the slit is shielded from the side surface of the magnetic head slider by a side plate.
中心位置にレール部の長手方向と直交する導風板を配設
すると共に、該導風板のレール部側の端辺はスリット内
に没している磁気ヘッドスライダ。(3) In claim 1, an air guide plate is disposed at a substantially central position within the slit and perpendicular to the longitudinal direction of the rail part, and the end side of the air guide plate on the rail part side is located within the slit. The magnetic head slider is submerged in the
イダを支持する支持部材に磁気ヘッドスライダに設けら
れたスリットを側面より覆う位置に舌片を設け、スリッ
トの上面に対向する部分に穴を設けた磁気ヘッドスライ
ダ。(4) In claim 1, the support member that supports the magnetic head slider is provided with a tongue piece at a position that covers the slit provided in the magnetic head slider from the side, and a hole is provided in the portion facing the upper surface of the slit. A magnetic head slider is installed.
数一括形成し、それぞれの磁気ヘッド毎にウエハを切断
分離する磁気ヘッドスライダの製造方法において、先ず
磁気ヘッドスライダ側面となる部分に添って複数の磁気
ヘッドが一列に並設されたスライダピースを切断分離し
、該スライダ側面にスリットを複数個の磁気ヘッドスラ
イダに対して一括形成した後、個々の磁気ヘッド毎に前
記スライダピースを切断分離することを特徴とする磁気
ヘッドスライダの製造方法。(5) In a method for manufacturing a magnetic head slider in which a plurality of magnetic heads of a magnetic head slider are formed on a wafer at once and the wafer is cut and separated for each magnetic head, first, a plurality of magnetic heads are formed along the side surface of the magnetic head slider. Cutting and separating a slider piece in which magnetic heads are arranged in a row, forming slits for a plurality of magnetic head sliders at once on the side surface of the slider, and then cutting and separating the slider pieces for each magnetic head. A method of manufacturing a magnetic head slider characterized by:
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13373487A JPS63298879A (en) | 1987-05-29 | 1987-05-29 | Magnetic head slider and its manufacture |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13373487A JPS63298879A (en) | 1987-05-29 | 1987-05-29 | Magnetic head slider and its manufacture |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63298879A true JPS63298879A (en) | 1988-12-06 |
Family
ID=15111667
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13373487A Pending JPS63298879A (en) | 1987-05-29 | 1987-05-29 | Magnetic head slider and its manufacture |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63298879A (en) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1987
- 1987-05-29 JP JP13373487A patent/JPS63298879A/en active Pending
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