JPS63293417A - Gas flow measuring method and device - Google Patents

Gas flow measuring method and device

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JPS63293417A
JPS63293417A JP12006987A JP12006987A JPS63293417A JP S63293417 A JPS63293417 A JP S63293417A JP 12006987 A JP12006987 A JP 12006987A JP 12006987 A JP12006987 A JP 12006987A JP S63293417 A JPS63293417 A JP S63293417A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
flow rate
gas
gas flow
crack
valve
Prior art date
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Pending
Application number
JP12006987A
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Japanese (ja)
Inventor
エイ クラマー
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
II M S HOORAND BV
Original Assignee
II M S HOORAND BV
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Filing date
Publication date
Application filed by II M S HOORAND BV filed Critical II M S HOORAND BV
Priority to JP12006987A priority Critical patent/JPS63293417A/en
Publication of JPS63293417A publication Critical patent/JPS63293417A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、管路の開口を通過する気体の流量を計測する
方法及びそのための装置に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Field of Industrial Application) The present invention relates to a method for measuring the flow rate of gas passing through an opening in a conduit and an apparatus therefor.

(従来の技術及び問題点) 気体の流量計測は種々の形態のもとに行われている。例
えば、機械的な流量計が用いられている。
(Prior Art and Problems) Gas flow rate measurement is performed in various ways. For example, mechanical flow meters are used.

この流量計を用いた方法では、−組のスライド弁を介し
て特定量で計測された流量の気体が一組の可動ベローズ
を経て通過する。これらのベローズは弁と共に機械的カ
ウンターをも駆動する。
In this flow meter method, a measured flow rate of gas is passed through a set of movable bellows through a set of slide valves. Together with the valves, these bellows also drive mechanical counters.

しかし、上述の従来の計測方法及び装置の欠点は、ベロ
ーズの作動状況の変動の結果、測定誤差が時によって異
ってしまったり、また機構部品が摩耗を生ずるというこ
とである。その結果として、誤差変動が許容値をはるか
に超えてしまう。また、他の欠点としては、気体の圧力
及び温度の変動が完全に無視されており、エネルギ値測
定の際に供給された重量流量値が供給された各体積流量
値に一致しないということである。
However, the drawbacks of the conventional measuring methods and devices described above are that the measurement errors vary from time to time as a result of variations in the operating conditions of the bellows, and that mechanical parts may wear out. As a result, the error variation far exceeds the allowable value. Also, another drawback is that the pressure and temperature variations of the gas are completely ignored, and the supplied gravimetric flow values do not match the respective supplied volumetric flow values when measuring the energy values. .

(問題点を解決するための手段、作用及び効果)この発
明の目的は、上記従来の方法及び装置の有していた欠点
を伴わない計測方法及び装置を提供することにある。
(Means, Actions, and Effects for Solving the Problems) An object of the present invention is to provide a measuring method and device that do not have the drawbacks of the conventional methods and devices described above.

本発明は、上記目的の達成のために、気体流量計測方法
に関し、 開口を通過する気体の流量を計測する方法において、 互いに異なる最大通過容量をもつ一連のバイナリクラッ
ク弁(binary clack valves)を並
列に配してなる弁装置に上記気体を通過せしめて、上記
弁装置を通過する際の気体の全体の圧力降下と、設定値
との偏差に一致する信号で調整システムを制御する圧力
センサでもって上記偏差を常時連続的に検知することに
よって、上記圧力降下を設定値に維持し、 上記信号によって弁装置のクラックを開閉せしめ、 上記弁装置の位置によって体積流量を読みとる、ことに
より構成される。
In order to achieve the above object, the present invention relates to a gas flow rate measuring method, and in a method for measuring the flow rate of gas passing through an opening, a series of binary crack valves having mutually different maximum passage capacities are arranged in parallel. and a pressure sensor controlling the regulating system with a signal corresponding to the deviation between the overall pressure drop of the gas as it passes through the valve device and a set value. The pressure drop is maintained at a set value by constantly and continuously detecting the deviation, the crack in the valve device is opened and closed by the signal, and the volumetric flow rate is read by the position of the valve device.

気体の通路にバイナリシステム(binary sys
tem)として並列配置された一連の開閉クラック弁自
体は公知である。しかし、流量計測のための、本発明の
ようなバイナリクラック弁の適用は公知ではない。
A binary system is installed in the gas passage.
A series of on-off crack valves arranged in parallel as tem) is known per se. However, the application of a binary crack valve such as the present invention for flow measurement is not known.

上記本発明の好ましい形態としては、少量の気体流量で
の圧力降下の微調整が、開閉両位置の間で連続的に調整
可能な、最大通過容量が最小のバイナリクラック弁のク
ラックによって上記容量を調整することによりなされる
のがよい。また、これらの少量の気体流量を計測するこ
とによらて、測定精度の影響をもたらすことなく、計測
の全範囲が拡大される。
In a preferred embodiment of the present invention, the fine adjustment of the pressure drop at small gas flow rates is achieved by cracking a binary crack valve with a minimum maximum throughput capacity, which is continuously adjustable between open and closed positions. It is best to do this by adjusting. Also, by measuring these small gas flow rates, the overall range of measurement is expanded without affecting measurement accuracy.

気体の重量流量の計測を可能ならしめるためには、管内
の気体の圧力と温度による修正を行わねばならない。そ
のための好ましい形態としては、開口を通過する気体の
重量流量を決定するために、管路内の気体の温度と圧力
が、センサを用いて体積流量の修正をすることによって
決定されるようにするのがよい。センサは、気体の温度
、弁の両側での差圧、そして過圧力をバイナリクラック
弁で直接計測することができる。圧力の測定は、絶対圧
力の測定をすることによって拡張され、気体の重量流量
を決定する際に精度が向上する。
In order to make it possible to measure the weight flow rate of gas, corrections must be made based on the pressure and temperature of the gas inside the pipe. A preferred form for this is that the temperature and pressure of the gas in the line are determined by means of a sensor to correct the volumetric flow rate in order to determine the gravimetric flow rate of the gas passing through the opening. It is better. Sensors can measure gas temperature, differential pressure across the valve, and overpressure directly on the binary crack valve. Pressure measurements are extended by making absolute pressure measurements, increasing accuracy in determining gas gravimetric flow rates.

特に、マイクロプロセッサを用いて修正を行なうと有利
である。マイクロプロセッサは、計測装置のキャリブレ
ーションの際に決められる測定誤差をも含むことができ
、これは重量流量の決定において上記キャリブレーショ
ン中にビルトインメモリ(built−4n memo
ry)にストアされる。その結果、各装置の個別の偏差
特性の監視のもとに計測される気体の各流星は、計測さ
れて高精度で重量流量として算出される。
In particular, it is advantageous to carry out the modification using a microprocessor. The microprocessor may also include a measurement error determined during the calibration of the metering device, which may be stored in a built-in memory during said calibration in determining the weight flow rate.
ry). As a result, each meteor of gas measured under the monitoring of the individual deviation characteristics of each device is measured and calculated with high precision as a weight flow rate.

もしも気体の特定流量についての熱量を計測したい場合
には、マイクロプロセッサが気体の成分にもとづいて設
定されていればよい。圧力と温度の測定の際には気体の
特質が若干変わることもある。そこで、メモリに固定デ
ータとしてその特質をストアしておくだけでなく、これ
らが圧力と温度の変化に従属するようにしておくのがよ
い。計測時における気体の実際の特性を入れておくこと
により、上記熱量の決定の際計測精度を向上させること
となる。
If it is desired to measure the amount of heat for a specific flow rate of gas, the microprocessor may be configured based on the composition of the gas. When measuring pressure and temperature, the properties of the gas may change slightly. Therefore, it is better not only to store the characteristics as fixed data in memory, but also to make them dependent on changes in pressure and temperature. By including the actual characteristics of the gas at the time of measurement, the measurement accuracy will be improved when determining the amount of heat.

本発明は、上記計測方法の実施のため装置に関しては、 開口を通過する気体の流量を計測する装置において、 互いに異なる最大通過容量をもつ一連のバイナリクラッ
ク弁を並列に配してなる弁装置が上記開口の背部に設け
られ、 上記弁装置を通過する際の気体の圧力降下において生ず
る差分を測定するために、上記圧力降下における差分で
制御されることによって上記バイナリクラック弁のクラ
ックの位置を調整するシステムに圧力センサが接続され
ている、 ことにより構成される。
The present invention relates to a device for carrying out the above measurement method, and a device for measuring the flow rate of gas passing through an opening, which includes a valve device comprising a series of binary crack valves having mutually different maximum passage capacities arranged in parallel. arranged at the back of said opening to measure the difference occurring in the pressure drop of the gas as it passes through said valve arrangement, adjusting the position of the crack in said binary crack valve by being controlled by the difference in said pressure drop; The pressure sensor is connected to the system.

ここで、最大通過容量が最小のバイナリクラック弁のク
ラックが開閉両位置の間で連続的に8Pi整可能となっ
ているのが好ましい。
Here, it is preferable that the crack of the binary crack valve having the minimum maximum passing capacity can be adjusted continuously by 8 Pi between the open and closed positions.

もし、気体の重量流量を計測したいときには、管路は温
度センサ及び圧力センサが設けられ、両者は気体流量計
測部に接続されていることとすればよい。
If it is desired to measure the weight flow rate of gas, the conduit may be provided with a temperature sensor and a pressure sensor, both of which may be connected to the gas flow rate measuring section.

ここで、気体流量計測部はマイクロプロセッサであるな
らばなお好ましい。
Here, it is more preferable that the gas flow rate measuring section is a microprocessor.

(実施例) 以下、本発明の実施例を添付図面にもとづいて説明する
。第1図は、本実施例装置の各部を示す概要図、第2図
は気体流量の計測値と許容誤差百分率との関係を示す図
である。
(Example) Hereinafter, an example of the present invention will be described based on the accompanying drawings. FIG. 1 is a schematic diagram showing each part of the apparatus of this embodiment, and FIG. 2 is a diagram showing the relationship between the measured value of the gas flow rate and the permissible error percentage.

第1図において、矢印で示される方向に気体が弁装置2
を経て管路1を流れている。弁装置2内には、複数のバ
イナリクラック弁(binary clackvalv
es)が並列に配されている。弁装置2の両側には計測
管が接続されここに圧力センサ3が設けられて、弁装置
2の両側での圧力差が上記計測管を介して計測される。
In FIG. 1, gas flows into the valve device 2 in the direction indicated by the arrow.
It flows through conduit 1 through . In the valve device 2, a plurality of binary crack valves (binary crack valves) are arranged.
es) are arranged in parallel. Measuring pipes are connected to both sides of the valve device 2, and pressure sensors 3 are provided therein, so that the pressure difference on both sides of the valve device 2 is measured via the measuring pipes.

そしてその計測値はマイクロプロセッサに伝達される。The measured value is then transmitted to the microprocessor.

メモリをもっこのマイクロプロセッサとバイナリクラッ
ク弁のクラックを制御する駆動ユニットは、すべての電
子回路そしてコントロールユニット5を収容している流
量計測部の符号4の部分に収容されている。気体の温度
は、マイクロプロセッサに接続されている温度センサ6
によって計測されている。上記電子回路は符号7によっ
て示されるごとくに電源に接続されている。
A microprocessor with memory and a drive unit for controlling the cracking of the binary crack valve are housed in the section 4 of the flow metering section which houses all the electronic circuits and the control unit 5. The temperature of the gas is determined by a temperature sensor 6 connected to the microprocessor.
It is measured by. The electronic circuit is connected to a power source as indicated by 7.

第2図においては、縦軸に偏差百分率が、そして横軸に
単位時間当たり流れる気体の重量流量が示されている。
In FIG. 2, the vertical axis shows the deviation percentage, and the horizontal axis shows the weight flow rate of gas flowing per unit time.

曲線8は、この発明により決定されている気体の重量流
量の精度を示している。他の2つの曲線9,10は、機
械的計測装置において、管内に供給される気体の圧力と
温度にもとづいて単位時間当たりの気体の重量流量が決
定されたときの、偏差幅を示している。
Curve 8 shows the accuracy of the gas gravimetric flow rate as determined by the present invention. The other two curves 9 and 10 show the deviation range when the weight flow rate of gas per unit time is determined based on the pressure and temperature of the gas supplied into the pipe in a mechanical measuring device. .

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明の実施例装置の各部を示す概要図、第2
図は気体流量の計測値と許容誤差百分率との関係を示す
図である。 ■・・・・・・・・・開口(管路) 2・・・・・・・・・弁装置 3・・・・・・・・・圧力センサ 4・・・・・・・・・調整システム 6・・・・・・・・・温度センサ 特許出願人  イー エム ニス ホーランドピーブイ
FIG. 1 is a schematic diagram showing each part of the embodiment device of the present invention, and FIG.
The figure is a diagram showing the relationship between the measured value of gas flow rate and the permissible error percentage. ■・・・・・・・・・Opening (pipe line) 2・・・・・・・・・Valve device 3・・・・・・・・・Pressure sensor 4・・・・・・Adjustment System 6...Temperature sensor patent applicant EM Niss Holland P.V.

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)開口1を通過する気体の流量を計測する方法にお
いて、 互いに異なる最大通過容量をもつ一連のバイナリクラッ
ク弁を並列に配してなる弁装置2に上記気体を通過せし
めて、 上記弁装置2を通過する際の気体の全体の圧力降下と設
定値との偏差に一致する信号で調整システム4を制御す
る圧力センサ3でもって上記偏差を常時連続的に検知す
ることによって、上記圧力降下を設定値に維持し、 上記信号によって弁装置のクラックを開閉せしめ、 上記弁装置の位置によって体積流量を読みとる、ことを
特徴とする気体流量の計測方法。
(1) In a method of measuring the flow rate of gas passing through the opening 1, the gas is passed through a valve device 2 formed by a series of binary crack valves having mutually different maximum passing capacities arranged in parallel; 2 by constantly and continuously detecting said deviation with a pressure sensor 3 which controls a regulating system 4 with a signal corresponding to the deviation between the overall pressure drop of the gas as it passes through the gas and the set point. A method for measuring a gas flow rate, comprising: maintaining a gas flow rate at a set value, opening and closing a crack in a valve device according to the signal, and reading the volumetric flow rate based on the position of the valve device.
(2)少量の気体流量での圧力降下の微調整が、開閉両
位置の間で連続的に調整可能な、最大通過容量が最小の
バイナリクラック弁のクラックによって上記容量を調整
することによりなされることを特徴とする特許請求の範
囲第(1)項記載の気体流量計測方法。
(2) Fine adjustment of the pressure drop at small gas flow rates is achieved by adjusting the above capacity by cracking a binary crack valve with a minimum maximum throughput capacity, which is continuously adjustable between open and closed positions. A gas flow rate measuring method according to claim (1).
(3)開口1を通過する気体の重量流量を決定するため
に、管路内の気体の温度と圧力が、センサを用いて体積
流量の修正をすることによって決定されることを特徴と
する特許請求の範囲第(1)項または第(2)項記載の
気体流量計測方法。
(3) A patent characterized in that, in order to determine the gravimetric flow rate of the gas passing through the opening 1, the temperature and pressure of the gas in the conduit are determined by correcting the volumetric flow rate using a sensor. A gas flow rate measuring method according to claim (1) or (2).
(4)修正がマイクロプロセッサによってなされること
を特徴とする特許請求の範囲第(3)項記載の気体流量
計測方法。
(4) The gas flow rate measuring method according to claim (3), wherein the correction is performed by a microprocessor.
(5)開口1を通過する気体の熱量を決定するために、
気体の成分に応じてマイクロプロセッサが一調整される
ことを特徴とする特許請求の範囲第(4)項記載の気体
流量計測方法。
(5) To determine the amount of heat of the gas passing through opening 1,
4. The gas flow rate measuring method according to claim 4, wherein the microprocessor is adjusted depending on the gas component.
(6)開口1を通過する気体の流量を計測する装置にお
いて、 互いに異なる最大通過容量をもつ一連のバイナリクラッ
ク弁を並列に配してなる弁装置2が上記開口1の背部に
設けられ、 上記弁装置2を通過する際の気体の圧力降下において生
ずる差分を測定するために、上記圧力降下における差分
で制御されることによって上記バイナリクラック弁のク
ラックの位置を調整するシステム4に圧力センサ3が接
続されている、ことを特徴とする気体流量計測装置。
(6) In a device for measuring the flow rate of gas passing through an opening 1, a valve device 2 comprising a series of binary crack valves arranged in parallel with mutually different maximum passing capacities is provided at the back of the opening 1, In order to measure the difference occurring in the pressure drop of the gas as it passes through the valve arrangement 2, a pressure sensor 3 is provided in the system 4 which adjusts the position of the crack in the binary crack valve by being controlled by the difference in said pressure drop. A gas flow measuring device characterized in that:
(7)最大通過容量が最小のバイナリクラック弁のクラ
ックが開閉両位置の間で連続的に調整可能となっている
ことを特徴とする特許請求の範囲第(6)項記載の気体
流量計測装置。
(7) The gas flow rate measuring device according to claim (6), characterized in that the crack of the binary crack valve with the minimum maximum passing capacity can be adjusted continuously between both open and closed positions. .
(8)管路は温度センサ及び圧力センサが設けられ、両
者は気体流量計測部に接続されていることを特徴とする
特許請求の範囲第(6)項または第(7)項記載の気体
流量計測装置。
(8) The gas flow rate according to claim (6) or (7), wherein the pipe line is provided with a temperature sensor and a pressure sensor, both of which are connected to a gas flow rate measuring section. Measuring device.
(9)気体流量計測部はマイクロプロセッサであること
を特徴とする特許請求の範囲第(8)項記載の気体流量
計測装置。
(9) The gas flow rate measuring device according to claim (8), wherein the gas flow rate measuring section is a microprocessor.
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