JPS63291460A - Semiconductor storage device - Google Patents

Semiconductor storage device

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JPS63291460A
JPS63291460A JP62126508A JP12650887A JPS63291460A JP S63291460 A JPS63291460 A JP S63291460A JP 62126508 A JP62126508 A JP 62126508A JP 12650887 A JP12650887 A JP 12650887A JP S63291460 A JPS63291460 A JP S63291460A
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blocks
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system control
control circuits
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Koichiro Masuko
益子 耕一郎
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Abstract

PURPOSE:To reduce a chip size by obtaining a wiring space for passing inner wirings for communicating a signal between control circuits disposed at both sides through a memory cell array, and passing the inner wirings through the space. CONSTITUTION:Spaces are formed among blocks MB1-MB4, which independently designate memory cells MC in the blocks MB1-MB4 to read/write data. A constitution for operating only subarrays 1A, 1B and controlling the other subarrays 1C-1H may be formed. Accordingly, spaces can be obtained among them, and inner wirings 9, 10 are disposed in the spaces. Thus, since the lengths of the wirings 9, 10 are shortened, signal propagation delays between address system controllers 5, 6 and input/output controllers 7, 8 are reduced to shorten an access time.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は大容量の半導体記憶装置、特に内部配線の奇
生容量や寄生抵抗に起因する信号遅延の最小化を図れる
ようにした半導体記t!!装置に関するものである。
[Detailed Description of the Invention] [Field of Industrial Application] The present invention relates to a large-capacity semiconductor memory device, particularly a semiconductor memory device that can minimize signal delays caused by parasitic capacitance and parasitic resistance of internal wiring. ! ! It is related to the device.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

第2図は例えば1985年2月に開催された国際学会I
 S S CC85(International 5
olid−3tate C1rcuits Confe
rence 1985)の講演番号FAM17.8に示
された1メガピッ1−ダイナミックRAMのアレイ構成
図であり、図において、メモリセルアレイを複数のサブ
アレイ1A〜1Hに分割しており、各々のサブアレイ1
A〜1Hを構成するメモリセルMCはトランジスタ(図
示省略)。
Figure 2 shows, for example, an international conference I held in February 1985.
S S CC85 (International 5
olid-3tate C1rcuits Confe
1985) is an array configuration diagram of a 1-megapix 1-dynamic RAM shown in lecture number FAM17.8. In the figure, the memory cell array is divided into a plurality of subarrays 1A to 1H, and each subarray 1
Memory cells MC constituting A to 1H are transistors (not shown).

キャパシタセル(図示省略)、ビット線BLおよびワー
ド線WLにより構成される。
It is composed of a capacitor cell (not shown), a bit line BL, and a word line WL.

複数のメモリセルMCから特定のメモリセルMCを指定
するためにはビット!!jlBLおよびワード線WLを
指定しなければならない。そのことから、サブアレイ1
A中のワード線W[を指定するための行デコーダ2Aが
サブアレイ1Aに対応して設けられている。また、同様
に、行デコーダ2Bがサブアレイ1Bに対応して設けら
れている。サブアレイ1Aとサブアレイ1Bのビット線
BLは共用されており、サブアレイ1Aとサブアレイ1
Bとの間にビット線BLを指定するための列デコーダ3
ABが設けられている。さらに読み出し動作時において
行デコーダ2Aと列デコーダ3ABにより指定されたサ
ブアレイ1A中のメモリセルMCの内容を検知増幅する
ためのセンスアンプ4Aがサブアレイ1Aに対応して設
けられている。また、同様に、センスアンプ4Bがサブ
アレイ1Bに対応して設けられている。上記のように、
サブアレイ1Aとサブアレイ1BとはビットIBLと列
デコーダ3ABを共用しており、相互に関連をもち、サ
ブアレイIA、1B、行デコーダ2A。
To specify a specific memory cell MC from multiple memory cells MC, use bit! ! jlBL and word line WL must be specified. From that, subarray 1
A row decoder 2A for specifying word line W[ in A is provided corresponding to subarray 1A. Similarly, a row decoder 2B is provided corresponding to the sub-array 1B. The bit line BL of subarray 1A and subarray 1B is shared, and subarray 1A and subarray 1
A column decoder 3 for specifying a bit line BL between
AB is provided. Further, a sense amplifier 4A is provided corresponding to the sub-array 1A for sensing and amplifying the contents of the memory cell MC in the sub-array 1A designated by the row decoder 2A and column decoder 3AB during a read operation. Similarly, a sense amplifier 4B is provided corresponding to the sub-array 1B. As described above,
Sub-array 1A and sub-array 1B share bit IBL and column decoder 3AB, and are related to each other, including sub-arrays IA, 1B, and row decoder 2A.

2B、列デコーダ3ABおよびセンスアンプ4A。2B, column decoder 3AB and sense amplifier 4A.

4BによりブロックMBIを構成している。4B constitutes a block MBI.

同様に、サブアレイ1G、1b、行デコーダ2C,2D
、行デコーダ3CDおよびセンスアンプ4G、4Dによ
りブロックMB2を構成し、サブアレイIE、1F、行
デコーダ26.2F、列デコーダ3EFおよびセンスア
ンプ4E、4FによりブロックM83を構成し、サブア
レイ1G、1[」、行デコーダ2G、2H,列デコーダ
3GHおよびセンスアンプ4G、4HによりブロックM
B4を構成している。
Similarly, subarrays 1G, 1b, row decoders 2C, 2D
, a row decoder 3CD and sense amplifiers 4G, 4D form a block MB2, a subarray IE, 1F, a row decoder 26.2F, a column decoder 3EF and a sense amplifier 4E, 4F form a block M83, and a subarray 1G, 1['' , row decoders 2G, 2H, column decoders 3GH and sense amplifiers 4G, 4H block M.
It constitutes B4.

以上のよう各ブロックMB1〜MB4は構成されている
ので、相互に独立している。そして、各々のブロックM
BI〜MB4の動作を制御するためにアドレス系制御回
路5.6および入出力系制御回路7.8がメモリセルア
レイをはさんでぞの両側に設けられている。また、これ
らの制御回路間には密接な関係があるので、アドレス系
制御回路5と入出力系制御回路7の間で信号等の授受を
行うための内部配線9が両υJt[1回路間に接続され
る。同様に、アドレス系制御回路6と入出力系制御回路
8との間に内部配線10が接続される。
Since the blocks MB1 to MB4 are configured as described above, they are mutually independent. And each block M
In order to control the operations of BI to MB4, an address system control circuit 5.6 and an input/output system control circuit 7.8 are provided on both sides of the memory cell array. In addition, since there is a close relationship between these control circuits, the internal wiring 9 for exchanging signals etc. between the address system control circuit 5 and the input/output system control circuit 7 is connected to both υJt [between one circuit Connected. Similarly, an internal wiring 10 is connected between the address system control circuit 6 and the input/output system control circuit 8.

以上のように構成された半導体記憶装置では次のように
動作する。チップ外部より印加されるアドレス信号に応
じて行デコーダ2A〜2Hがサブアレイ1A〜1Hのワ
ード線WLをそれぞれ選択する。一方、チップ外部より
印加されるアドレス信号に応じて列デコーダ3AB〜3
GHがビット線BLを選択し、これらのワード線WLと
ピット1i1BLにより選択されたサブアレイ1A〜1
Hの各メモリセルMCに対し、情報の読み出し/書き込
みが実行される。ここで、メモリセルMCから情報を読
み出す際には、センスアンプ4A〜4Hによりビット線
B[の微小電圧が検知され、増幅される。
The semiconductor memory device configured as described above operates as follows. Row decoders 2A-2H select word lines WL of sub-arrays 1A-1H, respectively, in response to address signals applied from outside the chip. On the other hand, column decoders 3AB to 3 correspond to address signals applied from outside the chip.
GH selects bit line BL, and subarrays 1A to 1 selected by these word lines WL and pits 1i1BL
Information is read/written to each memory cell MC of H. Here, when reading information from the memory cell MC, a minute voltage on the bit line B[ is detected and amplified by the sense amplifiers 4A to 4H.

この半導体記憶装置の回路動作を制御するアドレス系制
御回路5.6および入出力系制御回路7゜8は第2図に
示すように半導体記憶装置の長辺側の外周に配置される
ことが多くなった。その理由は、記憶容量の大容量化が
進むにつれチップ寸法が大きくなり、マスク露光装置の
レンズ口径やパッケージのキャビティ寸法などの制約に
より、チップの長辺側の長さに余裕がなくなったためで
ある。両制御回路のなかでも特にアドレス系制御回路5
.6は行デコーダ2A〜2H側に配置する必要がある。
The address system control circuit 5.6 and the input/output system control circuit 7.8 that control the circuit operation of the semiconductor memory device are often arranged on the outer periphery of the long side of the semiconductor memory device, as shown in FIG. became. The reason for this is that as storage capacity continues to increase, chip dimensions become larger, and due to constraints such as the lens aperture of the mask exposure device and the cavity dimensions of the package, there is no longer any margin for the long side of the chip. . Among both control circuits, especially the address system control circuit 5
.. 6 needs to be placed on the row decoders 2A to 2H side.

その理由はアドレス系11JI11回路5.6の機能が
外部よりのアドレス信号を行デコーダ2A〜2日や列デ
コーダ3A8〜3GHに使用される形式のアドレス信号
に変換することにあるからである。一方、入出力系制御
回路7.8は配線等の設計上の制約からメモリセルアレ
イをはさんでアドレス系制御回路5.6の反対側に配置
される。
The reason for this is that the function of the address system 11JI11 circuit 5.6 is to convert an external address signal into an address signal of a format used in the row decoders 2A-2 and column decoders 3A8-3GH. On the other hand, the input/output system control circuit 7.8 is placed on the opposite side of the address system control circuit 5.6 across the memory cell array due to design constraints such as wiring.

これらの両制御回路間は内部配線9,10を介して密接
な信号の授受を行なう必要がある。その理由はアドレス
信号の変化に応じて、入出力の制御を変更したり、性能
向上を図った種々のアドレス系と入出力系信号のフィー
ドバック/フィードフォワードを利用した動作モードが
採用されるようになったからである。
It is necessary to closely transmit and receive signals between these two control circuits via internal wirings 9 and 10. The reason for this is that input/output control is changed in response to changes in address signals, and operation modes that utilize feedback/feedforward of various address and input/output signals to improve performance have been adopted. This is because it has become.

同時に、記憶容量の大容量化とともに、メモリセルアレ
イの分割も増加してきている。その理由はビット線BL
の長さを短くすることによりメモリセルに対する情報の
読み出し/書き込み動作の動作余裕度を向上させるため
である。
At the same time, as storage capacity increases, the number of divisions of memory cell arrays also increases. The reason is the bit line BL
This is to improve the operating margin of information read/write operations for the memory cell by shortening the length of the memory cell.

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problem that the invention seeks to solve]

従来の半導体記憶装置は以上述べたように、アドレス系
制御回路と入出力系制御回路との間の信号の授受を行う
内部配線9.10はメモリセルアレイの外周を通って配
置されている。そのため、内部配置19.10の長さが
長くなり、それらの奇生抵抗や寄生容量が大きくなで内
部配線9,10を通る信号の伝播速度に遅延が生じたり
、チップのコーナを通る配線の本数が増加してチップ寸
法が大きくなるなどの問題点があった。
As described above, in the conventional semiconductor memory device, the internal wires 9 and 10 for transmitting and receiving signals between the address system control circuit and the input/output system control circuit are arranged to pass through the outer periphery of the memory cell array. As a result, the length of the internal wiring 19 and 10 becomes long, and their strange resistance and parasitic capacitance become large, causing a delay in the propagation speed of signals passing through the internal wiring 9 and 10, and the delay of the wiring passing through the corners of the chip. There were problems such as an increase in the number of chips and an increase in chip size.

この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、制御回路間の内部配線の長さを短くできると
ともに、チップ寸法の増大をも防止できる半導体記憶装
置を得ることを目的とする。
This invention was made to solve the above-mentioned problems, and its purpose is to provide a semiconductor memory device that can shorten the length of internal wiring between control circuits and also prevent an increase in chip size. do.

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving problems]

この発明は、半導体記憶装置であって、独立したブロッ
クの間にメモリセルアレイをはさんで両側に位置する制
御回路間の信号の授受を行う内部配線を通すための配線
スペースを確保するとともに、前記内部配線を前記配線
スペースに通したものである。
The present invention provides a semiconductor memory device in which a wiring space is secured for passing internal wiring for transmitting and receiving signals between control circuits located on both sides of a memory cell array between independent blocks, and Internal wiring is passed through the wiring space.

〔作用〕[Effect]

この発明における半導体記憶装置は内部配線を独立した
ブロック間に通させることにより、前記内部配線の艮ざ
を短くでき、信号の伝播遅延を小さくできる。さらに、
チップのコーナを通る配線の本数を減少できるためにチ
ップ寸法の増加も押えられる。
In the semiconductor memory device of the present invention, by passing the internal wiring between independent blocks, the width of the internal wiring can be shortened, and the signal propagation delay can be reduced. moreover,
Since the number of wires passing through the corners of the chip can be reduced, the increase in chip size can also be suppressed.

〔実施例〕〔Example〕

第1図は、この発明の一実施例であり、1〜10、MB
1〜MB4.MC,BLおよびWLは従来装置と全く同
一のものである。この図において、各ブロックMB1〜
MB4の間にスペースが設けられている。これは、前記
のように各ブロックM81〜M84は独立して各ブロッ
クMB1〜MB4中のメモリセルMCを指定し、データ
の読み込み/書き込め動作ができるからである。極端な
例としては、サブアレイIA、1Bのみを動作させ、他
のサブアレイ1C〜1Hを制御させるような構成も可能
である。従って、これらの間にスペースを確保すること
は可能であり、これらのスペースに内部配線9,10を
配置する。
FIG. 1 shows an embodiment of the present invention, 1 to 10 MB
1-MB4. MC, BL and WL are exactly the same as the conventional device. In this figure, each block MB1~
A space is provided between MB4. This is because, as described above, each block M81 to M84 can independently designate the memory cell MC in each block MB1 to MB4 and perform data read/write operations. As an extreme example, a configuration in which only subarrays IA and 1B are operated and the other subarrays 1C to 1H are controlled is also possible. Therefore, it is possible to secure a space between them, and the internal wirings 9 and 10 are arranged in these spaces.

以Eのような構成にしたことにより、内部配線9.10
の長さが短くなるので、アドレス系制御回路5,6と入
出力系制御回路7.8との間の信号の伝播遅延を小さく
することが可能となる。これにより、チップ外部から印
加されるアドレス信号の変化を検出して、その検出信号
を入出力回路に伝え、データ出力を切り換える動作が速
く実行でき、アクセス時間が短くなる。また、データ出
力信号が確定したことを検出して、アドレス系制御回路
5,6にその検出信号を送り、次サイクルのアドレス印
加に備えさせるようなフィードバック動作も迅速に実行
できる。
By configuring as shown in E, internal wiring 9.10
Since the length of is shortened, it is possible to reduce the signal propagation delay between address system control circuits 5 and 6 and input/output system control circuits 7 and 8. Thereby, the operation of detecting a change in the address signal applied from outside the chip, transmitting the detection signal to the input/output circuit, and switching the data output can be executed quickly, and the access time can be shortened. Further, it is possible to quickly perform a feedback operation such as detecting that the data output signal has been determined and sending the detection signal to the address system control circuits 5 and 6 to prepare for address application in the next cycle.

さらに、チップのコーナを通る配線の本数が減少できる
ので、チップ寸法の増加が押えられる。
Furthermore, since the number of wires passing through the corners of the chip can be reduced, an increase in chip size can be suppressed.

なお、上記実施例ではダイナミックRAMについて説明
したが、スタティックRAM、EPROM、EEPRO
MまたはマスクROMであってもよく、上記実施例と同
様の効果を奏する。
In the above embodiment, dynamic RAM was explained, but static RAM, EPROM, EEPRO
M or mask ROM may be used, and the same effects as in the above embodiments can be achieved.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上のように、この発明によればメモリセルアレイをは
さんでその両側に位置する制御回路間の信号の授受を行
う内部配線を通すための配線スペースを確保するととも
に、前記内部配線を前記配線スペースに通したことによ
り、高速でチップ寸法の小さい半導体記憶装置が得られ
る効果がある。
As described above, according to the present invention, a wiring space is secured for passing the internal wiring for transmitting and receiving signals between the control circuits located on both sides of the memory cell array, and the internal wiring is routed through the wiring space. This has the effect of providing a semiconductor memory device with high speed and small chip size.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図はこの発明の一実施例による半導体記憶装置を示
す構成図、第2図は従来の半導体記憶装置を示す構成図
である。 図において、1A〜1日はサブアレイ、2A〜2日は行
デコーダ、3A8〜3GHは列デコーダ、4A〜4Hは
センスアンプ、5,6はアドレス系制御回路、7,8は
入出力系制御回路、9.10は内部配線、MBI〜MB
4はブロックである。 なお、各図中同一符号は同一または相当部分を示す。 第1図 9,10−一一肉卸6乙縁      MBI−MB4
−−−プ゛ロッ7第2図
FIG. 1 is a block diagram showing a semiconductor memory device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a block diagram showing a conventional semiconductor memory device. In the figure, 1A to 1st are sub-arrays, 2A to 2nd are row decoders, 3A8 to 3GH are column decoders, 4A to 4H are sense amplifiers, 5 and 6 are address system control circuits, and 7 and 8 are input/output system control circuits. , 9.10 is internal wiring, MBI~MB
4 is a block. Note that the same reference numerals in each figure indicate the same or corresponding parts. Figure 1 9, 10-11 Meat Wholesaler 6 Otsuen MBI-MB4
---Plot 7 Figure 2

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)メモリセルアレイを複数に分割したサブアレイと
、行デコーダと、列デコーダと、センスアンプとを備え
独立してアドレス指定を可能とするブロックを複数有す
るとともに、前記ブロックの動作を制御するための制御
回路を前記メモリセルアレイをはさんでその両側に離隔
して設け、それら制御回路を内部配線により電気接続し
た半導体記憶装置において、 前記ブロック間に配線スペースを確保するとともに、前
記内部配線を前記配線スペースに通したことを特徴とす
る半導体記憶装置。
(1) A memory cell array is divided into a plurality of subarrays, a row decoder, a column decoder, and a sense amplifier, each having a plurality of blocks that can be addressed independently, and a block for controlling the operation of the blocks. In a semiconductor memory device in which control circuits are provided spaced apart on both sides of the memory cell array, and the control circuits are electrically connected by internal wiring, a wiring space is secured between the blocks, and the internal wiring is connected to the wiring. A semiconductor storage device characterized by having a space passed through it.
(2)前記制御回路がアドレス系制御回路と入出力系制
御回路を含み、その両制御回路が前記メモリセルアレイ
をはさんでその両側に離隔して設けられている特許請求
の範囲第1項記載の半導体記憶装置。
(2) The control circuit includes an address system control circuit and an input/output system control circuit, and both control circuits are provided spaced apart on both sides of the memory cell array. semiconductor storage device.
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