JPS63284425A - 光強度分布測定装置 - Google Patents

光強度分布測定装置

Info

Publication number
JPS63284425A
JPS63284425A JP11960087A JP11960087A JPS63284425A JP S63284425 A JPS63284425 A JP S63284425A JP 11960087 A JP11960087 A JP 11960087A JP 11960087 A JP11960087 A JP 11960087A JP S63284425 A JPS63284425 A JP S63284425A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
light intensity
image data
intensity distribution
video signal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP11960087A
Other languages
English (en)
Inventor
Shinji Toyoyama
愼治 豊山
Masayoshi Koba
木場 正義
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sharp Corp filed Critical Sharp Corp
Priority to JP11960087A priority Critical patent/JPS63284425A/ja
Publication of JPS63284425A publication Critical patent/JPS63284425A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (イ)産業上の利用分野 この発明は、光源から放射された光の断面の強度分布を
測定する光強度分布測定装置に関する。
(ロ)従来の技術 従来のこの種の光強度分布測定装置は、第2図に示すよ
うに、入射光15の下にスリットlOで覆った光検出ヘ
ッド11を設置し、矢印Y方向に移動可能な架台13の
上に光検出ヘッド11を支持し、Y方向の移動距離をマ
イクロメーター14で読み取ると同時にパワーメーター
12で光検出ヘッドllからの光量を読み取って、入射
光15の矢印Y方向の強度分布を測定している。また、
この方式の二次元測定への応用として、スリットlOを
ピンホールにすると共に、架台13を矢印Y方向に直行
するX方向にも移動可能に設置して、二次元の光強度分
布を測定する方式のものや、池の方式として、フォトダ
オイードなどの光電素子を平行光に垂直な面内で移動さ
せて光強度分布を測定する方式のものなどがある。
(ハ)発明が解決しようとする問題点 しかしながら、これら従来の光強度分布測定装置におい
ては、光検出ヘッドや光電素子などの測定要素を、機械
的な装置を用いて測定領域内で移動させて順次光量を読
み取っているため、装置°が複雑となり、したがって読
み取り位置の誤差が生じやすく、機械的な振動が光学系
に悪影響を与えるばかりでなく、測定に時間を要し、し
かも光強度が経時的に変化する場合、その経時変化や、
ある特定の時点での光強度を測定することが不可能であ
った。
この発明は、このような問題点を解決するためになされ
たもので、正確な強度分布を迅速に測定し、光強度の経
時変化や、ある特定の時点での光強度の測定もできる光
強度測定装置を提供するものである。
(ニ)問題点を解決するための手段 この発明の光強度分布測定装置は、光源から放射された
光が照射される光吸収体と、前記光吸収体に生じる温度
分布を撮影しその撮影結果を映像信号に変換する赤外線
映像用カメラと、前記映像信号を画像データに変換する
画像処理手段と、前記画像データを表示する表示手段と
からなっている。
なお、光吸収体は、光源から放射された光を効率良く吸
収する材料からなり、かつ光を吸収するのに充分な厚さ
を持つ平板が用いられ、例えば厚さ0 、3+ua〜0
 、8+amのグラファイト製等の平板を用いて好適で
ある。
(ホ)作用 照射された光によって生じた光吸収体の温度分布が、赤
外線映像用カメラよって撮影され、その映像信号が画像
処理手段で画像データに変換され、その画像データが表
示手段で表示される。したがって、従来のような機械的
な誤差や振動がなくなり、正確な強度分布が迅速に測定
できるため、測定の能率が向上し、光強度の経時変化や
、ある特定の時点での光強度の測定も可能となる。
(へ)実施例 以下、図面に示す実施例に基づいてこの発明を詳述する
。なお、これによってこの発明が限定されるものではな
い。
第1図はこの発明の一実施例の構成説明図である。間口
において、lは光源から発生された平行光Kが照射され
る平板状の光吸収体、2は光吸収体lに生じる温度分布
をその裏面から撮影し、その撮影結果を映像信号に変換
する赤外線映像用カメラ、3は赤外線映像用カメラ2か
ら出力された映像信号を画像データに変換する画像処理
機、4は画像データを表示するCRTディスプレイであ
る。5はコンピュータであり、あらかじめ平行光にの光
強度と赤外線映像用カメラ2の出力信号との関係を記憶
させておき、撮影された温度分布から平行光にの光強度
を算出する。また、必要に応じて平行光にの光強度の経
時変化の記憶をおこなう。
なお、光吸収体には、厚さ0.5ms、材質グラファイ
トの平板状の光吸収材を用いた。
このような構成においては、まず、平行光Kが光吸収体
lに照射されると、光吸収体lはその光を吸収し、光吸
収体lの照射部分の温度が上昇する。このとき、光吸収
体lの温度分布は、平行光にの強度分布に対応する。こ
の温度分布を赤外線映像用カメラ2で撮影し、その映像
信号を画像処理機3に出力する。画像処理機3では、受
は取った映像信号に画像処理をほどこして画像データを
形成し、コンピュータ5に出力する。コンピュータ5で
は、受は取った温度分布を表す画像データから光強度を
算出し、光強度を表す画像データに変換し、画像処理機
3に出力する。画像処理機3は、受は取った画像データ
をCRTディスブレス4に表示する。平行光Kが経時的
に変化するような場合であれば、コンピュータ5に撮影
時刻とその時点での光強度のデータを格納しておき、撮
影終了後測定結果をCRTディスプレイ3に表示する。
また、次時刻々と変化する光強度の温度分布をそのまま
CRTディスプレイ3に表示して観察してもよい。
したがって、従来のような機械的な誤差や振動がなく、
測定が短時間で終了し、正確な強度分布を迅速に測定で
きるため、測定の能率が向上し、光強度の経時変化や、
ある特定の時点での光強度の測定も可能となる。
なお、この実施例では、赤外線映像用カメラによる光吸
収体の撮影を、照射裏面方向からおこなったが、照射面
方向から撮影してもよく、また、表示手段としてCRT
ディスプレイを用いたが、プリンターに出力してもよい
(ト)発明の効果 この発明によれば、光強度分布を再現性良く、正確かつ
迅速に測定でき、光強度の経時的変化や、ある特定の時
点での光強度の測定も可能となる。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の一実施例を示す構成説明図、第2図
は従来例を示す構成説明図である。 l・・・・・・光吸収体、2・・・・・・赤外線映像用
カメラ、3・・・・・・画像処理機、4・・・・・・C
RTディスプレイ、5・・・・・・コンピュータ。 第1図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1、光源から放射された光が照射される光吸収体と、前
    記光吸収体に生じる温度分布を撮影しその撮影結果を映
    像信号に変換する赤外線映像用カメラと、前記映像信号
    を画像データに変換する画像処理手段と、前記画像デー
    タを表示する表示手段とからなる光強度分布測定装置。
JP11960087A 1987-05-15 1987-05-15 光強度分布測定装置 Pending JPS63284425A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11960087A JPS63284425A (ja) 1987-05-15 1987-05-15 光強度分布測定装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11960087A JPS63284425A (ja) 1987-05-15 1987-05-15 光強度分布測定装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS63284425A true JPS63284425A (ja) 1988-11-21

Family

ID=14765405

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11960087A Pending JPS63284425A (ja) 1987-05-15 1987-05-15 光強度分布測定装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS63284425A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008538814A (ja) * 2005-04-23 2008-11-06 シノギー・ゲゼルシャフト・ミト・ベシュレンクテル・ハフツング 加熱可能な変換層を有する画像変換装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008538814A (ja) * 2005-04-23 2008-11-06 シノギー・ゲゼルシャフト・ミト・ベシュレンクテル・ハフツング 加熱可能な変換層を有する画像変換装置
JP4863177B2 (ja) * 2005-04-23 2012-01-25 シノギー・テクノロジーズ・ゲゼルシャフト・ミト・ベシュレンクテル・ハフツング 加熱可能な変換層を有する画像変換装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3922093A (en) Device for measuring the roughness of a surface
US5090811A (en) Optical radius gauge
US4659936A (en) Line width measuring device and method
US5255069A (en) Electro-optical interferometric microdensitometer system
CN105444702A (zh) 物体平整度光学检测系统
JP2681745B2 (ja) レーザ光を利用したスペックルパターンによる被計測物の上下および横移動量の測定方法。
JPS63284425A (ja) 光強度分布測定装置
CN109387488A (zh) 一种光学玻璃折射率的快速测量方法及仪器
CN205383999U (zh) 物体平整度光学检测系统
JPH0792111A (ja) 欠陥深さ位置検出装置及びその方法
JPS5610201A (en) Object dimension measuring device
CN109470145A (zh) 偏振调制高分辨力立体视觉测量系统与方法
JP2870908B2 (ja) 透視歪の測定方法及びその装置
JPH061177B2 (ja) 塗面の平滑性測定方法
CN209727759U (zh) 一种光学玻璃折射率的快速测量仪器
JPS5861436A (ja) 投影型mtf測定装置の受光素子
GB1241549A (en) An improved photometric instrument
CN219122723U (zh) 一种偏振光图像采集系统
JPH0914914A (ja) レーザスペックルパターンによる移動量の測定装置におけるレーザ光の照射方法ならびにその装置
JPH11231005A (ja) 表面電荷計測装置
JPH10221509A (ja) 結像光学系及び写真計測方法
JPS605894B2 (ja) ビツカ−ス硬さ試験機
JPS623609A (ja) 測距装置
JPH06317535A (ja) 半導体検査装置およびそれを用いた半導体製造方法
JPS5815104A (ja) 塗料層の層厚変化量測定方法