JPS6328421A - Filter device for desalination - Google Patents
Filter device for desalinationInfo
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- JPS6328421A JPS6328421A JP16838086A JP16838086A JPS6328421A JP S6328421 A JPS6328421 A JP S6328421A JP 16838086 A JP16838086 A JP 16838086A JP 16838086 A JP16838086 A JP 16838086A JP S6328421 A JPS6328421 A JP S6328421A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、クリーンルーム用空調機の除塩用フィルター
装置に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of the Invention The present invention relates to a salt removal filter device for a clean room air conditioner.
従来の技術
従来、この種の除塩用フィルター装置は、第３図および
第４図に示すように、フィルター２が給気ダクト１内に
設けられ、給気ダクト１は給気ファン３を経て、クリー
ンルーム８の上流側に設けられた循環ファン４の吸込側
へ、循環ダクト１１とともに接続される。循環ファン４
の吐出側は中性能フィルター６を介してプレナムチャン
バー６に入シ、プレナムチャンバー６の下流側に設けた
ＨＥＰＡフィルター７４ｊＭつてクリーンルーム８へ入
る。クリーンルーム８の床面はグレーチング床９となっ
ており、その下流側に排気チャンバー１０が設けられ、
循環ダクト１１および排気７７ン１２に接続されている
。排気ファン１２の吐出側には排気ダクト１３が接続さ
れている。第４図中の１４はフィルター２を挿入固定す
るガイドである。BACKGROUND OF THE INVENTION Conventionally, in this type of salt removal filter device, as shown in FIGS. 3 and 4, a filter 2 is provided in an air supply duct 1, and the air supply duct 1 is connected to , is connected together with a circulation duct 11 to the suction side of a circulation fan 4 provided on the upstream side of the clean room 8 . circulation fan 4
The discharge side enters the plenum chamber 6 via the medium-performance filter 6, and enters the clean room 8 through the HEPA filter 74jM provided on the downstream side of the plenum chamber 6. The floor of the clean room 8 is a grating floor 9, and an exhaust chamber 10 is provided on the downstream side thereof.
It is connected to the circulation duct 11 and the exhaust 77 duct 12. An exhaust duct 13 is connected to the discharge side of the exhaust fan 12. Reference numeral 14 in FIG. 4 is a guide for inserting and fixing the filter 2.
以上のように構成された従来の除塩用フィルター装置に
おいて、給気ファン３により外気空気が吸引され、給気
ダクト１内のフィルター２に送られる。フィルター２で
空気中の海塩粒子が除去され、浄化された空気は循環７
１ン４から中性能フィルター６に送られ、ダストが除去
されプレナムチャンバー６に供給される。ＨＥＰＡフィ
ルタパ一７でクリーン化された空気はクリーンルーム８
に送うれ、クリーンルーム８をクリーン化する。排気は
グレーチング床９から排気チャンバー１０を通って、排
気７７ン１２により排気ダクト１３を経由して排気され
るが、大部分の排気は循環ダクト１１を通って循環され
る。フィルター２はガイド１４によって給気ダクト１内
に固定されており、海塩粒子等により目づまりすれば新
しいフィルターに交換されていた。In the conventional salt removal filter device configured as described above, outside air is sucked in by the air supply fan 3 and sent to the filter 2 in the air supply duct 1 . Sea salt particles in the air are removed by filter 2, and the purified air is circulated through 7.
1 to a medium-performance filter 6 to remove dust, and then supplied to a plenum chamber 6. The air cleaned by HEPA filter paper 7 is transferred to clean room 8.
and clean room 8. The exhaust gas is exhausted from the grating floor 9 through the exhaust chamber 10 and via the exhaust duct 13 by the exhaust tube 12, but most of the exhaust gas is circulated through the circulation duct 11. The filter 2 is fixed in the air supply duct 1 by a guide 14, and if it becomes clogged with sea salt particles or the like, it is replaced with a new filter.
発明が解決しようとする問題点
しかしながらこのような従来の構成では、雨天時あるい
は台風時には、水滴が細かいミスト状になって給気ダク
ト１内に入りフィルター２上に捕集され、さらに進めば
フィルター２の表面が濡れた状態になり、フィルター２
上に捕集された塩分が潮解し、塩分の再飛散が起こると
ともに塩分の再結晶時に膜状に塩分が析出し、フィルタ
ー２の圧力損失が急上昇し、フィルター交換が短時間で
必要になるという問題があった。Problems to be Solved by the Invention However, with such a conventional configuration, during rainy weather or a typhoon, water droplets enter the air supply duct 1 in the form of a fine mist and are collected on the filter 2, and if they continue, the filter The surface of filter 2 is now wet, and
The salt collected on the top deliquesces and the salt is re-dispersed, and when the salt recrystallizes, it precipitates into a film, causing a sudden increase in the pressure loss of filter 2, making it necessary to replace the filter in a short period of time. There was a problem.
本発明は、このような問題点を解決するもので、フィル
ターを常に乾燥状態に保つことにより、塩分の再飛散お
よび塩分の膜状析出によるフィルターの圧力損失の急上
昇を防ぐ除塩用フィルター装置を提供することを目的と
するものである。The present invention solves these problems by providing a salt removal filter device that prevents a sudden increase in pressure loss in the filter due to re-scattering of salt and film-like precipitation of salt by keeping the filter in a dry state at all times. The purpose is to provide
問題点を解決するための手段
この問題点を解決するためシこ本発明は、エンドレス状
で両端にロール部を設けたフィルターと、前記フィルタ
ーをロール部を介して回転させる駆動機構とを備え、前
記フィルターは、外気を給気する給気ダクト内に設け、
前記フィルターの他端ロール部を、空気を排気する排気
ダクト内に延設して設置し、前記給気ダクトと前記排気
ダクト間の露出したフィルター部分をカバーにより覆っ
た構成としたものである。Means for Solving the Problem In order to solve this problem, the present invention includes an endless filter having roll parts at both ends, and a drive mechanism for rotating the filter via the roll part. The filter is provided in an air supply duct that supplies outside air,
The other end roll portion of the filter is installed to extend into an exhaust duct that exhausts air, and the exposed filter portion between the air supply duct and the exhaust duct is covered with a cover.
作 用
以上の構成により、給気ダクト内に水滴が細かいミスト
となってフィルター上に捕集されても、フィルターが移
動し排気ダクト内で乾燥されるため、フィルター表面が
常に乾燥状態に保たれ、塩分の潮解による再飛散および
塩分の再結晶時の膜状析出によるフィルター圧力損失の
急上昇を防ぎ、フィルター寿命を長持ちさせることとな
る。Function With the above configuration, even if water droplets in the air supply duct become a fine mist and are collected on the filter, the filter is moved and dried in the exhaust duct, so the filter surface is always kept dry. This prevents sharp increases in filter pressure loss due to re-scattering of salt due to deliquescence and film-like precipitation during recrystallization of salt, thereby prolonging the life of the filter.
実施例
以下、本発明の一実施例を第１図および第２図にもとづ
き説明する。なお従来の構成と同一部分には同一番号を
付し、その詳細な説明は省略する。EXAMPLE An example of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 and 2. Note that parts that are the same as those in the conventional configuration are given the same numbers, and detailed explanation thereof will be omitted.
すなわち、給気ダクト１内に、エンドレス状であって、
ロール式のフィルター１６が設けられ、その他端ロール
部２２ば、排気ダクト１３内に伸びて設置されている。That is, in the air supply duct 1, there is an endless shape,
A roll-type filter 16 is provided, and the other end roll portion 22 is installed extending into the exhaust duct 13.
３は給気ファンでダクトにより循環ファン４が接続され
、前記のダク）Ｋ循環ダクト１１が接続されている。循
環ファン４の空気吐出口に中性能フィルター６が設けら
れ、プレナムチャンバー６に接続されている。プレナム
チャンバー６の下流側にＨＥＰＡフィルター７が設けら
れ、さらに下流側にはクリーンルーム８が位置する。排
出空気はクリーンルーム８の床面であるグレーチング床
９から、排気チャンバー１０を通って排気ファン１２よ
り、排気ダクト１３を経６、
し
、吻して外部に放出される。大部分の排出空気は循環ダ
クト１１を経由して循環７７ン４により循環される。Reference numeral 3 designates an air supply fan to which a circulation fan 4 is connected via a duct, and the above-mentioned duct K circulation duct 11 is connected thereto. A medium-performance filter 6 is provided at the air outlet of the circulation fan 4 and is connected to the plenum chamber 6. A HEPA filter 7 is provided downstream of the plenum chamber 6, and a clean room 8 is located further downstream. Exhaust air is discharged from the grating floor 9, which is the floor surface of the clean room 8, through the exhaust chamber 10, from the exhaust fan 12, through the exhaust duct 13, and to the outside. Most of the exhaust air is circulated via the circulation duct 11 by the circulation 77 channel 4.
第１図において、給気ダクト１と排気ダクト１３との間
のフィルター１５はカバー１７により覆われている。１
６は直結されたロールを回転しフィルター１６を動かす
駆動モータである。フィルター１５のロール部２２は排
気ダクト１３内に設けられている。１８は空気漏れを防
ぐあて板である。In FIG. 1, a filter 15 between the air supply duct 1 and the exhaust duct 13 is covered with a cover 17. 1
6 is a drive motor that rotates a directly connected roll and moves the filter 16. The roll portion 22 of the filter 15 is provided within the exhaust duct 13. 18 is a cover plate for preventing air leakage.
１９はフィルター付着の海塩粒子を吸引除去する真空ポ
ンプ、２ｏは同吸引ダクト、２１は同排出ダクトである
。19 is a vacuum pump for suctioning and removing sea salt particles adhering to the filter, 2o is a suction duct, and 21 is a discharge duct.
上記構成において、第１図、第２図を用いて動作を説明
する。給気ファン３により外気が吸引され、給気ダクト
１内のフィルター１６に送られ海塩粒子が除去される。The operation of the above configuration will be explained using FIGS. 1 and 2. Outside air is sucked in by the air supply fan 3 and sent to a filter 16 in the air supply duct 1 to remove sea salt particles.
フィルター１６は駆動モータ１６により駆動され、給気
タクト１内で屋外の空気中の海塩粒子を捕集した後、矢
印の方向に移動し排気ダクト１３内に送られ通気乾燥さ
れる。The filter 16 is driven by a drive motor 16, and after collecting sea salt particles in the outdoor air in the air supply tact 1, it moves in the direction of the arrow and is sent into the exhaust duct 13 to be ventilated and dried.
クリーンルーム８内の空気は通常２３°Ｃ，５０％ＲＨ
以下に保たれているため、クリーンルーム８からの排出
空気も同様の条件が保たれ、排気ダクト１３内のフィル
ター１６の乾燥が進み、雨天時あるいは台風時に流入し
フィルター１５に捕集された水滴ミストを蒸発させ、フ
ィルター１６の乾燥状態を保つ。フィルター１６上に捕
集された海塩粒子は、真空ポンプ１９により吸引ダク）
２０から吸引され、排出ダクト２１を通って排気ダクト
１３内に排出される。このときあて板１８は空気漏れを
防いでいる。カバー１７はフィルター１６と給気ダクト
１とのすき間から、フィルター１６を通らずに外気が給
気ダクト１内に漏れるのを防ぐものである。フィルター
１６により海塩粒子が除去された空気は、循環ファン４
により中性能フィルター５に送られ浄化され、ブレナム
チャンパー６に供給される。ＨＥＰＡフィルター７によ
りクリーン化された空気はクリーンルーム８に送られ、
クリーンルーム８をクリーン化する。排出空気はグレー
チング床９を通って排気チャンバー１０に送られる。大
部分の排出空気は循環ダクト１１から循環７７ン４によ
り循環される。一部の排出空気は排気ファン１２から排
気ダクト１３に送られ、フィルター１６を乾燥させた後
、排気される。The air inside clean room 8 is normally 23°C and 50%RH.
Since the exhaust air from the clean room 8 is kept under the same conditions, the filter 16 in the exhaust duct 13 is dried, and the water droplet mist that flows in during rain or typhoons and is collected by the filter 15. is evaporated to keep the filter 16 dry. The sea salt particles collected on the filter 16 are sucked by a vacuum pump 19)
20 and is discharged into the exhaust duct 13 through the exhaust duct 21. At this time, the cover plate 18 prevents air leakage. The cover 17 prevents outside air from leaking into the air supply duct 1 through the gap between the filter 16 and the air supply duct 1 without passing through the filter 16. The air from which sea salt particles have been removed by the filter 16 is passed through the circulation fan 4.
It is sent to a medium-performance filter 5 for purification, and then supplied to a Blenheim chamber 6. The air cleaned by the HEPA filter 7 is sent to the clean room 8,
Clean the clean room 8. Exhaust air is sent through the grating floor 9 to the exhaust chamber 10. Most of the exhaust air is circulated from the circulation duct 11 by the circulation 77 channel 4. A part of the exhaust air is sent from the exhaust fan 12 to the exhaust duct 13, and is exhausted after drying the filter 16.
以上のように本実施例によれば、フィルター１５を排気
ダクト１３内に導くことにより、排出空気により、フィ
ルターが常時乾燥状態に保たれる。As described above, according to this embodiment, by guiding the filter 15 into the exhaust duct 13, the filter is always kept dry by the exhaust air.
給気ダクト１内で水滴ミストが捕集されても、フィルタ
ー１６表面が濡れる状態にまで至らずに排気ダクト１３
内で乾燥されるため、フィルター１６上で捕集された塩
分の潮解による再飛散および再結晶の膜状析出によるフ
ィルター１５の圧力損失の急上昇はおこらず、フィルタ
ーの寿命を長くし、安定的な除塩が可能となる。Even if water droplet mist is collected in the air supply duct 1, the surface of the filter 16 is not wetted and the water droplet mist is collected in the exhaust duct 13.
Since the salts collected on the filter 16 are dried inside the filter 16, the pressure loss of the filter 15 does not increase sharply due to re-scattering due to deliquescence of the salt collected on the filter 16 and film-like precipitation of recrystallization, which extends the life of the filter and provides a stable Salt removal becomes possible.
発明の効果
以上のように本発明によれば、エンドレス状で、両端に
ロール部を有したフィルターを駆動機構により給気ダク
ト力、１ら排気ダクトの方向に回転することにより、フ
ィルターを乾燥させフィルター上で捕集された塩分の潮
解による再飛散および塩分の再結晶時の膜状析出による
フィルターの圧力損失の急上昇も防ぐことができ、フィ
ルターの寿命を長くし、安定的な除塩性能の維持が可能
となる。Effects of the Invention As described above, according to the present invention, an endless filter having roll portions at both ends is rotated by a drive mechanism in the direction of the air supply duct and the exhaust duct, thereby drying the filter. It also prevents re-scattering of the salt collected on the filter due to deliquescence and sudden increase in filter pressure loss due to film-like precipitation during salt recrystallization, extending the life of the filter and ensuring stable salt removal performance. Maintenance is possible.
第１図は本発明の一実施例による除塩用フィルター装置
の詳細断面図、第２図は同除塩用フィルター装置を組込
んだクリーンルームシステム図、第３図は従来の除塩用
フィルター装置を組込んだクリーンルームシステム図、
第４図は同除塩用フィルター装置の詳細断面図である。
１・・・・・・給気ダクト、１３・・・・・・排気ダク
ト、１６・・・・・・フィルター、１６・・・・・・駆
動モータ、１７・・・・・・カバー、２２・・・・・・
ロール部。
代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１基筒
１ 図
１５−フイ、Ｌターｆ６ｉ−−・秘１−ゴFig. 1 is a detailed sectional view of a salt removal filter device according to an embodiment of the present invention, Fig. 2 is a diagram of a clean room system incorporating the same salt removal filter device, and Fig. 3 is a conventional salt removal filter device. Clean room system diagram incorporating
FIG. 4 is a detailed sectional view of the salt removal filter device. 1... Air supply duct, 13... Exhaust duct, 16... Filter, 16... Drive motor, 17... Cover, 22・・・・・・
Roll part. Name of agent: Patent attorney Toshio Nakao and 1 other person
1 figure
15-fi, Lter f6i--Secret 1-go
Claims (1)
前記フィルターをロール部を介して回転させる駆動機構
を備え、前記フィルターは外気を給気する給気ダクト内
に設け、前記フィルターの他端ロール部を、空気を排気
する排気ダクト内に延設して設置し、前記給気ダクトと
前記排気ダクト間に露出するフィルター部分を覆うよう
にカバーを設けた除塩用フィルター装置。An endless filter with roll parts on both ends,
The filter is provided with a drive mechanism that rotates the filter via a roll part, the filter is provided in an air supply duct that supplies outside air, and the other end of the filter is provided to extend into an exhaust duct that exhausts air. A filter device for removing salt, which is installed in the air supply duct and has a cover so as to cover a filter portion exposed between the air supply duct and the exhaust duct.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16838086A JPS6328421A (en) | 1986-07-17 | 1986-07-17 | Filter device for desalination |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16838086A JPS6328421A (en) | 1986-07-17 | 1986-07-17 | Filter device for desalination |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6328421A true JPS6328421A (en) | 1988-02-06 |
Family
ID=15867026
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16838086A Pending JPS6328421A (en) | 1986-07-17 | 1986-07-17 | Filter device for desalination |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6328421A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63115506A (en) * | 1986-10-31 | 1988-05-20 | ポ−ラ化成工業株式会社 | Container of creamy cosmetics |
| US5963531A (en) * | 1996-10-28 | 1999-10-05 | Nec Corporation | Optical head apparatus |
| JP2012035236A (en) * | 2010-08-11 | 2012-02-23 | Hitachi Industrial Equipment Systems Co Ltd | Safety cabinet |
-
1986
- 1986-07-17 JP JP16838086A patent/JPS6328421A/en active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63115506A (en) * | 1986-10-31 | 1988-05-20 | ポ−ラ化成工業株式会社 | Container of creamy cosmetics |
| US5963531A (en) * | 1996-10-28 | 1999-10-05 | Nec Corporation | Optical head apparatus |
| JP2012035236A (en) * | 2010-08-11 | 2012-02-23 | Hitachi Industrial Equipment Systems Co Ltd | Safety cabinet |
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