JPS63269147A - Photosensitive resin composition - Google Patents

Photosensitive resin composition

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Publication number
JPS63269147A
JPS63269147A JP10415787A JP10415787A JPS63269147A JP S63269147 A JPS63269147 A JP S63269147A JP 10415787 A JP10415787 A JP 10415787A JP 10415787 A JP10415787 A JP 10415787A JP S63269147 A JPS63269147 A JP S63269147A
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JP
Japan
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sensitizer
photosensitive resin
parts
resin composition
photopolymerizable
Prior art date
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Pending
Application number
JP10415787A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Katsunori Tsuchiya
勝則 土屋
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Resonac Corp
Original Assignee
Hitachi Chemical Co Ltd
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Publication date
Application filed by Hitachi Chemical Co Ltd filed Critical Hitachi Chemical Co Ltd
Priority to JP10415787A priority Critical patent/JPS63269147A/en
Publication of JPS63269147A publication Critical patent/JPS63269147A/en
Pending legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/027Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
  • Non-Metallic Protective Coatings For Printed Circuits (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)

Abstract

PURPOSE:To enable development with an alkaline aq. soln. and to obtain a solder mask having superior resolution and heat resistance by using a specified photopolymerizable unsatd. compd., a photopolymerizable monomer and a sensitizer and/or a sensitizer system which produces free radicals under active rays of light. CONSTITUTION:This photosensitive resin compsn. contains a photopolymerizable unsatd. compd. by allowing hydroxyl groups in a hydroxystyrene polymer having repeating units represented by formula I to react with isocyanatoethyl methacrylate in 0.1-0.9 ratio of isocyanato equiv. to hydroxyl equiv., a photopolymerizable monomer and a sensitizer and/or a sensitizer system which produces free radicals under active rays of light. In formula I, D is a comonomer, m is a positive number and n is 0 or a positive number. When the resin compsn. is used, an image having a large thickness and high resolution can be formed with a dil. aq. alkali soln. as a developer and a solder mask having high reliability and superior heat resistance can be formed.

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は感光性樹脂組成物に関し、さらに詳しくは印刷
配線板製造、金属精密加工等に使用し得る優れた特性を
有する保護膜形成用の感光性樹脂組成物に関する。
Detailed Description of the Invention (Field of Industrial Application) The present invention relates to a photosensitive resin composition, and more particularly to a photosensitive resin composition for forming a protective film having excellent properties that can be used in printed wiring board manufacturing, metal precision processing, etc. The present invention relates to a photosensitive resin composition.

(従来の技術) 従来、精密加工業界、例えば印刷配線板製造等において
めっきまたはエツチングのためのレジスト形成に感光性
樹脂組成物を用いることは良く知られている。また最近
では無電解めっきマスク、ソルダマスク等の永久マスク
の分野にも感光性樹脂組成物が用いられている。
(Prior Art) It is well known that a photosensitive resin composition is used to form a resist for plating or etching in the precision processing industry, for example, in the production of printed wiring boards. Recently, photosensitive resin compositions have also been used in the field of permanent masks such as electroless plating masks and solder masks.

永久マスクは、耐熱性、耐溶剤性、耐薬品性、電気的特
性、機械的特性等の優れた特性が要求されるため、使用
できる感光性樹脂は限られている。
Since permanent masks are required to have excellent properties such as heat resistance, solvent resistance, chemical resistance, electrical properties, and mechanical properties, there are a limited number of photosensitive resins that can be used.

特開昭52−117985号公報、特開昭54−101
8号公報、特開昭53−56018号公報等には永久マ
スクとして使用可使な感光性樹脂組成物が開示されてい
る。しかしこれらの感光性樹脂組成物は、高分子結合剤
およびモノマを主成分としており厚膜の保護被膜の形成
には不向きである、すなわち、これらの感光性樹脂組成
物ではガラス転移温度の高い高分子結合剤が用いられて
いるため、感光層を形成する場合には、まず該感光性樹
脂組成物をトルエン、メチルエチルケトン、塩化メチレ
ン等の有機溶剤に均一に熔解または分散させ、次に塗布
、乾燥して感光層を形成しなければならない、そのため
、厚膜になると、乾燥時に気泡が発生したり、樹脂の流
動が起こり易く、均一な保護被膜形成は困難である。
JP-A-52-117985, JP-A-54-101
No. 8, JP-A-53-56018, etc. disclose photosensitive resin compositions that can be used as permanent masks. However, these photosensitive resin compositions are mainly composed of polymeric binders and monomers and are not suitable for forming thick protective films. Since a molecular binder is used, when forming a photosensitive layer, the photosensitive resin composition is first uniformly melted or dispersed in an organic solvent such as toluene, methyl ethyl ketone, or methylene chloride, and then applied and dried. Therefore, if the film becomes thick, air bubbles are likely to occur during drying and the resin tends to flow, making it difficult to form a uniform protective film.

特公昭55−127097号公報、特開昭49−107
048号公報等には永久マスクとして使用可能な無溶剤
型の感光性樹脂組成物が提案されている。
Japanese Patent Publication No. 55-127097, Japanese Patent Publication No. 49-107
No. 048 and other publications propose solvent-free photosensitive resin compositions that can be used as permanent masks.

しかし、これらの液状組成物は、エポキシアクリレート
が用いられているため、可燃性の有機溶剤を現像液とし
て用いるため、安全上好ましくない。
However, since these liquid compositions use epoxy acrylate and a flammable organic solvent as a developer, they are not preferred from a safety standpoint.

(発明が解決しようとする問題点) 本発明の目的は、前記従来技術の欠点を除去し、希アル
カリ性水溶液の現像液を用いて、厚膜、高解像度の画像
を形成でき、かつ耐熱性に優れた高信頼性ソルダマスク
等を形成し得る感光性樹脂組成物を提供することにある
(Problems to be Solved by the Invention) It is an object of the present invention to eliminate the drawbacks of the prior art, to be able to form thick films and high resolution images using a dilute alkaline aqueous developer, and to be heat resistant. An object of the present invention is to provide a photosensitive resin composition that can form an excellent and highly reliable solder mask.

(問題点を解決するための手段) 本発明は、(a)一般式(I) (Dはコモノマー、mは正の数、nはOまたは正の数で
あり、OHは主鎖に対して、オルソ、パラまたはメタ位
をとる)で示される繰返し単位を有するヒドロキシスチ
レン系重合体の水酸基に、イソシアナートエチルメタク
リレートをイソシアナート当量/水酸基当量比を0.1
〜0.9の範囲として反応させて得られる光重合性不飽
和化合物、(b)光重合性単量体ならびに(c)活性光
により遊離ラジカルを生成する増感剤および/または増
感剤系を含有してなる感光性樹脂組成物に関する。
(Means for Solving the Problems) The present invention is based on (a) general formula (I) (D is a comonomer, m is a positive number, n is O or a positive number, and OH is relative to the main chain. , ortho, para or meta position) isocyanate ethyl methacrylate is added to the hydroxyl group of the hydroxystyrene polymer having a repeating unit represented by
-0.9 photopolymerizable unsaturated compound obtained by reaction, (b) photopolymerizable monomer, and (c) sensitizer and/or sensitizer system that generates free radicals by actinic light. The present invention relates to a photosensitive resin composition containing the following.

本発明における光重合性不飽和化合物(a)は、一般式
(I) (Dはコモノマー、mは正の数、nは0または正の数で
あり、OHは主鎖に対して、オルソ、パラまたはメタ位
をとる)で示される繰返し単位を有するヒドロキシスチ
レン系重合体の水酸基に、イソシアナートエチルメタク
リレートをイソシアナート当量/水酸基当量比を0.1
〜0.9の範囲として反応させて得られる。
The photopolymerizable unsaturated compound (a) in the present invention has the general formula (I) (D is a comonomer, m is a positive number, n is 0 or a positive number, OH is ortho, Isocyanate ethyl methacrylate is added to the hydroxyl group of a hydroxystyrene polymer having a repeating unit (taking the para or meta position) at an isocyanate equivalent/hydroxyl group equivalent ratio of 0.1.
It is obtained by reacting in the range of ~0.9.

ヒドロキシスチレン系重合体は、公知の方法により製造
され、特にその製造法に制限はない0例えばオルソ−ヒ
ドロキシスチレン、メタ−ヒドロキシスチレン、または
パラ−ヒドロキシスチレンを熱、ラジカルまたはカチオ
ン重合により単独または前記コモノマーDと共重合させ
ることによって、またアシルオキシスチレン、例えばア
セトオキシスチレンをラジカル重合法により単独または
前記コモノマーDと共重合させたのち、酸またはアルカ
リで加水分解することによって容易に得ることができる
。コモノマーDは共重合させなくてもよい。
The hydroxystyrene polymer is produced by a known method, and there are no particular limitations on the production method. For example, ortho-hydroxystyrene, meta-hydroxystyrene, or para-hydroxystyrene is polymerized by heat, radical, or cationic polymerization alone or by the above-described polymerization. It can be easily obtained by copolymerizing with comonomer D, or by copolymerizing acyloxystyrene, such as acetoxystyrene, alone or with comonomer D using a radical polymerization method, followed by hydrolysis with acid or alkali. Comonomer D does not need to be copolymerized.

共重合させることできるコモノマーDとしては、重合性
不飽和結合を有する不飽和化合物が用いられ、例えばス
チレン、α−メチルスチレン、ビニルトルエン、メトキ
シスチレンなどのスチレン糸上ツマ−、アクリロニトリ
ル、メタクリレートリル、メタクロレイン、アクリル酸
、メタクリル酸、アクリル酸メチルなどのアクリル酸エ
ステル、メタクリル酸メチルなどのメタクリル酸エステ
ル、アクリルアミドなどアクリル糸上ツマ−、エチルビ
ニルエーテル、プロピルビニルエーテル、ブチルビニル
エーテルなどのビニルエーテルi、=水マレイン酸、酢
酸ビニル、ビニルピリジンなどが挙げられる。
The comonomer D that can be copolymerized is an unsaturated compound having a polymerizable unsaturated bond, such as styrene, α-methylstyrene, vinyltoluene, methoxystyrene, acrylonitrile, methacrylate, etc. Methacrolein, acrylic acid, methacrylic acid, acrylic esters such as methyl acrylate, methacrylic esters such as methyl methacrylate, acrylic yarns such as acrylamide, vinyl ethers such as ethyl vinyl ether, propyl vinyl ether, butyl vinyl ether, = water Examples include maleic acid, vinyl acetate, and vinylpyridine.

これらヒドロキシスチレン系重合体は、商業的にも入手
可能であり、例えば丸善石油化学社製のレジンM(ポリ
 (p−ヒドロキシスチレン):水酸基当量的120)
、レジンMB (臭素化ポリ (p−ヒドロキシスチレ
ン):水酸基当量約246)、レジンCMM (p−ヒ
ドロキシスチレン/メタクリル酸メチル共重合物:水酸
基当量的220)、レジンCHM (p−ヒドロキシス
チレン/ヒドロキシエチルメタクリレート共重合物:水
酸基当量的125)、レジンMAA (p−ヒドロキシ
スチレン/無水マレイン酸共重合物:水酸基当量的10
9)、レジンMA (p−ヒドロキシスチレン/マレイ
ン酸共重合物:水酸基当量的80)等が挙げられる。
These hydroxystyrene polymers are commercially available, such as Resin M (poly(p-hydroxystyrene): hydroxyl equivalent: 120) manufactured by Maruzen Petrochemical Co., Ltd.
, Resin MB (brominated poly(p-hydroxystyrene): hydroxyl equivalent: approx. 246), Resin CMM (p-hydroxystyrene/methyl methacrylate copolymer: hydroxyl equivalent: 220), Resin CHM (p-hydroxystyrene/hydroxyl Ethyl methacrylate copolymer: hydroxyl equivalent: 125), resin MAA (p-hydroxystyrene/maleic anhydride copolymer: hydroxyl equivalent: 10)
9), resin MA (p-hydroxystyrene/maleic acid copolymer: hydroxyl equivalent: 80), and the like.

前記ヒドロキシスチレン系重合体とイソシアナートエチ
ルメタクリレートとの反応は、イソシアナート当量/水
酸基当量比を0.1〜0.9の範囲として常法により行
われる。例えば、前記ヒドロキシスチレン系共重合体を
メチルエチルケトン、メチルセロソルブアセテート、シ
クロヘキサノン等の不活性有機溶剤に溶解し、触媒とし
てジブチルチンジラウレート、ジブチルチンジー2−エ
チルヘキソエート等を、また重合禁止剤として、ハイド
ロキノン、p−メトキシフェノール等を用い、イソシア
ナートエチルメタクリレート(例えば、ダウケミカル社
製IBM)を加えて、50〜110℃で攪拌反応さて得
られる。
The reaction between the hydroxystyrene polymer and isocyanate ethyl methacrylate is carried out in a conventional manner with the isocyanate equivalent/hydroxyl group equivalent ratio in the range of 0.1 to 0.9. For example, the hydroxystyrene copolymer is dissolved in an inert organic solvent such as methyl ethyl ketone, methyl cellosolve acetate, or cyclohexanone, and dibutyl tin dilaurate, dibutyl tin di-2-ethylhexoate, etc. are added as a catalyst and as a polymerization inhibitor. , hydroquinone, p-methoxyphenol, etc., and adding isocyanate ethyl methacrylate (for example, IBM, manufactured by Dow Chemical Company), and reacting with stirring at 50 to 110°C.

イソシアナート当量/水酸基当量比が0.1未満の場合
は、光硬化性が低く、現像時に露光部が消失してしまい
、またイソシアナート当量/水酸基当量比が0.9を超
える場合は、基板との密着性が低下し、また希アルカリ
水溶液による現像が不可能になる。
If the isocyanate equivalent/hydroxyl group equivalent ratio is less than 0.1, the photocurability will be low and the exposed area will disappear during development, and if the isocyanate equivalent/hydroxyl group equivalent ratio exceeds 0.9, the substrate The adhesion with the film decreases, and development with a dilute alkaline aqueous solution becomes impossible.

反応後、メタノール、エタノール、2−ヒドロキシエチ
ルメタクリレート等の1級アルコールを用いて残存する
イソシアナートエチルメタクリレートをウレタン化し、
失活させることが安全上および保存安定性向上の上で望
ましい。
After the reaction, the remaining isocyanate ethyl methacrylate is converted into urethane using a primary alcohol such as methanol, ethanol, or 2-hydroxyethyl methacrylate.
Inactivation is desirable from the viewpoint of safety and improvement of storage stability.

本発明における光重合性単量体(b)としては、既に公
知のものが用いられる。好ましい光重合性単量体として
は、ブトキシエチルアクリレート、エチルカルピトール
アクリレート、メチルトリグリコールアクリレート、テ
トラヒドロフルフリルメタクレート、2−ヒドロキシ−
3−フェノキシプロピルアクリレート、ラウリルアクリ
レート、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒド
ロキシエチルメタクリレート、フェノキシエチルメタク
リレート、シクロヘキシルアクリレート等の単官能性単
量体、トリメチロールプロパン、トリメチロールエタン
、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール、1
.3−ブチレングリコール、1.4−ブチレンゲリコー
ル、1.5−ペンタジオール、ポリカプロラクトンジオ
ール、ポリプロピレングリコール、デカメチレングリコ
ール、グリセリン、ネオペンチルグリコール、2.2−
ビス(4,4”  (2−ヒドロキシエトキシ)フェニ
ル〕プロパン、トリス(2−ヒドロキシエチル)イソシ
アヌル酸、トリプロピレングリコールジアクリレート等
の多価アルコールとアクリル酸またはメタクリル酸との
エステル、無水フタル酸/ジエチレングリコール/アク
リル酸(I/2/2のモル比)縮合物、トリメチロール
プロパン/テトラヒドロ無水フタル酸/アクリル酸(2
/1/4のモル比)縮合物等の末端にアクリロイルオキ
シ基および/またはメタクリロイルオキシ基を有する低
分子ポリエステル樹脂などが挙げられる。
As the photopolymerizable monomer (b) in the present invention, known ones can be used. Preferred photopolymerizable monomers include butoxyethyl acrylate, ethylcarpitol acrylate, methyl triglycol acrylate, tetrahydrofurfuryl methacrylate, and 2-hydroxy-
Monofunctional monomers such as 3-phenoxypropyl acrylate, lauryl acrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate, phenoxyethyl methacrylate, cyclohexyl acrylate, trimethylolpropane, trimethylolethane, pentaerythritol, dipentaerythritol ,1
.. 3-butylene glycol, 1.4-butylene gelicol, 1.5-pentadiol, polycaprolactone diol, polypropylene glycol, decamethylene glycol, glycerin, neopentyl glycol, 2.2-
Esters of polyhydric alcohols such as bis(4,4” (2-hydroxyethoxy)phenyl)propane, tris(2-hydroxyethyl)isocyanuric acid, tripropylene glycol diacrylate, and acrylic acid or methacrylic acid, phthalic anhydride/ Diethylene glycol/acrylic acid (molar ratio I/2/2) condensate, trimethylolpropane/tetrahydrophthalic anhydride/acrylic acid (2
/1/4 molar ratio) low-molecular polyester resins having an acryloyloxy group and/or methacryloyloxy group at the end of a condensate, etc.

特公昭52−43092号公報等に記載されるようなジ
オールモノアクリレートまたはジオールモノメタクリレ
ートとジイソシアネートとの反応生成物、イソシアナー
トエチルメタクリレート/水(2/1モル比)反応物等
も用いられる。
A reaction product of diol monoacrylate or diol monomethacrylate and diisocyanate, a reaction product of isocyanate ethyl methacrylate/water (2/1 molar ratio), etc., as described in Japanese Patent Publication No. 52-43092, etc., can also be used.

本発明における活性光により遊離ラジカルを生成する増
感剤および/または増感剤系(c)としては、下記の化
合物が用いられる。
The following compounds are used as the sensitizer and/or sensitizer system (c) that generates free radicals by actinic light in the present invention.

増感剤としては、置換または非置換の多核牛ノン類、例
えば、2−エチルアントラキノン、2−【−ブチルアン
トラキノン、オクタメチルアントラキノン、1.2−ベ
ンズアントラキノン、2゜3−ジフェニルアントラキノ
ン等、ジアセチルベンジル等のケトアルドニル化合物、
ベンゾイン、ヒバロン等のα−ケタルドニルアルコール
類およびエーテル類、α−炭化水素置換芳香族アシロイ
ン類、例えばα−フェニル−ベンゾイン、α、α−ジェ
トキシアセトフェノン等、ベンゾフェノン、4.41−
ビスジアルキルアミノベンゾフエノン等の芳香族ケトン
類、2−メチルチオキサントン、2.4−ジエチルチオ
キサントン、2−クロルチオキサントン、2−イソプロ
ピルチオキサントン、2−エチルチオキサントン等のチ
オキサントン類が用いられ、これらは単独でも組み合わ
せて使用してもよい。
As a sensitizer, substituted or unsubstituted polynuclear bosonones, such as 2-ethylanthraquinone, 2-[-butylanthraquinone, octamethylanthraquinone, 1,2-benzanthraquinone, 2゜3-diphenylanthraquinone, etc., diacetyl Ketoaldonyl compounds such as benzyl,
α-ketaldonyl alcohols and ethers such as benzoin and hivalone, α-hydrocarbon-substituted aromatic acyloins such as α-phenyl-benzoin, α, α-jethoxyacetophenone, etc., benzophenone, 4.41-
Aromatic ketones such as bisdialkylaminobenzophenone, thioxanthone such as 2-methylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, and 2-ethylthioxanthone are used, and these can be used alone. But they can also be used in combination.

増感剤系としては、例えば2.4.5−トリアリルイミ
ダゾールニ量体と2−メルカプトベンゾキナゾール、ロ
イコクリスタルバイオレフト、トリス(4−ジエチルア
ミノ−2−メチルフェニル)メタン等との組み合わせが
用いられる。またそれ自体で光開始性はないが、前記物
質と組み合わせて用いることにより全体として光開始性
能のより良好な増感剤系となるような添加剤、例えばベ
ンゾフェノンに対するトリエタノールアミン等の3級ア
ミン、チオキサントン類に対するジメチルアミノ安息香
酸イソアミル、n−jチルジエタールアミン、とスエチ
ルアミノベンゾフェノン等を用いることもできる。
Examples of the sensitizer system include combinations of 2.4.5-triallylimidazole dimer and 2-mercaptobenzoquinazole, leuco crystal bioleft, tris(4-diethylamino-2-methylphenyl)methane, etc. used. Also, additives which do not have photoinitiating properties by themselves but which, when used in combination with the above-mentioned substances, result in a sensitizer system with better photoinitiating performance as a whole, such as tertiary amines such as triethanolamine for benzophenone. , isoamyl dimethylaminobenzoate, n-j tildietalamine, and sethyl aminobenzophenone for thioxanthones.

本発明の感光性樹脂組成物は、上記の光重合性不飽和化
合物(a)100重量部に対して、光重合性単量体(b
)を1〜400!量部ならびに増感剤および/または増
感剤系(C)を0.1〜30重量部の範囲で用いること
が、解像度および半田耐熱性に優れたソルダマスクを形
成する上で好ましい。
The photosensitive resin composition of the present invention contains a photopolymerizable monomer (b) based on 100 parts by weight of the photopolymerizable unsaturated compound (a).
) from 1 to 400! It is preferable to use the sensitizer and/or sensitizer system (C) in an amount of 0.1 to 30 parts by weight in order to form a solder mask with excellent resolution and soldering heat resistance.

さらに本発明の感光性樹脂組成物は、他の副次的成分を
含有していてもよい、副次的成分としては、熱重合防止
剤、染料、顔料、高分子結合剤、フィラー、塗工性向上
剤、消泡剤、難燃剤、難燃助剤、密着性向上剤等が挙げ
られる。
Furthermore, the photosensitive resin composition of the present invention may contain other subsidiary components, such as a thermal polymerization inhibitor, a dye, a pigment, a polymer binder, a filler, and a coating material. Examples include properties improvers, antifoaming agents, flame retardants, flame retardant aids, adhesion improvers, and the like.

本発明の感光性樹脂組成物は、ロールコート法、スクリ
ーン印刷法、フローコート法等の常法により、加工保護
すべき基板上に厚さ10〜200μmの感光層を容易に
形成することができる。
The photosensitive resin composition of the present invention can easily form a photosensitive layer with a thickness of 10 to 200 μm on a substrate to be processed and protected by a conventional method such as a roll coating method, a screen printing method, or a flow coating method. .

また、感光層の形成は特公昭4B−23284号公報、
特開昭49−43701号公報、46−39404号公
報等に示されるような通常の液状型感光性樹脂用の塗布
装置を用いて行うことができる。
Further, the formation of the photosensitive layer is described in Japanese Patent Publication No. 4B-23284,
This can be carried out using a conventional coating device for liquid type photosensitive resins as shown in Japanese Patent Application Laid-open Nos. 49-43701, 46-39404, and the like.

また本発明の感光性組成物をポリエステルフィルムなど
の支持体上に塗工、乾燥させた後、加工保護すべき基板
上に密着させ、前記支持体を感光性組成物から剥離して
、感光層を形成することもできる。
Alternatively, the photosensitive composition of the present invention is coated on a support such as a polyester film, dried, and then brought into close contact with a substrate to be processed and protected, and the support is peeled off from the photosensitive composition to form a photosensitive layer. can also be formed.

こうして形成された感光層の露光および現像は常法によ
り行われる。すなわち、光源として超高圧水銀灯、高圧
水銀灯等を用い、ネガマスクを通して像的に露光する。
Exposure and development of the photosensitive layer thus formed are carried out by conventional methods. That is, an ultra-high-pressure mercury lamp, a high-pressure mercury lamp, or the like is used as a light source, and imagewise exposure is performed through a negative mask.

ネガマスクに樹脂が付着するのを防ぐために、ネガマス
クと感光性樹脂の層との間にポリエチレンテレフタレー
トフィルム、ポリプロピレンフィルム、酢酸セルロール
フィルム、ポリカーボネートフィルム等の透明なカバー
フィルムを介在させることも可能である。カバーフィル
ムが厚くなると、解像度が低下する傾向があるので、そ
の厚さは25μm以下にすることが望ましい。
In order to prevent resin from adhering to the negative mask, it is also possible to interpose a transparent cover film such as polyethylene terephthalate film, polypropylene film, cellulose acetate film, or polycarbonate film between the negative mask and the photosensitive resin layer. . As the cover film becomes thicker, the resolution tends to decrease, so it is desirable that the thickness be 25 μm or less.

また、ネガマスクを感光層から0.3 tm程度離して
露光することも可能である。露光後、カバーフィルムが
残っている場合はカバーフィルムを剥離した後、現像す
る。
It is also possible to perform exposure with the negative mask separated from the photosensitive layer by about 0.3 tm. After exposure, if a cover film remains, peel it off and then develop.

現像処理に用いられる現像液は露光部にダメージを与え
ず、未露光部を選択的に溶出するものであればその種類
については特に制限はない。現像液としては、例えば水
酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウムの水
溶液等のアルカリ性水溶液が用いられる。またメチルエ
チルケトン、メチルセロソルブ、シクロヘキサノン等の
有機溶剤を使用することもできる。
The type of developer used in the development process is not particularly limited as long as it does not damage the exposed areas and selectively elutes the unexposed areas. As the developer, for example, an alkaline aqueous solution such as an aqueous solution of sodium hydroxide, potassium hydroxide, or sodium carbonate is used. Furthermore, organic solvents such as methyl ethyl ketone, methyl cellosolve, and cyclohexanone can also be used.

上記の方法で得られた像的な保護被膜は、通常のエツチ
ング、めっき等のための耐食膜としての特性を持ってい
るが、現像後に活性光の露光および80〜200℃での
加熱処理を行うことにより、さらに特性を向上でき、ソ
ルダマスク等としての特性を満足する永久的な保護膜が
得られる。これらの活性光の露光および加熱処理の順序
はどちらが先でもよい。
The image-like protective film obtained by the above method has properties as a corrosion-resistant film for ordinary etching, plating, etc., but after development, it must be exposed to active light and heat treated at 80 to 200°C. By carrying out this process, the characteristics can be further improved and a permanent protective film satisfying the characteristics as a solder mask etc. can be obtained. The order of exposure to active light and heat treatment may be in any order.

(発明の効果) 本発明の感光性樹脂組成物を用いることにより、アルカ
リ性水溶液により現像でき、解像度および耐熱性に優れ
たスルダマスフを形成することができる。しかも写真法
により厚膜のソルダマスクを形成することが可能である
(Effects of the Invention) By using the photosensitive resin composition of the present invention, it is possible to form a suldamask which can be developed with an alkaline aqueous solution and has excellent resolution and heat resistance. Furthermore, it is possible to form a thick film solder mask using a photographic method.

本発明の感光性樹脂組成物を用いて得られる保護被膜は
、トリクレン、メチルエチルケトン、イソプロピルアル
コール、トルエン等の有機溶剤に充分耐え、酸性水溶液
またはアルカリ水溶液にも耐える。さらに耐熱性、機械
的特性にも優れているので、エツチング、めっき等のた
めの耐食膜、ソルダマスク等の永久的な保護膜として使
用することがでる。さらに本発明の感光性樹脂組成物を
用いて形成される被膜は優れた化学的、物理的特性を有
し、このため多層印刷配線板の眉間絶縁層、感光性接着
剤、塗料、プラスチックレリーフ、印刷盤材料、金属精
密加工材料等にも用いることができる。
The protective film obtained using the photosensitive resin composition of the present invention sufficiently resists organic solvents such as tricrene, methyl ethyl ketone, isopropyl alcohol, and toluene, and also resists acidic or alkaline aqueous solutions. Furthermore, since it has excellent heat resistance and mechanical properties, it can be used as a corrosion-resistant film for etching, plating, etc., and as a permanent protective film for solder masks, etc. Furthermore, the film formed using the photosensitive resin composition of the present invention has excellent chemical and physical properties, and therefore can be used as an insulating layer between the eyebrows of multilayer printed wiring boards, photosensitive adhesives, paints, plastic reliefs, etc. It can also be used for printing plate materials, metal precision processing materials, etc.

(実施例) 以下、本発明を実施例により説明する。なお、下記側中
の部は重量部を意味する。
(Example) Hereinafter, the present invention will be explained with reference to Examples. Note that the parts below mean parts by weight.

実施例1 (I)光重合性不飽和化合物の合成 A、 ポリ (p−ヒドロキシスチレン)レジンM(水
酸基当量120)     500部メチルエチルケト
ン       700部B、イソシアナートエチルメ
タクリレート(ダウケミカル社製I BM)     
323部ジブチルチンジラウレート     0.3部
p−メトキシフェノール     0.03部C,メタ
ノール            10部温度計、攪拌装
置、冷却管および滴下器の付いた加熱および冷却可能な
5j!の反応器に、前記A成分を加え、攪拌しながら6
0℃に昇温し、均一に溶解させた0反応温度を60℃に
保ちながら約3時間かけて均一に前記B成分を滴下した
0滴下後、約5時間かけて徐々に反応温度を80℃まで
昇温した後、温度を60℃に低下させ、前記C成分を加
え、約1時間攪拌を続けた。こうして不揮発分約54重
量%のポリ (p−ヒドロキシスチレン/イソシアナー
トエチルメタクリレート) (イソシアナート当量/水
酸基当量比−0,5)系光重合性不飽和化合物の溶液(
I)を得た。
Example 1 (I) Synthesis of photopolymerizable unsaturated compound A, Poly (p-hydroxystyrene) resin M (hydroxyl equivalent: 120) 500 parts Methyl ethyl ketone 700 parts B, Isocyanatoethyl methacrylate (IBM manufactured by Dow Chemical Company)
323 parts Dibutyltin dilaurate 0.3 parts p-methoxyphenol 0.03 parts C, methanol 10 parts Heating and cooling capable 5j with thermometer, stirrer, cooling tube and dropper! Add the above component A to the reactor, and add the 6 parts while stirring.
The temperature was raised to 0°C, and the component B was uniformly added dropwise over about 3 hours while maintaining the reaction temperature at 60°C. After the dropwise addition, the reaction temperature was gradually increased to 80°C over about 5 hours. After raising the temperature to 60°C, the temperature was lowered to 60°C, the component C was added, and stirring was continued for about 1 hour. In this way, a solution of a poly(p-hydroxystyrene/isocyanatoethyl methacrylate) (isocyanate equivalent/hydroxyl group equivalent ratio -0.5) type photopolymerizable compound with a nonvolatile content of approximately 54% by weight (
I) was obtained.

(2)感光性樹脂組成物の調製 (I)で得られた光重合性不飽和化合物の溶液(I)1
85部(不揮発分100部)、トリプロピレングリコー
ルジアクリレート50部、2.4−ジエチルチオキサン
トン1部、ジメチルアミノ安息香酸イソアミル2部およ
びビクトリアビニアブルー0.01部を混合して本発明
の感光性樹脂組成物の溶液を調製した。
(2) Solution of photopolymerizable unsaturated compound obtained in preparation of photosensitive resin composition (I) (I) 1
85 parts (non-volatile content: 100 parts), 50 parts of tripropylene glycol diacrylate, 1 part of 2,4-diethylthioxanthone, 2 parts of isoamyl dimethylaminobenzoate and 0.01 part of Victoria Vinia Blue were mixed to produce the photosensitive material of the present invention. A solution of a synthetic resin composition was prepared.

(3)硬化被膜の形成 (2)で得られた感光性樹脂組成物の溶液を銅張り積層
板上に塗布し、室温で20分、80℃で20分間乾燥し
、厚さ40μmの感光層を形成した。次いでネガマスク
を通してオーク製作所社製フェニックス3000型露光
機を用い、200mJ/−で露光した。露光後80℃で
5分間加熱し、常温で30分放置した後、1%水酸化ナ
トリウム水溶液を用いて20℃で90秒間現像した0次
いで東芝電材社製東芝紫外線照射装置(定格電圧200
v、定格消費電力?、2KW、適合ランプH5600L
/2、ランプ本数1本)を使用し、IJ/−で照射した
後、150℃で30分間加熱処理してネガマスクに相応
する寸法精度の優れたソルダマスクを得た。
(3) Formation of a cured film The solution of the photosensitive resin composition obtained in (2) was applied onto a copper-clad laminate, dried at room temperature for 20 minutes and at 80°C for 20 minutes, and a photosensitive layer with a thickness of 40 μm was formed. was formed. The film was then exposed to light at 200 mJ/- through a negative mask using a Phoenix 3000 type exposure machine manufactured by Oak Seisakusho Co., Ltd. After exposure, the film was heated at 80°C for 5 minutes, left at room temperature for 30 minutes, and then developed using a 1% aqueous sodium hydroxide solution at 20°C for 90 seconds.
v, rated power consumption? , 2KW, compatible lamp H5600L
/2, one lamp), and after irradiating with IJ/-, heat treatment was performed at 150° C. for 30 minutes to obtain a solder mask with excellent dimensional accuracy corresponding to a negative mask.

上記ソルダマスクは耐冷熱衝撃性に優れ、ロジン系フラ
ンクスA−226(タムラ化研社製)を用いて、260
℃で10秒間半田付は処理、さらにトリクレンで25℃
、10分間清浄化処理した後、MIL−3TD−202
E  107D  条件B(−65℃30分間、常温5
分以内、125℃30分間)、50サイクルの冷熱衝撃
試験でクランクの発生および被膜の剥がれは認められず
、長期間の信頼性が非常に優れていることがわかった。
The above solder mask has excellent cold and thermal shock resistance, and is made of rosin-based Franks A-226 (manufactured by Tamura Kaken Co., Ltd.).
Solder at ℃ for 10 seconds, then solder at 25℃ with Triclean.
, after cleaning for 10 minutes, MIL-3TD-202
E 107D Condition B (-65℃ 30 minutes, room temperature 5
In a thermal shock test of 50 cycles (within 30 minutes at 125°C), no cranking or peeling of the coating was observed, indicating that the product had excellent long-term reliability.

実施例2 (I)光重合性不飽和化合物の合成 実施例1 (I)のA成分としてp−ヒドロキシスチレ
ン/メタクリル酸メチル共重合物(丸善石油化学社製商
品名 レジンCMM、水酸基当量220)500部、メ
チルエチルケトン700部、B成分としてイソシアナー
トエチルメタクリレ−ト282部、ジブチルチンジラウ
レート0.3部、p−メトキシフェノール0.03部、
C成分としてメタノール10部を用い、その他は実施例
1(I)と同様にして合成を行い、不揮発分約53重量
%のレジンCMM/イソシアナートエチルメタクリレー
ト(イソシアナート当量/水酸基当量比=0.8)系光
重合性不飽和化合物の溶液(II)を得た。
Example 2 (I) Synthesis of photopolymerizable unsaturated compound Example 1 (I) As component A, p-hydroxystyrene/methyl methacrylate copolymer (trade name: Resin CMM, manufactured by Maruzen Petrochemical Co., Ltd., hydroxyl equivalent: 220) 500 parts, 700 parts of methyl ethyl ketone, 282 parts of isocyanatoethyl methacrylate as component B, 0.3 part of dibutyltin dilaurate, 0.03 part of p-methoxyphenol,
The synthesis was carried out in the same manner as in Example 1 (I) except that 10 parts of methanol was used as component C, and resin CMM with a non-volatile content of about 53% by weight/isocyanate ethyl methacrylate (isocyanate equivalent/hydroxyl group equivalent ratio = 0. 8) A solution (II) of a photopolymerizable unsaturated compound was obtained.

(2)感光性樹脂組成物の調製 (I)で得られた光重合性不飽和化合物の溶液(n)1
89部(不揮発分100部)、ペンタエリスリトールア
クリレート30部、2.4−ジメチルチオキサントン1
部およびジメチルアミノ安息香酸イソアミル2部を混合
して本発明の感光性樹脂組成物の溶液を調製した。
(2) Photopolymerizable unsaturated compound solution (n) obtained in preparation of photosensitive resin composition (I) 1
89 parts (non-volatile content 100 parts), 30 parts of pentaerythritol acrylate, 1 part of 2,4-dimethylthioxanthone
1 part and 2 parts of isoamyl dimethylaminobenzoate were mixed to prepare a solution of the photosensitive resin composition of the present invention.

以下、実施例1 (3)と同様にして耐熱性に優れた硬
化被膜を得た。
Thereafter, a cured film with excellent heat resistance was obtained in the same manner as in Example 1 (3).

実施例3 実施例1 (I)で得られた光重合性不飽和化合物の溶
液(I)152部(不揮発分100部)、ジトリメチロ
ールプロパンテトラアクリレート20部、2.4−ジエ
チルオキサントン1.5、ホスマーM(油脂製品社製リ
ン酸エステル)とベンゾトリアゾールとの等モル塩0.
1部、シムボン(日本タルク社製超微粒子タルク)30
部およびフタロシアニングリーン0.5部を3本ロール
を用いて混練し、本発明の感光性樹脂組成物の溶液を調
製した。以下、実施例1 (3)と同様にして耐熱性に
優れた硬化被膜を得た。
Example 3 152 parts of the solution (I) of the photopolymerizable unsaturated compound obtained in Example 1 (100 parts of non-volatile matter), 20 parts of ditrimethylolpropane tetraacrylate, 1.4-diethyloxanthone. 5. Equimolar salt of Phosmer M (phosphate ester manufactured by Yushi Products Co., Ltd.) and benzotriazole 0.
1 part, Simbon (ultrafine talc manufactured by Nippon Talc Co., Ltd.) 30
1 part and 0.5 part of phthalocyanine green were kneaded using three rolls to prepare a solution of the photosensitive resin composition of the present invention. Thereafter, a cured film with excellent heat resistance was obtained in the same manner as in Example 1 (3).

実施例4 実施例1 (I)のA成分としてp−ヒドロキシスチレ
ン/ヒドロキシエチルメタクリレート共重合物(九善石
油化学社製商品名 レジンC)(M、水酸基当量125
)500部、メチルエチルケトン700部、B成分とし
てイソシアナートエチルメタクリレート310部、ジブ
チルチンジラウレート0.3部、p−メトキシフェノー
ル0.03部、C成分としてメタノール10部を用い、
その他は実施例1 (I)と同様にして、不揮発分約5
3重量%のレジンCHM/イソシアナートエチルメタク
リレート(イソシアナート当量/水酸基当量比−O,S
 >系光重合性不飽和化合物の溶液(III)を得た。
Example 4 Example 1 As component A of (I), p-hydroxystyrene/hydroxyethyl methacrylate copolymer (trade name Resin C, manufactured by Kuzen Petrochemical Co., Ltd.) (M, hydroxyl equivalent: 125
), 700 parts of methyl ethyl ketone, 310 parts of isocyanatoethyl methacrylate as component B, 0.3 part of dibutyltin dilaurate, 0.03 part of p-methoxyphenol, 10 parts of methanol as component C,
The rest was the same as in Example 1 (I), and the nonvolatile content was about 5.
3% by weight of resin CHM/isocyanate ethyl methacrylate (isocyanate equivalent/hydroxyl group equivalent ratio -O,S
A solution (III) of a photopolymerizable unsaturated compound was obtained.

(2)感光性樹脂組成物の調製 (I)で得られ・た光重合性不飽和化合物の溶液(II
I)189部(不揮発分100部)、トリプロピレング
リコールジアクリレート30部、2.4−ジエチルチオ
キサントン2部およびジメチルアミノ安息香酸エチル3
部を混合して本発明の感光性樹脂組成物の溶液を調製し
た。以下、実施例1(3)と同様にして耐熱性に優れた
硬化被膜を得た。
(2) Preparation of photosensitive resin composition (I) Solution of photopolymerizable unsaturated compound obtained in (II)
I) 189 parts (non-volatile content: 100 parts), 30 parts of tripropylene glycol diacrylate, 2 parts of 2,4-diethylthioxanthone and 3 parts of ethyl dimethylaminobenzoate.
A solution of the photosensitive resin composition of the present invention was prepared by mixing the following parts. Thereafter, a cured film with excellent heat resistance was obtained in the same manner as in Example 1 (3).

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、(a)一般式( I ) ▲数式、化学式、表等があります▼( I ) (Dはコモノマー、mは正の数、nは0または正の数で
あり、OHは主鎖に対して、オルソ、パラまたはメタ位
をとる)で示される繰返し単位を有するヒドロキシスチ
レン系重合体の水酸基に、イソシアナートエチルメタク
リレートをイソシアナート当量/水酸基当量比を0.1
〜0.9の範囲として反応させて得られる光重合性不飽
和化合物、(b)光重合性単量体ならびに(c)活性光
により遊離ラジカルを生成する増感剤および/または増
感剤系を含有してなる感光性樹脂組成物。
[Claims] 1. (a) General formula (I) ▲ Numerical formulas, chemical formulas, tables, etc. ▼ (I) (D is a comonomer, m is a positive number, n is 0 or a positive number, Isocyanate ethyl methacrylate is added to the hydroxyl group of a hydroxystyrene polymer having a repeating unit represented by (OH takes the ortho, para or meta position with respect to the main chain) at an isocyanate equivalent/hydroxyl group equivalent ratio of 0.1.
-0.9 photopolymerizable unsaturated compound obtained by reaction, (b) photopolymerizable monomer, and (c) sensitizer and/or sensitizer system that generates free radicals by actinic light. A photosensitive resin composition containing.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101404176B1 (en) * 2008-09-10 2014-06-05 마루젠 세끼유가가꾸 가부시키가이샤 Phenolic hardener and epoxy resin composition using the phenolic hardener

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KR101404176B1 (en) * 2008-09-10 2014-06-05 마루젠 세끼유가가꾸 가부시키가이샤 Phenolic hardener and epoxy resin composition using the phenolic hardener

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