JPS63259422A - 液計量装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は液計量装置に関するものである。

（従来の技術） 半導体デバイスの製造プロセスにおいては、基板のエツ
チングやイオン注入のマスクとして、レジストパターン
が用いられる。このレジストパターンは基板に塗布した
レジスト膜に電子線や紫外線等の高エネルギー線を所定
のパターンに従って照射した後、現像工程を経て形成さ
れる。

ところで半導体集積回路は微細化により経済化、高速化
、高信幀化が図れるため、年々、小型化、高集積化して
いる。これに対応してレジストパターンも微細化されて
きているが、そのため寸法精度が一段と厳しくなり、サ
ブミクロン領域の高精度なレジストパターンの形成が要
求されるようになっている。そこでこのようなサブミク
ロン領域では、紫外光以上に微細なパターンを描画でき
る電子線等が有効に用いられ、これによって描画された
レジストを現像し、サブミクロンの最小寸法に見合った
精度でレジストパターンが形成されている。この場合レ
ジストパターンの寸法精度に重要な影響を与える要因の
１つに現像液の濃度があげられる。現像液は親溶媒と貧
溶媒とを主な組成とするものであるが、この親溶媒はレ
ジストの現像に関し現像時間を短くするが高感度のため
解像性を低下させるという傾向を示し、一方貧溶媒は低
感度のため解像性が向上するが現像時間が長くなるとい
う傾向を示す。第１４図は、フロロレジス）ＦＢＭ−１
２０（ダイキン工業株式会社・製）の現像液としてのエ
チルアルコール（親溶媒）とイソブチルアルコール（貧
溶媒）との混合液についてのエチルアルコールの混合比
率（百分率で表されている）と感度（μｃ／ｃｄ）との
関係を、温度２０°Ｃ１２６°Ｃの条件の下で示したも
のである。また第１８図に示すように、親溶媒の混合比
率が高くなるとレジストのポジ部に膜減りＴが生じる。

そのため寸法精度向上の要請から現像時間が長くかかっ
ても貧溶媒の濃度の高い現像液を用いることが要請され
る。

しかしながらレジストパターンの量産の条件として現像
時間の短縮も重要な要素であり、そのため寸法精度の向
上と共に現像時間の短縮を満たす現像方法が種々考えら
れてきた。そのような現像方法としては、例えば特開昭
５８−１１１３１８号公報に記載された現像方法を挙げ
ることができる。この方法は、親溶媒と貧溶媒の異なっ
た混合比率の現像液を複数種類用意しておき、現像に際
しては親溶媒の混合比率の高い現像液から順に連続して
供給するというもので、これによれば、現像の初期には
親溶媒が強く作用して解像性は劣るものの現像が高速で
進行し、現像の後半を過ぎると今度は貧溶媒の作用が強
くなって上記解像性の悪さをカバーするようになるので
ある。したがってこの方法によれば現像時間の短縮を図
ることができ、しかも寸法精度の向上したレジストパタ
ーンを得ることができる。

ところで上記現像方法を実施する場合に、寸法精度を向
上させつつ現像時間を最も短縮することができるように
するための現像液の親溶媒と貧溶媒との混合比率の決定
については、使用するレジストの種Ｍ（第１５図及び第
１６図にはそれぞれ異なる種類のレジストに一定濃度の
現像液を与えて現像したときのレジスト残膜量と現像時
間との関係を示している）、電子線等の照射量、さらに
はプロセス上の種々の変化等を考慮することが必要であ
り、従来は組成ごとの溶媒をそれぞれ購入しておき、使
用者が上記のような条件を考慮して各溶媒を調合し、最
も適した濃度の現像液を得ていた。しかしながらこのよ
うな方法では、手間がかかるという問題や精度上の問題
がある。また予め決められた濃度の現像液を購入する場
合には、種々の条件に対応させるのに困難があった。ま
た第２０図に示すような２液温合装置を使用する方法が
知られている。この装置は、同図に示すように、現像液
を組成する各溶媒をそれぞれ加圧式タンク７０．７１に
収容しておき、各タンク７０．７１を配管７２．７３を
介して混合ユニット７４に接続し、そして上記各配管７
２．７３に介設した流量計７５．７６を制御ユニット７
７からの信号に基づいて制御し、各溶媒の混合比率を調
整するようなされているのである。しかしながら流量に
基づいて現像液の濃度を調整する場合には、現状におい
ては、濃度の精度に関し、充分な結果を得ることが困難
である。すなわち流量計７５．７６としては、例えばス
トレンゲージ式、体積式、タービン式、電磁式、ギアポ
ンプ式等が挙げられるが、その計測精度の最も良いもの
でも、読取値には±０．２５％の誤差が’４Ｅじ、その
ため得られる現像液の濃度には上記の誤差以上の誤差が
生しることになるのである。一方これに対してレジスト
の感度は現像液の濃度が０．１％変化しただけで大幅に
変化するのであり、したがって上記のような流量計に基
づく２液温合装置を用いることは困難である。

（発明が解決しようとする問題点） ところで流量計の代わりに重量計を用いた場合には、液
の量の計測精度を著しく向上させることが可能である０
例えば精密天びんを用いたときは、精度は読取値の±０
．０１％以内となるのである。そこで精密天びんのよう
な重量計を用いた２液温合装置が考えられるが、その場
合次のような問題が。

生じる。すなわち液の計量は重量計の計量部に載置した
計量容器に液を供給することによってなされることとな
るが、上記のような精度で重量の読取を行う場合には、
液の供給はわずかづつ行われなければならず、計測に長
い時間を必要とするという問題が生じることとなるので
ある。

この発明の目的は上記問題を解決するためになされたも
のであって、その目的は、すばやく、しかも正確に所定
重量の液を得ることが可能な液計量装置を提供すること
にある。

（問題点を解決するための手段） そこでこの発明の液計量装置は、重量計量器２２の計量
部２３に載置した容器２１の内方に、液供給源１からの
複数の供給配管部５．６を臨ませ、一方の供給配管部５
には粗量吐出用バルブ１０を、他方の供給配管部６には
微量吐出用バルブ９をそれぞれ介設している。

（作用） 上記構成の液計量装置においては、まず粗量吐出用バル
ブ１０で液が所定の重量の近傍となるところまで液を供
給し、次いで微量吐出用バルブ９で液が所定の重量とな
るところまで液を微量づつ供給するようなされることに
なる。

（実施例） 次にこの発明の液計量装置の具体的な実施例について、
図面を参照しつつ詳細に説明する。

第１図において、１．２はそれぞれ加圧式給液タンクで
あって、一方の給液タンク１には現像液を組成するエチ
ルアルコール等の親溶媒が、他方の給液タンク２にはイ
ソブチルアルコール等の貧溶媒がそれぞれ収容されてい
る。各給液タンクｌ、２からは給液配管３．４が延びて
おり、各配管３．４は途中で分岐し、その分岐部５．６
及び７．８が計量容器２１の内方に臨ませられている。

給液配管３．４の一方の分岐部６．８にはそれぞれ微量
吐出用バルブ９．１１が介設され、他方の分岐部５．７
にはそれぞれ粗量吐出用バルブ１０．１２が介設されて
いる。上記微量吐出用バルブ９．１１としては、例えば
、調節液量が０．０１ｃｃのドージングバルブを挙げる
ことができる。第２図にはこのドージングバルブの構成
を示しているが、同図のように、このドージングバルブ
は先端部にテーパ面１３を有するニードル状の弁体１４
を、弁本体１５の内部でばね１６の付勢力によってパツ
キンより成る弁座１７側に付勢し着座させておき、エア
供給口１８からエアを供給することによって弁体１４を
ばね１６の付勢力に抗して弁座１７から離反させ、その
とき液供給口１９から弁本体１５の内部に加圧状態で供
給されている液を先端部のノズル２０（口径１．８ｍｍ
）から吐出するようなされている。上記構成のバルブは
エアの供給時間を制御することによって最低吐出量が０
　、０１　ｃｃとなる液の微量吐出が可能となされてい
るのである。

なお粗量吐出用バルブ１０．１２としては、大口径のド
ージングバルブ（ノズル口径４．５１程度）等の多量吐
出用のバルブを挙げることができる。

一方、第１図に示すように、計量容器２１は重量計量器
２２の計量部２３に載置された状態で保持されている。

重量計量器２２としては、例えば、第３図に原理的に示
すような天びん式の重量計量器を挙げることができる。

同図のように、この重量計量器の一方の計量皿２３には
上記計量容器２１が載置され、もう一方には計量容器２
１の重量と釣り合うような磁性体より成る錘２４が取着
され、この錘２４に対してコイル２５を配置した構成を
有している。このものは計量容器２１に液を供給しこの
容器２１の重量が増加したときに錘２４の位置が変化す
ることとなるが、そのときのコイル２５を流れる電流の
変化を検出することによって液の重量を計測することが
できるようなされている。

また、第１図社示すように、計量容器２１には供給管部
２６が設けられており、この供給管部２６には開閉弁２
７が設けられている。このような開閉弁２７としては、
例えば第４〜第６図に示す構造の弁を挙げることができ
る。まず第４図に示す開閉弁２７について説明すると、
２８は上記供給管部２６に設けられる電磁弁であって、
この電磁弁２８には、電流の供給を受けるためのコンセ
ント部２９が設けられている。一方３０はロッドであり
、二〇ロッド３０はエアシリンダ３１（ソレノイドでも
よい）によって突出引込動作自在となされている。この
ロッド３０には上記コンセント部２９に接続される電力
供給用のソケット３２が取着されている。このものにお
いては、エアシリンダ３１を駆動制御することにより、
電力供給用ソケット３２がコンセント部２９に接続自在
となされている。この場合ソケット３２とコンセント部
２９との接続状態を確実なものとするため、各対向面に
はマグネットが組込まれているのが好ましい。以上のよ
うな構成の開閉弁２７を採用することによって、計量容
器２１で液の計量を行っている間は、ソケット３２をコ
ンセント部２９から離反させておけば、液の計量誤差を
軽減することが可能となる。また第５図には計量容器２
１の供給管部２６に開閉弁２７として空気弁３３を介設
した例を示しているが、この場合にも上記同様に、エア
シリンダ３１　（又はソレノイド）で突出引込動作自在
のロッド３０を用い、このロッド３０にエア供給ホース
３４を取着し、空気弁３３のエア受口３５にエア供給ホ
ース３４を接続自在に接続し得るようにされている。ま
た第６図に示す他の例としては、供給管部２６内に、孔
３６を有する弁座部材３７を配置し、この弁座部材３７
と隣接する供給管部２６に側方より、先端側に孔３８を
有するコック３９を嵌入し、このコック３９の基端部と
供給管部２６の外周面との間にばね４０を介設し、コッ
ク３９を基端側に付勢することによって、弁座部材３７
の孔３６がコック３９の孔３８よりも先端側に位置する
ようにしておく。

そしてコック３９の基端面と対向してロッド３０を配置
し、このロッド３０をエアシリンダ３１（又はソレノイ
ド）で突出引込自在とし、このロッド３０を突出するこ
とによってコック３９を先端側へと移行させ、コック３
９の孔３８と弁座部材３７の孔３６とが同軸上に位置す
るようなされている。このものにおいても同様に計量容
器２１での液の計量に誤差が生じるのを軽減することが
できる。すなわち開閉弁２７として電磁弁２８や空気弁
３３等を使用しようとする場合には、開閉弁２７に対し
て電力供給ケーブルやエア供給ホース３４を接続する必
要がある訳であるが、これらケーブルやホース３４を常
時開閉弁２７に接続していたのでは、ケーブルやホース
３４の揺動、あるいはケーブルやホース３４に対する異
物の付着等によって計量容器２１での液の計量時に計量
誤差の生ずるおそれがあるため、第４図〜第６図のよう
に、計量完了後において、ケーブルやホース３４を開閉
弁２７に接続する構成を採用し、上記誤差を軽減しよう
としているのである。

一方第１図に示すように、上記計量容器２１の供給管部
２６は保存容器４１の受管部４２の内方へと臨ませられ
ている。この場合、受管部４２の内径は計量容器２１に
おける液の計量中、供給管部２６が受管部４２に接触す
ることがないような大きさにされている。この保存容器
４１には計量容器２１から送り込まれてきた親溶媒と貧
溶媒とを混合するための撹拌機４３が設けられると共に
、保存容器４１内の混合液が一定残量となったのを検知
するレベルセンサ４４が設けられている。一方保存容器
４１の内部上方の空間には圧力配管４５の一端側が臨ま
せられており、この圧力配管４５の他端部は三方弁４６
を介して加圧配管４７と排出配管４８に接続されている
。一方保存容器４１の底部には吐出配管４９の一端部が
接続され、その他端側か開閉弁５０を介して現像装置５
１に接続されている。したがって保存容器４１の内部空
間を加圧することによって混合液を吐出配管４９を通し
て現像装置５１側に供給し得るようなされている。なお
保存容器４１の受管部４２には開閉弁５２が介設されて
おり、計量容器２１から保存容器４１へ２液を送り込む
場合には、開閉弁５２を開、一方保存容器４１から現像
装置５１側へ混合液を送る場合には保存容器４１内を気
密にすべく開閉弁５２を閉となるようなされている。ま
た保存容器４１の底部には排液配管５３が接続され、保
存容器４１中の残留液をバルブコック５４を操作するこ
とによって排液することができるようなされている。

一方現像装置５１はモータ５５の回転軸５６を。

現像槽５７の底部から内方へと臨ませ、その先端部にウ
ェーハ５８を取着し、モータ５５の回転駆動によってウ
ェーハ５８が回転するようなされている。一方現像槽５
７の上部壁にはノズル５９が取着されており、このノズ
ル５９に上記保存容器４１からの吐出配管４９が接続さ
れており、現像液がノズル５９からウェーハ５８に向け
て噴出するようなされている。

次に粗量吐出用バルブ１０．１２及び微量吐出用バルブ
９．１１の基本的な吐出動作を第７図のフローチャート
図に基づいて説明する。まず計量容器２１に供給される
親溶媒と貧溶媒との合計重量Ｍを設定する（ステップＳ
ｌ）。次いで親溶媒と貧溶媒の混合比率ｋＡ、　ｋＢを
設定する（ステップＳ２）。次いで籾量吐出と微量吐出
の切換点ＭｋＡ−α１　、　ＭｋＢ−α２を設定する（
ステップＳ３）。ここでα１、α２は籾量吐出と微量吐
出の予備テストによって決める。次いで親溶媒側の粗量
吐出用バルブ１０を開にし、親溶媒を計量容器２１内に
供給する（ステップＳ４）。そして計量容器２１内の親
溶媒の重量が略ＭｋＡ−α１となったかどうかの判断が
なされ（ステップＳ５）、なっていない場合には供給を
続け、一方なった場合には粗量吐出用バルブ１０を閉に
すると共に、微量吐出用バルブ９を開にし、親溶媒を微
量づつ計量容器２１内に供給する（ステップＳ６）。そ
して計量容器２１内の親溶媒の重量がＭｋＡに達したか
どうかが判断され（ステップＳ７）、達していない場合
には親溶媒の微量吐出を続け、一方達した場合には微量
吐出用バルブ９を閉にする。次いで貧溶媒の粗量吐出用
バルブ１２を開にし、貧溶媒を計量容器２１内に供給す
る（ステップＳ８）。そして計量容器２１内の親溶媒と
貧溶媒との重量が略ＭｋＡ＋ＭｋＢ−α２になったかど
うかが判断され゛（ステップＳ９）、なっていない場合
には供給を続け、なった場合には粗量吐出用バルブ１２
を閉にすると共に、微量吐出用バルブ１１を開にし、貧
溶媒を微量づつ計量容器２１内に供給する（ステップ５
１０）。そして計量容器２１内の親溶媒と貧溶媒との重
量がＭｋＡ十ＭｋＢに達したかどうかが判断される（ス
テップ５１１）。達していない場合には供給を続け、達
した場合には微量吐出用バルブ１１を閉にする。

このようにまず籾量吐出を行い、次いで微量吐出を行っ
て各溶媒を計量容器２１内に供給するように構成したの
で、各溶媒はすばやく、しかも正確に所定重量づつ供給
することが可能であり、その“ため所定の混合比率の２
液を迅速に、しかも正確に得ることができる。

そしてこの実施例においては、親溶媒と貧溶媒との供給
は上記粗景吐出バルブ１０．１２及び微量吐出バルブ９
．１１による上記のような基本的な吐出動作を組込んで
次のように行われる。この供給方法を第８図に示すフロ
ーチャート図に基づいて説明する。なおこのフローチャ
ート図においては、各パルプ９．１０．１１．１２によ
る上記したような基本的な吐出動作については説明を省
略している。まず計量容器２１に供給される親溶媒と貧
溶媒の合計重量Ｍを設定する（ステップ５２０）。次い
で親溶媒と貧溶媒の混合比率ｋＡ、　ｋＢを設定する（
ステップ５２１）。次いで親溶媒と貧溶媒の供給の繰り
返し回数Ｎを設定する（ステップ５２２）。例えば、ま
ず親溶媒を供給し、次いで貧溶媒を供給し、次いで親溶
媒を供給す乞場合にはＮは３となる。次いでｎを初期値
Ｏに設定する（ステップＳ２３　）　、次いでＮが奇数
かどうかを判断しくステップＳ２４　）　、Ｎが奇数で
あればステップＳ２５に移行し、Ｎが偶数であればステ
ップＳ３０に移行する。まずＮが奇数である場合には、
ＭｋＡ・２／（Ｎ＋１）の量の親溶媒を供給する（ステ
ップ５２５）。すなわちＮが奇数の場合に最初親溶媒を
供給するときは、親溶媒の供給回数は（Ｎ＋１）／２で
あり、親溶媒の１回当りの供給量は親溶媒の供給総量で
あるＭｋＡを上記回数（Ｎ＋１）／２で除した量、すな
わちＭｋＡ・２／（Ｎ＋１）となるのである。次いでＭ
ｋＢ・２／　（Ｎ−１）の量の貧溶媒を供給する（ステ
ップ３２６）。すなわちＮが奇数の場合に最初に親溶媒
を供給するときには、貧溶媒の供給回数は（Ｎ−１）／
２となり、したがって貧溶媒の１回当りの供給量は貧溶
媒の供給総量ＭｋＢを上記回数（Ｎ−１）／２と除した
量、すなわちＭｋＢ・２／（Ｎ−１）となるのである。

次いでｎに１を加算する（ステップ５２７）。

次いでこのｎの値が（Ｎ−１）／２の値に達したかどう
かが判断される（ステップ８２８）。すなわち（Ｎ−１
）／２は最後に供給される親溶媒の供給を除くＮ−１回
について、ステップＳ２５とステップＳ２６を１つの過
程としたときのその過程の繰返し数を意味する。ｎが（
Ｎ−１）／２に達していないときはステップＳ２５に移
行し、ステップＳ２５とステップＳ２６とステップＳ２
７とを繰返す。そしてｎが（Ｎ−１）／２に達した場合
には、ステップＳ２９に移行し、ＭｋＡ・２／　（Ｎ＋
１）の量の親溶媒を供給した後ストップする。一方ステ
ップＳ２４でＮが偶数と判断された場合にはＭｋＡ・２
／Ｎの量の親溶媒を供給する（ステップ５３０）。すな
わちＮが偶数の場合には親溶媒の供給回数はＮ／２とな
り、１回当りの親溶媒の供給量は供給量３１ＭｋＡを上
記回数Ｎ／２で除した量となる。次いでＭｋＢ・２／Ｎ
の量の貧溶媒を供給する（ステップ５３１）。これにつ
いても同様である。次いでｎに１を加算しくステップＳ
３２　）　、次いでこのｎの値がＮ／２に達したかどう
かを判断する（ステップ５３３）。ｎがＮ／２に達して
いないときはステップＳ３０に移行し、ステップＳ３０
　とステップＳ３１とステップＳ３２とを繰返す。そし
てｎがＮ／２に達した場合にはその時点で供給をストッ
プする。

このように親溶媒と貧溶媒とを交互に供給することよっ
て計量容器２１内で親溶媒と貧溶媒との混合が進み、そ
のためこのような２液が保存容器４１内に送られた場合
には、撹拌機４３による２液の混合時間を短縮でき、そ
の結果、均一に混合された現像液を迅速に得ることが可
能となる。

また親溶媒と貧溶媒との供給を次のように行うことも可
能である。この供給方法を第９図に示すフローチャート
図に基づいて説明すると、まず計量容器２１に供給され
るａ溶媒と貧溶媒との合計重量Ｍを設定する（ステップ
５４０）。次いで親溶媒と貧溶媒の混合比率ｋＡ、　ｋ
Ｂを設定する（ステップＳ４１　）。次いでｎを初期値
０に設定する（ステップ５４２）。次いでｎに１を加算
する（ステップ５４３）。次いでｎの値が奇数かどうか
を判断しくステップＳ４４　）　、ｎの値が奇数である
ときはステップＳ４５に移行し、偶数であるときはステ
ップ３４８に移行する。ステップＳ４５に移行した場合
にはＭｋＢの量の貧溶媒を供給する。次いでＭｋＡの量
の親溶媒を供給する（ステップ５４６）。そしてステッ
プＳ４７において２液の新たな補給が必要かどうかの判
断がなされる。この判断は、保存容器４１のレベルセン
サ４４からの出力の有無によって行う。補給が必要でな
い場合にはそのまま待機し、補給が必要な場合にはステ
ップＳ４３に移行し、ｎの値に１が加算される。そして
前回の供給におけるｎの値が奇数であった場合には、今
度はｎの値が偶数となり、ステップＳ４４でｎの値が偶
数と判断されて、ステップ３４８に移行する。そこで今
度はまずＭｋＡＯ量の親溶媒が供給され、次いでステッ
プＳ４９でＭｋＢの量の貧溶媒が供給されることになる
。このように供給毎に親溶媒と貧溶媒との供給順序を入
れ替わるようなされているので、計量容器２１の内壁面
に接触する溶媒が親溶媒と貧溶媒とで入れ替わることに
なり、その分だけ計量容器２１内での混合が進み、上記
の場合と同様に、保存容器４１に移した後の撹拌機４３
による撹拌時間を短縮することができ、そのためすばや
く混合液を得ることが可能となる。

次に上記構成の各弁の作動状態を第１０図に示すタイミ
ング図に基づいて説明する。まず粗量吐出用バルブ１０
．１２と微量吐出用バルブ９．１１を上記したような制
御方式に従って親溶媒と貧溶媒とを計量容器２１内に供
給する。次いで開閉弁２７．５２を開にして上記２液を
保存容器４１内に移し、再び開閉弁２７．５２を閉にす
る。２液を保存容器４１内で撹拌機４３で混合した後、
圧力配管４５と加圧配管４７とが連通ずるように三方弁
４６を切換え、保存容器４１の液面上方の空間を加圧す
る。そして現像装置５１内部での現像準備が完了すると
、開閉弁５０が開にされ、ノズル５９から混合液、すな
わち現像液がウェーハ５８に吹きつけられることになる
。一方レベルセンサ４４によって保存容器４１内の混合
液が所定残量となったのが検知されると、粗量吐出用パ
ルプ１Ｏ１１２と微量吐出用バルブ９．１１とが上記と
同様にして親溶媒と貧溶媒とを計量容器２１内に供給さ
れるよう制御されることになる。そして計量容器２１か
ら保存容器４１にその２液が供給される際には、圧力配
管４５と排出配管４８とを連通ずるように三方弁４６を
切換えて保存容器４１内部の空間を常圧に戻した後、開
閉弁５２を開にする。なお混合比率変更時にはバルブコ
ック５４を開にして保存容器４１内の残留液を排出すれ
ばよい。

上記実施例においては、粗量吐出用バルブ１０．１２と
微量吐出用バルブ９．１１とを用い、まず粗量吐出用パ
ルプで溶媒を供給し、次いで微量吐出用バルブで溶媒を
微量づつ供給するようにしたので、溶媒はすばやく、し
かも正確に所定の重量だけ供給することが可能であり、
そのため所定の混合比率の２液をすばやく、しかも正確
に得ることができる。

そして現像液の濃度に非常に敏怒なレジストの現像に最
適な現像時間と混合比率との関係を、予備テストによっ
て、例えば第１１図に示すように予め求めておけば、そ
のような関係に忠実な混合比率の現像液の各組成が可能
となる。そのためパターンプロファイルの仕上り具合が
向上する（第１７図参照）と共に、現像時間が短縮され
（第１９図参照）、さらに現像液の消費量を低下させる
ことも可能となる。

第１２図には上記構成の変形例を示している。

同図のように、３台の重量計量器２２．２２．２２の各
計量部２３．２３．２３に計量容器２１．２１．２１を
載置し、゛さらに各計量容器２１．２・１．２１に対応
して保存容器４１．４１．４１が配置されている。この
変形例においては、例えば第１１図に示すような３種の
混合比率の現像液を得るために、各計量容器２１．２１
．２１にそれぞれの混合比率の２液を供給し、各保存容
器４１．４１．４１に移すようになされる。そして各保
存容器４１．４１．４１の現像液は現像装置５１に設け
た各ノズル５９．５９．５９から吹出しのタイミングに
合わせてウェーハ５８に対して噴出されることになる。

また第１３図にはさらに他の実施例を示している。この
変形例においては、同図に示すように、１台の重量計量
器２２の計量部２３に１つの計量容器２１を載置し、こ
の計量容器２１の供給管部２６を３つに分岐させ、各分
岐部６０．６１．６２に対応して３つの保存容器４１．
４１．４１がそれぞれ配置されている。この変形例にお
いても、上記変形例と略同様の作用をなす。なお上記実
施例と同一の部分については、同一の符号で示し、その
説明を省略している。

上記各変形例においても、上記実施例と同様に計量容器
への親溶媒と貧溶媒との供給をすばやく、しかもその混
合比率を正確なものにすることが可能である。

以上、この発明の液計量装置の具体例について説明した
が、この発明の液計量装置は上記実施例に限定されるも
のではなく、この発明の範囲内で種々変更して実施する
ことができる。例えば上記実施例においては、現像液の
貧溶媒と親溶媒との調合、及び現像液の重量を計量する
ものについて説明したが、この液計量装置は液をすばや
くしかも正確に計量することの要求されるいずれの場合
にも適用することが可能である。また上記実施例におけ
るように、給液タンク１から１本の給液配管を延ばし、
途中で複数に分岐させて成る配管部５．６のみならず、
液供給源から複数本の配管を延設することによって供給
配管部５．６を構成してもよい。

（発明の効果） 上記したように、この発明の液計量装置においては、粗
量吐出用バルブと微量吐出用バルブとを用い、まず粗量
吐出用バルブで液を供給し、次いで微量吐出用バルブで
液を微量づつ供給し、所定重量の液を計量するようにし
たので、すばやく、しかも正確に所定重量の液を得るこ
とが可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の液計量装置の一実施を示す説明図、
第２図は上記液計量装置に用いられる微量吐出用バルブ
の一例を示す一部断面図、第３図は上記液計量装置に用
いられる重量計量器の一例を示す原理説明図、第４〜第
６図はそれぞれ計量容器の供給管部に設けられる開閉弁
の説明図、第７〜第９図は制御フローチャート図、第１
０図は第１図に示す装置に使用されている弁の開閉のタ
イミング図、第１１図は現像時間と現像液の濃度との関
係を示すグラフ、第１２図及び第１３図はそれぞれ上記
実施例の変形例を示す説明図、第１４図はエタノール濃
度とレジストに対する感度との関係を示すグラフ、第１
５及び第１６図はそれぞれ一定濃度の現像液を用いた場
合の種類の異なるレジストについての現像時間とレジス
ト残膜厚さとの関係を示すグラフ、第１７図は親溶媒と
貧溶媒とのそれぞれのレジストに対する解像性を比較す
るための説明図、第１８図はレジストのポジ部の膜減り
の説明図、第１９図は現像時間の短縮の度合を残膜量で
比較説明したグラフ、第２０図は従来の２液温合装置を
示す説明図である。 １・・・加圧式給液タンク（液供給源）、５．６・・・
分岐部（供給配管部）、９・・・微量吐出用バルブ、１
０・・・粗量吐出用バルブ、２１・・・計量容器、２２
・・・重量計量器、２３・・・計量部。 特許出願人　　　　　　　ダイキン工業株式会社代　理
　人　　　　　西　森　正　博・第２図 第３図 第７図　− 第８図 第１４図 アルコづり 第１５図 □　硯イ復時間　（：＄） 現像Ｆ４問（介）

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、重量計量器（２２）の計量部（２３）に載置した容
   器（２１）の内方に、液供給源（１）からの複数の供給
   配管部（５）（６）を臨ませ、一方の供給配管部（５）
   には粗量吐出用バルブ（１０）を、他方の供給配管部（
   ６）には微量吐出用バルブ（９）をそれぞれ介設したこ
   とを特徴とする液計量装置。