JPS63250095A - Microwave discharge light source - Google Patents
Microwave discharge light sourceInfo
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はマイクロ波エネルギーにより無電極、放電ラン
プを点灯させるマイクロ波放電光源装置に関し、特に高
出力化したマイクロ波放電光源装置の改良に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a microwave discharge light source device for lighting an electrodeless discharge lamp using microwave energy, and particularly relates to an improvement of a microwave discharge light source device with increased output.
第７図、第８図１ま例えば特公昭５７−４．４２２８号
公報に示された従来のマイクロ波放電光源装置の構成図
である。図（とおいて、（１）は非共振マイクロ波空胴
、（６）は負荷（ランプ） 、ｆｌ、）および（１０１
）はマイクロ波発生手段、（３）および（１０３）はマ
イクロ波結合手段、（５）および（１０５）はカップリ
ングスロッ１．．．（４２１はメツシュスクリーンであ
る。ことて負荷（６）は細長い無電極の放電ランプ、（
１）および（１０１）はマグネトロン、（３）および（
１０３１は導波管が使用されておす、（５）および（＋
０５）のカップリングスロッＪ・はマイクロ波空胴班の
長手方向中心軸に対する対線に対して方位的にずれてお
り、またマイクロ波空胴（４）の端壁（４６）、（１４
６）から距郊を異ｌどして設けられている。このような
構成の従来のマイクロ波放電光源装置（ま長手方向に延
在する非共振空胴に手方向に沿って配設された細長い無
電極放電ランプを効率よく、またマイクロ波の定在波に
よるプラズマの局部的プラズマの集中を避けるよう考慮
されたマイクロ波放電光源装置であり、この動作はマグ
ネトロン（１）、（１０］１により発生されたマイクロ
波エネルギーはそれぞれ導波管（３）、（１０３）を介
してカップリンゲスロツＩ−（５１、（１０５）をそれ
ぞれ通してマイクロ波空胴班内に導かれ、細長い無電極
放電ランプ（６）に結合されて放電発光するものである
。このとき、一方のマグネトロン（１）により発生した
マイクロ波は導波管（３）、カップリングスロット（５
）を介（７て導入されたマイクロ波エネルギーはカップ
リングスロット（５）側から他端に向って徐々に無電極
放電ランプ（６）に吸収され、プラズマに変換され、さ
らには光などに変換される。したがって、一つのカップ
リングスロットからのマイクロ波エネルギーの導入では
無電極放電ランプの長手方向に沿って発光のムラを生じ
る。その欠点を除去するため、もう−万端よりカップリ
ングスロッｌ−（１０５）を介１ノでマイク０波エネル
ギーを導入し、発光ムラを軽減するようにしている。ま
た、両マグネトロン間のマイクロ波的に結合を避けるた
めに、およびマイクロ波の定在波の発生を防止するため
にカップリングスロットの配設の位置や方位を変えて設
けるとともにマグネトロンの発振周波数が少々ずれてい
るものを２個使用している。7 and 8 are configuration diagrams of a conventional microwave discharge light source device disclosed in, for example, Japanese Patent Publication No. 57-4.4228. (1) is the non-resonant microwave cavity, (6) is the load (lamp), fl, ) and (101
) are microwave generating means, (3) and (103) are microwave coupling means, and (5) and (105) are coupling slots 1. ．． ．． (421 is a mesh screen. The load (6) is an elongated electrodeless discharge lamp, (
1) and (101) are magnetrons, (3) and (
1031 uses a waveguide, (5) and (+
05) is azimuthally offset with respect to the pair with respect to the longitudinal center axis of the microwave cavity section, and the end walls (46), (14) of the microwave cavity (4)
It is set up at a different distance from 6). Conventional microwave discharge light source devices with such a configuration (i.e., elongated electrodeless discharge lamps disposed along the longitudinal direction in a non-resonant cavity extending in the longitudinal direction) can be used efficiently and with microwave standing waves. This is a microwave discharge light source device designed to avoid local concentration of plasma caused by plasma, and this operation is such that the microwave energy generated by the magnetrons (1) and (10) is transferred to the waveguides (3) and (10), respectively. (103) and through the coupling slots I-(51, (105)) into the microwave cavity, and are coupled to the elongated electrodeless discharge lamp (6) to emit discharge light. At this time, the microwaves generated by one magnetron (1) are transmitted through the waveguide (3) and the coupling slot (5).
) The microwave energy introduced through (7) is gradually absorbed into the electrodeless discharge lamp (6) from the coupling slot (5) side toward the other end, and is converted into plasma and then into light, etc. Therefore, introducing microwave energy from one coupling slot causes uneven light emission along the longitudinal direction of the electrodeless discharge lamp. Microwave 0 wave energy is introduced through (105) to reduce uneven light emission.In addition, in order to avoid microwave coupling between both magnetrons, and to reduce the microwave standing wave. In order to prevent this from occurring, the positions and orientations of the coupling slots are changed, and two magnetrons whose oscillation frequencies are slightly different are used.
このような従来のマグネトロン２個を使用したマイクロ
波放電光源装置においては、長手方向に延在する非共振
のマイク０波空胴、細長い無電極放電ランプをもって実
現される。Such a conventional microwave discharge light source device using two magnetrons is realized with a non-resonant zero-wave microphone cavity extending in the longitudinal direction and an elongated electrodeless discharge lamp.
Ｃ発明が解決しようとする問題点〕
ｌζ１
しかしながら、このような従来のものにおいては、例え
ばマイクロ波共振空胴内に配設した無電極ランプを点灯
させるマイクロ波放電光源装置ではマイクロ波共振空胴
を励振する電磁界モードが決まっているので、単純に２
つ以上のマグネトロンより発振されたマイクロ波を２つ
の給電口から給電したのでは実現できない。まり、一つ
のマグネトロン−っ給電Ｊ：リマイクロ波共振空胴内の
無電極放電ランプを構成出力で点灯すると電磁モードに
したがって生じる電磁界強度の分布の違いによりランプ
に発光ムラを生し、またランプ壁の温度が一様にならず
ムラを生しランプ寿命を短くするなどの欠点がある。C Problems to be Solved by the Invention] lζ1 However, in such conventional devices, for example, in a microwave discharge light source device for lighting an electrodeless lamp disposed within a microwave resonant cavity, the microwave resonant cavity Since the electromagnetic field mode that excites is determined, simply 2
This cannot be achieved by feeding microwaves oscillated by more than one magnetron from two power feed ports. Therefore, when an electrodeless discharge lamp in a single magnetron-supplied microwave resonant cavity is lit at the configured output, uneven light emission occurs in the lamp due to differences in the distribution of electromagnetic field strength that occur according to the electromagnetic mode. The disadvantage is that the temperature on the lamp wall is not uniform, causing unevenness and shortening the lamp life.
また、高出力のマグネトロンは高価であり、例えば家庭
用電子レンジなどに使われる低出力の安価なマグネトロ
ンを複数個が使用できれば安価なマイクロ波放電光源装
置を押供（７得る。In addition, high-output magnetrons are expensive, and if a plurality of low-output, inexpensive magnetrons, such as those used in household microwave ovens, can be used, an inexpensive microwave discharge light source device can be obtained.
この発明は、上記従来の欠点を除去し、無電極放電ラン
プが配設された１ぢ弓イク「Ｉ波共振空胴を２個以上の
マグネトロンで動作させ、高出力化を図ったマイクロ波
放電光源装置を提供するものである。This invention eliminates the above-mentioned drawbacks of the conventional technology, and aims to achieve high output by operating a one-wave I-wave resonant cavity equipped with an electrodeless discharge lamp with two or more magnetrons. A light source device is provided.
この発明のマイクロ波放電光源装置において、マイクロ
波共振空胴、このマイクロ波共振空胴内に配設された無
電極ランプを含み、」二記空胴ば少なくとも２つ以上の
給電口（カップリングスロッ）・）を有し、かつ」１記
それぞれの給電口から給電されたマイクロ波によって形
成される」二部空胴内にマイクロ波電磁界がそれぞれ９
０゜の位相差をもつよう、上記給電口を配設したもので
ある。The microwave discharge light source device of the present invention includes a microwave resonant cavity, an electrodeless lamp disposed within the microwave resonant cavity, and the cavity has at least two or more power feed ports (couplings). The microwave electromagnetic field in the two-part cavity is formed by the microwaves fed from the respective feed ports.
The above-mentioned power supply ports are arranged so as to have a phase difference of 0°.
Ｃ作用〕
この発明によるマイクロ波放電光源装置によると、２個
以上のそれぞれの給電口から給電されたマイクロ波のマ
イクロ波空胴内に形成されるマイクロ波電磁界が位相差
９０°になる位置に配設したことが、それぞれの給電口
から給電されたマイクロ波がそれぞれ他の給電口の位置
において、その給電口を介しての結合を疎にするように
動作し、それぞれの給電口からの給電されたマイクロ波
は他の給電口からのマイクロ波に対して独立した系とな
り、相互の給電口間の干渉をなくし、２つ以上の給電口
からの同時給電を可能にする。C effect] According to the microwave discharge light source device according to the present invention, the microwave electromagnetic field formed in the microwave cavity of the microwaves fed from two or more feed ports has a phase difference of 90°. This means that the microwaves fed from each power supply port operate to make the coupling loose through that power supply port at the position of each other power supply port, and the microwaves fed from each power supply port The supplied microwave becomes an independent system with respect to microwaves from other power supply ports, eliminates interference between the power supply ports, and enables simultaneous power feeding from two or more power supply ports.
第１図はこの発明の一実施例を示すマイクロ波放電光源
装置の主要構成を示す図で、給電口、導波管およびマイ
クロ波発生器ずなわちマグネＩ・ロンをそれぞれ２個を
用いた例を示す。同図中（１）および（１０１）はマイ
クロ波を発生ずるマイクロ波発生器であるマグネトロン
、（２）および（１０２）はマグネトロンアンテナであ
り、（３）および（１０３）はマグネＩ・ロンアンテナ
（２）、（１０２１より放射されたマイクロ波を伝送す
る導波管であり、班は内部に無電極放電ランプ（６）が
配設された立方体のマイクロ波共振空胴で、光透過する
がマイクロ波を反射する金属性メツシー（４２）、（４
３）、（４４）、（４５）と給電口（５）、（１０５）
を有する面（４１）、（１４，１）て囲まれている空胴
である。無電極放電ランプは支持棒部（６１）をもち、
その先端は給電口面（４１）を貫通して止め具（６２）
で固定支持される。また、給電口（４１）、（１４］１
は導波管（３）、（１０３１にそれぞれ接続されている
。（７〕）、（３７１）はマグネトロンを冷却するファ
ンで、（７）はランプを冷却するファンである。ＱＯ）
は箱体である。FIG. 1 is a diagram showing the main configuration of a microwave discharge light source device showing an embodiment of the present invention, in which two power feed ports, two waveguides, and two microwave generators, ie, Magne I Rons, are used. Give an example. In the figure, (1) and (101) are magnetrons that generate microwaves, (2) and (102) are magnetron antennas, and (3) and (103) are magnetron antennas. (2), (1021) It is a waveguide that transmits the microwave emitted from the microwave, and the waveguide is a cubic microwave resonant cavity with an electrodeless discharge lamp (6) installed inside, which allows light to pass through. Metal mesh that reflects microwaves (42), (4
3), (44), (45) and power supply ports (5), (105)
It is a cavity surrounded by planes (41) and (14,1). The electrodeless discharge lamp has a support rod part (61),
Its tip passes through the power supply port surface (41) and connects to the stopper (62).
Fixedly supported. In addition, the power supply port (41), (14]1
are connected to waveguides (3) and (1031), respectively. (7) and (371) are fans that cool the magnetron, and (7) is a fan that cools the lamp. QO)
is a box body.
このように構成されたこの発明によるマイクロ波放電光
源装置を動作させると、マグネ１−ロン（１）から発振
されたマイクロ波はマグネｌ−ロンアンテナ（２）より
導波管（３）に伝相（され給電口（５）よりマイクロ波
共振空胴（４）内へ導かれる。また、マグネトロン（１
０１）より発振されたマイクロ波も同様に給電口（１０
５）を介してマイクロ波空胴班内に同時に導かれる。こ
のようにして導かれたマイクロ波によって無電極放電ラ
ンプは放電、発光し、光は金属メツシュ（４２）、（４
３）、（４４）、（４５）を通して外部へ放出される。When the microwave discharge light source device according to the present invention configured as described above is operated, the microwave oscillated from the magnetron (1) is transmitted from the magnetron antenna (2) to the waveguide (3). The phase is guided into the microwave resonant cavity (4) from the feed port (5).
Similarly, the microwave oscillated from the power supply port (10
5) into the microwave cavity at the same time. The microwaves guided in this way cause the electrodeless discharge lamp to discharge and emit light, and the light is emitted from the metal meshes (42) and (4).
3), (44), and (45) to the outside.
しかし、マグネ１−ロン（Ｈ、（１０１）より発振され
たマイクロ波は１つのマイクロ波共振空胴班に導かれろ
ため、給電口の配設位置および導波管の接続のし方を特
定しないと互いに干渉し合い、マグネトロン（１）より
発振されたマイクロ波がマグネトロン（１０Ｈ側がへ伝
搬されて、またマグネトロン（１０Ｊ）より発振された
マイクロ波はマグネト四ン（１）側に伝 されてマグネ
トロンを過熱破損させる原因となる。この発明によれば
、例えばマイクロ波共振空胴班が共振モードＴＥ＋ｏ＋
て励振される共振空胴であれば、互いの給電口を第１図
の（５］、 （１０５１のように一つの辺（１０Ｇ）を
共有しｔ：２つの面で共有辺（１０６）に平行な長辺を
もつ給電口が設けられ、導波管はマイクロ波工学でいう
Ｅ面が共有辺（１０６）と平行になろ」：う配設される
。このようにすると、給電口（５）から給電されてマイ
クロ波共振空胴班内に生しる電磁界と給電口（１０５１
から給電されて生しる電磁界とが互いに９０°の位相を
もち、互いに干渉しなくなり、無電極放電ランプにマイ
クロ波を供給できる。However, since the microwaves oscillated by Magneron (H, (101)) are guided to one microwave resonant cavity, the location of the power feed port and the method of connecting the waveguides are not specified. The microwaves oscillated by the magnetron (1) are propagated to the magnetron (10H side), and the microwaves oscillated by the magnetron (10J) are propagated to the magnetron (1) side, and the microwaves are transmitted to the magnetron (10H side). According to the present invention, for example, the microwave resonant cavity group may cause the resonant mode TE+o+
If the resonant cavity is excited by A feed port with parallel long sides is provided, and the waveguide is arranged so that the E plane in microwave engineering is parallel to the shared side (106).In this way, the feed port (5 ) and the electromagnetic field generated inside the microwave resonant cavity and the power supply port (1051
The electromagnetic fields generated by being supplied with power have a phase of 90° to each other and do not interfere with each other, making it possible to supply microwaves to the electrodeless discharge lamp.
また、給電口の長辺は必ずしも正確に共有辺と平行でな
くともよい。さらに、例えば給電口（１０５）ば給電口
の長辺を共有辺（＋０６１とはほぼ直角になるように配
設しても、マイクロ波共振空胴班内に生じるマイクロ波
電磁界の位相差をほぼ９０“にする乙とができ、２つの
給電口から給電できる。この実施例において、無電極ラ
ンプを点灯させると給電口（５）より給電されたマイク
ロ波によってランプの（ａｌ、（ａ”）近傍の電界強が
強くなるので（ａ）、（ａ′）近傍の発光が強く、その
近傍のランプ壁が他の部分より高くなる給電口（１０５
１より給電されたマイクロ波によってＴｂ）、（ｂ′）
近傍の発光が強く、ランプ壁の温度も他の部分に比へて
なるが一つの給電口より給電した場合に比へて、発光ム
ラおよびランプ壁温度の局部的過熱が分散され一様に近
づく。Further, the long side of the power feeding port does not necessarily have to be exactly parallel to the shared side. Furthermore, for example, even if the long side of the power feed port (105) is arranged so that it is almost perpendicular to the common side (+061), the phase difference of the microwave electromagnetic field generated within the microwave resonant cavity is In this embodiment, when the electrodeless lamp is turned on, the microwaves supplied from the power supply port (5) cause the lamp's (al, (a) ) The electric field strength in the vicinity becomes strong, so the light emission in the vicinity of (a) and (a') is strong, and the lamp wall in the vicinity is higher than the other parts.
Tb), (b') by the microwave supplied from 1
The light emission in the vicinity is strong, and the temperature of the lamp wall is also different from other parts, but compared to when power is supplied from a single power supply port, uneven light emission and local overheating of the lamp wall temperature are dispersed and the temperature becomes more uniform. .
第３図、第４図は、この発明のもう一つの実施例を示す
もので、（２４２）は」二面を金属メツシュで蓋をした
円筒形の金属メツシュで構成され、底面は給電口面（４
１）で２つの給電口（５）、（１０５）が長辺に互いに
ほぼ直行するように配設された円筒形のマイクロ波共振
空胴を示す。このように構成すると、マイクロ波共振空
胴（２４２）が共振モードＴＥ＋ｏ□で励振されると内
部の電磁界は互いに第３図のように９０°の位相差をも
ち、２゛ っのマグネトロンが干渉しなくなり、無電極
ランプにマイクロ波を供給できる。また、発光ムララン
プ過熱箇所も方形共振空胴のときと同様に４つに分散し
て、一様な分布に近づく。FIGS. 3 and 4 show another embodiment of the present invention, in which (242) is composed of a cylindrical metal mesh whose two sides are covered with metal mesh, and the bottom surface is the power supply port surface. (4
1) shows a cylindrical microwave resonant cavity in which two feed ports (5) and (105) are arranged on the long sides so as to be substantially orthogonal to each other. With this configuration, when the microwave resonant cavity (242) is excited in the resonance mode TE+o□, the internal electromagnetic fields have a phase difference of 90° from each other as shown in Figure 3, and the 2゛ magnetron There is no interference and microwaves can be supplied to electrodeless lamps. In addition, the overheated portions of the uneven light emitting lamp are also distributed into four areas, similar to the case of the rectangular resonant cavity, and the distribution approaches a uniform distribution.
以上の実施例の説明は、マグネトロン２個のものについ
て述へたが、３個以上の場合にも適用できる。例えば、
立方体の共振空胴に３個の給電口、３個の導波管、３個
のマグネトロンを用いた場合は第５図に示すように一綾
を共有する３つそれぞれ面に給電口を、その長辺方向か
一辺を共有する面の給電口３者互いにほぼ直交するよう
に配設し、３つの導波管も３考方いに直交するように配
設ずれば実現できる。Although the above embodiment has been described with reference to two magnetrons, it can also be applied to a case with three or more magnetrons. for example,
When three feed ports, three waveguides, and three magnetrons are used in a cubic resonant cavity, as shown in Figure 5, the feed ports are placed on each of the three faces that share a single line. This can be achieved by arranging the three feed ports on the long side or on the plane that shares one side so that they are substantially perpendicular to each other, and also by arranging the three waveguides so that they are perpendicular to each other.
以上説明したようにこの発明は、一つのマイクロ波共振
空胴内に配設された無電極ランプを２つ以上の給電口、
およびこの給電口に対応して接続される導波管をマイク
ロ波共振空胴内に形成されるマイクロ波電磁界がそれぞ
れ９０’の位相差をもつように配設し、このマイクロ波
電磁界中で無電極ランプを点灯するように１７なので、
無電極ランプの発光ムラおよびランプ壁の局所的過熱を
防止でき、さらにランプの高出力化が実現される。一方
、このランプ高出力化に伴うマイクロ波発生器を特殊な
ものとすることなく、通常の家庭用電子レンジなどに使
用されているマグネトロンを使用する乙とが可能となり
、安価なマイクロ波放電光源装置を得ることができる。As explained above, the present invention provides an electrodeless lamp arranged in one microwave resonant cavity with two or more power feeding ports,
A waveguide connected to the feed port is arranged so that the microwave electromagnetic field formed in the microwave resonant cavity has a phase difference of 90', and the microwave electromagnetic field is 17 so that the electrodeless lamp is lit,
It is possible to prevent uneven light emission of the electrodeless lamp and local overheating of the lamp wall, and furthermore, it is possible to increase the output of the lamp. On the other hand, with the increase in lamp output, it is possible to use magnetrons used in ordinary household microwave ovens without having to use a special microwave generator, making it possible to use an inexpensive microwave discharge light source. You can get the equipment.
第１図はこの発明によるマイクロ波放電光源装置の一実
施例を示す図で、立方体のマイクロ波共振空胴を有する
ものの例を示す。第２図（よ第１図の立方体共振空胴の
電磁界モードを示す。
第３図および第４図はもう一つの実施例の主要部を示す
図で、第３図は平面図、第４図は正面図を示す。第５図
は第４図の円筒形共振空胴内の電界モードを示す。第６
図は本発明によるマイクロ波放電光源装置の立方体の共
振空胴に３個の給電口および導波管の配置を示す図であ
る。
第７図は従来の２つの給電口および導波管、マグネトロ
ンを使用したマイクロ波放電光源装置の例を示し、第８
図はその全形を示す斜視図である。
図において、（１）、（１０１）はマグネトロン、（２
）、（２０２１はマグネ）・ロンアンテナ、（３）、（
１０３）は導波管、（９）はマイクロ波共振空胴、（４
１）、（１４１）は給電口面、（５）、（１０５）は給
電口、（６）は無電極放電ランプ、（７）はランプ冷却
ファン、（７１）、（１７］）はマグネトロン冷却ファ
ンである。
なお、各図中同一符号は同一または相当部分を示す。FIG. 1 is a diagram showing an embodiment of a microwave discharge light source device according to the present invention, and shows an example of one having a cubic microwave resonant cavity. Figure 2 shows the electromagnetic field mode of the cubic resonant cavity in Figure 1. Figures 3 and 4 are diagrams showing the main parts of another embodiment, with Figure 3 being a plan view and The figure shows a front view. Figure 5 shows the electric field modes in the cylindrical resonant cavity of Figure 4.
The figure is a diagram showing the arrangement of three power feed ports and a waveguide in a cubic resonant cavity of a microwave discharge light source device according to the present invention. Figure 7 shows an example of a conventional microwave discharge light source device using two power feed ports, a waveguide, and a magnetron.
The figure is a perspective view showing the entire shape. In the figure, (1) and (101) are magnetrons, (2
), (2021 is Magne) Ron antenna, (3), (
103) is a waveguide, (9) is a microwave resonant cavity, (4
1), (141) are power supply ports, (5), (105) are power supply ports, (6) is electrodeless discharge lamp, (7) is lamp cooling fan, (71), (17]) are magnetron cooling I'm a fan. Note that the same reference numerals in each figure indicate the same or corresponding parts.
Claims (4)
イクロ波発生器より発生されたマイクロ波を伝送する導
波管、この導波管に給電口を介して接続されたマイクロ
波共振空胴、このマイクロ波共振空胴内に配設された無
電極放電ランプとを備えたマイクロ波放電光源装置にお
いて、上記マイクロ波共振空胴は少なくとも２つの給電
口および各々の給電口を介して接続された導波管とを有
し、それぞれの給電口から給電されたマイクロ波によっ
て上記マイクロ波共振空胴内に形成されるマイクロ波電
磁界がそれぞれ９０°の位相差をもつよう上記それぞれ
の給電口および導波管を配設したことを特徴とするマイ
クロ波放電光源装置。(1) A microwave generator that generates microwaves, a waveguide that transmits the microwaves generated by this microwave generator, a microwave resonant cavity connected to this waveguide via a power supply port, In this microwave discharge light source device including an electrodeless discharge lamp disposed within the microwave resonant cavity, the microwave resonant cavity is connected through at least two power supply ports and each power supply port. a waveguide, and each of the above-mentioned feed ports and a waveguide are arranged so that the microwave electromagnetic fields formed in the microwave resonance cavity by the microwaves fed from the respective feed ports have a phase difference of 90°. A microwave discharge light source device characterized in that a waveguide is provided.
有する二面の給電口面各々の他面が透光性金属メッシュ
とで構成され給電口の長辺が上記共有面と平行となるよ
う給電口を配設し、さらに各々の給電口に対し、導波管
のＨ面を上記共有一辺と平行になるよう上記導波管を接
続したことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のマ
イクロ波放電光源装置。(2) The microwave resonant cavity is a cube, and the other side of each of the two feeding port surfaces sharing one side is composed of a transparent metal mesh, and the long side of the feeding port is parallel to the shared surface. Claim 1, characterized in that the power feeding ports are arranged as shown in FIG. The microwave discharge light source device described above.
有する２つの給電口面と他面が透光性金属メッシュとで
構成され、一方の給電口をその給電口の長辺が共有一辺
と平行となるよう配設し、さらにこの給電口に対して導
波管のＨ面を上記共有一辺と平行になるよう配設すると
ともに、もう一方の給電口をその給電口の長辺が共有一
辺と直交するように配設し、導波管のＨ面を上記共有一
辺と直交するように導波管を配設したことを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載のマイクロ波放電光源装置。(3) The above-mentioned microwave resonant cavity is a cube, and is composed of two feeding port surfaces sharing one side and a translucent metal mesh on the other side, and one feeding port is configured with the long side of the feeding port sharing one side. Furthermore, the H-plane of the waveguide is arranged parallel to this feeding port, and the long side of the other feeding port is shared with the other feeding port. The microwave discharge light source according to claim 1, characterized in that the waveguide is arranged so as to be orthogonal to one side, and the waveguide is arranged so that the H plane of the waveguide is orthogonal to the shared one side. Device.
ぐ給電口面と上面および側面を透光性金属メッシュで構
成され、上記給電口面には２つの長方形の給電口を有し
、互いに長辺方向が直交するよう配設し、さらに導波管
のＨ面が上記給電口の長辺方向と平行になるようそれぞ
れの導波管を配設したことを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載のマイクロ波放電光源装置。(4) The microwave resonant cavity has a cylindrical shape, and the feeding port surface that closes the bottom, and the top and side surfaces are made of transparent metal mesh, and the feeding port surface has two rectangular feeding ports, Claims characterized in that the waveguides are arranged such that their long side directions are orthogonal to each other, and further, the respective waveguides are arranged so that the H plane of the waveguide is parallel to the long side direction of the power feeding port. 2. The microwave discharge light source device according to item 1.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8511487A JPS63250095A (en) | 1987-04-07 | 1987-04-07 | Microwave discharge light source |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8511487A JPS63250095A (en) | 1987-04-07 | 1987-04-07 | Microwave discharge light source |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63250095A true JPS63250095A (en) | 1988-10-17 |
Family
ID=13849600
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8511487A Pending JPS63250095A (en) | 1987-04-07 | 1987-04-07 | Microwave discharge light source |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63250095A (en) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH076738A (en) * | 1992-03-12 | 1995-01-10 | Fusion Syst Corp | Microwave lamp having rotational field |
| US5606571A (en) * | 1994-03-23 | 1997-02-25 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Microwave powered gas laser apparatus |
| JP2008276986A (en) * | 2007-04-25 | 2008-11-13 | Hitachi Ltd | Microwave irradiating device |
| JP2010135171A (en) * | 2008-12-04 | 2010-06-17 | Orc Mfg Co Ltd | Microwave discharge lamp |
| JP2011049026A (en) * | 2009-08-27 | 2011-03-10 | Iwasaki Electric Co Ltd | Light source device |
-
1987
- 1987-04-07 JP JP8511487A patent/JPS63250095A/en active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH076738A (en) * | 1992-03-12 | 1995-01-10 | Fusion Syst Corp | Microwave lamp having rotational field |
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| JP4572213B2 (en) * | 2007-04-25 | 2010-11-04 | 株式会社日立製作所 | Microwave irradiation device |
| JP2010135171A (en) * | 2008-12-04 | 2010-06-17 | Orc Mfg Co Ltd | Microwave discharge lamp |
| JP2011049026A (en) * | 2009-08-27 | 2011-03-10 | Iwasaki Electric Co Ltd | Light source device |
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