JPS63245283A - Piezoelectric motor - Google Patents
Piezoelectric motorInfo
- Publication number
- JPS63245283A JPS63245283A JP62077239A JP7723987A JPS63245283A JP S63245283 A JPS63245283 A JP S63245283A JP 62077239 A JP62077239 A JP 62077239A JP 7723987 A JP7723987 A JP 7723987A JP S63245283 A JPS63245283 A JP S63245283A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stator
- cylindrical
- piezoelectric motor
- rotor
- vibration
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 12
- 230000000750 progressive effect Effects 0.000 abstract 2
- 238000013016 damping Methods 0.000 abstract 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 abstract 1
- 230000002250 progressing effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 21
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 7
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 7
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 7
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 6
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 2
- 208000034656 Contusions Diseases 0.000 description 1
- 208000034526 bruise Diseases 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 1
- 230000000452 restraining effect Effects 0.000 description 1
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 1
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/16—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
- H02N2/163—Motors with ring stator
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は、超音波帯の固体共振に基づく進行波を利用
する形式のモータに関し、特に円筒状圧電振動子を利用
して構成された圧電モータに関する。[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention relates to a type of motor that utilizes traveling waves based on solid-state resonance in an ultrasonic band, and particularly relates to a piezoelectric motor configured using a cylindrical piezoelectric vibrator. Regarding motors.
［従来の技術］
第２図は、従来の圧電モータの一例を示す。この圧電モ
ータ１は、円環状の圧電振動子２を利用している。圧電
振動子２には、ロータ３が、抑え板４、ボルト５および
ばね６を用いて圧接されている。すなわち、固定プレー
ト８に固定されたボルト５に外挿されたばね６の弾発力
により圧接されている。ここでは、円環状の圧電振動子
２の面外撓み振動を利用することにより進行波を発生さ
せ、ロータ３を回転させるように構成されている。[Prior Art] FIG. 2 shows an example of a conventional piezoelectric motor. This piezoelectric motor 1 uses an annular piezoelectric vibrator 2. A rotor 3 is press-contacted to the piezoelectric vibrator 2 using a restraining plate 4, bolts 5, and springs 6. That is, the bolts 5 fixed to the fixing plate 8 are pressed against the bolts 5 by the elastic force of the springs 6 inserted therein. Here, the rotor 3 is configured to be rotated by generating a traveling wave by utilizing out-of-plane bending vibration of the annular piezoelectric vibrator 2 .
第３図は従来の圧電モータの他の例を示す。この圧電モ
ータ１１も、円環状の圧電振動子１２を用いて構成され
ている。ここでは、中空型の圧電モータを構成するため
に、円環状のロータ１３がステークとしての圧電振動子
１２に圧接されている。すなわち、ロータ１３は、圧電
振動子１２、およびベアリング１４とともにケース１５
内に積層されており、かっばね部材１６によりロータ１
３が圧電振動子１２側に圧接されている。FIG. 3 shows another example of a conventional piezoelectric motor. This piezoelectric motor 11 is also configured using an annular piezoelectric vibrator 12. Here, in order to configure a hollow piezoelectric motor, an annular rotor 13 is pressed against a piezoelectric vibrator 12 as a stake. That is, the rotor 13 is attached to the case 15 along with the piezoelectric vibrator 12 and the bearing 14.
The rotor 1 is
3 is pressed against the piezoelectric vibrator 12 side.
［発明が解決しようとする問題点］
第２図の圧電モータ１では、ステータとしての圧電振動
子２の支持は、固定プレート８、弾性部材９、ボルト５
およびばね６により、圧電振動子２をロータ３と固定プ
レート８との間に圧接挾持することにより行なわれてい
る。したがって、このロータ３を回転させるのに必要な
圧接力に加えて、支持に必要な力も圧電振動子２に加わ
っているので、圧電振動子２がロータ３により強くダン
ピングされる。その結果、振動一回転の変換効率を高め
ることができない。また、中空型の圧電モータを構成す
ることができない。[Problems to be Solved by the Invention] In the piezoelectric motor 1 shown in FIG.
This is accomplished by clamping the piezoelectric vibrator 2 between the rotor 3 and the fixed plate 8 by means of a spring 6 and a spring 6. Therefore, in addition to the pressing force necessary to rotate the rotor 3, the force necessary for support is also applied to the piezoelectric vibrator 2, so that the piezoelectric vibrator 2 is strongly damped by the rotor 3. As a result, the conversion efficiency per rotation of vibration cannot be increased. Furthermore, a hollow piezoelectric motor cannot be constructed.
他方、第３図の圧電モータ１１では、開口１５ａをａす
る筒状ケース１５内に円環状のロータ１３を圧電振動子
１２とともに収納することにより中空型の圧電モータが
構成されている。しかしながら、中空形状とするために
、ベアリング１４およびばね部材１６などの多くの部品
を必要とする。On the other hand, in the piezoelectric motor 11 shown in FIG. 3, a hollow piezoelectric motor is constructed by housing an annular rotor 13 together with a piezoelectric vibrator 12 in a cylindrical case 15 having an opening 15a. However, the hollow shape requires many parts such as the bearing 14 and the spring member 16.
また、このような多くの部品をケース１５に収納しなけ
ればならないため、全体の構造も複雑となる。Furthermore, since many of these parts must be housed in the case 15, the overall structure becomes complicated.
よって、この発明の目的は、支持構造により振動一回転
変換効率が低くならず、かつ簡単な構造で中空型とし得
る圧電モータを提供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION Therefore, an object of the present invention is to provide a piezoelectric motor that does not reduce the vibration per rotation conversion efficiency due to the support structure and can be made hollow with a simple structure.
［問題点を解決するための手段］
この発明の圧電モータは、円筒状の圧電振動子を利用し
たステータを用いる。円筒状のステータは、円筒の円周
方向撓み振動と軸方向撓み振動の結合モードを利用して
周方向に進む進行波を発生させるように構成されている
。[Means for Solving the Problems] The piezoelectric motor of the present invention uses a stator that utilizes a cylindrical piezoelectric vibrator. The cylindrical stator is configured to generate a traveling wave that travels in the circumferential direction by utilizing a combined mode of circumferential bending vibration and axial bending vibration of the cylinder.
また、円筒状のステータの内周面または外周面に圧接さ
れたロータと、ステータの振動のノード点でステータを
支持する支持部材とを備える。The rotor also includes a rotor that is pressed against the inner circumferential surface or outer circumferential surface of the cylindrical stator, and a support member that supports the stator at a node point of vibration of the stator.
［作用］
第２図および第３図に示した従来の圧電モータ１．１１
では、固定的な振動のノード点が存在しないため、圧電
振動子をロータ３，１３で強く圧接することにより支持
を行なっていた。したがって、上述したようにロータの
駆動に必要な振動を支持構造によってダンピングしてい
たため、振動一回転の変換効率が高められなかった。[Function] Conventional piezoelectric motor 1.11 shown in FIGS. 2 and 3
In this case, since there is no fixed vibration node point, the piezoelectric vibrator is supported by strongly pressing the rotors 3 and 13 into contact with each other. Therefore, as described above, since the vibration necessary for driving the rotor was damped by the support structure, the conversion efficiency of one rotation of vibration could not be improved.
これに対して、この発明では、円筒状振動体の円周方向
撓み振動と軸方向撓み振動の結合モードを利用して進行
波が発生される。したがって、円筒状のステータには固
定的なノード点が存在する。In contrast, in the present invention, a traveling wave is generated using a combined mode of circumferential bending vibration and axial bending vibration of the cylindrical vibrator. Therefore, fixed node points exist on the cylindrical stator.
この発明では、このノード点においてステータを支持部
材により支持しているため、支持構造により進行波の発
生が妨げられることがない。よって、振動一回転変換効
率を支持構造により低めることはない。また、支持部材
として筒状の部材を用いれば、簡単に中空型の圧電モー
タを構成することができる。In this invention, since the stator is supported by the support member at this node point, the generation of traveling waves is not hindered by the support structure. Therefore, the vibration one-rotation conversion efficiency is not reduced by the support structure. Moreover, if a cylindrical member is used as the support member, a hollow piezoelectric motor can be easily constructed.
［実施例の説明］
第１図は、この発明の一実施例の圧電モータを示す。圧
電モータ２１では、円筒状の圧電振動子２２と、該圧電
振動子２２が内周面に固定された円筒状部材２３ａとか
らなるステータ２３を用いて円周方向に進む進行波が発
生される。この進行波の発生原理を、第４図〜第８図を
参照して説明する。[Description of Embodiment] FIG. 1 shows a piezoelectric motor according to an embodiment of the present invention. In the piezoelectric motor 21, a traveling wave traveling in the circumferential direction is generated using a stator 23 consisting of a cylindrical piezoelectric vibrator 22 and a cylindrical member 23a to which the piezoelectric vibrator 22 is fixed to the inner peripheral surface. . The principle of generation of this traveling wave will be explained with reference to FIGS. 4 to 8.
円筒体の振動モードとしては、第４図に略図的に示す円
周方向撓み振動と、第５図に略図的に示す軸方向撓み振
動とが存在する。この場合、円周方向撓み振動の波の数
を痣、軸方向撓み振動の波の数をｍ／２とした場合、
で表わされる各種の結合モードが表われる。上式におい
て、Ｅはヤング率、ρは密度、νはポアソン比、Ｒは平
均半径（円筒体の厚みの中心に基づいた半径）を示す。As vibration modes of the cylindrical body, there are circumferential bending vibrations schematically shown in FIG. 4 and axial bending vibrations schematically shown in FIG. 5. In this case, when the number of waves of circumferential bending vibration is defined as a bruise and the number of waves of axial bending vibration is m/2, various coupling modes expressed as follows appear. In the above equation, E is Young's modulus, ρ is density, ν is Poisson's ratio, and R is the average radius (radius based on the center of the thickness of the cylinder).
ΔＱ、ｍは、円筒体の形状、振動モードの次数、νなど
により決まる定数である。ΔQ and m are constants determined by the shape of the cylinder, the order of the vibration mode, ν, and the like.
−例を示すとｆ４１の結合モードでは第６図に略図的に
示すように振動する。第６図から明らかなように、この
振動モードでは、破線Ａ、Ｂで示す部分が振動のノード
となる。したがって、ｆ。- For example, in the f41 coupling mode, it oscillates as schematically shown in FIG. As is clear from FIG. 6, in this vibration mode, the portions indicated by broken lines A and B are vibration nodes. Therefore, f.
、で示される結合モードで振動させた場合、第６図の破
線Ａ、 Ｂで示す部分により支持すれば、該結合モー
ドの振動をあまりダンピングしないことがわかる。この
発明は、」ユ述したような円筒体の円周方向撓み振動と
軸方向撓み振動との結合モードを利用して進行波を発生
させることにより、固定的なノード点が出現することに
着目してなされたものである。, it can be seen that when the vibration is made in the coupling mode shown by , the vibration in the coupling mode is not damped much if it is supported by the portions shown by broken lines A and B in FIG. This invention focuses on the fact that a fixed node point appears by generating a traveling wave using the coupling mode of the circumferential bending vibration and the axial bending vibration of a cylindrical body as described above. It was done by
なお、この発明において用いる円周方向撓み振動と軸方
向撓み振動の結合モードとしては、上述した式で表わさ
れる種々のモードを利用し得るが、圧電モータとして利
用する場合には高周波帯になるほど変位量が小さくなる
ため、’２０ＫＨｚ〜９０ＫＨｚ程度が実用範囲である
。Note that various modes expressed by the above formula can be used as the coupling mode of the circumferential bending vibration and the axial bending vibration used in this invention, but when used as a piezoelectric motor, the displacement increases as the frequency band increases. Since the amount is small, the practical range is about 20 KHz to 90 KHz.
第１図に戻り、上述した結合モードの振動を発生させる
ために、第１図実施例では円筒状の部材３ａの内周面に
円筒状の圧電振動子２２が貼り付けられてステータ２３
が構成されている。このステータ２３を上述した結合モ
ードで振動させるには、第７図に部分拡大平面図に破線
で示すように変位させればよい。このとき円筒の長手方
向には第８図に破線で示すように変位される。Returning to FIG. 1, in the embodiment of FIG. 1, a cylindrical piezoelectric vibrator 22 is attached to the inner circumferential surface of the cylindrical member 3a, and the stator 23
is configured. In order to cause the stator 23 to vibrate in the above-described coupling mode, it may be displaced as shown by the broken line in the partially enlarged plan view of FIG. At this time, the cylinder is displaced in the longitudinal direction as shown by the broken line in FIG.
このように変位させるには、円筒状圧電振動子２２の分
極構造を第９図に示すように構成すればよい。第９図か
ら明らかなように、圧電振動子２２には、周方向に１６
個の領域２２ａ〜２２ｐが形成されている。このうち、
領域２２ｂ〜２２ｇおよび領域２２に〜２２ｐが図示の
矢印の方向に分極されている。他方、領域２２ａ、２２
ｈ〜２２ｊは分極処理されていない。分極処理されてい
る領域２２ａ〜２２ｇでは内周面に電極２５が、領域２
２に〜２２ｐには電極２６が形成されている。したがっ
て、第９図に示すように、第１励振源を構成する分極領
域２２ｂ〜２２ｇと、第２励振源を構成する分極領域２
２に〜２２ｐとに、位相を９０°ずらした駆動信号を与
えれば、進行波が発生される。したがって、円筒状のス
テータ２３にロータを圧接させれば、該進行波によりロ
ータを回転させ得ることがわかる。To achieve such displacement, the polarization structure of the cylindrical piezoelectric vibrator 22 may be configured as shown in FIG. 9. As is clear from FIG. 9, the piezoelectric vibrator 22 has 16
regions 22a to 22p are formed. this house,
Regions 22b to 22g and regions 22 to 22p are polarized in the direction of the illustrated arrow. On the other hand, regions 22a, 22
h to 22j are not polarized. In the regions 22a to 22g that have been polarized, electrodes 25 are provided on the inner peripheral surfaces of the regions 22a to 22g.
Electrodes 26 are formed at 2 to 22p. Therefore, as shown in FIG. 9, polarized regions 22b to 22g forming the first excitation source and polarized region 2 forming the second excitation source
If a driving signal with a phase shift of 90° is applied to 2 and 22p, a traveling wave is generated. Therefore, it can be seen that if the rotor is brought into pressure contact with the cylindrical stator 23, the rotor can be rotated by the traveling wave.
第１図に戻り、ステータ２３の外周面には、駆動用環状
突出部２７が形成されている。環状突出部２７は、径方
向外側にいくにつれて先端が細くなるようにテーバを付
されている。このテーパの付された面に、ロータ２８が
圧接されている。ロータ２８は、金属等の剛性の部材よ
りなり、環状突出部２７の上下のテーバを付された面に
圧接するロータ半体２８ａ、２８ｂを有する。ロータ半
体２８ｇ、２８ｂは、シリコンゴムなどからなるスペー
サ２９を介してボルト３０により連結されている。すな
わち、ボルト３０によりロータ半体２８ａ、２８ｂを連
結しスペーサ２９の弾性に逆らって両ロータ半体２８ａ
、２Ｂｂを近接させることにより、ロータ半体２８ａ、
２８ｂが環状突出部２７のテーパを付された面を圧接挾
持するように構成されている。この圧接力は、ロータ２
８を回転駆動するのに必要な大きさに選ばれる。Returning to FIG. 1, a driving annular protrusion 27 is formed on the outer peripheral surface of the stator 23. As shown in FIG. The annular protrusion 27 is tapered so that the tip becomes narrower toward the outside in the radial direction. The rotor 28 is pressed against this tapered surface. The rotor 28 is made of a rigid member such as metal, and has rotor halves 28a and 28b that are in pressure contact with the upper and lower tapered surfaces of the annular protrusion 27. The rotor halves 28g and 28b are connected by a bolt 30 via a spacer 29 made of silicone rubber or the like. That is, the rotor halves 28a and 28b are connected by the bolt 30, and both rotor halves 28a are connected against the elasticity of the spacer 29.
, 2Bb, the rotor half body 28a,
28b is configured to press and clamp the tapered surface of the annular protrusion 27. This pressure contact force is applied to the rotor 2
The size is selected to be necessary for rotating the 8.
他方、円筒状のステータ２３の内周面側には、円筒状の
支持部材３１が配置されている。この支持部材３１は、
上述した振動のノード点となる位！（第６図の破線Ａで
示す位置）において円筒状のステータ２３に固定されて
いる。よって、この支持構造により進行波をあまりダン
ピングしないことがわかる。On the other hand, a cylindrical support member 31 is arranged on the inner peripheral surface side of the cylindrical stator 23 . This support member 31 is
This is the node point of the vibration mentioned above! It is fixed to the cylindrical stator 23 (at the position indicated by the broken line A in FIG. 6). Therefore, it can be seen that this support structure does not damp the traveling wave much.
なお、３２．３３はリード線を示し、圧電振動子２２の
内周面に形成された電極２５．２６に接続されている。Note that 32 and 33 indicate lead wires, which are connected to electrodes 25 and 26 formed on the inner peripheral surface of the piezoelectric vibrator 22.
圧電振動子２２の外周面に形成された電極（図示せず）
は、金属製のステータ２３に電気的に接続されている。Electrodes (not shown) formed on the outer peripheral surface of the piezoelectric vibrator 22
is electrically connected to a metal stator 23.
よってリード線３２．３３およびステータ２３から第９
図に示したような交流電圧を印加することができる。Therefore, from the lead wires 32 and 33 and the stator 23 to the ninth
An alternating current voltage as shown in the figure can be applied.
第１図実施例の圧電モータ２１では、上述した円筒体の
円周方向撓み振動と軸方向撓み振動の結合モードを利用
して発生される進行波によりロータ２８が回転駆動され
る。この場合、円筒状のステータ２３に固定的なノード
領域が存在し、該ノード領域を利用して支持部材３１に
よりステータ２３が支持されている。したかって、ロー
タ２８を回転駆動するのに必要な圧接力のみを与えるよ
うにロータ２８を圧接させるだけでロータ２８を回転駆
動することができるので、振動−回転変換効早を従来の
圧電モータに比べて飛躍的に高め得ることがわかる。In the piezoelectric motor 21 of the embodiment shown in FIG. 1, the rotor 28 is rotationally driven by a traveling wave generated using the above-described combined mode of circumferential bending vibration and axial bending vibration of the cylindrical body. In this case, a fixed node region exists in the cylindrical stator 23, and the stator 23 is supported by the support member 31 using the node region. Therefore, the rotor 28 can be rotated simply by pressing the rotor 28 so as to apply only the pressure contact force necessary to rotationally drive the rotor 28, so that the vibration-to-rotation conversion efficiency can be improved compared to the conventional piezoelectric motor. It can be seen that it can be improved dramatically.
また、支持部材３１は筒状の部材より構成さねているの
で、当然のことながら第３図に示した従来の圧電モータ
と同様に中空型の圧電モータとして用いることができる
。（、かも、中空構造とした場合であっ工も支持部材３
１を円筒状のステータ２３に固定することにＪ、り支持
しているたけであるため、全体の構造も複雑（コならな
いことがわかる。Further, since the support member 31 is made of a cylindrical member, it can naturally be used as a hollow piezoelectric motor similar to the conventional piezoelectric motor shown in FIG. (Also, in the case of a hollow structure, the support member 3
1 to the cylindrical stator 23, the overall structure is also complicated.
なお、上述した実施例では、支持部材３１はステータ２
３の内周面側に配置されていたが、外周面側に配置し−
Ｃもよい。また、ロータ２８についても、スア・−タ２
３の内周面側に配置しでもよい。In addition, in the embodiment described above, the support member 31 is attached to the stator 2.
3 was placed on the inner circumference side, but it was placed on the outer circumference side.
C is also good. Also, regarding the rotor 28, the sua-ta 2
It may be arranged on the inner peripheral surface side of No. 3.
さらに、圧電振動子２２の分極構造についでも、実施例
のものに限らず、円筒体の軸方向撓み振動および円周方
向撓み振動の結合モードの振動を発生させ得る限り、任
意であることを指摘しておく。Furthermore, it is pointed out that the polarization structure of the piezoelectric vibrator 22 is not limited to the one in the example, but may be arbitrary as long as it can generate vibration in the combined mode of the axial bending vibration and the circumferential bending vibration of the cylindrical body. I'll keep it.
また、円筒状ステー・夕２３全体を円筒状の圧電振動子
で構成してもよい。Further, the entire cylindrical stay/mount 23 may be constructed of a cylindrical piezoelectric vibrator.
［発明の効果］
この発明では、円筒体の円周方向撓み振動と軸方向撓み
振動の結合モードを利用して進行波が発生され、ロータ
が回転駆動される。したがって、固定的なノード領域が
ステータに存在し、該ノード領域を利用し一〇支持部材
がステータに固定されている。よって、振動一回転変換
効率に優れた圧電モータを得ることができる。[Effects of the Invention] In the present invention, a traveling wave is generated by utilizing the combined mode of the circumferential bending vibration and the axial bending vibration of the cylindrical body, and the rotor is rotationally driven. Therefore, a fixed node area exists in the stator, and the supporting member is fixed to the stator using the node area. Therefore, it is possible to obtain a piezoelectric motor with excellent vibration-to-rotation conversion efficiency.
また、支持部材として筒状の部材を用いることにより、
従来の中空型の圧電モータ（第３図にづくした構造）に
比べて、部品点数か少なく、かっ簡Ｂｔな構造の中空型
圧電モータを構成することができる。In addition, by using a cylindrical member as a support member,
Compared to a conventional hollow piezoelectric motor (structure shown in FIG. 3), it is possible to construct a hollow piezoelectric motor with a smaller number of parts and a simpler Bt structure.
よって、カメラのオートフォーカス機構等の中空構造の
モータが要求される用途に好適な圧電モータを得ること
ができる。Therefore, it is possible to obtain a piezoelectric motor suitable for applications requiring a hollow motor such as an autofocus mechanism of a camera.
第１図は、この発明の・一実施例の圧電モータを示す断
面図、第２図は従来Ｃ）圧電モータの一例を示づ゛断面
図、第３図は従来の圧電モータの他の例を示す断面図、
第４図〜第Ｇ図は円筒体の振動モードを説明するだめの
略図的斜視図、第７図は円周方向撓み振動における振動
姿態を説明するための部分切欠ル面図、第８図は軸方向
撓み振動に基づく振動姿態を説明するための略図的断面
図、第９図は進行波を発生さけるための分極構造を説明
するための略図的平面図である。
図において、２１は圧電子−夕、２２は円筒状圧電振動
子、２３は円筒状ステータ、２８はロータ、３Ｊは支持
部材を示す。Fig. 1 is a sectional view showing a piezoelectric motor according to an embodiment of the present invention, Fig. 2 is a sectional view showing an example of a conventional piezoelectric motor, and Fig. 3 is another example of a conventional piezoelectric motor. A cross-sectional view showing
Figures 4 to G are schematic perspective views for explaining the vibration mode of the cylindrical body, Figure 7 is a partially cutaway side view for explaining the vibration state in circumferential bending vibration, and Figure 8 is a schematic perspective view for explaining the vibration mode of the cylindrical body. FIG. 9 is a schematic cross-sectional view for explaining the vibration state based on axial bending vibration, and FIG. 9 is a schematic plan view for explaining the polarization structure for avoiding the generation of traveling waves. In the figure, 21 is a piezoelectric element, 22 is a cylindrical piezoelectric vibrator, 23 is a cylindrical stator, 28 is a rotor, and 3J is a support member.
Claims (3)
て、 円筒状の圧電振動子を用いて構成されており、円周方向
撓み振動と軸方向撓み振動の結合モードを利用して周方
向に進む進行波を発生させる円筒状ステータと、 前記円筒状ステータの内周面または外周面に圧接された
ロータと、 前記ステータの振動のノード点で前記ステータを支持す
る支持部材とを備えることを特徴とする圧電モータ。(1) A piezoelectric motor that uses a cylindrical piezoelectric vibrator. a cylindrical stator that generates a traveling wave that travels toward the cylindrical stator; a rotor that is pressed against an inner circumferential surface or an outer circumferential surface of the cylindrical stator; and a support member that supports the stator at a node point of vibration of the stator. Features a piezoelectric motor.
のステータの内周面側に、他方が外周面側に配置されて
いる特許請求の範囲第１項記載の圧電モータ。(2) The piezoelectric motor according to claim 1, wherein one of the rotor and the support member is arranged on the inner peripheral surface side of the cylindrical stator, and the other is arranged on the outer peripheral surface side.
範囲第１項または第２項記載の圧電モータ。(3) The piezoelectric motor according to claim 1 or 2, wherein the support member is a cylindrical member.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62077239A JPH06101944B2 (en) | 1987-03-30 | 1987-03-30 | Piezoelectric motor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62077239A JPH06101944B2 (en) | 1987-03-30 | 1987-03-30 | Piezoelectric motor |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63245283A true JPS63245283A (en) | 1988-10-12 |
| JPH06101944B2 JPH06101944B2 (en) | 1994-12-12 |
Family
ID=13628311
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62077239A Expired - Lifetime JPH06101944B2 (en) | 1987-03-30 | 1987-03-30 | Piezoelectric motor |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06101944B2 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0288481U (en) * | 1988-12-26 | 1990-07-12 | ||
| FR2981205A1 (en) * | 2011-10-11 | 2013-04-12 | Faurecia Sieges Automobile | Piezoelectric actuator for use in rotor of piezoelectric rotary engine, has cylindrical surface partially made of piezoelectric material surrounding axis, and protuberance turned around axis |
-
1987
- 1987-03-30 JP JP62077239A patent/JPH06101944B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0288481U (en) * | 1988-12-26 | 1990-07-12 | ||
| FR2981205A1 (en) * | 2011-10-11 | 2013-04-12 | Faurecia Sieges Automobile | Piezoelectric actuator for use in rotor of piezoelectric rotary engine, has cylindrical surface partially made of piezoelectric material surrounding axis, and protuberance turned around axis |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06101944B2 (en) | 1994-12-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3059031B2 (en) | Vibration wave drive device and device provided with vibration wave drive device | |
| JPH0284079A (en) | Supporting device of oscillatory wave motor | |
| US6952072B2 (en) | Ultrasonic motor and electronic apparatus utilizing ultrasonic motor | |
| JPS61224878A (en) | Vibration wave motor | |
| KR100485882B1 (en) | Vibration element and vibration wave driving apparatus | |
| JPS63245283A (en) | Piezoelectric motor | |
| JPS62203570A (en) | Ultrasonic motor | |
| JP2002218774A (en) | Ultrasonic motor | |
| JP2513241B2 (en) | Ultrasonic motor | |
| JP3441585B2 (en) | Ultrasonic motor and method of driving ultrasonic motor | |
| JPH07107756A (en) | Ultrasonic motor | |
| JPH02311184A (en) | Ultrasonic motor | |
| JP2994023B2 (en) | Ultrasonic motor | |
| JP2972433B2 (en) | Ultrasonic motor | |
| JPH0697864B2 (en) | Ultrasonic motor | |
| JPH0744856B2 (en) | Ultrasonic motor | |
| JP4721558B2 (en) | Ultrasonic motor device | |
| JPS61262091A (en) | Vibration wave motor | |
| JP2779416B2 (en) | Ultrasonic motor | |
| JP4721559B2 (en) | Ultrasonic motor device | |
| JP2605121B2 (en) | Ultrasonic vibrator and ultrasonic motor using the same | |
| JPH0251379A (en) | Ultrasonic motor | |
| JPH0636674B2 (en) | Ultrasonic motor | |
| JPH0628952Y2 (en) | Ultrasonic motor | |
| JPS6318975A (en) | Piezoelectric motor |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071212 Year of fee payment: 13 |