JPS63240383A - Ultrasonic motor capable of forward/reverse running - Google Patents

Ultrasonic motor capable of forward/reverse running

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Publication number
JPS63240383A
JPS63240383A JP62072645A JP7264587A JPS63240383A JP S63240383 A JPS63240383 A JP S63240383A JP 62072645 A JP62072645 A JP 62072645A JP 7264587 A JP7264587 A JP 7264587A JP S63240383 A JPS63240383 A JP S63240383A
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JP
Japan
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vibrator
ultrasonic
diaphragm
piece
movable element
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Application number
JP62072645A
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Japanese (ja)
Inventor
Osami Miyao
宮尾 修美
Manabu Shiraki
学 白木
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Shicoh Engineering Co Ltd
Original Assignee
Shicoh Engineering Co Ltd
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/10Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
    • H02N2/16Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
    • H02N2/163Motors with ring stator

Landscapes

  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

PURPOSE:To forwardly or reversely rotate a movable element by providing first and second vibration plates at first and second ultrasonic vibrators, and switching and selecting either vibrator. CONSTITUTION:An ultrasonic motor body 7 is composed of a cup-shaped casing 8 and a cover 9 for closing its lower end opening. The top of the casing 8 is so supported by bearings 11, 12 as to protrude the top of a rotary shaft 10, and a rotor 14 is secured to an annular connecting ring 13. First and second ultrasonic vibrators 15, 16 are so mounted at the top and bottom of the rotor 14 as to be reciprocate to vibrate. First and second vibration plates 17, 18 are secured to the vibrators 15, 16, and first and second vibration pieces 19, 20 are further secured to the rotor 14. First and second coils 21, 22 are wound on the pieces 19, 20. Thus, the first or second vibrator is selected and vibrated to forwardly or reversely drive a motor 6.

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の産業上の利用分野コ 本発明は、超音波振動を利用して超音波振動子の往復運
動を可動子の走行方向の運動に変換させるようにした正
逆転走行の可能な超音波モータに関する9 [従来技術とその問題点] 超音波モータは、超音波の持つ強力な振動エネルギーを
利用して機械エネルギーを得るようにしたアクチュエー
タであり、近年、この種のモータが実用化されるに至っ
ている。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field of the Invention] The present invention is directed to a forward/reverse motor which utilizes ultrasonic vibration to convert the reciprocating motion of an ultrasonic vibrator into a motion in the running direction of a movable element. 9 Regarding ultrasonic motors that can run Motors have come into practical use.

この種の超音波モータとしては1種々のものが知られて
いるが1例えば、特公昭59−37672号に示すもの
があるので、これを基に、その原理3以下に説明する。
Various types of ultrasonic motors of this kind are known, and for example, there is one shown in Japanese Patent Publication No. 59-37672, and the principle thereof will be explained in 3 and below based on this.

第3図を参照して1回転軸1がベアリング2によって回
動自在に支持されており、この回転軸1の一端面に板状
の振動子片3が1回転軸1の軸方向に対して適当な傾斜
角度を持たせて回転軸1と一体に設けている。振動子片
3の反対の面には。
Referring to FIG. 3, a rotating shaft 1 is rotatably supported by a bearing 2, and a plate-shaped vibrator piece 3 is mounted on one end surface of the rotating shaft 1 in the axial direction of the rotating shaft 1. It is provided integrally with the rotating shaft 1 with an appropriate inclination angle. On the opposite side of the vibrator piece 3.

超音波振動子4に固定された振動板5が接するように保
持されている。超音波振動子4は、矢印a方向に往復振
動が可能に配置され、また超音波振動子4には5図示し
ないコイルが巻装されている。
A diaphragm 5 fixed to the ultrasonic vibrator 4 is held so as to be in contact with it. The ultrasonic vibrator 4 is arranged so as to be able to vibrate back and forth in the direction of arrow a, and five coils (not shown) are wound around the ultrasonic vibrator 4.

尚、超音波を発生させるための超音波振動子4としては
、−最に磁歪型振動子と電歪型振動子の2種類が実用化
されているのでいずれを用いてもよいが、ここに用いて
いるのは、後者の磁歪型振動子で、コイルに高周波を印
加すると磁歪体である超音波振動子4が伸縮し、従って
、振動板5を励振するようにしている。
As the ultrasonic vibrator 4 for generating ultrasonic waves, there are two types that have been put into practical use: a magnetostrictive vibrator and an electrostrictive vibrator, so either of them may be used. The latter type of magnetostrictive vibrator is used, and when a high frequency is applied to the coil, the ultrasonic vibrator 4, which is a magnetostrictive body, expands and contracts, thereby exciting the diaphragm 5.

次に、実際の駆動状態の原理を説明すると、先ず第4図
Aに示すように、振動板5の一端面5aと振動子片3の
一端面3aの接している最下位部をX−Y座標の原点と
する。この時、振動子片3の軸方向に対する傾きθは、
振動子板5と振動子片3の摩擦角をより小さくしておく
ことが必要である。
Next, to explain the principle of the actual driving state, first, as shown in FIG. Set as the origin of coordinates. At this time, the inclination θ of the vibrator piece 3 with respect to the axial direction is
It is necessary to keep the friction angle between the vibrator plate 5 and the vibrator piece 3 smaller.

これは、振動子片3が振動板5から受ける力は、第5図
に示すように振動板5の法線方向の力f×と接線方向の
力fyの成分として表されるので、振動子片3と振動板
5との摩擦係数μは最大静止摩擦角θ5=tan−’μ
である。それ故に。
This is because the force that the vibrator piece 3 receives from the diaphragm 5 is expressed as a component of a force fx in the normal direction of the diaphragm 5 and a force fy in the tangential direction, as shown in FIG. The friction coefficient μ between the piece 3 and the diaphragm 5 is the maximum static friction angle θ5=tan−'μ
It is. Therefore.

振動子3の一端面3aがスリップせずに、効率良く駆動
力な受けるには、振動子片3の傾θは最大摩擦角θSよ
り小さくしておかなければならない。
In order for one end surface 3a of the vibrator 3 to efficiently receive the driving force without slipping, the inclination θ of the vibrator piece 3 must be smaller than the maximum friction angle θS.

次に第41Bのように振動板6が振動開始することによ
り、振動板5がX方向にΔXだけ変位した場合、一端面
3aを+X方向に押すが1回転軸1が固定されているた
め、第5図に示す傾斜角θとX方向の変位fxによる分
力fyが生じて、振動子片3は回転軸1に対して+yX
方向押し上げる力が働き1回転軸1をΔY1だけ移動さ
せる。
Next, when the diaphragm 6 starts vibrating as shown in No. 41B, and the diaphragm 5 is displaced by ΔX in the X direction, it pushes the one end surface 3a in the +X direction, but since the rotation axis 1 is fixed, A component force fy is generated due to the inclination angle θ and the displacement fx in the X direction as shown in FIG.
A force that pushes up in the direction acts to move the rotation axis 1 by ΔY1.

次に、第4図Bのように振動板5が振動開始することに
より、振動板5が−X方向に−ΔXだけ変位した場合は
、一端面5aと一端面3aとが離脱して両者間に摩擦力
が働かなくなり固有振動数の周期によって回転軸1が+
Y方向に移動することになる。しかしながら、この期間
も回転軸1は慣性力によって+Y方向にΔY2だけ移動
する。
Next, when the diaphragm 5 starts vibrating and is displaced by -ΔX in the -X direction as shown in FIG. Frictional force no longer acts on the shaft 1 due to the period of the natural frequency.
It will move in the Y direction. However, during this period as well, the rotating shaft 1 moves by ΔY2 in the +Y direction due to inertia force.

更に、振動板5が振動を継続することによって、再び、
第5図Aの状態となって前記動作を繰り返すことになり
1回転軸1の回転が継続して行われる。
Furthermore, as the diaphragm 5 continues to vibrate,
The state shown in FIG. 5A is reached and the above operation is repeated, and the rotation of the rotation shaft 1 continues.

ここで、慣性力について説明すると、第5図において振
動板5の振動運動が振動子片3を一方向運動に変換する
機構であって、振動子片3は間欠的に駆動力を受けるこ
とができるようになっている。一方、超音波振動は、一
般に20KHz以上の振動を取り扱い、慣性力は周波数
の2乗に比例するのであるから、十分な慣性力を有し、
一様な連続回転を得ることができる。
Here, to explain the inertial force, as shown in FIG. 5, it is a mechanism that converts the vibration motion of the diaphragm 5 into a unidirectional motion of the vibrator piece 3, and the vibrator piece 3 is not subject to intermittent driving force. It is now possible to do so. On the other hand, ultrasonic vibration generally handles vibrations of 20 KHz or higher, and since the inertial force is proportional to the square of the frequency, it has sufficient inertial force,
Uniform continuous rotation can be obtained.

上記した従来の超音波モータは、上記駆動原理にて回転
する有用なものである。
The conventional ultrasonic motor described above is useful because it rotates on the above driving principle.

然し乍ら、かかる構成の超音波モータによると、一方向
にしか回転できないため1種々の制御を行なわそうとす
るサーボモータとして利用できないと言う欠点があった
However, the ultrasonic motor having such a configuration has the disadvantage that it cannot be used as a servo motor for performing various types of control because it can only rotate in one direction.

[本発明の課題] 本発明は、サーボモータとして適するように正逆回転可
能な回転形の超音波モータ並びに正逆転走行の可能な超
音波リニアモータを得ることを課題になされたものであ
る。
[Objectives of the Invention] An object of the present invention is to provide a rotary ultrasonic motor that can rotate in forward and reverse directions and an ultrasonic linear motor that can run in forward and reverse directions so as to be suitable as a servo motor.

[本発明の課題達成手段] かる本発明の課題は、正逆方向に走行自在に支持された
可動子と、第1の超音波振動子と、第2の超音波振動子
と、第1の超音波振動子の一端面に設けられた第1の振
動板と、第2の超音波振動子の一端に設けられた第2の
振動板とを有し、上記可動子と第1の振動板との間に傾
斜角度を有する第1の振動子片を設け、該第1の振動子
片を可動子または第1の振動板の何れかに固定形成し。
[Means for achieving the object of the present invention] The object of the present invention is to provide a movable element that is supported so as to be able to run in forward and reverse directions, a first ultrasonic transducer, a second ultrasonic transducer, and a first ultrasonic transducer. a first diaphragm provided on one end surface of the ultrasonic transducer and a second diaphragm provided on one end of the second ultrasonic oscillator, the movable element and the first diaphragm A first vibrator piece having an inclination angle is provided between the movable element and the first vibrator piece, and the first vibrator piece is fixed to either the movable element or the first diaphragm.

上記可動子と第2の振動板との間に上記第1の振動子片
と反対方向の傾斜角度を有する第2の振動子片を設け、
該第2の振動子片を可動子または第2の振動板の何れか
に固定形成し、上記第1または第2の何れかの超音波振
動子を切り替え選択し、該第1または第2の超音波振動
子の超音波振動を可動子の走行運動に変換することによ
り達成できる。
A second vibrator piece having an inclination angle in the opposite direction to the first vibrator piece is provided between the movable element and the second diaphragm,
The second transducer piece is fixedly formed on either the movable element or the second diaphragm, and the first or second ultrasonic transducer is switched and selected. This can be achieved by converting the ultrasonic vibration of the ultrasonic vibrator into the running motion of the movable element.

U発明の第1実施例コ 第1図は本発明の第1実施例としての正逆回転の可能な
回転形超音波モータ6の縦断面図で、符号7は超音波モ
ータ本体で、超音波モータ本体7は、カップ形ケーシン
グ8と、このケーシング8の下端開口部を閉じる蓋体9
とによって構成されている。
U First Embodiment of the Invention FIG. 1 is a vertical sectional view of a rotary ultrasonic motor 6 capable of forward and reverse rotation as a first embodiment of the invention. The motor body 7 includes a cup-shaped casing 8 and a lid 9 that closes a lower opening of the casing 8.
It is composed of.

ケーシング8の上部には2回転軸10の上部が突出する
ように、ケーシング8と蓋体9の内部の略々中央部に固
設された軸受11,12によって、当該回転軸10が回
動自在に支持されている。回転軸10の上記本体7内の
位置には1円環状の連結リング13が固定され、この連
結リング13の外周に円環状であり且つ円板状のロータ
14が適宜な手段により固定されている。
The rotating shaft 10 is rotatable by bearings 11 and 12 fixed approximately at the center inside the casing 8 and the lid 9 so that the upper part of the rotating shaft 10 protrudes from the upper part of the casing 8. is supported by An annular connecting ring 13 is fixed at a position within the main body 7 of the rotating shaft 10, and an annular and disk-shaped rotor 14 is fixed to the outer periphery of this connecting ring 13 by appropriate means. .

上記本体7内のロータ14の上方部と下方部には、それ
ぞれ第1.第2の超音波振動子15゜16が矢印a方向
に往復振動可能に装着されている。また超音波振動子1
5.16のそれぞれのロータ14と軸方向の空隙を介し
て対向する面には、それぞれ第1.第2の振動板17.
18が固定されている。ロータ14のそれぞれの面には
The upper and lower parts of the rotor 14 in the main body 7 are provided with first and second rotors, respectively. A second ultrasonic transducer 15.degree. 16 is mounted so as to be able to vibrate back and forth in the direction of arrow a. Also, ultrasonic transducer 1
5.16, each of which faces the rotor 14 through an axial gap, has a first .5. Second diaphragm 17.
18 is fixed. on each surface of the rotor 14.

板状または棒状の第1.第2の振動子片1つ。The first plate-shaped or rod-shaped. One second transducer piece.

20が固定され、それぞれ振動板17.18と接触保持
されている。第1.第2の振動子片1つ。
20 are fixed and held in contact with the diaphragms 17 and 18, respectively. 1st. One second transducer piece.

20は、軸方向に対して適当な傾斜角度を持たせて上記
ロータ14に固定されているが、第1の振動子片19と
第2の振動子片20の傾斜角度は互いに反対方向に傾斜
させて形成されている。
20 is fixed to the rotor 14 at an appropriate inclination angle with respect to the axial direction, but the inclination angles of the first vibrator piece 19 and the second vibrator piece 20 are inclined in opposite directions. It is formed by letting.

振動子片19.20の形状については、上記第4図で説
明しているので、その拡大した形状については、ここで
は、省略する。
Since the shape of the vibrator pieces 19, 20 is explained in FIG. 4 above, the enlarged shape thereof will be omitted here.

振動子片1.9..2’Oを構成するには、ロータ14
の上下両方の面の中心部に当該ロータ14の径よりも小
さい径の凹部14a、14bを形成し、残りの周縁部分
に、予め設定した角度の切り込みを形成することによっ
て作成できる。
Vibrator piece 1.9. .. To configure 2'O, the rotor 14
It can be created by forming recesses 14a and 14b with diameters smaller than the diameter of the rotor 14 in the center of both the upper and lower surfaces of the rotor 14, and forming a cut at a preset angle in the remaining peripheral portion.

第2図(a)、第2図(b)はそれぞれ、第1図のx−
x’線、Y−Y’線における縦断面図であり、それぞれ
ロータ14の周縁面に傾斜角度の方向が異なるように、
切り込みによって形成された第1.第2の振動子片19
.2’Oが突起して形成されている。第1の振動子片1
9を形成するための切り込みは、第1図に示すように右
側上方に形成するものと1図示しないが右側下方に形成
するものとがある。また第2の振動子片20を形成する
ための切り込みは、第1図に示すように左側上方に形成
するものと9図示しないが左側下方に形成するものとが
ある。
Figure 2(a) and Figure 2(b) are respectively x-
FIG.
The first one formed by the notch. Second vibrator piece 19
.. 2'O is formed with a protrusion. First vibrator piece 1
There are two types of cuts for forming the cut 9: one is formed on the upper right side as shown in FIG. 1, and the other is formed on the lower right side (not shown). The cut for forming the second vibrator piece 20 may be formed on the upper left side as shown in FIG. 1, or on the lower left side (not shown).

なお、振動子片19.20は1回転軸1oの近傍まで延
長形成すると振動子片19.20の運動量とロータ14
の運動量との合成運動量は、振動子片19.20の内周
部と外周部において大きな差が生じるので、その結果、
振動子片1つと振動板17との間、及び振動子片2oと
振動板18との間でスリップが生じ、エネルギー効率の
低下。
Note that when the vibrator pieces 19.20 are extended to the vicinity of one rotational axis 1o, the momentum of the vibrator pieces 19.20 and the rotor 14 are
There is a large difference in the resultant momentum between the inner and outer circumferences of the vibrator pieces 19 and 20, and as a result,
Slip occurs between one vibrator piece and the diaphragm 17 and between the vibrator piece 2o and the diaphragm 18, resulting in a decrease in energy efficiency.

摩耗の発生が生じるので、最適な位置に振動子片19.
20を形成するように設計時に考慮する必要がある。
Since wear may occur, place the vibrator piece 19 in the optimum position.
It is necessary to consider this at the time of design so as to form 20.

振動子片19.20それぞれの振動板17゜18と反対
側の端部には、第1.第2のコイル21.22を巻装し
ている。このコイル21゜22には、上記したように高
周波電圧が印加されるもので、高周波電圧がコイル21
または22に印加されると、磁歪体である超音波S動子
15または16が磁界により、伸縮し、振動板17また
は18を励振する。
At the end of each of the vibrator pieces 19 and 20 opposite to the diaphragm 17 and 18, a first. A second coil 21, 22 is wound thereon. A high frequency voltage is applied to the coils 21 and 22 as described above.
or 22, the ultrasonic S oscillator 15 or 16, which is a magnetostrictive body, expands and contracts due to the magnetic field and excites the diaphragm 17 or 18.

従って1本発明の超音波モータ6を正転方向に回転させ
るには、第1の超音波振動子15及び第1のコイル21
を選択し、コイル21に高周波を印加して超音波振動子
15を励振する。また超音波モータ6を反対方向に逆回
転させるには、第2の超音波振動子16及び第2のコイ
ル22を選択し、コイル22に高周波を印加して超音波
振動子16を励振する。
Therefore, in order to rotate the ultrasonic motor 6 of the present invention in the normal rotation direction, the first ultrasonic vibrator 15 and the first coil 21 are
is selected, and a high frequency is applied to the coil 21 to excite the ultrasonic transducer 15. Further, in order to reversely rotate the ultrasonic motor 6 in the opposite direction, the second ultrasonic vibrator 16 and the second coil 22 are selected, and a high frequency is applied to the coil 22 to excite the ultrasonic vibrator 16.

尚、上記例においては1回転形の超音波モータについて
のみ説明したが、直線運動を行う形式のりニアモータに
も1本発明は当然適用がある。また振動子片は、ロータ
側に固定形成した例を示したが、振動板に固定形成して
も良く、更にまた振動子片はロータまたは振動板に固定
するに当たって、これらと一体したものであっても良く
、あるいは適宜な手段により、付設固定しても良い。
In the above example, only a one-rotation type ultrasonic motor was explained, but the present invention is naturally applicable to a type of linear motor that performs linear motion. In addition, the example in which the vibrator piece is fixedly formed on the rotor side is shown, but it may also be formed fixedly on the diaphragm.Furthermore, when the vibrator piece is fixed to the rotor or the diaphragm, it can be integrated with these. Alternatively, it may be attached and fixed by appropriate means.

[発明の効果] 以上から明らかなように1本発明によれば、特別、厄介
な手段を施すことなく1強力な回転力。
[Effects of the Invention] As is clear from the above, according to the present invention, a strong rotational force can be obtained without using any special or troublesome means.

な 推力、駆動力を持つ小型軽量り1回転形あるいは直線形
の正逆回転あるいは正逆転走行の可能な超音波モータを
安価に得ることができる。
It is possible to obtain at low cost a small, lightweight, single-rotation type or linear type ultrasonic motor capable of forward/reverse rotation or forward/reverse rotation having a strong thrust and driving force.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明の一実施例の超音波モータの縦断面図、
第2図(a)、同(b)はそれぞれ第1図のx−x’線
線断断面図Y−Y’線線断断面図第3図は従来の超音波
モータの縦断面図、第4図(A)、同(B)及び同(C
)はそれぞれ超音波モータの動作原理の説明図、第5図
は振動子片が受ける力の分力説明図である。 1・・・回転軸、2・・・ベアリング、3・・・振動子
片、4・・・超音波振動子、5・・・振動板、6・・・
超音波モータ、7・・・超音波モータ、8・・・ケーシ
ング、9・・・蓋体、10・・・回転軸、11.12・
・・軸受、13・・・連結部材、14・・・ロータ、1
5・・・第1の超音波振動子、16・・・第2の超音波
振動子、17・・・第1の振動板、18・・・第2の振
動板、19・・・第1の振動子片、20・・・第2の振
動子片、21・・・第1のコイル、22・・・第2のコ
イル。
FIG. 1 is a longitudinal sectional view of an ultrasonic motor according to an embodiment of the present invention;
2(a) and 2(b) are a sectional view taken along the line XX' in FIG. 1, a sectional view taken along the Y-Y' line in FIG. 1, and FIG. Figure 4 (A), (B) and (C)
) are explanatory diagrams of the operating principle of the ultrasonic motor, and FIG. 5 is an explanatory diagram of the components of force applied to the vibrator pieces. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1... Rotating shaft, 2... Bearing, 3... Vibrator piece, 4... Ultrasonic vibrator, 5... Vibration plate, 6...
Ultrasonic motor, 7... Ultrasonic motor, 8... Casing, 9... Lid, 10... Rotating shaft, 11.12.
...Bearing, 13...Connecting member, 14...Rotor, 1
5... First ultrasonic transducer, 16... Second ultrasonic transducer, 17... First diaphragm, 18... Second diaphragm, 19... First vibrator piece, 20... second vibrator piece, 21... first coil, 22... second coil.

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)正逆方向に走行自在に支持された可動子と,第1
の超音波振動子と,第2の超音波振動子と,第1の超音
波振動子の一端面に設けられた第1の振動板と,第2の
超音波振動子の一端面に設けられた第2の振動板とを有
し,上記可動子と第1の振動板との間に傾斜角度を有す
る第1の振動子片を設け,該第1の振動子片を可動子ま
たは第1の振動板の何れかに固定形成し,上記可動子と
第2の振動板との間に上記第1の振動子片と反対方向の
傾斜角度を有する第2の振動子片を設け,該第2の振動
子片を可動子または第2の振動板の何れかに固定形成し
,上記第1または第2の何れかの超音波振動子を切り換
え選択し,該第1または第2の超音波振動子の超音波振
動を可動子の走行運動に変換することを特徴とする正逆
転走行の可能な超音波モータ。
(1) A movable element supported so as to be freely movable in forward and reverse directions, and a first
an ultrasonic transducer, a second ultrasonic transducer, a first diaphragm provided on one end surface of the first ultrasonic transducer, and a first diaphragm provided on one end surface of the second ultrasonic transducer. a second diaphragm having a second diaphragm, a first oscillator piece having an inclination angle between the movable element and the first diaphragm; A second vibrator piece is fixedly formed on any one of the diaphragms, and a second vibrator piece having an inclination angle in the opposite direction to the first vibrator piece is provided between the movable element and the second vibrator plate, A second transducer piece is fixedly formed on either the movable element or the second diaphragm, and either the first or second ultrasonic transducer is switched and selected, and the first or second ultrasonic wave is generated. An ultrasonic motor capable of running in forward and reverse directions, characterized by converting ultrasonic vibrations of a vibrator into running motion of a movable element.
(2)上記可動子は,回動自在に支持されたロータであ
ることを特徴とする特許請求の範囲第(1)項記載の正
逆転走行の可能な超音波モータ。
(2) The ultrasonic motor capable of forward and reverse running as set forth in claim (1), wherein the movable element is a rotatably supported rotor.
(3)上記可動子は,回動自在に支持された円板状のロ
ータであり,この円板状のロータの一方の面側に上記第
1の振動子,第1の振動板及び第1の振動子を設け,上
記ロータの他方の面側に上記第2の振動子,第2の振動
板及び第2の振動子を設けたことを特徴とする特許請求
の範囲第(2)項記載の正逆転走行の可能な超音波モー
タ。
(3) The movable element is a disc-shaped rotor supported rotatably, and the first vibrator, the first diaphragm, and the first vibration plate are disposed on one side of the disc-shaped rotor. Claim (2) characterized in that a vibrator is provided, and the second vibrator, the second diaphragm, and the second vibrator are provided on the other surface side of the rotor. An ultrasonic motor that can run in both forward and reverse directions.
JP62072645A 1987-03-26 1987-03-26 Ultrasonic motor capable of forward/reverse running Pending JPS63240383A (en)

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JP62072645A JPS63240383A (en) 1987-03-26 1987-03-26 Ultrasonic motor capable of forward/reverse running

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