JPS63229345A - 定量分析用標準試料の作成方法 - Google Patents
定量分析用標準試料の作成方法Info
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- JPS63229345A JPS63229345A JP62062842A JP6284287A JPS63229345A JP S63229345 A JPS63229345 A JP S63229345A JP 62062842 A JP62062842 A JP 62062842A JP 6284287 A JP6284287 A JP 6284287A JP S63229345 A JPS63229345 A JP S63229345A
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- 238000004445 quantitative analysis Methods 0.000 title claims description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 11
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims abstract description 9
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims description 17
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 4
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 abstract description 10
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 7
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 abstract description 5
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 abstract description 2
- -1 rare earth compound Chemical class 0.000 description 5
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 230000007123 defense Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 150000002222 fluorine compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000008187 granular material Substances 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000004451 qualitative analysis Methods 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 238000005464 sample preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 description 1
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は例えばＸ線マイクロアナライザ等を用いて高純
度分析を行う際の標準試料の作成に関する。
度分析を行う際の標準試料の作成に関する。
〈従来の技術〉
Ｘ線マイクロア犬うイリ゛は固体試料を顕微鏡で見なが
ら目的の場所に直径１μｍ程度に絞った重子ビームを照
則し、そこから発生する特性Ｘ線を調べて微小部分の定
性、定量分析を行うもので。
ら目的の場所に直径１μｍ程度に絞った重子ビームを照
則し、そこから発生する特性Ｘ線を調べて微小部分の定
性、定量分析を行うもので。
成分が既知の試料の特性Ｘ線の強さを測定し、そのＸ線
の強さと測定対象からの特性Ｘ線の強さを比較して測定
対象の成分分析を行っている。
の強さと測定対象からの特性Ｘ線の強さを比較して測定
対象の成分分析を行っている。
この測定方法においてｔよ、試料と測定対象の表面の平
？１１度を高くすることが必要である。平滑度が充分で
ない場合、試料の四部で発生した特性Ｘ線は分光器に入
る前に試ＩＩ自体によって吸収されてしまい正確な測定
が出来ない。このため１例えばＡｌ中のＭｑやＺｎ、Ｃ
１，Ｊ中のＡｌ不純物などを分析する場合は試料および
測定対象とも研磨盤等を用いて充分に平滑度を高めた後
に測定を行っている。
？１１度を高くすることが必要である。平滑度が充分で
ない場合、試料の四部で発生した特性Ｘ線は分光器に入
る前に試ＩＩ自体によって吸収されてしまい正確な測定
が出来ない。このため１例えばＡｌ中のＭｑやＺｎ、Ｃ
１，Ｊ中のＡｌ不純物などを分析する場合は試料および
測定対象とも研磨盤等を用いて充分に平滑度を高めた後
に測定を行っている。
〈発明が解決しようとする問題点〉
近年、希土類が磁石やＥＬ素子の発光部等に使用され、
このため希土類元素の高粘度な成分分析の必用性が高ま
っている。従来、希を類元洛の試料どしｒ Ｇ、ｉ測定
元素が既知の安定弗化物や、はう化物等の安定化合物を
用いているが、これらの化合物を単体として（ｎるのは
むづかしく、粉体を直径０．５〜１ｍｍ程度に固めて顆
粒状に形成したものが市販されている。従って先にのべ
たようにこれらの化合物を研磨して平滑な而を４＋？る
ことか出来ず、測定対象の精度の良い成分分析が出来な
いという問題があった。
このため希土類元素の高粘度な成分分析の必用性が高ま
っている。従来、希を類元洛の試料どしｒ Ｇ、ｉ測定
元素が既知の安定弗化物や、はう化物等の安定化合物を
用いているが、これらの化合物を単体として（ｎるのは
むづかしく、粉体を直径０．５〜１ｍｍ程度に固めて顆
粒状に形成したものが市販されている。従って先にのべ
たようにこれらの化合物を研磨して平滑な而を４＋？る
ことか出来ず、測定対象の精度の良い成分分析が出来な
いという問題があった。
本弁明はＪ記従来技術の問題点に鑑みて成されたしので
、高純度の希土類元素を得るとともに平滑状態の標準試
料を１５）ることを目的どする。
、高純度の希土類元素を得るとともに平滑状態の標準試
料を１５）ることを目的どする。
ξ問題点を解決するための手段〉
上記問題点を解決するための本発明の構成は。
真空中にＡ５いて１作成すべき試料の元素を含む物質を
加熱する加熱器と、前記加熱器で発生した複数の分Ｙを
含む分子流をイオン化する電子衝撃型イオン源と、前記
イオンを収束しイオンビームにする手段と、前記収束し
たイオンビームのなかから所望のイオンのみを単色化す
る手段と、ｎｈ記単色化したイオンを加速する手段と、
基板からなり。
加熱する加熱器と、前記加熱器で発生した複数の分Ｙを
含む分子流をイオン化する電子衝撃型イオン源と、前記
イオンを収束しイオンビームにする手段と、前記収束し
たイオンビームのなかから所望のイオンのみを単色化す
る手段と、ｎｈ記単色化したイオンを加速する手段と、
基板からなり。
前記加速されたイオンを基板に付着させたことを特徴と
するものである。
するものである。
〈実施例〉
図は本発明の定量分析用標準試料作成のための一実施例
を示す構成図である。
を示す構成図である。
図において、１は抵抗加熱器であり、この加熱器の中に
作成すべさ試料の成分を含んだ希土類化合物８が配置さ
れている。２は電子衝撃型イオン源、３は静電レンズ、
４は４小極質量分離器、５は加速電極、６は例えばガラ
ス基板であり、上記各機）冴は真空容器１０に格納され
ている。７は電源で電気！！ｉｖｌ型イオン源にプラス
の電圧を加速電極５にマイナスの電圧を印加する。
作成すべさ試料の成分を含んだ希土類化合物８が配置さ
れている。２は電子衝撃型イオン源、３は静電レンズ、
４は４小極質量分離器、５は加速電極、６は例えばガラ
ス基板であり、上記各機）冴は真空容器１０に格納され
ている。７は電源で電気！！ｉｖｌ型イオン源にプラス
の電圧を加速電極５にマイナスの電圧を印加する。
上記構成において、抵抗加熱器１により希土類化合物８
が熱せられると希土類化合物からその化合物に含まれる
複数の分子が飛出し、これらの分子は電子面Ｍ型イオン
源２に導かれる。ここで分子は電源７から放出される電
子に衝突してイオン化し、これらのイオンは、前記イオ
ン源２の外側に設けられたマイナス電極（図示せず）に
引出されてイオン収束手段としての静電レンズ３に入り
イオンビームとして収束される。このイオンビームは４
小極質量分離器４に導かれ所望の原子のみを通過（単色
化）させ、電源７のマイナス電極に接続された加速電極
５で加速し、この原子を例えばガラス基板に吸着させる
。ガラス基板はあらかじめ平滑に加工されたものを使用
すれば平滑な面をイｊする標準試料（薄膜）を作成する
ことが出来ろ。
が熱せられると希土類化合物からその化合物に含まれる
複数の分子が飛出し、これらの分子は電子面Ｍ型イオン
源２に導かれる。ここで分子は電源７から放出される電
子に衝突してイオン化し、これらのイオンは、前記イオ
ン源２の外側に設けられたマイナス電極（図示せず）に
引出されてイオン収束手段としての静電レンズ３に入り
イオンビームとして収束される。このイオンビームは４
小極質量分離器４に導かれ所望の原子のみを通過（単色
化）させ、電源７のマイナス電極に接続された加速電極
５で加速し、この原子を例えばガラス基板に吸着させる
。ガラス基板はあらかじめ平滑に加工されたものを使用
すれば平滑な面をイｊする標準試料（薄膜）を作成する
ことが出来ろ。
上記の試料作成方法によれば、気化→イオン化→質醋分
離という工程を経て試料を作成しているので１元の原料
（ここでは希土類化合物８）の純度に拘らず各種の元素
について高純度の４模を作成することが出来る。
離という工程を経て試料を作成しているので１元の原料
（ここでは希土類化合物８）の純度に拘らず各種の元素
について高純度の４模を作成することが出来る。
なお、Ｘ線マイクロアナライザで成分を測定する場合導
電性が心上であるが、前記括根にあらかじめ゛重子線吸
収の少ないＣ，Ａ１等を薄く蒸着しくＡ３＜ｂのとする
。また１本実施例においては標ｒｌＦ−試料の元素を希
土類どして説明したが希土類元素に限ることなく他の金
属元素にも適用が可能である。また、基板はガラスとし
て説明したがガラス以外の材質であってもよい。
電性が心上であるが、前記括根にあらかじめ゛重子線吸
収の少ないＣ，Ａ１等を薄く蒸着しくＡ３＜ｂのとする
。また１本実施例においては標ｒｌＦ−試料の元素を希
土類どして説明したが希土類元素に限ることなく他の金
属元素にも適用が可能である。また、基板はガラスとし
て説明したがガラス以外の材質であってもよい。
〈発明の効果〉
以上、実施例どともに具体的に説明したように本発明に
よれば、あらかじめ平滑に加工した基板の上に所望の元
素を付着させて標準試料を作成するようにしたので、単
体として平滑度の得にくい元素でも平滑度が高く、かつ
、純度の高い標準試料を得ることが出来る。
よれば、あらかじめ平滑に加工した基板の上に所望の元
素を付着させて標準試料を作成するようにしたので、単
体として平滑度の得にくい元素でも平滑度が高く、かつ
、純度の高い標準試料を得ることが出来る。
図は本発明の定量分析用試料の作成方法の一実施例を示
す構成説明図である。 １・・・抵抗加熱器、２・・・電子衝撃型イオン源、３
・・・静電レンズ、４・・・４重極質分分離器、５・・
・加速電極、６・・・ガラス基板、７・・・電源、８・
・・希土類化合物、１０・・・真空容器。 代理人 弁理士 小沢信坂冒、３．．之’、’。
す構成説明図である。 １・・・抵抗加熱器、２・・・電子衝撃型イオン源、３
・・・静電レンズ、４・・・４重極質分分離器、５・・
・加速電極、６・・・ガラス基板、７・・・電源、８・
・・希土類化合物、１０・・・真空容器。 代理人 弁理士 小沢信坂冒、３．．之’、’。
Claims (1)
- 真空中において、作成すべき試料の元素を含む物質を加
熱する加熱器と、前記加熱器で発生した複数の分子を含
む分子流をイオン化する電子衝撃型イオン源と、前記イ
オンを収束しイオンビームにする手段と、前記収束した
イオンビームのなかから所望のイオンのみを単色化する
手段と、前記単色化したイオンを加速する手段と、基板
からなり、前記加速されたイオンを基板に付着させてな
る定量分析用標準試料の作成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62062842A JPS63229345A (ja) | 1987-03-18 | 1987-03-18 | 定量分析用標準試料の作成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62062842A JPS63229345A (ja) | 1987-03-18 | 1987-03-18 | 定量分析用標準試料の作成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63229345A true JPS63229345A (ja) | 1988-09-26 |
Family
ID=13211965
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62062842A Pending JPS63229345A (ja) | 1987-03-18 | 1987-03-18 | 定量分析用標準試料の作成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63229345A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0438440A (ja) * | 1990-06-02 | 1992-02-07 | Hitachi Ltd | 定量分析試料とイオン注入方法およびイオン注入機能付二次イオン質量分析装置 |
| JP2011501114A (ja) * | 2007-10-11 | 2011-01-06 | サントル ドゥ ルシェルシュ ピュブリク − ガブリエル リップマン | 分析工程からスパッタリング工程を分離することによる有機及び無機の試料の定量的調査を可能にする方法及び装置 |
| CN114964976A (zh) * | 2022-08-01 | 2022-08-30 | 北矿检测技术有限公司 | 稀土氧化物标准样品及其制备方法 |
-
1987
- 1987-03-18 JP JP62062842A patent/JPS63229345A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0438440A (ja) * | 1990-06-02 | 1992-02-07 | Hitachi Ltd | 定量分析試料とイオン注入方法およびイオン注入機能付二次イオン質量分析装置 |
| JP2011501114A (ja) * | 2007-10-11 | 2011-01-06 | サントル ドゥ ルシェルシュ ピュブリク − ガブリエル リップマン | 分析工程からスパッタリング工程を分離することによる有機及び無機の試料の定量的調査を可能にする方法及び装置 |
| CN114964976A (zh) * | 2022-08-01 | 2022-08-30 | 北矿检测技术有限公司 | 稀土氧化物标准样品及其制备方法 |
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