JPS63219182A - Amorphous magnetic wire - Google Patents

Amorphous magnetic wire

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JPS63219182A
JPS63219182A JP62052735A JP5273587A JPS63219182A JP S63219182 A JPS63219182 A JP S63219182A JP 62052735 A JP62052735 A JP 62052735A JP 5273587 A JP5273587 A JP 5273587A JP S63219182 A JPS63219182 A JP S63219182A
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magnetic
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magneto
waves
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圭一 角野
Tsutomu Yamada
努 山田
Sumio Masuda
純夫 増田
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Abstract

PURPOSE:To propagate, generate, and detect a magneto-elastic wave efficiently by a method wherein a part of an amorphous wire processed through cold wiredrawing is subjected to heat treatment so as to have a soft magnetic property large in magneto-elastic coupling. CONSTITUTION:After the whole magnetic wire 1 is processed through cold wiredrawing, only parts 2a and 2b of the wire 1 are subjected to heat treatment. Therefore, the magnetic wire 1 except the parts 2a and 2b propagates a magneto-elastic wave well. An exciting coil 3a is provided at the part 2a, whereby a magneto-elastic wave is easily generated when an A.C. magnetic field is applied. Furthermore, a detecting coil 3b is provided at the other part 2b, where a propagating magneto-elastic wave can be efficiently detected. Hereupon, the direct bias magnetic field adequate in intensity is applied on the coil 3a and 3b through Helmholtz coils 40a and 40b so as to make them generate or detect a magneto-elastic wave efficiently. By these processes, an amorphous magnetic wire provided with the parts generating or detecting a magneto-elastic wave with ease can be obtained.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、部分的に磁気的特性の異なる非晶質磁性線に
関するもので、特に効率よく磁気弾性波を発生・伝搬さ
せる特性を持ち、周波数フィルターや遅延線などの磁気
弾性波デバイスへの応用、また位置センサや不揮発性メ
モリなどに応用できるものである。
[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention relates to an amorphous magnetic wire having partially different magnetic properties, and has the property of generating and propagating magnetoelastic waves particularly efficiently. It can be applied to magnetoelastic wave devices such as frequency filters and delay lines, as well as to position sensors and nonvolatile memories.

[従来の技術] 従来より磁気弾性波デバイスは、遅延線、フィルター、
各種のセンサなどに広く応用されている。
[Prior Art] Conventionally, magnetoelastic wave devices include delay lines, filters,
It is widely applied to various types of sensors.

この磁気弾性波デバイスに使用される磁性材料に求めら
れる特性としては、 (1)  磁気弾性波を発生させやすいこと。
The characteristics required of the magnetic material used in this magnetoelastic wave device are: (1) It should be easy to generate magnetoelastic waves.

+2)  m気弾性波を少ない減衰率で伝搬させること
+2) To propagate m-air elastic waves with a small attenuation rate.

(3)  磁気弾性波を検出しやすいこと。(3) It is easy to detect magnetoelastic waves.

などがある。and so on.

これらの条件を比較的よく満たしているものとして、近
年では非晶質磁性材料が用いられるようになってきてい
る。
In recent years, amorphous magnetic materials have come to be used as materials that relatively satisfy these conditions.

非晶質磁性材料として、従来から薄膜や薄帯状のものが
主に用いられているが、最近は、細線状の磁性材料が開
発され注目を集めている。
Traditionally, amorphous magnetic materials have mainly been used in the form of thin films or ribbons, but recently, magnetic materials in the form of thin wires have been developed and are attracting attention.

磁性材料の中での磁気弾性波の発生および検出は以下に
説明するような機構による。
The generation and detection of magnetoelastic waves in magnetic materials is based on the mechanism described below.

コイルなどによって磁性材料の一部に磁界を加えると、
その変化に伴い、磁化曲線に従った磁化の変化が生ずる
。この磁化の変化によって磁歪が生じ、この歪が弾性波
として磁性材料中を伝搬していくのが磁気弾性波である
。逆に磁性材料中に磁気弾性波が存在すると、磁気弾性
波に伴う歪はヴイラリ効果によって磁化の変化を惹起し
、この磁化の変化は周囲の磁界を変化させる。コイルな
どを用いてこの磁界の変化を検出することによって磁気
弾性波を検出できる。
When a magnetic field is applied to a part of a magnetic material using a coil, etc.,
Along with this change, a change in magnetization occurs according to the magnetization curve. This change in magnetization causes magnetostriction, and this strain propagates in the magnetic material as an elastic wave, which is a magnetoelastic wave. Conversely, when magnetoelastic waves exist in a magnetic material, the strain accompanying the magnetoelastic waves causes a change in magnetization due to the Villeri effect, and this change in magnetization changes the surrounding magnetic field. Magnetoelastic waves can be detected by detecting changes in this magnetic field using a coil or the like.

以上に説明したように磁気弾性波の発生・検出には、磁
化特性ど磁歪またはヴイラリ効果が大きな役割を演じて
いる。即ち、保磁力が小さい程(軟磁性である程)小さ
な磁界変化で大きな磁化変化が生じ、磁気弾性波の発生
・検出が容易になる。逆に、保磁力が大きければ(硬磁
性てあれば)磁化変化が生じカ<、磁気弾性波の発生・
検出は困難になる。また、同じ保磁力であれば、磁歪・
ヴイラリ効果が大きい程、磁気弾性波の発生・検出が容
易である。磁界と磁化の関係、磁化と磁性体の歪との関
係(即ち、磁歪およびヴイラリ効果)の両方が磁界と磁
性体中の歪との相互作用、即ち、磁気弾性結合を支配し
ている。磁気弾性結合が大きい程、磁気弾性波の弁才・
検出が容易な磁性材料といえる。
As explained above, the magnetostriction characteristic or the Villery effect plays a major role in the generation and detection of magnetoelastic waves. That is, the smaller the coercive force (the softer the magnetic property), the larger the change in magnetization caused by a small change in the magnetic field, and the easier it is to generate and detect magnetoelastic waves. On the other hand, if the coercive force is large (if it is hard magnetic), magnetization changes will occur, and magnetoelastic waves will be generated.
Detection becomes difficult. Also, if the coercive force is the same, magnetostriction and
The larger the Villery effect, the easier it is to generate and detect magnetoelastic waves. Both the relationship between the magnetic field and magnetization, and the relationship between magnetization and strain in the magnetic body (ie, magnetostriction and the Vuilleri effect) govern the interaction between the magnetic field and strain in the magnetic body, ie, magnetoelastic coupling. The larger the magnetoelastic coupling, the more effective the magnetoelastic wave is.
It can be said to be a magnetic material that is easy to detect.

一方、磁気弾性波が磁性′vJ科中を伝搬する場合、磁
気弾性結合が大きければ磁性材料中には磁気弾性波に伴
う磁化の時間的変化が生じ、渦電流が発生ずるため、伝
搬損失が大きくなる。この伝搬損失は磁気弾性波の周波
数が高くなる程大きくなる。
On the other hand, when a magnetoelastic wave propagates through a magnetic material, if the magnetoelastic coupling is large, a temporal change in magnetization occurs in the magnetic material due to the magnetoelastic wave, and eddy currents are generated, resulting in a propagation loss. growing. This propagation loss increases as the frequency of the magnetoelastic wave increases.

以上に説明したように、前記の磁気弾性波デバイスに用
いる磁性材料に求められる特性(1)及び(3)と、(
2)とは相客れない関係にある。
As explained above, the characteristics (1) and (3) required of the magnetic material used in the magnetoelastic wave device, and (
2) has a mutually exclusive relationship.

即ち、磁気弾性結合の大きな材料では、磁気弾性波の発
生・検出は容易であるが、伝搬に伴う損失が大きく、逆
に、磁気弾性結合の小さな材料では、少ない減衰で磁気
弾性波を伝搬させることができるが、発生と検出が困難
になる。
In other words, in materials with large magnetoelastic coupling, it is easy to generate and detect magnetoelastic waves, but the loss associated with propagation is large; on the other hand, in materials with small magnetoelastic coupling, magnetoelastic waves propagate with less attenuation. However, it is difficult to generate and detect.

このように磁気弾性波の発生、伝搬と検出のすべてに亘
って効率のよい磁気弾性波デバイスの実現は不可能であ
った。
As described above, it has been impossible to realize a magnetoelastic wave device that is efficient in all aspects of generation, propagation, and detection of magnetoelastic waves.

また、従来の磁性材オ°4の別の欠点として、例えばコ
イルのような単純な装置によって磁気弾性波を発生させ
ようとすると、電流によって発生した磁界が磁性材料の
比較的広い範囲にわたって印加されるため、その範囲内
の各微小部分で発生した磁気弾性波が干渉しあって、磁
気弾性波を弱めてしまうという問題があった。検出にお
いても、広い範囲の磁化の変化を拾うため、それぞれの
起電力が干渉しあって、検出効率を下げてしまう。これ
らの問題も、磁気弾性波の周波数が高くなるほど深刻な
ものとなる。
Another disadvantage of conventional magnetic materials is that when trying to generate magnetoelastic waves using a simple device such as a coil, the magnetic field generated by the current is applied over a relatively wide range of the magnetic material. Therefore, there was a problem in that the magnetoelastic waves generated in each minute part within that range interfered with each other, weakening the magnetoelastic waves. In detection, since changes in magnetization are picked up over a wide range, the respective electromotive forces interfere with each other, reducing detection efficiency. These problems also become more serious as the frequency of magnetoelastic waves increases.

以上に述べたように、従来の磁性材料には、磁気弾性波
の発生・検出と、その伝搬とを共に高い効率で行なわせ
ることができないという欠点と、発生・検出・伝搬のい
ずれについても、取扱う磁気弾性波の周波数が高くなる
程、その効率が低下するという欠点があった。このため
、磁気弾性波デバイスの信号伝達効率は低く、特に高い
周波数の信号を取扱うことのできる磁気弾性波デバイス
の実坤は困難であった。
As mentioned above, conventional magnetic materials have the disadvantage that they cannot generate and detect magnetoelastic waves and propagate them with high efficiency, and that they cannot generate, detect, and propagate magnetoelastic waves with high efficiency. The disadvantage is that the higher the frequency of the magnetoelastic waves handled, the lower the efficiency. For this reason, the signal transmission efficiency of the magneto-elastic wave device is low, and it has been difficult to put into practice a magneto-elastic wave device that can handle particularly high frequency signals.

上記の問題を改善する試みとして、例えば、磁性材料は
、磁気弾性波の伝搬路として用い、磁気弾性波の弁才と
検出は圧電効果などの別種の手段を用いる方法が知られ
ている。しかしこの方法によれば、構造が大変複雑にな
り、コストが高くなるという問題が生じてくる。
As an attempt to improve the above-mentioned problem, for example, a method is known in which a magnetic material is used as a propagation path for magnetoelastic waves, and another type of means such as piezoelectric effect is used for the eloquence and detection of the magnetoelastic waves. However, according to this method, the problem arises that the structure becomes very complicated and the cost becomes high.

= 5− [問題点を解決するための手段] 本発明は、上記従来技術の欠点を改善するため、非晶質
磁性線(以下、rvAf!I線」という)を冷間線引加
工して磁気弾性結合の小さい硬磁性の特性を持た甘た上
、一部に熱処理を施して熱処理部分に磁気弾性結合の大
きい軟磁性の特性を持たせたものである。即ち、単一の
磁性線の大部分を硬磁性とし、少なくとも一部分に軟磁
性の特性を持たせたものである。
= 5- [Means for solving the problems] In order to improve the drawbacks of the above-mentioned prior art, the present invention cold-draws an amorphous magnetic wire (hereinafter referred to as rvAf!I wire). In addition to having hard magnetic properties with small magnetoelastic coupling, a portion of the material is heat-treated to give the heat-treated portion soft magnetic properties with large magnetoelastic coupling. That is, most of the single magnetic wire is made hard magnetic, and at least a portion has soft magnetic characteristics.

従って、磁気弾性波の伝搬には、熱処理のされていない
硬磁性の部分を用い、磁気弾性波の発生または検出には
熱処理を施して軟磁性とした部分を用いることができる
Therefore, a hard magnetic portion that has not been heat treated can be used for propagation of magnetoelastic waves, and a soft magnetic portion that has been heat treated can be used for generation or detection of magnetoelastic waves.

このため、磁性線は磁気弾性波を効率よく伝搬させ、か
つ効率よく発生または検出をすることができる。
Therefore, the magnetic wire can efficiently propagate magnetoelastic waves and can efficiently generate or detect them.

さらに、このような磁性線においては熱処理されていな
い硬磁性の部分では磁気弾性結合が小さいため、高い周
波数の磁気弾性波も効率よく伝搬することができる。ま
た、熱処理を施した軟磁性の部分では、磁気弾性結合が
大きいため、磁気弾性波の発生または検出が効率よく行
なわれるが、特に、後述するような熱処理方法によって
、熱処理される部分の体積は小さくすることができるた
め、発生または検出のためのコイルの大ぎさに拘らず、
磁性線中の発生部または検出部の体積を小さくづ−るこ
とができる。このため、磁気弾性波の発生または検出に
おける干渉を小さくすることができ、磁気弾性波の発生
・検出も高い周波数領域まで効率よく行うことができる
Furthermore, in such a magnetic wire, since the magnetoelastic coupling is small in the hard magnetic portion that has not been heat treated, high frequency magnetoelastic waves can also be efficiently propagated. In addition, since the magnetoelastic coupling is large in the heat-treated soft magnetic part, magnetoelastic waves can be generated or detected efficiently, but in particular, the volume of the heat-treated part is Because it can be made small, regardless of the size of the coil for generation or detection,
The volume of the generating part or the detecting part in the magnetic wire can be reduced. Therefore, interference in generation or detection of magnetoelastic waves can be reduced, and generation and detection of magnetoelastic waves can be efficiently performed up to a high frequency range.

なお、以下に示す実施例のように、熱処理を2か所とし
、それぞれ磁気弾性波の発生部と検出部にすれば、磁気
弾性波の発生と検出を共に効率よく行なうことができる
Note that, as in the embodiment shown below, if the heat treatment is performed in two places, one for the generation part and the other for the detection part of the magnetoelastic waves, both the generation and detection of the magnetoelastic waves can be performed efficiently.

従って、従来のものに比べ高い周波数領域で使用できる
磁気弾性波デバイスの実現が可能となる。
Therefore, it is possible to realize a magnetoelastic wave device that can be used in a higher frequency range than conventional devices.

[実施例] 以下、図に基づいて、本発明の詳細な説明する。[Example] Hereinafter, the present invention will be described in detail based on the drawings.

第1図において、1は回転液中紡糸法(公開特許公報 
昭55−64948号参照)などの技術によって細線状
に作製された後、全体にわたって冷間線引加工をされた
磁性線である。
In Fig. 1, 1 is a rotating liquid spinning method (published patent publication
It is a magnetic wire that is made into a thin wire using a technique such as that disclosed in Japanese Patent No. 55-64948), and then subjected to cold drawing throughout.

この磁性線1の一部、2a、2bは、この磁性線の結晶
化温度以下で、かつ、熱処理効果が現れるのに十分な温
度以上(例えば、後に示ずFe77.5Si7.5  
B15という組成の磁性線では、結晶化温度は530″
C1また熱処理効果が現れるのは300°C以上であっ
た。)で熱処理された部分である。
A portion of the magnetic wire 1, 2a, 2b, has a temperature below the crystallization temperature of the magnetic wire and above a temperature sufficient for the heat treatment effect to appear (for example, Fe77.5Si7.5, not shown later).
For a magnetic wire with a composition of B15, the crystallization temperature is 530''
C1 The heat treatment effect appeared at temperatures above 300°C. ) is the part that has been heat treated.

(磁性線の結晶化温度については、[小笠原勇日本応用
磁気学会 第45回研究会資料 P、17〜24.19
86年]参照) 第2図は、第3図に示す特性を測定する方法を示す模式
図である。3aは、磁性線1の一部に設けた励振コイル
で、3bは、他の部分に設けた検出コイルである。40
a、40b及び41a、41bは上記各コイル3a、3
bを挟むように取り付けたヘルムホルツコイルである。
(For the crystallization temperature of magnetic lines, see [Isamu Ogasawara Japanese Society of Applied Magnetics, 45th Research Meeting Materials P, 17-24.19]
1986] FIG. 2 is a schematic diagram showing a method for measuring the characteristics shown in FIG. 3. 3a is an excitation coil provided in a part of the magnetic wire 1, and 3b is a detection coil provided in another part. 40
a, 40b and 41a, 41b are the respective coils 3a, 3
This is a Helmholtz coil attached to sandwich b.

上記各コイル3a、3bには、ヘルムホルツコイル40
a、40b及び41a、41bによって、磁気弾性波を
発生・検出するのに最適な強さの直流バイアス磁界が印
加されている。
Each of the coils 3a and 3b includes a Helmholtz coil 40.
A, 40b and 41a, 41b apply a DC bias magnetic field of optimum strength for generating and detecting magnetoelastic waves.

第3図は、Fe77.58i7.5 815の組成の磁
性線による実測データを示す。横軸は時間を、縦軸は、
(a)では励振コイル3aに流した励振電流を、また、
(b)〜(e)では検出コイル3bに発生した電圧を表
す。
FIG. 3 shows actual measurement data of the composition of Fe77.58i7.5 815 using magnetic lines. The horizontal axis is time, and the vertical axis is
In (a), the excitation current applied to the excitation coil 3a is also
(b) to (e) represent the voltage generated in the detection coil 3b.

同図(a)は励振コイル3aに流したトーンバースト電
流で、この電流のために生じた磁界によって、試料の励
振コイル3a付近の部分に磁気弾性波ブメ発生する。こ
の磁気弾性波が試料中を伝搬して、検出コイル3bの部
分に達すると、検出コイル3bには、同図(b)〜Te
)に示すように磁気弾性波に対応した電圧力(発生する
FIG. 4(a) shows a tone burst current passed through the excitation coil 3a, and the magnetic field generated by this current generates a magnetoelastic wave in a portion of the sample near the excitation coil 3a. When this magnetoelastic wave propagates through the sample and reaches the detection coil 3b, the detection coil 3b has
), a voltage force corresponding to the magnetoelastic wave is generated.

同図(b)は、前記した回転液中紡糸法によって細線状
に形成されたままの磁性線を試料とした場合の電圧波形
で、試料中を伝搬するために必要な伝搬遅延時間td 
 たけ励振トーンバースト電流から遅れて磁気弾性波が
検出されている。
Figure (b) shows the voltage waveform when the sample is a magnetic wire that has been formed into a fine wire by the above-mentioned spinning method in a rotating liquid, and the propagation delay time td required for propagation through the sample.
Magnetoelastic waves are detected with a delay from the bamboo-excited tone burst current.

この試料の軸方向の磁化曲線を第4図fa)に示す。The axial magnetization curve of this sample is shown in Figure 4 fa).

第3図(C)は、回転液中紡糸法によって細線状に形成
された後、全体にわたって冷間線引加工された磁性線を
試料とした場合の電圧波形である。
FIG. 3(C) shows a voltage waveform when a sample is a magnetic wire that has been formed into a thin wire by spinning in a rotating liquid and then cold-drawn over its entirety.

冷間線引加工は、一般には線径を細くすることを目的と
して施されるが、このとき同時に、第4図(b)の磁化
曲線にみられるように、保磁力が大きくなることが実験
によって確かめられている。
Cold drawing is generally performed for the purpose of reducing the wire diameter, but experiments have shown that at the same time, the coercive force increases, as seen in the magnetization curve in Figure 4(b). It has been confirmed by.

保磁力が大きくなると磁気弾性結合が小さくなって、磁
気弾性波の発生と検出は困難となり、第3図[C)にみ
られるように、検出される磁気弾性波は冷間線引加工さ
れる前に比べて非常に小さなレベルとなっている。ただ
し、この場合磁気弾性波は純粋な弾性波に近くなるので
、渦電流損が低下して、伝W1損失も非常に小さくなる
ことがわかっている。
As the coercive force increases, the magnetoelastic coupling becomes smaller, making it difficult to generate and detect magnetoelastic waves, and as shown in Figure 3 [C], the detected magnetoelastic waves are cold-drawn. The level is much smaller than before. However, it is known that in this case, the magnetoelastic wave becomes close to a pure elastic wave, so the eddy current loss decreases and the transmission W1 loss also becomes extremely small.

第3図(d)は、上記の細線状に形成され冷間線引加工
した磁性線を全体にわたって400°Cて熱処理した場
合の電圧波形である。
FIG. 3(d) shows a voltage waveform when the entire magnetic wire formed into a thin wire shape and subjected to cold drawing is heat-treated at 400°C.

この場合には、第4図fc)に示すように、再び保磁力
は低下し、磁気弾性結合が大きくなるので、第3図(b
)と同程度の信号が検出されている。ただし、伝搬損失
も同程度に戻っている。
In this case, as shown in Fig. 4 fc), the coercive force decreases again and the magnetoelastic coupling increases, so as shown in Fig. 3 b
) is detected. However, the propagation loss has returned to the same level.

以上説明したように、冷間線引加工によって磁気弾性波
は発生・検出しがたくなるが、伝搬しゃすくなり、その
後の熱処理によって、逆に磁気弾性波は発生・検出しや
すくなるが、伝搬しがたくなる。
As explained above, cold drawing processing makes it difficult to generate and detect magnetoelastic waves, but they also propagate more easily, and subsequent heat treatment conversely makes it easier to generate and detect magnetoelastic waves, but they do not propagate. It becomes difficult.

第1図に示す磁性線1は、全体にわたって冷間線引加工
をされた後、その一部2a、2bのみを熱処理されたも
のである。従ってこの磁性線1は、熱処理された部分2
a12bを除いて磁気弾性波を効率よく伝搬させる。ま
た、一方の熱処理部分2aに励振コイル3aを設け、交
流磁界を印加すれば容易に磁気弾性波を発生させること
ができる。
The magnetic wire 1 shown in FIG. 1 has been cold-drawn over its entirety, and then heat-treated only on portions 2a and 2b. Therefore, this magnetic wire 1 has a heat-treated portion 2
Magnetoelastic waves are efficiently propagated except for a12b. Furthermore, magnetoelastic waves can be easily generated by providing an excitation coil 3a on one of the heat-treated portions 2a and applying an alternating magnetic field.

さらに、他の部分2bに検出コイル3bを設ければ、伝
搬する磁気弾性波を効率よく検出することができる。 
二つの熱処理部分2a、2bにそれぞれ励振コイル3a
、検出コイル3bを設けた場合の検出波形を第3図(e
)に示す。同図(b) 、(C)。
Furthermore, if the detection coil 3b is provided in the other portion 2b, the propagating magnetoelastic waves can be detected efficiently.
An excitation coil 3a is provided in each of the two heat-treated parts 2a and 2b.
, the detection waveform when the detection coil 3b is provided is shown in Fig. 3 (e
). Figures (b) and (C).

及び、fd)に比べ大きな信号を検出していることがわ
かる。
It can be seen that a larger signal is detected compared to (and fd).

第5図は他の実施例を示すもので、磁性線1は、全体に
わたって冷間線引加工をされ、磁性線1の一方には幅の
狭い熱処理部分2a°を設け、また使方には、広い範囲
にわたって熱処理をした部分2b−を設けたものである
FIG. 5 shows another embodiment, in which the magnetic wire 1 is entirely cold-drawn, and one side of the magnetic wire 1 is provided with a narrow heat-treated portion 2a°. , a portion 2b- is provided which is heat-treated over a wide range.

第6図に示すように、この磁性線1の狭い範囲に熱処理
した部分2a゛に対して広い範囲にわたって励振コイル
3a’を設け、使方の広い範囲にわたって熱処理した部
分2b’に対しては幅の狭い検出コイル3b’を設ける
As shown in FIG. 6, an excitation coil 3a' is provided over a wide range for a narrow heat-treated part 2a' of the magnetic wire 1, and a wide excitation coil 3a' is provided for a wide range of heat-treated part 2b' of the magnetic wire 1. A narrow detection coil 3b' is provided.

この場合、励振コイル3a“によって広い範囲にわたっ
てトーンバースト状またはパルス状の磁界を加え、発生
した磁気弾性波の伝搬遅延時間tdを測定すれば、幅の
狭い熱処理部分2a°と検出コイル3b’ との間の距
離を知ることができる。
In this case, if a tone burst or pulsed magnetic field is applied over a wide range by the excitation coil 3a'' and the propagation delay time td of the generated magnetoelastic wave is measured, the narrow heat-treated portion 2a° and the detection coil 3b' can be separated. You can find the distance between.

このような装置は、磁性線1を2つのコイル3a” 、
3b’に対して移動可能にしておくことによって、位置
センサとして応用することができる。
Such a device connects the magnetic wire 1 to two coils 3a'',
By making it movable with respect to 3b', it can be applied as a position sensor.

第7図は、さらに他の実施例を示すもので、上記実施例
と同様、全体にわたって冷間線引加工をされた磁性線1
に、あらかじめ定めた部分2−1〜2−5の内、任意の
部分のみ熱処理を施しである。
FIG. 7 shows still another embodiment, in which magnetic wire 1 is entirely cold-drawn as in the above embodiment.
In this case, only an arbitrary portion of the predetermined portions 2-1 to 2-5 is subjected to heat treatment.

この例では、2−2.2−4、および2−5の部分のみ
が熱処理されている。2b’は上記の各部分2−1〜2
−5と離れた位置に熱処理した部分である。
In this example, only portions 2-2, 2-4, and 2-5 are heat treated. 2b' is each of the above parts 2-1 to 2
This is the part that was heat-treated at a position away from -5.

この磁性線1に対して、例えば第8図に示すように、あ
らかじめ定めた部分2−1〜2−5にそれぞ1れ対応し
た位置に励振コイル3−1〜3−5を、熱処理部分2b
’に対応した位置に検出コイル3b’を設ける。
With respect to the magnetic wire 1, excitation coils 3-1 to 3-5 are placed at positions corresponding to predetermined portions 2-1 to 2-5, respectively, as shown in FIG. 2b
A detection coil 3b' is provided at a position corresponding to '.

励振コイル3−1〜3−5に第9図(a)に示すような
トーンバースト電流を流せば、熱処理された部分2−2
.2−4、および2−5では同時に磁気弾性波が発生す
るが、熱処理されていない部分2−1.2−3では磁気
弾性波はほとんど発生しない。磁気弾性波が伝搬して他
の熱処理部分2b’に達すると、検出コイル3b′には
トーンバースト電圧が検出されるが、熱処理された部分
2−2.2−4、および2−5と他の熱処理部分2b’
 との距離がそれぞれ異なっているので、各部で発生し
た磁気弾性波が他の熱処理部分2b’に達するにはそれ
ぞれ伝搬時間 td 2 、td 4 、fd5が必要
となり、検出コイル3b’には第9図(b)に示すよう
な一連のトーンバースト電圧が発生する。熱処理されて
いない部分2−1.2−3ではほとんど磁気弾性波は発
生しないので、これらの部分2−1.2−3と他の、熱
処理部分2b’ との距離に対応する伝搬時間td1、
fd3にはトーンバースト信号は検出されない。即ち、
あらかじめ定めた部分2−1〜2−5の内、どの部分が
熱処理されているかをコイル3−1〜3−5および3b
−によって知ることができる。
When a tone burst current as shown in FIG. 9(a) is applied to the excitation coils 3-1 to 3-5, the heat-treated portion 2-2
.. Magnetoelastic waves are generated simultaneously in parts 2-4 and 2-5, but hardly any magnetoelastic waves are generated in parts 2-1 and 2-3 which are not heat-treated. When the magnetoelastic wave propagates and reaches the other heat-treated portions 2b', a tone burst voltage is detected in the detection coil 3b'. Heat treated part 2b'
Since the distances from the detection coil 3b' are different from each other, propagation times td 2 , td 4 , and fd5 are required for the magnetoelastic waves generated in each part to reach the other heat-treated part 2b'. A series of tone burst voltages are generated as shown in Figure (b). Since almost no magnetoelastic waves are generated in the non-heat-treated portions 2-1.2-3, the propagation time td1 corresponding to the distance between these portions 2-1.2-3 and the other heat-treated portion 2b' is
No tone burst signal is detected in fd3. That is,
The coils 3-1 to 3-5 and 3b determine which part is being heat-treated among the predetermined parts 2-1 to 2-5.
− can be known.

このような磁性線は、不揮発性メモリとして利用するこ
とができる。例えば、熱処理された部分(対応する遅延
時間に磁気弾性波が検出される)を「1」とし、熱処理
されていない部分をrOJとすれば、この実施例におけ
る磁性線1はr01Oll」という情報を持っているこ
とになる。
Such magnetic wires can be used as nonvolatile memory. For example, if the heat-treated part (a magnetoelastic wave is detected at the corresponding delay time) is "1" and the non-heat-treated part is rOJ, then the information that "magnetic line 1 in this example is r01Oll" is You will have it.

5か所の部分2−1〜2−5の内、熱処理する部分を選
択することにより、任意の5ピツ1、の情報をこの磁性
線に古き込むことができるものである。
By selecting the portion to be heat-treated among the five portions 2-1 to 2-5, information on any five pins 1 can be embedded in the magnetic wire.

第10図は、磁性線の一部を選択的に熱処理する方法の
一例を示すものである。
FIG. 10 shows an example of a method of selectively heat-treating a portion of the magnetic wire.

6a、6bは磁性線1を保持するとともに、電極となる
金属性の治具、7はスイッチ、8は定電流電源である。
6a and 6b are metal jigs that hold the magnetic wire 1 and serve as electrodes; 7 is a switch; and 8 is a constant current power source.

スイッチ7を閉じると、治具6a、6bを介して磁性1
1i11に流れる電流によって、磁性線1は治具5a、
5b間の部分2のみ加熱され、熱処理される。このほか
にも、赤外線やレーザ光などを磁性線1の一部に照射す
ることによって容易ニ、選択された一部を熱処理するこ
とができる。
When the switch 7 is closed, the magnetic 1
Due to the current flowing through 1i11, the magnetic wire 1 is moved by the jig 5a,
Only the portion 2 between 5b is heated and heat treated. In addition, by irradiating a portion of the magnetic wire 1 with infrared rays, laser light, or the like, a selected portion can be easily heat-treated.

[発明の効果] 以上述べたように、本発明は、回転液中紡糸法などの技
術によって細線状に作製された後、冷間線引加工される
ことにより、磁気弁・h波が伝mしやすいようになり、
更に選択された部分、少ナクとも磁性線の1か所以上に
部分的な熱処理を施したことによって、磁気弾性波の発
生または検出が容易な部分を形成された非晶質磁性線を
提供できるものである。
[Effects of the Invention] As described above, the present invention is made by fabricating a fine wire by a technique such as spinning in a rotating liquid, and then cold drawing it, so that magnetic valves and h-waves can be transmitted. It becomes easier to
Furthermore, by applying partial heat treatment to one or more selected portions of the magnetic wire, it is possible to provide an amorphous magnetic wire in which a portion where magnetoelastic waves can be easily generated or detected is formed. It is something.

このような非晶質磁性線は、従来の磁性材料に比べて、
磁気弾性波の発生または検出が容易で、かつ、少ない減
衰で磁気弾性波を伝搬させることができるので、各種の
磁気弾性波デバイスの材料として最適である。佳だ、熱
処理部分を小さくすることによって磁気弾性波の発生ま
たは検出部分を小さくすることができ、磁気弾性波の干
渉を低減させることができるので、従来より高い周波数
領域で使用できる磁気弾性波デバイスの実現を可能にす
る。
Compared to conventional magnetic materials, such amorphous magnetic wires have
Since magnetoelastic waves can be easily generated or detected, and magnetoelastic waves can be propagated with little attenuation, it is ideal as a material for various magnetoelastic wave devices. Good thing: by making the heat-treated part smaller, the part where magnetoelastic waves are generated or detected can be made smaller, and the interference of magnetoelastic waves can be reduced, so magnetoelastic wave devices can be used in higher frequency ranges than conventional ones. make it possible to realize

また、本発明の磁性線は、一部だけで磁気弾性波を発生
または検出できるので、これを利用してこれまで応用さ
れなかった不揮発性メモリや位置検出センサの分野にも
応用することができる。
In addition, since the magnetic wire of the present invention can generate or detect magnetoelastic waves only in a portion, it can be applied to the fields of non-volatile memory and position detection sensors, which have not been applied before. .

更に、本発明の磁性線は、単一の磁性線を冷間線引加工
し、選択された少なくとも一部を熱処理するだけで良い
から、構造が簡単で信頼性が高く、また、極めて安価に
提供することができるという効果を持つものである。
Furthermore, the magnetic wire of the present invention requires only cold drawing of a single magnetic wire and heat treatment of at least a selected portion, so the structure is simple, highly reliable, and extremely inexpensive. It has the effect of being able to provide

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の実施例を示す正面図、第2図は第1図
に示す磁性線に励振コイルおよび検出コイルを設けた正
面図、第3図は励振電流波形図および検出された電圧波
形図、第4図は磁性線の保磁力を示す磁化曲線、第5図
は第2の実施例を示す正面図、第6図は第5図に示す磁
性線に励振コイルおよび検出コイルを設けた正面図、第
7図は第3の実施例を示す正面図、第8図は第7図に示
す磁性線に励振コイルおよび検出コイルを設けた正面図
、第9図は第3の実施例におtプる励振電流波形図およ
び検出された電圧波形図、第10図は本発明にお(ブる
熱処理方法の一例を示す断面図である。 1は磁性線、2は熱処理部分、3aは励振コイル、3b
検出コイルである。 (特許出願人 ジエコー 株式会社) f′L図 矛21図 −p+口 (2]、ン        Cb)         
(C)オq図 fs図 オ6図 オフ図 才8図
Fig. 1 is a front view showing an embodiment of the present invention, Fig. 2 is a front view of the magnetic wire shown in Fig. 1 provided with an excitation coil and a detection coil, and Fig. 3 is an excitation current waveform diagram and a detected voltage. A waveform diagram, FIG. 4 is a magnetization curve showing the coercive force of the magnetic wire, FIG. 5 is a front view showing the second embodiment, and FIG. 6 is a diagram showing the magnetic wire shown in FIG. 5 provided with an excitation coil and a detection coil. 7 is a front view showing the third embodiment, FIG. 8 is a front view of the magnetic wire shown in FIG. 7 provided with an excitation coil and a detection coil, and FIG. 9 is a front view of the third embodiment. Fig. 10 is a cross-sectional view showing an example of the heat treatment method according to the present invention. 1 is a magnetic wire, 2 is a heat treatment part, and 3a is a diagram of an excitation current waveform and a detected voltage waveform. is an excitation coil, 3b
It is a detection coil. (Patent applicant: G-Eco Co., Ltd.)
(C)Oq diagram fs diagram O6 diagram Off diagram A8 diagram

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims]  冷間線引加工をされたものであって、少なくとも1か
所以上に部分的な熱処理が施されたことを特徴とする非
晶質磁性線。
An amorphous magnetic wire that has been cold-drawn and is characterized in that it has been partially heat-treated at at least one location.
JP62052735A 1987-03-06 1987-03-06 Amorphous magnetic wire Granted JPS63219182A (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62052735A JPS63219182A (en) 1987-03-06 1987-03-06 Amorphous magnetic wire
US07/163,432 US4913750A (en) 1987-03-06 1988-03-03 Amorphous magnetic wire

Applications Claiming Priority (1)

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JP62052735A JPS63219182A (en) 1987-03-06 1987-03-06 Amorphous magnetic wire

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS63219182A true JPS63219182A (en) 1988-09-12
JPH0469828B2 JPH0469828B2 (en) 1992-11-09

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ID=12923185

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113088637A (en) * 2021-03-26 2021-07-09 深圳技术大学 Deep pulse current annealing, signal conditioning and collecting method and device for permalloy

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113088637A (en) * 2021-03-26 2021-07-09 深圳技术大学 Deep pulse current annealing, signal conditioning and collecting method and device for permalloy

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