JPS63202897A - High voltage dc source - Google Patents

High voltage dc source

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JPS63202897A
JPS63202897A JP62034895A JP3489587A JPS63202897A JP S63202897 A JPS63202897 A JP S63202897A JP 62034895 A JP62034895 A JP 62034895A JP 3489587 A JP3489587 A JP 3489587A JP S63202897 A JPS63202897 A JP S63202897A
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JP
Japan
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power supply
voltage
power
ion source
electrode
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Application number
JP62034895A
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Japanese (ja)
Inventor
守 松岡
英博 長村
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Toshiba Corp
Japan Atomic Energy Agency
Original Assignee
Toshiba Corp
Japan Atomic Energy Research Institute
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的] (産業上の利用分野) 本発明は、高速の中性粒子を発生する中性粒子入射装置
に高電圧を供給する高圧直流電源装置に係り、特に高圧
直流電源装置に存在する浮遊静電荷のエネルギを吸収す
る高電圧直流電源装置に関する。
[Detailed Description of the Invention] [Object of the Invention] (Industrial Application Field) The present invention relates to a high-voltage DC power supply device that supplies high voltage to a neutral particle injection device that generates high-speed neutral particles, and in particular, The present invention relates to a high-voltage DC power supply that absorbs the energy of floating static charges present in the high-voltage DC power supply.

(従来の技術) 核融合の実験装置に使用される中性粒子入射装置(以下
、NBIと略称する)は、水素原子等をイオン化し、直
流高電圧を印加してこのイオンを加速し、さらに水素原
子等に衝突させて荷電粒子交換によシ高速の中性粒子(
例えば水素原子)を発生させるものである。
(Prior art) A neutral particle injection device (hereinafter abbreviated as NBI) used in nuclear fusion experimental equipment ionizes hydrogen atoms, etc., accelerates these ions by applying a high DC voltage, and then High-speed neutral particles (
For example, hydrogen atoms) are generated.

第2図に、NBIに電力を供給する従来の高圧直流電源
装置の構成図である。第2図において1は高圧直流電源
、2は高圧直流電源1の負荷となるイオン源で、このイ
オン源2の内部には、加速電極3a、接地電極3bが所
定の間隔をもって配置され、それぞれ第1の給電線4a
、4bを介して高圧直流電源lの「副側、「−」側に接
続されている。なお、「−」側の給電線4bは大地に接
続されている。5は、絶縁変圧器6を介して供給される
交流電力を例えば10〜200V程度の電圧で数kAの
電流の直流電力に変換し、この電力を、第2の給1!線
7を介してイオン#i2における水素原子等をイオン化
するためのアーク・フィラメントなどに供給する低圧大
電流の直流電源である。そこで、給電線7はイオン源2
における負荷の個数に対応して設けられるもので、その
本数は数10本におよぶ場合もある。そして、この給電
線7は低圧、大電流をイオン源2に送るなめ電圧降下、
発熱を考慮してその1本当りの導体断面積は大きくなっ
ている。なお、直流電源5は、電位固定線8を介して給
電線4aに接続されて、高圧直流電源1の[副側の電位
に固定さnる。したがって直流電源5は大地から高電圧
に浮いた状態で使用される。絶縁変圧器6ではその高電
位側巻線6aが直流を源5に接続され、低電位側巻線6
bが外部の交流電源に接続されている。9は絶縁変圧器
6の筐体を示しておシ、この筐体9の接地端子9aは大
地と接続されている。
FIG. 2 is a configuration diagram of a conventional high-voltage DC power supply device that supplies power to the NBI. In FIG. 2, 1 is a high-voltage DC power supply, and 2 is an ion source that serves as a load for the high-voltage DC power supply 1. Inside this ion source 2, an accelerating electrode 3a and a grounding electrode 3b are arranged at a predetermined interval. 1 power supply line 4a
, 4b to the "auxiliary side" and "-" side of the high voltage DC power supply l. Note that the "-" side power supply line 4b is connected to the ground. 5 converts the AC power supplied via the isolation transformer 6 into DC power with a voltage of about 10 to 200 V and a current of several kA, and supplies this power to the second power supply 1! This is a low-voltage, large-current DC power supply that is supplied via line 7 to an arc filament for ionizing hydrogen atoms and the like in ion #i2. Therefore, the feed line 7 is connected to the ion source 2.
They are provided in correspondence with the number of loads in the system, and the number may reach several dozen in some cases. This feeder line 7 sends low voltage and large current to the ion source 2, resulting in a voltage drop.
The cross-sectional area of each conductor is increased in consideration of heat generation. Note that the DC power supply 5 is connected to the power supply line 4a via a potential fixing line 8, and is fixed at the potential of the secondary side of the high voltage DC power supply 1. Therefore, the DC power supply 5 is used in a state where it is floating at a high voltage from the ground. In the isolation transformer 6, the high potential side winding 6a is connected to the DC source 5, and the low potential side winding 6a is connected to the DC source 5.
b is connected to an external AC power source. Reference numeral 9 indicates a housing of the insulating transformer 6, and a ground terminal 9a of this housing 9 is connected to the earth.

ところで、このような装置には、浮遊静電荷が存在する
。すなわち、絶縁変圧器6の高電位巻線6aが大地に対
して持っている浮遊静電荷1oおよび給電線4aが大地
に対して持っている浮遊静電荷11である。なお、浮遊
静電荷10.IIはコンデンサの記号をもって示しであ
る。
By the way, floating static charges exist in such devices. That is, they are a floating static charge 1o that the high potential winding 6a of the isolation transformer 6 has with respect to the ground, and a floating static charge 11 that the power supply line 4a has with respect to the ground. In addition, floating static charge 10. II is indicated with the symbol of a capacitor.

そこで、イオン源2においてイオンを加速する場合は、
加速電極3aと接地電極3bとの間に高圧直流電源1に
より高電圧を加えて強電界を発生させ、この強電界によ
シ水素イオン等を加速する。
Therefore, when accelerating ions in the ion source 2,
A high voltage is applied between the accelerating electrode 3a and the ground electrode 3b by the high voltage DC power supply 1 to generate a strong electric field, and hydrogen ions and the like are accelerated by this strong electric field.

このように強電界を発生させるため、これら電極3m、
3b間の間隔は狭くなっておシ、シばしば電極3h、3
b間で放電現象が発生する。このため従来は、放電現象
が発生したとき高圧直流電源1からの電力供給を(μs
ec )オーダで停止させていた。
In order to generate a strong electric field in this way, these electrodes of 3m,
The spacing between electrodes 3b becomes narrower, and often the electrodes 3h, 3
A discharge phenomenon occurs between b. For this reason, conventionally, when a discharge phenomenon occurs, the power supply from the high voltage DC power supply 1 is
ec) It was stopped by order.

しかし、放電が生じ電力供給を停止しても浮遊静電荷1
0.11によシ短絡電流IIIが第2図に示すように流
れ、この短絡電流工、の大部分が電極3m、3bで熱エ
ネルギとして消費さnる。ところが、を罹3as3bは
薄板状に形成されているため、わずかな浮遊静電荷のエ
ネルギ(例えば数10ジェール〜数100X)エール)
でも破損されてしまう。そこで、わずかな浮遊静電荷エ
ネルギを何らかの手段により除去、吸収することが要望
されていた。
However, even if a discharge occurs and the power supply is stopped, the floating static charge 1
0.11, a short circuit current III flows as shown in FIG. 2, and most of this short circuit current is consumed as heat energy at the electrodes 3m and 3b. However, since the 3as3b is formed in a thin plate shape, the energy of a small amount of floating electrostatic charge (for example, several tens of joules to several 100 times ale)
But it gets damaged. Therefore, it has been desired to remove and absorb the slight stray electrostatic charge energy by some means.

第3図は浮遊静電荷エネルギを吸収する手段を設けた従
来の高圧直流電源装置の構成図である。
FIG. 3 is a block diagram of a conventional high voltage DC power supply device provided with means for absorbing stray electrostatic charge energy.

なお、第2図と同一部分には同一符号を付してその詳し
い説明は省略する。第3図に示す装置では、浮遊静電荷
エネルギによる短絡電流IBを減少するために、中空円
筒状で所定の厚をもって形成し九磁性体20をその中空
部に給電線4aおよび7を貫通させて設け、さらにこの
磁性体20に抵抗21を接続した2次巻線22を設けで
ある。し九がって、2次巻線22と磁性体20介して給
電線4IL。
Note that the same parts as in FIG. 2 are given the same reference numerals, and detailed explanation thereof will be omitted. In the device shown in FIG. 3, in order to reduce the short circuit current IB due to stray electrostatic charge energy, the nine magnetic bodies 20 are formed into a hollow cylinder with a predetermined thickness and the feed lines 4a and 7 are passed through the hollow parts. Further, a secondary winding 22 in which a resistor 21 is connected to the magnetic body 20 is provided. Then, the power supply line 4IL is connected via the secondary winding 22 and the magnetic body 20.

7を1次巻線とする変圧比1対1の変圧器が形成される
ことになる。
A transformer with a transformation ratio of 1:1 is formed with 7 as the primary winding.

そこで、イオン源2の電極3a、sb間に放電が発生す
ると、浮遊静電荷10.11によシ短絡電流工、が流れ
るが、誘電作用によシ磁性体20f:介して2次巻線2
2に工、と同程度の電流IRが流れる。これにより、浮
遊静電荷10.IIの大部分のエネルギが抵抗21によ
り消費されることになる。しかし、これは理想的な変圧
器の作用であり、実際には、磁性体20の内部磁束を発
生させる励磁電流分によシ影響を受ける。つまり、磁性
体20の励磁インダクタンスをり、浮遊静電荷の初期電
圧を■。、磁性体20の極間に電圧が加わる時間をΔT
、流れる励磁電流をILとすると、■。×ΔT=LXI
、          ・・・(1)なる関係が成立す
る。今、vo〜100kV、  ΔT〜lμsec、L
j”W数10μHとすると、第(1)式は、となり大き
な値を示す。したがって、この励磁電流工、により誘導
されて電極3m、3bに電流が流れ、これにより電極3
h、3bが破損する恐れがある。
Therefore, when a discharge occurs between the electrodes 3a and sb of the ion source 2, a short circuit current flows due to the floating static charge 10.11, but due to the dielectric action, the secondary winding 2
A current IR of the same magnitude as 2 flows. This results in a floating static charge of 10. Most of the energy of II will be consumed by resistor 21. However, this is the action of an ideal transformer, and is actually affected by the excitation current that generates the internal magnetic flux of the magnetic body 20. In other words, the excitation inductance of the magnetic body 20 is calculated by the initial voltage of the floating static charge. , the time when the voltage is applied between the poles of the magnetic body 20 is ΔT
, if the flowing excitation current is IL, ■. ×ΔT=LXI
, ...(1) holds true. Now, vo~100kV, ΔT~lμsec, L
j''W is 10μH, then equation (1) shows a large value.Therefore, current flows through the electrodes 3m and 3b induced by this exciting current, and this causes the electrode 3
h, 3b may be damaged.

(発明が解決しようとする問題点) したがって、励磁電流工、を低減するためには、第(2
)式から判るように励磁インダクタンスLを大きくする
か、初期電圧v0、時間ΔTを小さくするしかない。し
かし、voはNBIの性能に関係するものなので小さく
することは不可能である。またΔTも、他の回路定数と
関連して定まる定数なので小さくすることは不可能に近
い。
(Problem to be solved by the invention) Therefore, in order to reduce the excitation current
) As can be seen from the equation, there is no choice but to increase the excitation inductance L or decrease the initial voltage v0 and time ΔT. However, since vo is related to the performance of NBI, it is impossible to reduce it. Further, since ΔT is also a constant determined in relation to other circuit constants, it is almost impossible to reduce it.

一方、励磁インダクタンスLは、磁性体20の外形寸法
に依存し、特に全長に比例する。したがって、励磁電流
lLを減少させるには、磁性体20の全長を長くすれば
よいことになる。ところで、現在使用されている磁性体
20の全長は1〜2m程度である。一方イオン源2に設
定された短絡電流の許容電流値はおよそ数10OAであ
る。したがって、この許容電流値内におさえるには、磁
性体20の全長を現在のものよシも約10倍に長くしな
ければならない。
On the other hand, the excitation inductance L depends on the external dimensions of the magnetic body 20, and is particularly proportional to the overall length. Therefore, in order to reduce the excitation current LL, it is sufficient to increase the total length of the magnetic body 20. By the way, the total length of the magnetic body 20 currently used is about 1 to 2 m. On the other hand, the allowable current value of the short circuit current set in the ion source 2 is approximately several tens of OA. Therefore, in order to keep the current within this permissible value, the total length of the magnetic body 20 must be made about 10 times longer than the current length.

このなめ、磁性体20を設置するスペースを大きくしな
ければならない。そのうえ、高い領域での周波数特性が
よいフェライトコアを多く使用することになるので、経
済的な面でも問題がある。
Because of this, the space in which the magnetic body 20 is installed must be increased. Furthermore, since many ferrite cores having good frequency characteristics in high ranges are used, there is also an economical problem.

一方、磁性体20に代えて巻線を使用する方式も考えら
れたが、給電線7のような大電流が流れ、その断面積が
大きい線路を数10本貫通させなければならないので、
これも経済的に問題がある。
On the other hand, a method of using a winding wire instead of the magnetic material 20 was also considered, but this would require several tens of lines such as the feeder line 7, where a large current flows and whose cross-sectional area is large, to pass through.
This is also economically problematic.

いずれにしても、経済的に問題があり、コンパクトなも
のではない。
In any case, it is economically problematic and not compact.

そこで本発明は、浮遊静電荷のエネルギをコンパクトで
、かつ経済的なもので吸収し得る高電圧直流電源装置を
提供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION Therefore, an object of the present invention is to provide a high voltage DC power supply device that is compact and economical and can absorb the energy of floating static charges.

[発明の構成] (問題点を解決するための手段) 本発明は、イオンを加速して高速の中性粒子を発生する
イオン源の加速電極および接地電極間に第1の給電線を
介して高電圧を加える高圧直流電源と、変圧器を介して
供給された交流電力を直流電力に変換してイオン源の原
子をイオン化する九めのフィラメントに第2の給電線を
介して供給する大電流直流電源とから構成される高圧直
流電源装置において、変圧器、大電流電源、第1および
第2の給電線およびイオン源から形成される閉ループ回
路と大地との間にエネルギ消費用素子を設けて上記目的
を達成しようとする高電圧直流電源装置である。
[Structure of the Invention] (Means for Solving the Problems) The present invention provides a first power supply line between an acceleration electrode and a ground electrode of an ion source that accelerates ions to generate high-speed neutral particles. A high-voltage DC power supply that applies high voltage and a high current that is supplied via a second feeder to the ninth filament that converts the AC power supplied via the transformer into DC power and ionizes the atoms of the ion source. In a high voltage DC power supply device consisting of a DC power supply, an energy consuming element is provided between the ground and a closed loop circuit formed from a transformer, a large current power supply, first and second power supply lines, and an ion source. This is a high voltage DC power supply device that attempts to achieve the above object.

(作用) このような手段を備えたことによシ、加速電極と接地電
極との間に放電が発生したときに、交流電力を大電流直
流電源へ供給する変圧器から大電流直流電源、さらにこ
の直流電源から第2の給電線および高圧直流電源から加
速電極に高電圧を供給する第1の給電線を通してイオン
源に到って形成される閉ループ回路に浮遊静電荷による
電流が流れると、この電流はエネルギ消費用素子におい
て消費される。
(Function) By providing such a means, when a discharge occurs between the accelerating electrode and the ground electrode, the transformer that supplies AC power to the large current DC power source, the large current DC power source, and the When a current due to stray static charges flows into the closed loop circuit formed by reaching the ion source through the second power supply line from this DC power supply and the first power supply line that supplies high voltage to the accelerating electrode from the high voltage DC power supply, this Current is dissipated in the energy consuming elements.

(実施例) 以下、本発明に係る高電圧直流電源装置の一実施例につ
いて第1図を参照して説明する。なお、第2図と同一部
分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。第
1図に示す高電圧直流電源装置は、浮遊静電荷のエネル
ギを消費するために、変圧器6における筐体9の接地端
子9aと大地との間を、エネルギ消費用素子としてのエ
ネルギ消費用抵抗30を介して接続した構成となってい
る。
(Example) Hereinafter, an example of a high voltage DC power supply device according to the present invention will be described with reference to FIG. Note that the same parts as in FIG. 2 are given the same reference numerals, and detailed explanation thereof will be omitted. The high-voltage DC power supply shown in FIG. 1 connects the transformer 6 between the ground terminal 9a of the casing 9 and the earth as an energy consuming element in order to consume the energy of stray static charges. The configuration is such that they are connected via a resistor 30.

なお、変圧器6の筺体9は、大地に対してがいしなどで
絶縁されている。
Note that the casing 9 of the transformer 6 is insulated from the ground with an insulator or the like.

次に、第1図に示すように構成された装置の特に浮遊静
電荷エネルギを消費する作用について説明する。高圧直
流電源1から第1の給電線(a。
Next, the function of the device configured as shown in FIG. 1, particularly in consuming stray electrostatic charge energy, will be explained. A first power supply line (a.

4bを通してイオン源2の加速電極3aと接地電極3b
との間に高電圧が加えられるとともに、直流電源5から
第2の給電線7を通してイオン源2のアーク・フィラメ
ントに大電流が流されると、イオン源2においては、例
えば水素原子をイオン化し、このイオンを加速電極3a
と接地電極3bとの間に発生する強電界により加速して
水素原子に衝突させ、荷電粒子交換により高速の中性粒
子を発生している。
Accelerating electrode 3a and grounding electrode 3b of ion source 2 through 4b
When a high voltage is applied between the DC power supply 5 and the arc filament of the ion source 2 through the second power supply line 7, the ion source 2 ionizes, for example, hydrogen atoms. These ions are accelerated by the electrode 3a
A strong electric field generated between the hydrogen atoms and the ground electrode 3b accelerates the hydrogen atoms and causes them to collide with hydrogen atoms, generating high-speed neutral particles through charged particle exchange.

このような状態にありてイオン源2の加速電甑3aと接
地電極3bとの間で放電が発生すると、浮遊静電荷10
.11によシ、変圧器6、直流電源5、給電線4aおよ
び7、イオン源2、大地およびエネルギ消費用抵抗3o
から形成される閉ループ回路に短絡電流輸が流れる。し
かし、この短絡電流I8はこの消費用抵抗3oにょシミ
力として消費される。つまり、浮遊静電荷10.IIの
エネルギは、その大部分が熱として消費されることにな
る。なお、このときエネルギ消費用抵抗3゜の両端には
瞬間的に電圧が現われて、変圧器6の筐体8の電位は大
地に対して浮くことになるが、筐体8は大地に対してが
いし等で絶縁されているためその影響は受けない。
If a discharge occurs between the accelerating electrode 3a and the ground electrode 3b of the ion source 2 in such a state, the floating static charge 10
.. 11, transformer 6, DC power supply 5, power supply lines 4a and 7, ion source 2, ground and energy consumption resistor 3o
A short-circuit current flows through the closed loop circuit formed by However, this short circuit current I8 is consumed as a sinking force by this consuming resistor 3o. That is, floating static charge 10. Most of the energy of II will be consumed as heat. At this time, a voltage appears instantaneously across the energy consumption resistor 3°, and the potential of the casing 8 of the transformer 6 floats with respect to the ground; Since it is insulated with insulators, etc., it is not affected by this.

このように本装置においては、変圧器6の筐体9と大地
との間をエネルギ消費用抵抗3oをもって接続したので
、加速電極3aと接地電極3bとの間に放電が発生し、
浮遊静電荷10.11により短絡電流工、が流れてもこ
の電流I8はエネルギ消費用抵抗30によフ熱として消
費(吸収)されてしまい、加速電極3aと接地電極3b
とを破損することはなくなる。そして、従来のもののよ
うに磁性体を設置するようなこともなく、この磁性体の
励磁電流の影響などは考える必要がない。したがって、
従来のものよフもその構成が簡単であり、エネルギ消費
用抵抗30は第2図に示す装置に用いた抵抗21と同一
のものでもよい。
In this way, in this device, since the casing 9 of the transformer 6 and the earth are connected through the energy consumption resistor 3o, a discharge occurs between the accelerating electrode 3a and the grounding electrode 3b.
Even if the short-circuit current I8 flows due to the floating static charge 10.11, this current I8 is consumed (absorbed) as heat by the energy consumption resistor 30, and the accelerating electrode 3a and the grounding electrode 3b
and will no longer be damaged. Moreover, there is no need to install a magnetic body as in the conventional case, and there is no need to consider the influence of the excitation current of this magnetic body. therefore,
Its structure is simpler than that of the conventional one, and the energy consumption resistor 30 may be the same as the resistor 21 used in the device shown in FIG.

なお、本発明は、上記一実施例に限定されるものではな
い。例えば絶縁変圧器6が静電シールドあるいは混触防
止板を有するものであnば、これら静電シールドあるい
は混触防止板の引き出し端子を絶縁変圧器6の内部ある
いは外部において筐体9の接地端子9aと接続し、さら
にこの接地端子9aと大地との間をエネルギ消費用抵抗
を介して接続してもよい。このように構成すれば上記浮
遊静電荷10.11だけでなく、変圧器6の高電位巻線
6aと静電シールドとの間の浮遊静電荷のエネルギおよ
び高電位巻線6aと混触防止板との′間の浮遊静電荷の
エネルギをも吸収できる。
Note that the present invention is not limited to the above embodiment. For example, if the insulating transformer 6 has an electrostatic shield or a cross-contact prevention plate, the lead terminal of the electrostatic shield or cross-contact prevention plate can be connected to the ground terminal 9a of the casing 9 inside or outside the insulating transformer 6. Furthermore, this ground terminal 9a and the earth may be connected via an energy consumption resistor. With this configuration, not only the floating static charge 10.11, but also the energy of the floating static charge between the high potential winding 6a of the transformer 6 and the electrostatic shield, and the energy of the stray static charge between the high potential winding 6a and the contact prevention plate are reduced. It can also absorb the energy of stray static charges between '.

ま九、給電線4a、7が金属性の構築物または板で覆わ
れている場合は、これら金属性の構築物または板の接地
端子と大地とをエネルギ消費用抵抗を介して接続しても
上記一実施例と同様の効果を奏することができる。
9. If the feeder lines 4a and 7 are covered with metal structures or plates, the above method will not work even if the ground terminals of these metal structures or plates are connected to the earth via an energy consumption resistor. The same effects as in the embodiment can be achieved.

なお、本発明はその主旨を逸脱しない範囲で変形するこ
とが可能である。
Note that the present invention can be modified without departing from the spirit thereof.

[発明の効果] 本発明によれば、イオン源において放電が発生し之とき
の浮遊静電荷による短絡電流が流詐る閉ループ回路にエ
ネ/L/ギ消費用素子を設けたので、浮遊静電荷のエネ
ルギをコンパクトで、かつ経済的なもので吸収し得る高
電圧直流電源装置を提供できる。
[Effects of the Invention] According to the present invention, an energy/L/G consumption element is provided in a closed loop circuit in which a short-circuit current due to floating static charges flows when discharge occurs in the ion source. It is possible to provide a high-voltage DC power supply device that is compact and economical and can absorb the energy of

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明に係る高電圧直流電源装置の一実施例を
示す構成図、第2図は従来装置の構成図、第3図は浮遊
静電荷のエネルギを吸収する装置を設は次従来装置の構
成図である。 I・・・高圧直流電源、2・・・イオン源、3a・・・
加速電極、3b・・・接地M、極、4m、4b・・・給
電ひ、5・・・直流電源、6・・・絶縁変圧器、7・・
・給電線、30・・・エネルギ消費用抵抗。 出願人代理人  弁理士 鈴 江 武 彦第1図 第3図
Fig. 1 is a block diagram showing an embodiment of the high voltage DC power supply device according to the present invention, Fig. 2 is a block diagram of a conventional device, and Fig. 3 is a block diagram showing a conventional device for absorbing the energy of stray static charges. It is a block diagram of a device. I...High voltage DC power supply, 2...Ion source, 3a...
Accelerating electrode, 3b...Grounding M, pole, 4m, 4b...Power supply, 5...DC power supply, 6...Isolation transformer, 7...
・Power supply line, 30...Resistance for energy consumption. Applicant's representative Patent attorney Takehiko Suzue Figure 1 Figure 3

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] イオンを加速して高速の中性粒子を発生するイオン源の
加速電極および接地電極間に第1の給電線を介して高電
圧を加える高圧直流電源と、変圧器を介して供給された
交流電力を直流電力に変換して、前記イオン源の原子を
イオン化するためのフィラメントに第2の給電線を介し
て供給する大電流直流電源とから構成される高圧直流電
源装置において、前記変圧器、前記大電流直流電源、前
記第1および第2の給電線および前記イオン源から形成
される閉ループ回路と大地との間にエネルギ消費用素子
を設け、前記加速電極および前記接地電極間に放電が発
生したときの前記閉ループ回路に流れる浮遊静電荷によ
る電流を前記エネルギ消費用素子に消費させることを特
徴とする高電圧直流電源装置。
A high-voltage DC power supply that applies a high voltage via a first power supply line between an acceleration electrode of an ion source that accelerates ions to generate high-speed neutral particles and a ground electrode, and AC power supplied via a transformer. a high-voltage DC power supply that converts the DC power into DC power and supplies the converted DC power to a filament for ionizing atoms of the ion source via a second power supply line, the transformer; An energy consuming element is provided between a closed loop circuit formed from a large current DC power source, the first and second power supply lines, and the ion source and the earth, and a discharge occurs between the accelerating electrode and the grounding electrode. A high-voltage DC power supply device characterized in that the energy consumption element consumes current due to floating static charges flowing through the closed loop circuit.
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