JPS63199171U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63199171U JPS63199171U JP8871587U JP8871587U JPS63199171U JP S63199171 U JPS63199171 U JP S63199171U JP 8871587 U JP8871587 U JP 8871587U JP 8871587 U JP8871587 U JP 8871587U JP S63199171 U JPS63199171 U JP S63199171U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shutter
- temperature
- liquid nitrogen
- shape memory
- memory alloy
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 8
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 229910001285 shape-memory alloy Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims 1
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Description
第１図は本考案の液体窒素シユラウドを備えた
分子線結晶成長室の概略縦断面図。第２図はシヤ
ツタが閉じている時の排気流通孔近傍の断面図。
第３図は第２図の―断面図。第４図は従来例
にかかる液体窒素シユラウドを備えた分子線結晶
成長室の概略縦断面図。 １……排気ポンプ、２……液体窒素シユラウド
、３……真空チヤンバ、４……液体窒素出入口、
５……形状記憶合金製シヤツタ、６……排気流通
孔、７……シヤツタ板、８……蝶番、９……開閉
片、１０……迂回路、１１……液体窒素。
分子線結晶成長室の概略縦断面図。第２図はシヤ
ツタが閉じている時の排気流通孔近傍の断面図。
第３図は第２図の―断面図。第４図は従来例
にかかる液体窒素シユラウドを備えた分子線結晶
成長室の概略縦断面図。 １……排気ポンプ、２……液体窒素シユラウド
、３……真空チヤンバ、４……液体窒素出入口、
５……形状記憶合金製シヤツタ、６……排気流通
孔、７……シヤツタ板、８……蝶番、９……開閉
片、１０……迂回路、１１……液体窒素。
Claims (1)
- 排気ポンプ１によつて真空排気する事のできる
分子線結晶成長装置の真空チヤンバ３の内部に設
けられる液体窒素シユラウドであつて、排気ポン
プ１に対向する部位に排気流通孔６が設けられ、
該排気流通孔６には形状記憶合金を開閉片として
用いるシヤツタ５があり、該形状記憶合金の臨界
温度Ｔｃが液体窒素温度と常温との間に設定され
ており、臨界温度Ｔｃより高温ではシヤツタ５が
開き、臨界温度Ｔｃより低温ではシヤツタ５が閉
じるように構成されている事を特徴とする形状記
憶合金シヤツタ付液体窒素シユラウド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8871587U JPS63199171U (ja) | 1987-06-09 | 1987-06-09 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8871587U JPS63199171U (ja) | 1987-06-09 | 1987-06-09 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63199171U true JPS63199171U (ja) | 1988-12-21 |
Family
ID=30947056
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8871587U Pending JPS63199171U (ja) | 1987-06-09 | 1987-06-09 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63199171U (ja) |
-
1987
- 1987-06-09 JP JP8871587U patent/JPS63199171U/ja active Pending