JPS63199023U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63199023U JPS63199023U JP8903287U JP8903287U JPS63199023U JP S63199023 U JPS63199023 U JP S63199023U JP 8903287 U JP8903287 U JP 8903287U JP 8903287 U JP8903287 U JP 8903287U JP S63199023 U JPS63199023 U JP S63199023U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vortex generator
- flow rate
- gas
- vortex
- liquid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims description 3
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
Description
第1図は本考案の一実施例を示す断面図、第2
図はセンサホルダの断面図、第3図はマイクロブ
リツジの要部断面図、第4図は同ブリツジの要部
平面図、第5図は同ブリツジの要部断面図、第6
図はカルマン渦流量計の作動原理を説明するため
の図である。 1……流体、2……渦発生体、3……カルマン
渦列、5……測定管、6,7……シールダイヤフ
ラム、8,9……室、10……気体、11……細
孔、12……センサホルダ、15……マイクロブ
リツジ、20……基板、21,22……熱感知セ
ンサ、23……ヒータ、32……凹部。
図はセンサホルダの断面図、第3図はマイクロブ
リツジの要部断面図、第4図は同ブリツジの要部
平面図、第5図は同ブリツジの要部断面図、第6
図はカルマン渦流量計の作動原理を説明するため
の図である。 1……流体、2……渦発生体、3……カルマン
渦列、5……測定管、6,7……シールダイヤフ
ラム、8,9……室、10……気体、11……細
孔、12……センサホルダ、15……マイクロブ
リツジ、20……基板、21,22……熱感知セ
ンサ、23……ヒータ、32……凹部。
Claims (1)
- 液体中に配置した渦発生体の下流側両側面に生
成されるカルマン渦列により流体の流速、流量を
測定する装置において、前記渦発生体の両側面に
それぞれシールダイヤフラムによつて密閉され内
部に気体または液体が封入された室をそれぞれ設
け、これらの室を前記渦発生体内に形成され該渦
発生体の両側面に開口する細孔によつて互いに連
通し、かつ前記細孔内に前記カルマン渦列の発生
に伴う前記気体もしくは液体の流れを検出するマ
イクロブリツジを配設したことを特徴とする流速
、流量測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8903287U JPS63199023U (ja) | 1987-06-11 | 1987-06-11 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8903287U JPS63199023U (ja) | 1987-06-11 | 1987-06-11 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63199023U true JPS63199023U (ja) | 1988-12-21 |
Family
ID=30947647
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8903287U Pending JPS63199023U (ja) | 1987-06-11 | 1987-06-11 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63199023U (ja) |
-
1987
- 1987-06-11 JP JP8903287U patent/JPS63199023U/ja active Pending
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