JPS63198998U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63198998U JPS63198998U JP9117487U JP9117487U JPS63198998U JP S63198998 U JPS63198998 U JP S63198998U JP 9117487 U JP9117487 U JP 9117487U JP 9117487 U JP9117487 U JP 9117487U JP S63198998 U JPS63198998 U JP S63198998U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- support member
- axis
- around
- rotation
- base
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 1
- 238000011282 treatment Methods 0.000 claims 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Vertical, Hearth, Or Arc Furnaces (AREA)
Description
第１図は本考案の好適一実施例を示す側断面図
、第２図はその一部破断斜視図、第３図及び第４
図は変形例を示す要部拡大図、第５図は従来例を
示す斜視図である。 図中、１は静止系として例示した炉壁、５は被
処理物、６は基台、１３は支持部材、１４は回転
伝達手段、１５は係合体、１６は被係合体である
。
、第２図はその一部破断斜視図、第３図及び第４
図は変形例を示す要部拡大図、第５図は従来例を
示す斜視図である。 図中、１は静止系として例示した炉壁、５は被
処理物、６は基台、１３は支持部材、１４は回転
伝達手段、１５は係合体、１６は被係合体である
。
Claims (1)
- 被処理物の全周に加熱や蒸着等の処理を施すた
めに該被処理物を互いに直交するＸ軸及びＹ軸回
りに回動させるための装置において、Ｘ軸回りに
回転駆動される基台と、該基台上にＹ軸回りに回
転自在に取り付けられ上記被処理物を支持する支
持部材と、静止系に固定された係合体及び上記支
持部材に設けられ該係合体に係合する被係合体と
を有し、該支持部材のＸ軸回りの回転によりその
Ｙ軸回りの回転を生じさせる回転伝達手段とを備
えたことを特徴とする被処理物の回動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9117487U JPS63198998U (ja) | 1987-06-13 | 1987-06-13 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9117487U JPS63198998U (ja) | 1987-06-13 | 1987-06-13 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63198998U true JPS63198998U (ja) | 1988-12-21 |
Family
ID=30951710
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9117487U Pending JPS63198998U (ja) | 1987-06-13 | 1987-06-13 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63198998U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101416583B1 (ko) * | 2013-04-26 | 2014-07-09 | 주식회사 케이엔제이 | 물질전달 지배 반응에 의한 서셉터 제조방법과 장치 및 그에 의해 제조된 서셉터 |
-
1987
- 1987-06-13 JP JP9117487U patent/JPS63198998U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101416583B1 (ko) * | 2013-04-26 | 2014-07-09 | 주식회사 케이엔제이 | 물질전달 지배 반응에 의한 서셉터 제조방법과 장치 및 그에 의해 제조된 서셉터 |