JPS6319266U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6319266U JPS6319266U JP11139286U JP11139286U JPS6319266U JP S6319266 U JPS6319266 U JP S6319266U JP 11139286 U JP11139286 U JP 11139286U JP 11139286 U JP11139286 U JP 11139286U JP S6319266 U JPS6319266 U JP S6319266U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- support member
- elastic support
- cavity
- quantity sensor
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第1図はこの考案が適用された一実施例の力学
量センサの要部構造を示す部分断面図、第2図は
その一実施例における空洞の説明図、第3図、第
4図及び第5図はこの考案が適用されたそれぞれ
他実施例の要部構造を示す部分断面図、第6図は
第4図の他実施例における空洞の説明図、第7図
、第8図、及び第9図は従来の力学量センサの説
明図である。 1…ダイアフラム、2…金属薄板、3…歪検出
手段、4,41,42…弾性支持部材、5…筐体
、6,16,26a,26b,36a,36b…
空洞。
量センサの要部構造を示す部分断面図、第2図は
その一実施例における空洞の説明図、第3図、第
4図及び第5図はこの考案が適用されたそれぞれ
他実施例の要部構造を示す部分断面図、第6図は
第4図の他実施例における空洞の説明図、第7図
、第8図、及び第9図は従来の力学量センサの説
明図である。 1…ダイアフラム、2…金属薄板、3…歪検出
手段、4,41,42…弾性支持部材、5…筐体
、6,16,26a,26b,36a,36b…
空洞。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 金属薄板に歪検出手段を装着したダイアフラム
を有し、そのダイアフラムの縁端部を弾性支持部
材によつて把持した状態とすることにより、当該
ダイアフラムを筐体に固定してなる力学量センサ
において、 前記弾性支持部材の背面側に空洞を形成してな
ることを特徴とする力学量センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11139286U JPS6319266U (ja) | 1986-07-22 | 1986-07-22 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11139286U JPS6319266U (ja) | 1986-07-22 | 1986-07-22 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6319266U true JPS6319266U (ja) | 1988-02-08 |
Family
ID=30991272
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11139286U Pending JPS6319266U (ja) | 1986-07-22 | 1986-07-22 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6319266U (ja) |
-
1986
- 1986-07-22 JP JP11139286U patent/JPS6319266U/ja active Pending