JPS63188434U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS63188434U JPS63188434U JP7776787U JP7776787U JPS63188434U JP S63188434 U JPS63188434 U JP S63188434U JP 7776787 U JP7776787 U JP 7776787U JP 7776787 U JP7776787 U JP 7776787U JP S63188434 U JPS63188434 U JP S63188434U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas cylinder
- box body
- air
- storage box
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 4
Landscapes
- Ventilation (AREA)
Description
第１図は本考案に係るガスボンベの収納ボツク
スが設けられる清浄室の要部説明図、第２図は従
来のガスボンベの収納ボツクスが設けられるクリ
ーンルーム用の建屋の断面図である。 １０……クリーンルーム用の建屋、２０……清
浄室内、２１……清浄室外、５０……ガスボンベ
の収納ボツクス、５２……給気フアン、５６……
給気ダクト、５８……ボツクス、６０……ガスボ
ンベ、６２……排気ダクト、６４，６６……排気
フアン、６８……ガス検知装置、７０……センサ
ー部。
スが設けられる清浄室の要部説明図、第２図は従
来のガスボンベの収納ボツクスが設けられるクリ
ーンルーム用の建屋の断面図である。 １０……クリーンルーム用の建屋、２０……清
浄室内、２１……清浄室外、５０……ガスボンベ
の収納ボツクス、５２……給気フアン、５６……
給気ダクト、５８……ボツクス、６０……ガスボ
ンベ、６２……排気ダクト、６４，６６……排気
フアン、６８……ガス検知装置、７０……センサ
ー部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) エアが清浄に維持される清浄室内に配置さ
れエア導入口と排出口とが形成されたガスボンベ
の収納ボツクス本体と、 前記清浄室外のエアを前記ボツクス本体の導入
口からボツクス本体内に導入すると共に導入エア
を排気口より排出してボツクス本体内の換気を行
うフアンと、 から構成したことを特徴とするガスボンベの収
納ボツクス。 (2) 前記ボツクス本体内でのガスボンベのガス
漏れを検知する検知装置を設け、該検知装置のガ
ス検知に基づいて、前記フアンを稼動させること
を特徴とした実用新案登録第１項記載のガスボン
ベの収納ボツクス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7776787U JPS63188434U (ja) | 1987-05-23 | 1987-05-23 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7776787U JPS63188434U (ja) | 1987-05-23 | 1987-05-23 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63188434U true JPS63188434U (ja) | 1988-12-02 |
Family
ID=30926083
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7776787U Pending JPS63188434U (ja) | 1987-05-23 | 1987-05-23 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63188434U (ja) |
-
1987
- 1987-05-23 JP JP7776787U patent/JPS63188434U/ja active Pending