JPS6318682A - Laser-light reflecting mirror device - Google Patents
Laser-light reflecting mirror deviceInfo
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- JPS6318682A JPS6318682A JP16200186A JP16200186A JPS6318682A JP S6318682 A JPS6318682 A JP S6318682A JP 16200186 A JP16200186 A JP 16200186A JP 16200186 A JP16200186 A JP 16200186A JP S6318682 A JPS6318682 A JP S6318682A
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- base plate
- holder
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
- H01S3/086—One or more reflectors having variable properties or positions for initial adjustment of the resonator
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明は、例えばレーザ加工機に使われるレーザ光反
射用ミラー装置に関し、特にミラー本体の歪の発生が防
止され、レーザ光のモードの安定性向上、保守性の向上
を計フたレーザ光反射用ミラー装置に関するものである
。Detailed Description of the Invention (Industrial Application Field) The present invention relates to a mirror device for reflecting laser light used, for example, in a laser processing machine, and in particular, it prevents distortion of the mirror body and stabilizes the mode of laser light. The present invention relates to a laser beam reflecting mirror device that is designed to improve performance and maintainability.
〔従来の技術）
従来、この種のレーザ光反射用ミラー装置として第４図
〜第６図に示すものがあった。図においで、（１）はミ
ラーホルダ、（２）はこのミラーホルダ（１）に装着さ
れたミラー本体（以下、単にミラーと記す）である。ミ
ラー（２）はミラー押え（１１）により保持され、ミラ
ー押え（１１）は、ボルトθ２によりミラーボルダ（１
）に固定され、ミラーホルダ（１）はベース板（３）に
より支持されている。ベース板（３）は図示しないレー
ザ加工機に固定されている。（４）は圧縮コイルバネ、
（５）は圧縮コイルバネを止めると共にミラーホルダ（
１）を保持するボルトで、ベース板（３）のネジ穴に螺
合している。（６）はミラーホルダ（１）に装着された
マイクロメータ、（７）はミラーホルダの支点棒、（８
）は支点棒を受ける支点棒受けである。第６図はマイク
ロメータ（６）の部分の詳細を示し、（９）はマイクロ
メータ（６）に取りつけであるスピンドル、叫はスピン
ドル（９）を受けるスピンドル曳けで、ベース板（３）
に設けられている。[Prior Art] Conventionally, there have been mirror devices of this type for reflecting laser light as shown in FIGS. 4 to 6. In the figure, (1) is a mirror holder, and (2) is a mirror body (hereinafter simply referred to as mirror) attached to this mirror holder (1). The mirror (2) is held by a mirror holder (11), and the mirror holder (11) is held by a mirror boulder (1) by a bolt θ2.
), and the mirror holder (1) is supported by a base plate (3). The base plate (3) is fixed to a laser processing machine (not shown). (4) is a compression coil spring,
(5) stops the compression coil spring and holds the mirror holder (
The bolt that holds 1) is screwed into the screw hole of the base plate (3). (6) is the micrometer attached to the mirror holder (1), (7) is the fulcrum rod of the mirror holder, (8
) is the fulcrum rod holder that receives the fulcrum rod. Figure 6 shows the details of the micrometer (6), where (9) is the spindle attached to the micrometer (6), the figure shows the spindle puller that receives the spindle (9), and the base plate (3).
It is set in.
次に光軸調整の動作について説明する。ミラーホルダ（
１）は圧縮コイルバネ（４）とボルト（５）の作用によ
って常にベース板（３）の方向に力かかかつており、マ
イクロメータ（６）がスピンドル受は叫に、また支点棒
（７）か支点棒受け（８）に当接しで、ミラーホルダ（
１）のベース板（３）に対する位置が決っている。Next, the operation of optical axis adjustment will be explained. Mirror holder (
1) is constantly exerting force in the direction of the base plate (3) due to the action of the compression coil spring (4) and bolt (5), and the micrometer (6) is acting on the spindle holder and the fulcrum rod (7). Touch the fulcrum rod holder (8) and press the mirror holder (
1) relative to the base plate (3) is determined.
したがっで、マイクロメータ（６）を回すことによりミ
ラーホルダ（１）は支点棒（７）を支点として傾き光軸
を調整することかできる。Therefore, by turning the micrometer (6), the mirror holder (1) can tilt and adjust the optical axis using the fulcrum rod (7) as a fulcrum.
また、（イ）は冷却用の穴、２１）は穴（社）をふさぐ
蓋で、ボルトなどにより固定されている。そしで、この
穴Ｑυの中に冷却水を導入しで、ミラーホルダ（１）を
ン令却することによりミラー（２）が冷却されるように
なっている。Also, (a) is a hole for cooling, and 21) is a lid that closes the hole (sha), which is fixed with bolts or the like. Then, cooling water is introduced into this hole Qυ and the mirror (2) is cooled by removing the mirror holder (1).
（発明が解決しようとする問題点）
従来のレーザ光反射用ミラー装置は以上のように構成さ
れているので、ミラーボルダとミラー押えによるミラー
の押えつけによりミラーか歪み、レーザ光のモートがく
ずれると言う問題点があった。また、ミラーが薄く、キ
ズなどが生じた場合新しいミラーと交換する必要があっ
た。さらに、間接冷却となるのでミラーの熱歪が生しや
すいなどの問題点かあった。(Problems to be Solved by the Invention) Since the conventional laser beam reflecting mirror device is constructed as described above, the mirror is distorted due to the pressing of the mirror by the mirror boulder and the mirror presser, and the moat of the laser beam is broken. There was a problem. Additionally, the mirror was thin and had to be replaced with a new one if it became scratched. Furthermore, indirect cooling was used, which caused problems such as thermal distortion of the mirror.
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、光を反射するミラーとミラーホルダとを１個
の部材により一体のものにしたので、ミラーの歪かなく
光のモードを均一に伝送できるとともに、光の反射部が
傷ついた場合再研暦することにより、新しいミラーと交
換することなく再使用ができ、またミラー自体を直接冷
却できるのでミラーに熱歪が生じないレーザ光反射用ミ
ラー装置を得ることを目的とする。This invention was made to solve the above-mentioned problems, and since the mirror that reflects light and the mirror holder are integrated into one member, the mode of light can be adjusted without distortion of the mirror. Laser light can be transmitted uniformly, and if the reflective part of the light is damaged, it can be reused without having to be replaced with a new mirror by re-sharpening it.Also, the mirror itself can be directly cooled, so there is no thermal distortion in the mirror. The purpose is to obtain a reflective mirror device.
（問題点を解決するための手段）
この発明に係るレーザ光反射用ミラー装置は、断面が凸
状で、突出部表面にミラー面をイアするミラー本体を備
え、このミラー本体の外周部の１個所を支点とし、この
支点から離れた複数個所を調整部としてベース板に取付
けたものである。(Means for Solving the Problems) A mirror device for laser beam reflection according to the present invention includes a mirror body having a convex cross section and a mirror surface on the surface of the protrusion, and includes a mirror body having a mirror surface on the surface of the protrusion. This point is used as a fulcrum, and multiple points apart from this fulcrum are attached to the base plate as adjustment parts.
〔作用）
この発明におけるレーザ光反射用ミラー装置は、光を反
射するミラー本体がミラーホルダの役目も兼ねているか
ら、つまりミラー本体とミラーホルダとが一個の部材に
より一体に形成されているからミラー本体にかかる歪を
なくし、かつ直接冷却できるので熱歪をもなくし高出力
レーザ光を安定に反射する。[Function] In the laser beam reflecting mirror device of the present invention, the mirror body that reflects light also serves as a mirror holder, that is, the mirror body and the mirror holder are integrally formed from one member. It eliminates distortion on the mirror body and can be directly cooled, eliminating thermal distortion and stably reflecting high-power laser light.
以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図〜第３図においで、ミラー本体（以下、単にミラーと
記す）（２）は断面が凸状で、突出部（２ａ）の表面に
ミラー面（２ｂ）を有している。また、突出部（２ａ）
と外周部（２ｃ）とは銅又はアルミなどの１個の部材で
】体に形成されて基板を構成し、この基板の突出部（２
ａ）のミラー面（２ｂ）は金蒸着されている。つまり、
従来装置におけるミラーとミラーホルダが一体に形成さ
れている。したがって突出部（２ｂ）の厚さは従来装置
のミラーホルダとミラーとを合わせた厚さにほぼ同じと
なっている。（３）はベース板で、レーザ加工機などの
固定部分にボルト（Ｉ６）により取付けられている。ま
た、ミラー（２）はＯリング（１８）により柔軟に支持
され、０リングα８）は・ベース板（３）に固定されて
いる。（４）は圧縮コイルハネ、（５）は圧縮コイルハ
ネを止めるボルトである。また、ボルト（５）はミラー
（２）をベース板（３）に支持させる作用も持っている
。（１７）はボルトからなる調整部で、ミラー（２）の
外周部（２Ｃ）に設けられたネジ穴に螺合している。こ
のボルト（１７）は後述の支点棒（７）から離れた位置
の複数個所に設けである。α４）はミラー（２）の裏面
にあけられた冷却水を流すための穴、０３）は穴０４）
をふさぐ蓋で、ニップルを通して冷却水を流すものであ
る。（１５）は蓋θつをミラー（２）に固定するボルト
である。（７）は支点棒で、ミラー（２）の外周部（２
ｃ）に１個所固定されている。An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. 1st
In FIGS. 3 to 3, the mirror body (hereinafter simply referred to as mirror) (2) has a convex cross section and has a mirror surface (2b) on the surface of the protrusion (2a). In addition, the protrusion (2a)
and the outer periphery (2c) are made of a single member such as copper or aluminum and constitute a board, and the protruding part (2c) of this board is a single member such as copper or aluminum.
The mirror surface (2b) in a) is deposited with gold. In other words,
The mirror and mirror holder in the conventional device are integrally formed. Therefore, the thickness of the protrusion (2b) is approximately the same as the combined thickness of the mirror holder and mirror of the conventional device. (3) is a base plate, which is attached to a fixed part of a laser processing machine or the like with bolts (I6). Further, the mirror (2) is flexibly supported by an O-ring (18), and the O-ring α8) is fixed to the base plate (3). (4) is a compression coil spring, and (5) is a bolt that fixes the compression coil spring. The bolt (5) also has the function of supporting the mirror (2) on the base plate (3). Reference numeral (17) denotes an adjustment section consisting of a bolt, which is screwed into a screw hole provided on the outer circumference (2C) of the mirror (2). The bolts (17) are provided at a plurality of locations away from the fulcrum rod (7), which will be described later. α4) is a hole drilled on the back of mirror (2) for flowing cooling water, 03) is hole 04)
It is a lid that covers the nipple, and allows cooling water to flow through the nipple. (15) is a bolt that fixes the lid θ to the mirror (2). (7) is a fulcrum rod, which is the outer periphery (2) of the mirror (2).
c) is fixed at one location.
次に光軸調整の動作について説明する。Next, the operation of optical axis adjustment will be explained.
ミラー（２）の外周部（２ｃ）は圧縮コイルハネ（４）
とボルト（５）の作用によって常にベース板（３）の方
向に力かかかっており、調整部であるボルト（１７）か
ベース板（３）に、また支点棒（７）かベース板（３）
の凹部（３ａ）に当接しで、ミラー（２）のベース板（
３）に対する位置か決っている。したかっで、ボルト（
１７）を回すことによりミラー（２）は支点棒（７）を
支点として傾き光軸を調整することかできる。The outer periphery (2c) of the mirror (2) is a compression coil spring (4)
Force is always applied in the direction of the base plate (3) due to the action of the bolt (5) and the bolt (17), which is the adjustment part, or the base plate (3), or the fulcrum rod (7) or the base plate (3). )
The base plate of the mirror (2) (
The position relative to 3) has been determined. I wanted to, Boruto (
By turning 17), the mirror (2) can be tilted and its optical axis can be adjusted using the fulcrum rod (7) as a fulcrum.
上記実施例では、ミラー（２）に直接水冷却をする穴α
４）と蓋（Ｉ■を取り付けたが、自然放熱の場合は、蓋
θ■を無くし表面積を大きくとり放熱効果を高めてもよ
い。In the above embodiment, the hole α for direct water cooling in the mirror (2) is
4) and a lid (I■) are attached, but in the case of natural heat dissipation, the heat dissipation effect may be enhanced by eliminating the lid θ■ and increasing the surface area.
（発明の効果）−
この発明は以上説明した通り、断面か凸状で、突出部表
面にミラー面を有するミラー本体を設け、このミラー本
体の外周部の１個所を支点とし、複数侶所を調整部とし
てベース板に取付けたから、即ちミラー本体とミラーホ
ルダとが一個の部材により一体に形成されているから、
ミラー反射面に歪か発生せず、光のモードを均一に安定
して伝送てきる。また、光の反射面が傷ついた場合再研
摩すれはよく、新しいミラーと交換する必要がないので
安価となる。さらに、ミラー自体を直接冷却できるのミ
ラーに熱歪が生じない。(Effects of the Invention) - As explained above, this invention provides a mirror body with a convex cross-section and a mirror surface on the surface of the protrusion, and uses one point on the outer periphery of the mirror body as a fulcrum, and a plurality of points. Because it is attached to the base plate as an adjustment part, that is, because the mirror body and mirror holder are integrally formed from one member,
There is no distortion on the mirror reflection surface, and the light mode is transmitted uniformly and stably. Furthermore, if the light reflecting surface is damaged, it can easily be repolished, and there is no need to replace it with a new mirror, making it inexpensive. Furthermore, since the mirror itself can be directly cooled, no thermal distortion occurs on the mirror.
第１図はこの発明の一実施例を示す裏面図、第２図は第
１図のＩＩ −ＩＩ線断面図、第３図は第１図の川−！
ＩＩ線断面図、第４図は従来のレーサ光反射用ミラー装
置を示す裏面図、第５図は第４ｆ２の一部を断面した側
面図、第６図は第４図のマイクロメータ部分を示す断面
図である。
図中、（２）はミラー本体、（２ａ）は突出部、（２ｂ
）はミラー面、（２Ｃ）は外周部、（３）はベース板、
（７）は支点棒、（１７）はボルト（調整部）である。
なお、図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。FIG. 1 is a back view showing an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a sectional view taken along the line II--II in FIG. 1, and FIG.
4 is a back view showing a conventional mirror device for reflecting laser light, FIG. 5 is a side view with part of No. 4f2 in section, and FIG. 6 is a micrometer portion in FIG. 4. FIG. In the figure, (2) is the mirror body, (2a) is the protrusion, (2b
) is the mirror surface, (2C) is the outer periphery, (3) is the base plate,
(7) is a fulcrum rod, and (17) is a bolt (adjustment part). In addition, in the figures, the same reference numerals indicate the same or corresponding parts.
Claims (2)
ラー本体を備え、このミラー本体の外周部の１個所を支
点とし、この支点から離れた複数個所を調整部としてベ
ース板に取付けたレーザ光反射用ミラー装置。(1) Equipped with a mirror body with a convex cross section and a mirror surface on the surface of the protrusion, one point on the outer periphery of this mirror body is used as a fulcrum, and multiple points apart from this fulcrum are used as adjustment parts and are attached to the base plate. A mirror device for reflecting laser light.
突出部表面に金蒸着されていることを特徴とする特許請
求の範囲第１項記載のレーザ光反射用ミラー装置。(2) The laser beam reflecting mirror device according to claim 1, wherein the mirror body is made of a copper or aluminum substrate, and gold is vapor-deposited on the surface of the protrusion.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16200186A JPS6318682A (en) | 1986-07-11 | 1986-07-11 | Laser-light reflecting mirror device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16200186A JPS6318682A (en) | 1986-07-11 | 1986-07-11 | Laser-light reflecting mirror device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6318682A true JPS6318682A (en) | 1988-01-26 |
Family
ID=15746149
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16200186A Pending JPS6318682A (en) | 1986-07-11 | 1986-07-11 | Laser-light reflecting mirror device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6318682A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0631553A (en) * | 1992-06-03 | 1994-02-08 | American Teleph & Telegr Co <Att> | Adjustable x-y stage |
-
1986
- 1986-07-11 JP JP16200186A patent/JPS6318682A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0631553A (en) * | 1992-06-03 | 1994-02-08 | American Teleph & Telegr Co <Att> | Adjustable x-y stage |
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