JPS63176679A - Piezo-electric pump - Google Patents
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は積層圧電素子の圧電効果によレダイアフラム
を変位させ、そのポンプ作用によ し 液体の給排を行
なうことにより、小型、軽量で微少流量の制御が可能な
圧電ポンプに関する。[Detailed Description of the Invention] [Field of Industrial Application] This invention displaces a rediaphragm using the piezoelectric effect of a laminated piezoelectric element and supplies and discharges liquid using the pumping action of the piezoelectric element. This invention relates to a piezoelectric pump that can control minute flow rates.
ポンプは、原動機によって駆動される流体機械のうち、
液体に機械的エネルギーを連続して与えるものと定義さ
れる。A pump is a fluid machine driven by a prime mover.
Defined as the continuous application of mechanical energy to a liquid.
そしてポンプは、
（１）ターボ形ポンプ
（２）容積形ポンプ
（３）特殊形ポンプ
に分類される。前項（１）のターボ形ポンプは、ケーシ
ング内で羽根車を回転させることにより液体にエネルギ
ーを与えるものであり、遠心ポンプ、斜流ポンプ、軸流
ポンプなどがこの形式に分類される。（２）の容積形ポ
ンプは、ピストン、プランジャーまたはロータの押しの
け作用によって流体を圧送するものであり、これには往
復ポンプ、回転ポンプなどがある。前二者以外の形式の
ものが特殊ポンプであり、渦流ポンプ、粘性ポンプ、噴
流ポンプ、気泡ポンプなどがある。これらポンプはいず
れも回転部、しゅう動部をもっておゆ、ポンプの長期使
用に当ってはその摩耗とか損傷などが生じやすいという
難点をもっている。そのため、定期的な保守管理が必要
となる。Pumps are classified into (1) turbo pumps, (2) positive displacement pumps, and (3) special pumps. The turbo pump mentioned in the previous item (1) gives energy to the liquid by rotating an impeller within a casing, and centrifugal pumps, mixed flow pumps, axial flow pumps, etc. are classified into this type. The positive displacement pump (2) is one that pumps fluid by the displacement action of a piston, plunger, or rotor, and includes reciprocating pumps, rotary pumps, and the like. Types other than the first two are special pumps, such as vortex pumps, viscous pumps, jet pumps, and bubble pumps. All of these pumps have rotating and sliding parts, which are susceptible to wear and damage during long-term use. Therefore, periodic maintenance management is required.
一方、前記した従来形式のポンプは、液体の吐出流量を
犬にすることは容易であるが、微小流量の制御、例えば
１回ａりの吐出量をｌｃｃ以下にすることなどは一般に
困難である。さらに、ポンプ本体を小形化−薄形化・軽
量化することも設計的な観点からある一定の限界を有し
ている。On the other hand, with the conventional pumps described above, it is easy to control the discharge flow rate of liquid, but it is generally difficult to control minute flow rates, for example, to reduce the discharge volume per stroke to less than lcc. . Furthermore, there are certain limits to making the pump body smaller, thinner, and lighter from a design standpoint.
ところで最近、食品、薬品、塗料、化粧品などの製造分
野では、−液体の流量を管理して製品の品質安定化を図
り、かつ材料節約および作業環境の改善などの観点から
、小形、軽量でごく微小流量の制御が可能である。いわ
ゆるマイクロ的なポンプの出現が要請されている。なお
、この積マイクロポンプは液体の定量供給を目的とする
場合はディスペンサと呼ばれる場合もある。Recently, however, in the manufacturing field of foods, medicines, paints, cosmetics, etc., small, lightweight, and very small It is possible to control minute flow rates. There is a demand for the emergence of so-called micro pumps. Note that this product micropump is sometimes called a dispenser when the purpose is to supply a fixed amount of liquid.
前記要請に応える一つとして、バイモルフ型圧電振動子
を用いて構成した圧電ポンプが提案されている。この圧
電ポンプの構造断面図は第２図の通りである。第２図に
おいて、１，２はバイモルフ圧電振動子であり、これは
ステンレスあるいはリン青銅で作られた薄板の金属振動
板３，４に圧電素子５Ａ、 ５Ｂおよび５Ａ、５Ｂを接
着して構成されている。そしてバイモルフ圧電振動子１
，２は、液体殴入弁７の側板８および液体吐出弁９の側
板８八に接着あるいは接合されている。A piezoelectric pump constructed using a bimorph piezoelectric vibrator has been proposed as one way to meet the above requirements. A structural sectional view of this piezoelectric pump is shown in FIG. In FIG. 2, 1 and 2 are bimorph piezoelectric vibrators, which are constructed by bonding piezoelectric elements 5A, 5B and 5A, 5B to thin metal diaphragms 3 and 4 made of stainless steel or phosphor bronze. ing. And bimorph piezoelectric vibrator 1
, 2 are adhered or joined to the side plate 8 of the liquid injection valve 7 and the side plate 88 of the liquid discharge valve 9.
かかる構成において、バイモルフ振動子１，２に外部か
ら周波電圧を印加すると振動し、この振動によってバイ
モルフ圧電振動子１と２で囲まれた空間の容積が変化す
る。そして空間の容積変化がポンプ作用となり、ポンプ
外にある液体タンクより液体を液体吸入弁７を経て吸い
込み、液体吐出弁９より必要量の液体を外部に吐出する
。In this configuration, when a frequency voltage is applied to the bimorph vibrators 1 and 2 from the outside, they vibrate, and this vibration changes the volume of the space surrounded by the bimorph piezoelectric vibrators 1 and 2. The change in volume of the space acts as a pump, and liquid is sucked in from a liquid tank located outside the pump through the liquid suction valve 7, and the required amount of liquid is discharged to the outside from the liquid discharge valve 9.
この圧゛礪ポンプは、従来のポンプに比べて動力部とポ
ンプ部が一体構造で簡単であり、かつしゅう動部をもっ
てないという特徴がある。また、外部の周波電圧を調整
することにより、液体吐出量の厳密な制御が可能である
。さらに、このバイモルフ圧電振動子は電圧で駆動する
ため、消費電力が少ないという利点がある。Compared to conventional pumps, this pressure drop pump has a simple structure in which the power section and the pump section are integrated, and has no sliding parts. Further, by adjusting the external frequency voltage, the amount of liquid ejected can be precisely controlled. Furthermore, since this bimorph piezoelectric vibrator is driven by voltage, it has the advantage of low power consumption.
ところが、バイモルフ圧電振動子は前記したごとく、圧
電素子を２枚、金属製振動板の表裏面に貼り合せたもの
であり、この圧電素子に外部から電圧を印加すると、一
枚の圧電素子が伸び、他方の圧電素子が縮むことによっ
て生じる撓みを、その振動発生に応用したものである。However, as mentioned above, a bimorph piezoelectric vibrator is made by bonding two piezoelectric elements to the front and back surfaces of a metal diaphragm, and when a voltage is applied to this piezoelectric element from the outside, one piezoelectric element stretches. , the deflection caused by the contraction of the other piezoelectric element is applied to generate vibration.
このため、片側の圧電素子（と分極特性と逆方向の電界
が加わり、分極劣化が生じやすいという欠点がある。こ
のため、印加電圧を余り高くすることができず、かつ低
電圧でも印加時間の経過とともに圧電素子が劣化してし
まうきいう問題がある。さらに、圧電素子と振動板は有
機系接着剤で接着されているため、液体の種類によって
はこの接着部が侵かされ、使用中に圧電素子が振動板か
ら剥離してしまう場合もある。したがって、圧電ポンプ
においては、バイモルフ圧電振動子に変わる新規な構造
のポンプの出現が望まれている。For this reason, there is a drawback that an electric field in the opposite direction to the polarization characteristic of the piezoelectric element on one side is applied, which tends to cause polarization deterioration.For this reason, the applied voltage cannot be made too high, and even at low voltages, the application time is short. There is a problem in that the piezoelectric element deteriorates over time.Furthermore, since the piezoelectric element and the diaphragm are bonded with an organic adhesive, depending on the type of liquid, this bond may be eroded, causing damage during use. In some cases, the piezoelectric element may separate from the diaphragm.Therefore, there is a desire for a piezoelectric pump with a new structure to replace the bimorph piezoelectric vibrator.
この発明は上記に鑑みなされたもので、液体の微小吐出
と流量の精密な制御が可能で、かつ長期信頼性に優れた
圧電ポンプの提供を目的とする。The present invention was made in view of the above, and an object thereof is to provide a piezoelectric pump that is capable of finely discharging liquid and precisely controlling the flow rate, and has excellent long-term reliability.
前記の目的は本発明によれば、液体吸入弁と液体吐出弁
および積層圧電素子に連結した金属製のダイアフラムで
ポンプ室を構成し、積層圧電素子に外部から電圧を印加
してこの積層圧電素子に連結したダイアクラムを変位さ
せる構造とすることで達成できる。According to the present invention, the above object is achieved by constructing a pump chamber with a metal diaphragm connected to a liquid suction valve, a liquid discharge valve, and a laminated piezoelectric element, and applying a voltage to the laminated piezoelectric element from the outside to pump the laminated piezoelectric element. This can be achieved by creating a structure that displaces the diaphragm connected to the diaphragm.
ダイアフラムを変位させることにより、容器内にポンプ
作用が働らき、液体吸入弁と液体吐出弁を介して流体が
給緋さね、る。才た本発明で使用する積層圧電素子は圧
電縦効果のみを使用しているので、バイモルフ圧電振動
子のように長期間使用しても分極劣化を生じない。By displacing the diaphragm, a pumping action is exerted within the container, supplying fluid through the liquid intake valve and the liquid discharge valve. Since the laminated piezoelectric element used in the present invention uses only the piezoelectric longitudinal effect, polarization does not deteriorate even when used for a long period of time like a bimorph piezoelectric vibrator.
まず、本発明に用いられる積層圧′直紫子は次の工程で
製造される。圧電セラミックスの粉末を準備し、有機バ
インダなどを加えて有機溶剤中に分散させてスラリーを
得る。このスラリーを用い二テープキャスティング法で
厚さ数１０ミクロンのグリーンシートを作る。グリーン
シートの片面に内部電極となる銀ペーストを薄く印刷塗
布した後、数１０から数１００枚のグリーンシートを積
層圧着する。次に電気炉中で約１０００“Ｃに加熱して
焼結し、内部？こ層状の電極膜を有する積層型の圧電セ
ラミックスを得る。これを所望の寸法、形状に切断加工
し、各内部電極層を素子側面に設けられた外部電極によ
り、電気的に並列接続して積層圧電素子を完成する。こ
の方式の積層圧電素子は、わずか１００Ｖ程度の低電圧
で圧電縦効果により駆動するもので、孕小変位の制御性
、エネルギー変換動￥、応答性などに悟れている。水力
式は圧電縦効果のみを利用するので、バイモルフ圧電振
動子の場合のように分極老化を起こす恐れは皆無である
という特長を有する。First of all, the laminated pressure-sensitive adhesive used in the present invention is manufactured in the following steps. A slurry is obtained by preparing piezoelectric ceramic powder, adding an organic binder, etc., and dispersing it in an organic solvent. Using this slurry, a green sheet with a thickness of several tens of microns is made by a two-tape casting method. After printing and coating a thin layer of silver paste to serve as an internal electrode on one side of the green sheet, several tens to several hundred green sheets are laminated and pressure-bonded. Next, it is heated to approximately 1000"C in an electric furnace and sintered to obtain a laminated piezoelectric ceramic having an internal layered electrode film. This is cut into desired dimensions and shapes, and each internal electrode A laminated piezoelectric element is completed by electrically connecting the layers in parallel using external electrodes provided on the sides of the element.This type of laminated piezoelectric element is driven by the piezoelectric longitudinal effect with a low voltage of only about 100V. It has excellent controllability of small displacements, energy conversion dynamics, responsiveness, etc.Since the hydraulic type uses only the piezoelectric longitudinal effect, there is no risk of polarization aging as in the case of bimorph piezoelectric vibrators. It has the following characteristics.
次に本発明による圧電ポンプの栴造断面図を第１図に示
す。第１図において１０は積層圧電素子であり、この積
層圧電素子１０にステンレスあるいは青銅で作られたダ
イアフラム゛１］が接着されてい為ダイアフラム１］は
、ステンレスあるいは銅などでつくられた容器１２の内
部に気密性をもって接合されている。容器１２の片側に
は液体吸入弁１３かとりつけられ、液体吸入弁１３は外
部の液体タンクに連通した吸入管１４と接続されている
。さらに、容器１２の他方には液体吐出弁１５がとり付
けられ、これは吐出管１６と連通している。すなわち、
この構成のポンプにおいては積層圧電素子に電圧を印加
すると、その積層圧電素子が駆動しそれに伴ってダイア
フラムも変位する。このダイアフラムの変位運動によっ
て容器内の体積変化が起こり、これがポンプ作用となっ
て液体の吸入と吐出を行うものである。本発明の圧電ポ
ンプの構成においては、その液体吐出量は積層圧電素子
１０の電圧−変位特性９周波数応答性およびダイアフラ
ム１１の面積によって支配されるので、それぞれの使用
目的に応じてこれらの特性と寸法などの諸元を決定すれ
ば良い。Next, FIG. 1 shows a sectional view of the piezoelectric pump according to the present invention. In FIG. 1, 10 is a laminated piezoelectric element, and a diaphragm 1 made of stainless steel or bronze is bonded to this laminated piezoelectric element 10. The diaphragm 1] is a container 12 made of stainless steel or copper. The inside is airtightly joined. A liquid suction valve 13 is attached to one side of the container 12, and the liquid suction valve 13 is connected to a suction pipe 14 communicating with an external liquid tank. Further, a liquid discharge valve 15 is attached to the other side of the container 12 and communicates with a discharge pipe 16. That is,
In a pump having this configuration, when a voltage is applied to the laminated piezoelectric element, the laminated piezoelectric element is driven and the diaphragm is also displaced accordingly. This displacement movement of the diaphragm causes a change in volume within the container, which acts as a pump to suck in and discharge liquid. In the configuration of the piezoelectric pump of the present invention, the amount of liquid discharged is controlled by the voltage-displacement characteristic 9 frequency response of the laminated piezoelectric element 10 and the area of the diaphragm 11, so these characteristics and All you have to do is decide on the dimensions and other specifications.
本発明に従って構成した圧電ポンプの吐出量。Figure 3 shows the displacement of a piezoelectric pump constructed according to the present invention.
吐出圧力などの一例を以下に示す。An example of discharge pressure etc. is shown below.
（１）使用した積層圧電素子の寸法と特性■外径
１６諒メ
■全長 ７２ｍ＋１１
■定格電圧 ４００ Ｖ
■変位量 ３５ μｍ （４００Ｖ印加時、１００ｖ
印加では８．７μｍ変位）
■応答速度 Ｑ、ｌ ｍ５ｅｃ
（２）ダイアフラム
■材質 オーステナイトステンレス銅■形状
５０ Ｊ Ｘ ０．０５ ｍｌｒ ｔ Ｃ面、積１９
６２．５ ｚｍ）かかる構成において、積層圧電素子１
０に１００■のパルス電圧を印加するとダイアフラム１
］の変位ΔＸはΔｘ −８，７μｍとなり、これより変
位１回当りの吐出量ｑは
ｑ−Ａ・ΔＸ
で算出される。ここで、Ａはダイアフラムの面積である
。吐出量ｑは
ｑ −１９，６２５Ｘ ８．７／１０ρ００−０．０１
７ ＣＣとなる。(1) Dimensions and characteristics of the laminated piezoelectric element used ■Outer diameter
16 meters ■Total length 72m+11 ■Rated voltage 400V ■Displacement 35 μm (When 400V is applied, 100V
(8.7 μm displacement when applied) ■Response speed Q, l m5ec (2) Diaphragm ■Material Austenitic stainless steel ■Shape
50 J x 0.05 mlr t C surface, product 19
62.5 zm) In such a configuration, the laminated piezoelectric element 1
When a pulse voltage of 100μ is applied to 0, diaphragm 1
] displacement ΔX is Δx −8.7 μm, and from this, the discharge amount q per displacement is calculated as q−A·ΔX. Here, A is the area of the diaphragm. Discharge amount q is q -19,625X 8.7/10ρ00-0.01
7 CC.
１秒間の吐出量Ｑは、印力日電圧の周波数が５０サイク
ルであれば、
Ｑ −０，０１７Ｘ ５０−０．８５ ｃｃ／ｓｅｅの
流量となる。If the frequency of the applied daily voltage is 50 cycles, the discharge amount Q per second is Q - 0,017 x 50 - 0.85 cc/see.
吐出圧Ｐは
ｐ−Ｆμ
で計算されろ。この式ζこおいて、Ｆは積層圧電素子の
発生力であり、本発明のために用いた＠層圧筒７子は１
００■印加で１７．５に！７を示す。したがって吐出圧
Ｐは、
Ｐ−１７，５７１９，６２５−０，８９Ｑ／ｉとなる。Calculate the discharge pressure P by p-Fμ. In this formula ζ, F is the generated force of the laminated piezoelectric element, and the @layer pressure cylinder 7 element used for the present invention is 1
Applying 00■ makes it 17.5! 7 is shown. Therefore, the discharge pressure P becomes P-17,5719,625-0,89Q/i.
以上説明したごとく本発明の圧電ポンプは、液体吸入弁
、液体吐出弁、ダイアフラムでポンプ室を栖成し、ダイ
アフラムに積層圧電素子を連結させ、この積層圧電素子
に電圧を印加して、この積層圧ｇｆ子に連結したダイア
フラムを変位させてポンプ作用を発生させることによっ
て液体の吸入き吐出を行う方式であるので、ポンプを小
形化。As explained above, in the piezoelectric pump of the present invention, a pump chamber is formed by a liquid suction valve, a liquid discharge valve, and a diaphragm, a laminated piezoelectric element is connected to the diaphragm, and a voltage is applied to this laminated piezoelectric element. The pump is compact because it sucks in and discharges liquid by displacing a diaphragm connected to a pressure gf element to generate a pumping action.
軽量化することができ、液体の吐出量も績崩圧電・素子
に対する印加室圧と周波数およびダイアフラムの直径の
みによって決定されてくるので、その制御が容易でごく
微小量の吐出も可能であり、さらに液体の通過径路を有
機系接着剤を使用しないでも構成できるので、接着剤に
悪影春を与える溶存１用のポンプとしても使用でき、か
つ本発明で使用する積層圧電素子は圧電縦効果のみを使
用しているので、バイモルフ圧電振動子のように長期間
使用しても分極劣化を生じないので、長寿命で信頼性の
高い圧電ポンプを提供できるという利点がある。The weight can be reduced, and the amount of liquid discharged is determined only by the chamber pressure and frequency applied to the piezoelectric element, and the diameter of the diaphragm, so it is easy to control and even a very small amount can be discharged. Furthermore, since the liquid passage path can be configured without using an organic adhesive, it can also be used as a pump for dissolved 1, which gives an adverse effect on the adhesive, and the laminated piezoelectric element used in the present invention has only a piezoelectric longitudinal effect. Because it uses a bimorph piezoelectric vibrator, it does not suffer from polarization deterioration even after long-term use, so it has the advantage of providing a piezoelectric pump with a long life and high reliability.
第１図は本発明の実施例を示す圧電ポンプの断面図、第
２図はバイモルフ圧電振動子を使用した従来の圧電ポン
プの断面図である。
１０：積層圧電素子、１１：ダイアフラム、１２：容器
、＋３：液体吸入弁、１４：吸入管、１５：液体吐出弁
、１６：吐出管。FIG. 1 is a sectional view of a piezoelectric pump showing an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a sectional view of a conventional piezoelectric pump using a bimorph piezoelectric vibrator. 10: laminated piezoelectric element, 11: diaphragm, 12: container, +3: liquid suction valve, 14: suction pipe, 15: liquid discharge valve, 16: discharge pipe.
Claims (1)
積層圧電素子の駆動部に接続されたダイアフラムと、こ
のダイアフラムとともにポンプ室を形成する容器と、こ
の容器と液体タンクとの連通部に設けられる液体吸入弁
と、該容器と吐出管との連通部に設けられる液体吐出弁
とを有することを特徴とする圧電ポンプ。A laminated piezoelectric element that produces a piezoelectric effect in response to an applied voltage, a diaphragm connected to the drive section of this laminated piezoelectric element, a container that forms a pump chamber together with this diaphragm, and a liquid provided in a communication section between this container and a liquid tank. A piezoelectric pump comprising a suction valve and a liquid discharge valve provided in a communication portion between the container and a discharge pipe.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP860887A JPS63176679A (en) | 1987-01-17 | 1987-01-17 | Piezo-electric pump |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP860887A JPS63176679A (en) | 1987-01-17 | 1987-01-17 | Piezo-electric pump |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63176679A true JPS63176679A (en) | 1988-07-20 |
Family
ID=11697673
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP860887A Pending JPS63176679A (en) | 1987-01-17 | 1987-01-17 | Piezo-electric pump |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63176679A (en) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005113778A (en) * | 2003-10-07 | 2005-04-28 | Seiko Epson Corp | Pump |
| WO2006068263A1 (en) | 2004-12-22 | 2006-06-29 | Matsushita Electric Works, Ltd. | Liquid discharge control apparatus |
| WO2008013191A1 (en) | 2006-07-25 | 2008-01-31 | Panasonic Electric Works Co., Ltd. | Diaphragm pump |
| US7901374B2 (en) | 2006-09-26 | 2011-03-08 | Seiko Epson Corporation | Fluid injection device |
| JP4755317B1 (en) * | 2011-01-16 | 2011-08-24 | 等 川上 | Writing instrument |
| JP2018035733A (en) * | 2016-08-31 | 2018-03-08 | セイコーエプソン株式会社 | Pump and robot hand |
-
1987
- 1987-01-17 JP JP860887A patent/JPS63176679A/en active Pending
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005113778A (en) * | 2003-10-07 | 2005-04-28 | Seiko Epson Corp | Pump |
| WO2006068263A1 (en) | 2004-12-22 | 2006-06-29 | Matsushita Electric Works, Ltd. | Liquid discharge control apparatus |
| KR100873554B1 (en) | 2004-12-22 | 2008-12-12 | 마쯔시타 일렉트릭 워크, 리미티드 | Liquid discharge control apparatus |
| US7942650B2 (en) | 2004-12-22 | 2011-05-17 | Panasonic Electric Works Co., Ltd. | Liquid discharge control apparatus including a pump and accumulator with a movable member |
| WO2008013191A1 (en) | 2006-07-25 | 2008-01-31 | Panasonic Electric Works Co., Ltd. | Diaphragm pump |
| US7901374B2 (en) | 2006-09-26 | 2011-03-08 | Seiko Epson Corporation | Fluid injection device |
| US8337452B2 (en) | 2006-09-26 | 2012-12-25 | Seiko Epson Corporation | Fluid injection device |
| US8652091B2 (en) | 2006-09-26 | 2014-02-18 | Seiko Epson Corporation | Fluid injection device |
| US9073069B2 (en) | 2006-09-26 | 2015-07-07 | Seiko Epson Corporation | Fluid injection device |
| US9555423B2 (en) | 2006-09-26 | 2017-01-31 | Seiko Epson Corporation | Fluid injection device |
| JP4755317B1 (en) * | 2011-01-16 | 2011-08-24 | 等 川上 | Writing instrument |
| JP2018035733A (en) * | 2016-08-31 | 2018-03-08 | セイコーエプソン株式会社 | Pump and robot hand |
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