JPS63172960U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS63172960U JPS63172960U JP6652887U JP6652887U JPS63172960U JP S63172960 U JPS63172960 U JP S63172960U JP 6652887 U JP6652887 U JP 6652887U JP 6652887 U JP6652887 U JP 6652887U JP S63172960 U JPS63172960 U JP S63172960U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- tip
- measured
- contact point
- resistance measuring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例のプローブの側面図
（一部断面）、第２図は同じく他の実施例の側面
図（一部断面）である。 １：フード、３：スプリングコンタクトプロー
ブ。
（一部断面）、第２図は同じく他の実施例の側面
図（一部断面）である。 １：フード、３：スプリングコンタクトプロー
ブ。
Claims (1)
- 半導体等の抵抗率を測定する抵抗測定器におい
て、プローブ先端部に絶縁性のフードを設け、こ
のフードの先端部はプローブを被測定物表面に押
付けて測定状態とした時に、この被測定物表面に
密着して接触点及びこの接触点を結ぶ線を完全に
包囲し、遮光する構造としたことを特徴とする抵
抗測定用プローブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6652887U JPS63172960U (ja) | 1987-04-30 | 1987-04-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6652887U JPS63172960U (ja) | 1987-04-30 | 1987-04-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63172960U true JPS63172960U (ja) | 1988-11-10 |
Family
ID=30904617
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6652887U Pending JPS63172960U (ja) | 1987-04-30 | 1987-04-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63172960U (ja) |
-
1987
- 1987-04-30 JP JP6652887U patent/JPS63172960U/ja active Pending