JPS63168511A - Optical encoder - Google Patents
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- JPS63168511A JPS63168511A JP31252286A JP31252286A JPS63168511A JP S63168511 A JPS63168511 A JP S63168511A JP 31252286 A JP31252286 A JP 31252286A JP 31252286 A JP31252286 A JP 31252286A JP S63168511 A JPS63168511 A JP S63168511A
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- slits
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は光エンコーダに関する。[Detailed description of the invention] [Industrial application field] The present invention relates to an optical encoder.
光エンコーダは、たとえば回転円板等からなる移動体面
に同心状に位置情報を並設されたスリットで形成しこの
スリットを介して前記回転円板の一方の側に固定配置し
た発光素子からの光を前記固定円板の他方の側に固定配
置した受光素子で読み取るようにし、前記回転円板の回
転角あるいは回転数を検出するようにしたものである（
ＮＩＫＫＥＩ Ｍ ＥＣＨＡＮＩＣＡＬ １９８４
．１．１６ｐ１０８〜ｐ１１３参照）。An optical encoder is formed by forming slits concentrically arranged in parallel on the surface of a moving object such as a rotating disk, and transmits light from a light emitting element fixedly arranged on one side of the rotating disk through the slits. is read by a light-receiving element fixedly arranged on the other side of the fixed disk, and the rotation angle or rotation speed of the rotating disk is detected (
NIKKEI M ECHANICAL 1984
．． 1.16 p108-p113).
そして、スリットが形成されている前記回転円板は、透
明円板面に遮光性の蒸着膜を形成し、前記スリット形成
領域しこ相当する前記蒸着膜を写真蝕刻技術によって選
択エツチングすること等によって形成したものである。The rotating disk in which the slits are formed is formed by forming a light-shielding vapor deposited film on the surface of the transparent disk, and selectively etching the vapor deposited film corresponding to the slit forming area using a photolithographic technique. It was formed.
位置情報である回転円板面のスリットはそれが微細に形
成でき、かっ゛隣接するスリットの間隔が狭いほどエン
コーダの分解能を高めることができる。しかし上述の回
転円板の例をとっても、透明円板の厚さは機械的強度を
保持するため最小限値が定まり、たとえスリットを微細
に形成し得たとしても該スリットを通過した光は透明円
板内で散乱してしまい、隣辺するスリットからの光と確
実に区別することは困難となるという問題点があった。The slits on the surface of the rotating disk that provide positional information can be formed finely, and the narrower the distance between adjacent slits, the higher the resolution of the encoder can be. However, taking the example of the rotating disk mentioned above, the minimum thickness of the transparent disk is determined in order to maintain mechanical strength, and even if the slits can be formed finely, the light that passes through the slits will be transparent. There was a problem in that the light was scattered within the disk, making it difficult to reliably distinguish it from light from adjacent slits.
このため、回転円板面のスリットの間隔もその最小限値
が定まり、それ以上小さくすることは技術的に困難とな
っていた。For this reason, the minimum value of the spacing between the slits on the surface of the rotating disk has been determined, and it has been technically difficult to further reduce the spacing.
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり
、さらに分解能を高めることを可能にした光エンコーダ
を提供することを目的とするものである。The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide an optical encoder that makes it possible to further improve the resolution.
このような目的を達成するため、本発明は、移動板面に
位置情報を等間隔で並設されたスリットで形成し、この
スリットを介して前記移動板の一方の側に固定配置した
発光素子からの光を前記移動板の他方の側に固定配置し
た受光素子で読み取る光エンコーダにおいて、前記移動
板と受光素子の間に、前記移動板に並設して形成された
スリットに対向して複数のスリットが形成された固定板
を具備させるとともに、この固定板の各スリットに対応
させてそれぞれ複数の受光素子を具備させ、前記移動板
のスリットにあってその先端辺から次のスリットの先端
辺までの間隔をαとした場合、前記固定板の各スリット
は１番目の先端から（ｍ−１）（ｍ＝２．３．４・・・
）番目のスリットの先端辺が次の（１）式で定められる
位置
Ｓｍ＝ｍ−８（１＋ ） −−（１）ｎ
ただし、５＝ｐ−Ｑ （ｐ＝１．２・・・・・・）に位
置づけられて少なくともｎ個形成されているものとし、
さらに各受光素子の出力から前記移動体のスリットの間
隔悲を２ｎ分割した信号を取り出す手段とを備えるよう
にしたものである。In order to achieve such an object, the present invention forms positional information on the surface of the movable plate using slits arranged in parallel at equal intervals, and displays light emitting elements fixedly disposed on one side of the movable plate through the slits. In the optical encoder, a plurality of slits are arranged between the movable plate and the light-receiving element, facing a slit formed in parallel on the movable plate. A fixed plate is provided with slits formed therein, and a plurality of light receiving elements are provided corresponding to each slit of the fixed plate, and a plurality of light-receiving elements are provided in correspondence with each slit of the fixed plate. If the interval from
) The position where the tip side of the slit is determined by the following equation (1) Sm=m-8(1+)--(1)n However, 5=p-Q (p=1.2... ), and at least n are formed.
The apparatus further includes means for extracting a signal obtained by dividing the interval between the slits of the moving body by 2n from the output of each light receiving element.
このように構成した場合、固定板の各スリット毎に対応
させた受光素子は、前記スリットと移動板の対向し得る
スリットとの重畳面積に対応する出力を得ることができ
るようになる。そして、各受光素子の出力は、正弦波に
近い信号として得られ、この正弦波は各受光素子毎に位
相がずれたものとなる。したがって、この位相のずれに
対応する信号を取り出すことによって、各受光素子のう
ちたとえば１番目にある受光素子が移動板面の１つのス
リットを検出した後隣接する次のスリットを検出するま
での間に、他の残りの受光素子から、移動板の各スリッ
トの分割位置に対応する信号を（２ｎ −１）個得るよ
うにすることができる。With this configuration, the light receiving element corresponding to each slit of the fixed plate can obtain an output corresponding to the overlapping area of the slit and the opposing slit of the movable plate. The output of each light receiving element is obtained as a signal close to a sine wave, and this sine wave has a phase shift for each light receiving element. Therefore, by extracting a signal corresponding to this phase shift, for example, the first light receiving element among each light receiving element detects one slit on the moving plate surface until it detects the next adjacent slit. In addition, (2n -1) signals corresponding to the dividing positions of each slit of the moving plate can be obtained from the remaining light receiving elements.
この場合、固定板の並設されたスリットにおいて、その
うちの１つのスリットの先端辺から次のスリットの先端
辺までの間隔は、移動板の並設されたスリットにおいて
、そのうちの１つのスリットの先端辺から次のスリット
の先端辺までの間隔より必ず大きく設定できることから
、固定板におけるスリットの技術上の問題はないものと
なる。In this case, in the slits arranged in parallel on the fixed plate, the distance from the tip side of one of the slits to the tip side of the next slit is Since it can always be set larger than the distance from one side to the next slit's leading edge, there is no technical problem with the slit in the fixed plate.
以下、図面を用いて本発明による光エンコーダの実施例
について説明する。Embodiments of the optical encoder according to the present invention will be described below with reference to the drawings.
第２図は本発明による光エンコーダの断面を示す図であ
る。同図において、カバー１から突出するロータ軸２が
あり、このロータ軸２は前記カバー１内のナツト３．ベ
アリング４によって支軸されている。前記ロータ軸２に
は回転円板５が取付けられ、この回転円板５は前記ロー
タ軸２とともに回転するようになっている。この回転円
板５は、後述するように、同心状に位置情報が形成され
、この位置情報は並設されたスリットから構成されてい
る。前記回転円板５の背面（図中右側）には発光素子６
が配置され、この発光素子６は波形成形回路基板７に搭
載されている。なお、前記波形成形回路基板７はカバー
１に支持され、前記回転円板５に対して固定されて配置
されたものである。FIG. 2 is a cross-sectional view of an optical encoder according to the present invention. In the figure, there is a rotor shaft 2 protruding from a cover 1, which is connected to a nut 3. It is supported by a bearing 4. A rotating disk 5 is attached to the rotor shaft 2, and the rotating disk 5 rotates together with the rotor shaft 2. As will be described later, position information is concentrically formed on the rotating disk 5, and this position information is composed of slits arranged in parallel. A light emitting element 6 is provided on the back side of the rotating disk 5 (on the right side in the figure).
is arranged, and this light emitting element 6 is mounted on a waveform shaping circuit board 7. Note that the waveform-shaped circuit board 7 is supported by the cover 1 and fixed to the rotating disk 5.
また、前記波形成形回路基板７は前記回転円板５の外周
部を股がって前記回転円板５の表面にまで延在されて形
成され、固定スリット板８が固定されている。Further, the waveform-shaped circuit board 7 is formed to extend across the outer peripheral portion of the rotary disk 5 to the surface of the rotary disk 5, and a fixed slit plate 8 is fixed thereto.
この固定スリット板８は前記回転円板５の表面（図中左
側）において前記回転円板５と対向して配置され、後述
するように、その面には複数のスリットが並設されて形
成されている。さらに前記固定スリット板８の回転円板
５と対向する側と反対側の面には前記各スリット毎に受
光素子９が配置されている。前記受光素子９の出力は前
記波形成形回路基板７に入力されるようになっており、
さらに前記波形成形回路基板７の出力はリード線１０を
介してカバー１外へ取り出されるようになっている。This fixed slit plate 8 is arranged facing the rotating disk 5 on the surface of the rotating disk 5 (on the left side in the figure), and as described later, a plurality of slits are formed in parallel on the surface. ing. Furthermore, a light receiving element 9 is arranged for each of the slits on the opposite surface of the fixed slit plate 8 to the side facing the rotating disk 5. The output of the light receiving element 9 is input to the waveform shaping circuit board 7,
Furthermore, the output of the waveform shaping circuit board 7 is taken out to the outside of the cover 1 via a lead wire 10.
前記回転円板５は、その平面図を第３図（ａ）に示すよ
うに、前記ロータ軸２と同軸に円形状パターンからなる
位置情報１１が形成されている。この位置情報１１は、
その拡大図である第３図（ｂ）に示すように、スリット
１２が並設されて前記円形状パターンを形成してなるも
のである。このスリット１２は、第１図（ａ）にその詳
細を示すように、先端辺から隣接する次のスリット３の
先端辺までの間隔がＱで並設配置されている。そして各
スリット３の幅（並設方向と一致する辺）は１／２Ｑに
設定されている。As shown in a plan view of FIG. 3(a), the rotating disk 5 has position information 11 formed in a circular pattern coaxially with the rotor shaft 2. This location information 11 is
As shown in FIG. 3(b), which is an enlarged view, slits 12 are arranged in parallel to form the circular pattern. As shown in detail in FIG. 1(a), the slits 12 are arranged in parallel with an interval of Q from the tip side to the tip side of the next adjacent slit 3. The width of each slit 3 (the side that coincides with the direction in which the slits are arranged) is set to 1/2Q.
前記０の値はスリットの形成において１種々の技術的条
件から最小値として定まる値をとることができる。The value of 0 can take a value determined as a minimum value based on various technical conditions in forming the slit.
一方、固定スリット板８におけるスリットの配置は、第
１図（ｂ）に示すように、たとえば４個がらなり、１番
目のスリット１３Ａの先端辺から目のスリット１３Ｂが
配置され、１番目のスリンづけられるように３番目のス
リット１３Ｇが配置されている。さらに、１番目のスリ
ット１３Ａのように４番目のスリット１３Ｄが配置され
ている。On the other hand, the arrangement of the slits in the fixed slit plate 8 is, for example, four, as shown in FIG. A third slit 13G is arranged so as to be attached. Furthermore, a fourth slit 13D is arranged like the first slit 13A.
なお、この固定スリット板８における各スリット１３Ａ
、１３Ｂ、１３Ｃ，１３０は回転円板５におけるスリッ
ト１２と対向するようになっており、かつその並設方向
は前記スリット１２の並設方向と一致して位置づけられ
ている。In addition, each slit 13A in this fixed slit plate 8
, 13B, 13C, and 130 are arranged to face the slits 12 in the rotary disk 5, and the direction in which they are arranged in parallel is aligned with the direction in which the slits 12 are arranged in parallel.
この実施例では固定スリット板８におけるスリット１３
は４個形成（これに伴って受光素子９も４個）したもの
である。しかし、その数は得ようとする分解能で設定さ
れるものである。たとえば１番目のスリット１３の先端
辺から（ｍ−１）（ｍ＝２．３．４・・・）番目のスリ
ット１３の先端辺は次式で定められる。In this embodiment, the slit 13 in the fixed slit plate 8
Four light-receiving elements 9 are formed (accompanyingly, four light-receiving elements 9 are also formed). However, the number is determined depending on the desired resolution. For example, the tip side of the (m-1) (m=2.3.4...)th slit 13 from the tip side of the first slit 13 is determined by the following equation.
また、各スリット１３はその幅が回転円板のスリット１
２と同様にＱ／２に設定されている。Moreover, each slit 13 has a width equal to that of the slit 1 of the rotating disk.
Similar to 2, it is set to Q/2.
スリット１３を介して光を受ける受光素子９は前記スリ
ットと前記回転円板５のスリット１２とが完全に対向し
た状態において最大の出力を得・前記回転円板５の回転
にともなって前記対向にずれが生じた際は前記スリット
１３とスリット１２の重畳面積に対応した出力を得るよ
うになっている。The light-receiving element 9 that receives light through the slit 13 obtains maximum output when the slit and the slit 12 of the rotating disk 5 are completely opposed to each other. When a deviation occurs, an output corresponding to the overlapping area of the slits 13 and 12 is obtained.
次にこのように構成された光エンコーダの作用を説明す
る。Next, the operation of the optical encoder configured as described above will be explained.
まず、第４図に示すように、固定スリット８の各スリッ
ト１３Ａ、１３Ｂ、１３ｃ、１３Ｄに対応して配置され
る受光素子をそれぞれ９Ａ、９Ｂ。First, as shown in FIG. 4, light receiving elements 9A and 9B are arranged corresponding to each slit 13A, 13B, 13c, and 13D of the fixed slit 8, respectively.
９Ｇ、９Ｄとし１回転円板５の図示するスリット１２を
それぞれ１２Ａ、１２Ｂ、１．２Ｇ、１２Ｄ。9G and 9D, and the illustrated slits 12 of the one-rotation disk 5 are 12A, 12B, 1.2G, and 12D, respectively.
１２Ｅとする。12E.
このような状態にあるとき、各受光素子９Ａ。In such a state, each light receiving element 9A.
９Ｂ、９Ｇ、９Ｄの出力値は、第５図（１）の右側に示
す出力レベルに相当する値が得られる。この出力値は前
述したように、スリット１３とスリット１２との重畳面
積に対応する値として定められている。The output values of 9B, 9G, and 9D correspond to the output levels shown on the right side of FIG. 5(1). As described above, this output value is determined as a value corresponding to the overlapping area of slit 13 and slit 12.
このような状態から１回転円板５が回転（極めて若干の
回転）し、第５図（２）に示す位置にきた場合、各受光
素子９Ａ、９Ｂ、９Ｇ、９Ｄからの出力値のレベルは第
５図（２）中古側に示すように変化する。When the disk 5 makes one rotation (very slight rotation) from this state and comes to the position shown in FIG. It changes as shown on the used side in Figure 5 (2).
さらに、回転円板５が回転（この場合も極めて若干の回
転）していくにともない、（第５図（３）ないし第５図
（８））、スリット１３Ａに対してスリット１２Ａの重
畳が解除され、第５回（１）と同じ状態に戻る。これま
で各受光素子９Ａ、９Ｂ。Furthermore, as the rotating disk 5 rotates (also in this case, a very slight rotation), the superimposition of the slit 12A on the slit 13A is canceled (Fig. 5 (3) to Fig. 5 (8)). and returns to the same state as in the 5th episode (1). Until now, each light receiving element 9A, 9B.
９Ｇ、９Ｄは第５図（８）中古側に示すように一波長分
の正弦波が得られていることとなって、これを波形成形
しておくと、第６図（ａ）に示すような波形が得られ、
その立上り、立下がり信号を検出すると第６図（ｂ）に
示すように合計８個の信号が得られる。For 9G and 9D, a sine wave for one wavelength is obtained as shown on the used side of Figure 5 (8), and if this is shaped into a waveform, it will be as shown in Figure 6 (a). A waveform of
When the rising and falling signals are detected, a total of eight signals are obtained as shown in FIG. 6(b).
すなわち、回転円板５がその位置情報１１面において長
さＱだけ移動するように回転すると、このＱを８分割し
た個所に対応する信号が得られることになる。That is, when the rotary disk 5 rotates so as to move by a length Q in its position information 11 plane, a signal corresponding to the portion where this Q is divided into eight parts will be obtained.
上述した実施例では、固定スリット板８の各スリット１
３Ａ、１３Ｂ、１３Ｇ、１３Ｄの配列を回転円板５の各
スリット１２間の間隔Ｑを基準として定めたものである
が、これに限らず２Ｑを基準として定めてもよい。２Ｑ
を基準として各スリット１３Ａ’ 、１３Ｂ’ 、１３
Ｇ’ 、１３Ｄ’を配列した場合を第７図（ａ）（ｂ）
に示す、同図から明らかなように、各スリット１３Ａ’
、１．３Ｂ’ 。In the embodiment described above, each slit 1 of the fixed slit plate 8
Although the arrangement of 3A, 13B, 13G, and 13D is determined based on the interval Q between each slit 12 of the rotating disk 5, the arrangement is not limited to this, and may be determined based on 2Q. 2Q
Each slit 13A', 13B', 13
Figure 7 (a) (b) shows the case where G' and 13D' are arranged.
As shown in the figure, each slit 13A'
, 1.3B'.
１３Ｇ’ 、１３Ｄ’にそれぞれ対応する回転円板５の
スリット１２は１番目、３番目、５番目、および７番目
のものとなり、これらの位置関係は第１図（ａ）（ｂ）
に示したものと全く同じとなる。このことは第７図（ａ
）（ｂ）に示す各受光素子９Ａ′。The slits 12 of the rotating disk 5 corresponding to 13G' and 13D' are the 1st, 3rd, 5th, and 7th slits, and their positional relationships are shown in FIGS. 1(a) and (b).
It is exactly the same as shown in. This is shown in Figure 7 (a
) Each light receiving element 9A' shown in (b).
９Ｂ’ 、９Ｇ’ 、９Ｄ’ （スリット１３Ａ’
、１３Ｂ’ １３Ｇ’ 、１３Ｄ’ ”）から得られ
る各出力は、第１図（ａ）（ｂ）の場合の各受光素子９
Ａ、９Ｂ。9B', 9G', 9D' (slit 13A'
, 13B', 13G', 13D''') are obtained from each light receiving element 9 in the case of FIGS.
A, 9B.
９Ｇ、９Ｄから得られる各出力と同じものである。These are the same outputs obtained from 9G and 9D.
したがって、第７図（ａ）（ｂ）に示す配列であっても
本発明の効果を得ることができる。Therefore, even with the arrangement shown in FIGS. 7(a) and 7(b), the effects of the present invention can be obtained.
このようなことから３Ｑ、あるいは４０等を基準として
固定スリット板８のスリット１３の配列が可能となり、
その一般式は１番目の先端辺から（ｍ−１）（ｍ＝２．
３．４・・・）番目の先端辺までの間隔をＳｍとすると
となる。ここで５＝ｐ−Ｑ （ｐ＝１，２・・・）であ
る。For this reason, it is possible to arrange the slits 13 of the fixed slit plate 8 based on 3Q or 40, etc.
The general formula is (m-1) (m=2.
If the distance to the 3.4th...)th tip side is Sm, then Here, 5=p-Q (p=1, 2...).
また、固定スリット板８のスリット１３の数は最小限分
割数の半分の値に相当する数だけ必要とするが、これに
限定されることはない。同機能を有するスリット（これ
にともなって該スリットに対応する受光素子をも）を複
数個設けることにより、そのうち一つが故障した場合に
おいても、エンコーダの位置検出手段はなんら支障なく
駆動させることができる。Further, the number of slits 13 in the fixed slit plate 8 is required to be equal to half the minimum number of divisions, but the number is not limited to this. By providing a plurality of slits with the same function (accordingly, light receiving elements corresponding to the slits), even if one of the slits fails, the position detection means of the encoder can be driven without any problem. .
なお、本発明はいわゆるパルスジェネレータ、インクリ
メンタルエンコーダ、あるいはアブソリュートエンコー
ダ型等に全て適用できることはいうまでもない。It goes without saying that the present invention is applicable to all so-called pulse generators, incremental encoders, absolute encoders, and the like.
以上、説明したことから明らかなように、本発明による
光エンコーダによれば、分解能をさらに高めるようにす
ることができるようになる。As is clear from the above description, according to the optical encoder according to the present invention, the resolution can be further improved.
第１図は、本発明による光エンコーダの一実施例を示す
構成図で、第１図（ａ）は回転円板に形成されるスリッ
トの配列を、第１図（ｂ）は固定スリット板に形成され
るスリットの配列を示す図、第２図は前記光エンコーダ
の全体構成を示す断面図、第３図（ａ）（ｂ）は前記光
エンコーダの回転円板の詳細を示す図、第４図は回転円
板と固定スリット板との位置関係を示す図、第５図（１
）ないしく８）は前記回転円板の回動とともに各受光素
子からの出力変化を示す説明図、第６図Ｃａ）（ｂ）は
前記各受光素子からの出力を処理する一実施例を示す説
明図、第７図（ａ）（ｂ）は、本発明による光エンコー
ダの他の実施例を示す構成図である。
５・・・回転円板、６・・・発光素子、８・・・固定ス
リット板、９・・・受光素子、１２．１３・・・スリッ
ト。FIG. 1 is a configuration diagram showing an embodiment of an optical encoder according to the present invention. FIG. 1(a) shows the arrangement of slits formed on a rotating disk, and FIG. 1(b) shows an arrangement of slits formed on a fixed slit plate. FIG. 2 is a cross-sectional view showing the overall configuration of the optical encoder; FIGS. 3(a) and 3(b) are views showing details of the rotating disk of the optical encoder; FIG. The figure shows the positional relationship between the rotating disk and the fixed slit plate, Figure 5 (1
) to 8) are explanatory diagrams showing changes in the output from each light receiving element as the rotating disk rotates, and FIGS. 6A and 6B show an example of processing the output from each light receiving element. Explanatory drawings, FIGS. 7(a) and 7(b) are configuration diagrams showing other embodiments of the optical encoder according to the present invention. 5... Rotating disk, 6... Light emitting element, 8... Fixed slit plate, 9... Light receiving element, 12.13... Slit.
Claims (1)
成し、このスリットを介して前記移動板の一方の側に固
定配置した発光素子からの光を前記移動板の他方の側に
固定配置した受光素子で読み取る光エンコーダにおいて
、前記移動板と受光素子の間に、前記移動板に並設して
形成されたスリットに対向して複数のスリットが形成さ
れた固定板を具備させるとともに、この固定板の各スリ
ットに対応させてそれぞれ複数の受光素子を具備させ、
前記移動板のスリットにあってその先端辺から次のスリ
ットの先端辺までの間隔をｌとした場合、前記固定板の
各スリットは１番目の先端から（ｍ−１）（ｍ＝２、３
、４・・・）番目のスリットの先端辺が次の（１）式で
定められる位置Ｓｍ＝ｍ・Ｓ［１＋（１／２ｎ）］・・
・・・・（１）ただし、Ｓ＝ｐ・ｌ（ｐ＝１、２・・・
・・・）に位置づけられて少なくともｎ個形成されてい
るものとし、さらに各受光素子の出力から前記移動体の
スリットの間隔ｌを２ｎ分割した信号を取り出す手段と
を備えたことを特徴とする光エンコーダ。Position information is formed on the surface of the movable plate by slits arranged in parallel at equal intervals, and light from a light emitting element fixedly arranged on one side of the movable plate is fixed to the other side of the movable plate through the slit. In an optical encoder that reads data using disposed light receiving elements, a fixed plate is provided between the movable plate and the light receiving element, in which a plurality of slits are formed opposite to slits formed in parallel on the movable plate, and A plurality of light receiving elements are provided corresponding to each slit of this fixed plate,
If the distance from the tip side of the slit of the movable plate to the tip side of the next slit is l, then each slit of the fixed plate is (m-1) (m=2, 3) from the first tip.
, 4...) The position where the tip side of the slit is determined by the following equation (1) Sm=m・S[1+(1/2n)]...
...(1) However, S=p・l (p=1, 2...
), and further includes means for extracting a signal obtained by dividing the interval l between the slits of the moving body by 2n from the output of each light receiving element. optical encoder.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31252286A JPS63168511A (en) | 1986-12-29 | 1986-12-29 | Optical encoder |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31252286A JPS63168511A (en) | 1986-12-29 | 1986-12-29 | Optical encoder |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63168511A true JPS63168511A (en) | 1988-07-12 |
Family
ID=18030237
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31252286A Pending JPS63168511A (en) | 1986-12-29 | 1986-12-29 | Optical encoder |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63168511A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2413181A (en) * | 2001-12-20 | 2005-10-19 | Agilent Technologies Inc | An optical encoder having an electrically insulated soldering pin that protrudes from a sidewall of its housing |
| US7472979B2 (en) | 2001-12-20 | 2009-01-06 | Avago Technologies Ecbu Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Optical encoder device, and system including same |
-
1986
- 1986-12-29 JP JP31252286A patent/JPS63168511A/en active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2413181A (en) * | 2001-12-20 | 2005-10-19 | Agilent Technologies Inc | An optical encoder having an electrically insulated soldering pin that protrudes from a sidewall of its housing |
| GB2413181B (en) * | 2001-12-20 | 2006-04-26 | Agilent Technologies Inc | Optical encoder device |
| US7472979B2 (en) | 2001-12-20 | 2009-01-06 | Avago Technologies Ecbu Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Optical encoder device, and system including same |
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