JPS6316528A - Manufacture of black matrix phosphor screen - Google Patents

Manufacture of black matrix phosphor screen

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Publication number
JPS6316528A
JPS6316528A JP16252286A JP16252286A JPS6316528A JP S6316528 A JPS6316528 A JP S6316528A JP 16252286 A JP16252286 A JP 16252286A JP 16252286 A JP16252286 A JP 16252286A JP S6316528 A JPS6316528 A JP S6316528A
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JP
Japan
Prior art keywords
photoresist
face panel
insolubirize
light
substance
Prior art date
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Pending
Application number
JP16252286A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takashi Ishii
石井 ▲タカシ▼
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
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  • Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)

Abstract

PURPOSE:To attempt to uniformalize a paint film of light absorptive material laid on the curved part of a face panel by causing a photoresist after development to react with a substance to insolubirize polyvinyl alcohol so as to insolubirize the photoresist. CONSTITUTION:A photoresist 2 composed of PVA(polyvinyl alcohol) and dichromate is applied to the inner periphery of a cleaned face panel 1 and after drying it, a shadow mask 4 is attached to a panel pin 3 to expose the specified position of the photoresist 2 by means of a high pressure mercury lamp or the like. Then, the shadow mask 4 is detached, and developed by spraying it with deionized water to display a an exposed and hardened photoresist 6. Following this, a substance to insolubirize PVA is injected onto the inner surface of the face panel 1 to cause it to react with a substance to insolubirize PVA of the photoresist 6 so as to insolubirize the surface thereof. Then, light absorptive material 8 is applied to the inner surface of the face plate 1 and after drying it, the photoresist 6 and the light absorptive material 8 on the photo-resist 6 are removed by causing a reaction between the photoresist 6 and an oxiding agent.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野J 本発明は、カラー陰極線管に用いられるブラックマトリ
クス型蛍光面の製造方法に関する。さらに詳しくは、蛍
光面の発光画素の周辺を黒色の光吸収性材料で覆ったブ
ラックマトリクス型蛍光面の製造方法に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Field of Application J] The present invention relates to a method for manufacturing a black matrix type phosphor screen used in a color cathode ray tube. More specifically, the present invention relates to a method of manufacturing a black matrix type phosphor screen in which the periphery of the light-emitting pixels of the phosphor screen is covered with a black light-absorbing material.

[従来の技術] ブラックマトリクス型蛍光面は、従来は第3図に示され
る工程によって製造されている。すなわち、フェースパ
ネル(1)の内面を洗浄し、ポリビニルアルコール(P
VA)と重クロム酸塩とを主成分とするネガティブタイ
プのフォトレジスト(2)をフェースパネル(1)の内
面に塗布したのち、乾燥する。
[Prior Art] A black matrix type phosphor screen has conventionally been manufactured by the process shown in FIG. That is, the inner surface of the face panel (1) is cleaned and coated with polyvinyl alcohol (P).
A negative type photoresist (2) containing VA) and dichromate as main components is applied to the inner surface of the face panel (1) and then dried.

つぎに、フェースパネル(1)に設けられているパネル
ビン(3)にシャドウマスク(4)を装着し、所定の光
源から紫外光(5)を照射して、フォトレジスト(2)
の所定の位置を露光する。つぎに、シャドウマスク(4
)を外して脱イオン水をスプレーして現像し、未露光部
分(7)を融解除去する。つぎに、グラファイトサスペ
ンションなどの黒色の光吸収性材料(8)をフェースパ
ネル(1)の内面に塗布して乾燥する。つぎに、感光硬
化したフォトレジスト(6)を分解する過酸化水素水な
どの酸化剤をフェースパネル(1)の内面に注入して反
応させる。つぎに、分解されたフォトレジストとその上
の黒色の光吸収性材料(8)を除去するため、高圧の脱
イオン水をスプレーする。こうしてブラックマトリクス
暢が完成する。
Next, a shadow mask (4) is attached to the panel bin (3) provided on the face panel (1), and ultraviolet light (5) is irradiated from a predetermined light source to coat the photoresist (2).
expose a predetermined position. Next, shadow mask (4
) is removed and developed by spraying with deionized water to melt and remove the unexposed areas (7). Next, a black light-absorbing material (8) such as a graphite suspension is applied to the inner surface of the face panel (1) and dried. Next, an oxidizing agent such as a hydrogen peroxide solution that decomposes the photoresist (6) that has been photocured is injected into the inner surface of the face panel (1) and allowed to react. High pressure deionized water is then sprayed to remove the decomposed photoresist and the black light-absorbing material (8) above it. In this way, the black matrix is completed.

このあとは写真印刷法により、緑色発光画素01)、青
色発光画素azおよび赤色発光画素にを順に形成してブ
ラックマトリクス型蛍光面■が完成する。
Thereafter, a green light emitting pixel 01), a blue light emitting pixel az and a red light emitting pixel are sequentially formed by a photo printing method to complete a black matrix type phosphor screen (2).

[発明が解決しようとする問題点] こうした従来のブラックマトリクス型蛍光面の製造方法
では、第4図に示されるようにフェースパネル(1)の
周辺の湾曲部(1a)において黒色の光吸収性材料(8
)の膜がうずくなったり(8a)、または光吸収性材料
(8)の一部が欠落(8b)する欠点があり、これらの
部分から陰極線管内で発光した光が洩れたり、湾曲部(
1a)が露出しているいわゆるブツシュスルータイプの
テレビセットでは重大な画面欠点になるなどの問題点が
ある。
[Problems to be Solved by the Invention] In this conventional method for manufacturing a black matrix type phosphor screen, as shown in FIG. Materials (8
) is warped (8a), or a part of the light-absorbing material (8) is missing (8b), and the light emitted in the cathode ray tube leaks from these parts, and the curved part (
A so-called push-through type television set in which 1a) is exposed has problems such as serious screen defects.

本発明者は上記問題点を詳細に調査した結果、光吸収性
材料(8)の塗膜そのものには欠陥はなく、フォトレジ
ストと酸化剤との反応により第4図に示される(8a)
、(8b)といった欠点が発生することが明らかになっ
た。つまり、フォトレジストの現像工程における脱イオ
ン水のスプレーによって未露光部分(刀が溶解除去され
るだけでなく、感光硬化したフォトレジスト(6)も一
部溶出してフェースパネル(1)の湾曲部(1a)に存
在するようになり、酸化剤による処理工程において、湾
曲部(1a)に存在するフォトレジストが酸化剤と反応
して前記のような問題をおこしているのである。
As a result of a detailed investigation into the above-mentioned problem, the inventor of the present invention found that there was no defect in the coating film itself of the light-absorbing material (8), and that it was caused by the reaction between the photoresist and the oxidizing agent (8a) shown in FIG.
, (8b). In other words, the spray of deionized water during the photoresist development process not only dissolves and removes the unexposed areas (swords), but also partially dissolves the photoresist (6) that has been photocured and removes the curved areas of the face panel (1). (1a), and the photoresist present in the curved portion (1a) reacts with the oxidizing agent during the treatment process with the oxidizing agent, causing the above-mentioned problem.

本発明は前記問題点を解消し、フェースパネルの湾曲部
(1a)の光吸収性材料(8)の均一な塗膜を提供し、
それによって画面欠点のない高品質なブラックマトリク
ス型蛍光面を提供することができる新規なブラックマト
リクス型蛍光面の製造方法をうろことを目的とする。
The present invention solves the above problems and provides a uniform coating of the light-absorbing material (8) on the curved portion (1a) of the face panel,
The purpose of the present invention is to develop a novel method for manufacturing a black matrix type phosphor screen that can provide a high quality black matrix type phosphor screen with no screen defects.

[問題点を解決するための手段] 本発明は感光硬化したフォトレジスト(6)の溶出を防
止するため、フォトレジストの表面を化学的に不溶化す
るもので、この手段として現像後のフォトレジストをポ
リビニルアルコールを不溶化させる物質と反応させてフ
ォトレジスト(6)不溶化させるものである。
[Means for Solving the Problem] The present invention chemically insolubilizes the surface of the photoresist in order to prevent the elution of the photoresist (6) that has been photocured. The photoresist (6) is insolubilized by reacting with a substance that insolubilizes polyvinyl alcohol.

すなわち本発明はフェースパネルの内面にポリビニルア
ルコールおよび重クロム酸塩からなるフォトレジストを
塗布、乾燥させ、フォトレジストの所定の位置を露光し
、現像したのちフォトレジストをポリビニルアルコール
を不溶化させる物質と反応させ、さらにフェースパネル
の内面に光吸収性材料を塗布、乾燥させ、フォトレジス
トおよびフォトレジスト上の光吸収性材料を除去するこ
とを特徴とするブラックマトリクス型蛍光面の製造方法
に関する。
That is, the present invention applies a photoresist made of polyvinyl alcohol and dichromate to the inner surface of the face panel, dries it, exposes a predetermined position of the photoresist, develops it, and then reacts the photoresist with a substance that insolubilizes the polyvinyl alcohol. The present invention relates to a method for manufacturing a black matrix type phosphor screen, which further comprises applying a light-absorbing material to the inner surface of a face panel, drying it, and removing the photoresist and the light-absorbing material on the photoresist.

[作 用] 本発明におけるポリビニルアルコールを不溶化させる物
質にる処理により、一旦感光硬化したフォトレジストが
脱イオン水による現像工程で膨潤しても、その表面が化
学的に不溶化処理されるため再溶出が防止でき、その結
果、フェースパネルの湾曲部にはフォトレジストは存在
しなくなり、酸化剤の影響を受けなくなる。
[Function] Due to the treatment with a substance that insolubilizes polyvinyl alcohol in the present invention, even if the photoresist that has been photocured once swells during the development process with deionized water, the surface will be chemically insolubilized so that it will not re-elute. As a result, there is no photoresist in the curved portion of the face panel, which is no longer affected by the oxidizing agent.

[実施例] つぎに本発明の実施例を第1図および第2図に基づいて
説明する。第1図は本実施例の工程を示すフローチャー
トであり、第2図は本実施例の製造工程を模式的に示し
た断面図である。
[Example] Next, an example of the present invention will be described based on FIGS. 1 and 2. FIG. 1 is a flowchart showing the steps of this embodiment, and FIG. 2 is a sectional view schematically showing the manufacturing steps of this embodiment.

まず洗浄されたフェースパネル(1)の内面に、ポリビ
ニルアルコール(以下、PVAという)および重クロム
酸塩からなるフォトレジスト(2)が塗布される。フェ
ースパネル(1)としては従来よりカラー陰極線管に用
いられているものが使用できる。重クロム酸塩としては
、たとえば重クロム酸アンモニウム、重クロム酸ナトリ
ウムなどがあげられ、PVAと重クロム酸塩からなるフ
ォトレジストとしては、PVA 1〜5%(重量%、以
下同様)、重クロム酸塩0.1〜0.5%および残部が
脱イオン水からなるものが使用できる。塗布方法として
はスピンコーティング法などを用いることができる。
First, a photoresist (2) made of polyvinyl alcohol (hereinafter referred to as PVA) and dichromate is applied to the inner surface of the cleaned face panel (1). As the face panel (1), those conventionally used in color cathode ray tubes can be used. Examples of dichromates include ammonium dichromate, sodium dichromate, etc., and photoresists made of PVA and dichromates include PVA 1 to 5% (wt%, same hereinafter), dichromate, etc. A composition consisting of 0.1-0.5% acid salt and the balance deionized water can be used. As a coating method, a spin coating method or the like can be used.

塗布されたフォトレジスト(2を乾燥したのち、フェー
スパネル(1)のパネルビン(3)にシャドウマスク(
4)を設置して所定の光源位置からフォトレジスト(a
の所定位置を高圧水銀ランプなどを用いて露光する。露
光条件は、フォトレジストの組成、露光装置の種類など
により異なるので適宜調整される。
After drying the applied photoresist (2), apply a shadow mask (2) to the panel bin (3) of the face panel (1).
4) and remove the photoresist (a) from the predetermined light source position.
A predetermined position is exposed using a high-pressure mercury lamp or the like. Exposure conditions vary depending on the composition of the photoresist, the type of exposure apparatus, etc., and are adjusted as appropriate.

つぎにシャドウマスク(4)を取り外して脱イオン水を
スプレーして現像し、感光硬化したフォトレジスト(6
)を表出させる。つぎにPVAを不溶化させる物質をフ
ェースパネル(1)の内面に注入してフォトレジスト(
6)をPVAを不溶化させる物質と反応させ、フォトレ
ジスト(6)の表面を不溶化させる。
Next, the shadow mask (4) was removed, the photoresist (6) was developed by spraying deionized water, and the photoresist (6) was photocured.
). Next, a substance that makes PVA insoluble is injected into the inner surface of the face panel (1) and the photoresist (
6) is reacted with a substance that insolubilizes PVA to insolubilize the surface of the photoresist (6).

PVAを不溶化させる物質としては、ホウ酸水溶液、タ
ンニン水溶液、モリブデン酸アンモニウム水溶液などが
あげられる。たとえばホウ酸水溶液を用いるばあいは、
濃度が0.05〜0.5%のものが好ましい。またホウ
酸水溶液の温度は15〜30℃であるのが好ましく、反
応時間は5〜20秒間であるのが好ましい。
Examples of substances that insolubilize PVA include boric acid aqueous solution, tannin aqueous solution, and ammonium molybdate aqueous solution. For example, when using a boric acid aqueous solution,
Preferably, the concentration is 0.05 to 0.5%. Further, the temperature of the boric acid aqueous solution is preferably 15 to 30°C, and the reaction time is preferably 5 to 20 seconds.

つぎに光吸収性材料(8)をフェースパネル(1)の内
面に塗布して乾燥させたのち、フォトレジスト(6)と
フォトレジスト(6)上の光吸収性材料(8)をフォト
レジスト(6)と酸化剤とを反応させて除去することに
よりブラックマトリクスω)がえられる。
Next, the light-absorbing material (8) is applied to the inner surface of the face panel (1) and dried, and then the photo-resist (6) and the light-absorbing material (8) on the photo-resist (6) are coated with the photo-resist ( A black matrix ω) is obtained by reacting 6) with an oxidizing agent and removing it.

光吸収性材料としては、グラファイトサスペンション、
カーボンブラックなどが使用できる。塗布方法としては
スピンコーティング法などを用いることができる。酸化
剤としては、過酸化水素水、過ヨウ素酸塩などが使用で
き、除去方法としてはたとえば過酸化水素水を用いるば
あいは、20〜50℃の5〜20%過酸化水素水をフェ
ースパネル(1)の内面に注入して20秒間〜1分間反
応させ、ついで脱イオン水をスプレーする方法が好適で
ある。
As light absorbing materials, graphite suspension,
Carbon black etc. can be used. As a coating method, a spin coating method or the like can be used. As the oxidizing agent, hydrogen peroxide, periodate, etc. can be used. For example, when hydrogen peroxide is used as the removal method, 5-20% hydrogen peroxide at 20-50°C is applied to the face panel. A preferred method is to inject the material into the inner surface of (1), react for 20 seconds to 1 minute, and then spray deionized water.

つぎに写真印刷法により、緑色発光画素(Il+、青色
発光画素0りおよび赤色発光画素0を順に形成してブラ
ックマトリクス型蛍光面■が製造される。
Next, a green light-emitting pixel (Il+), a blue light-emitting pixel 0, and a red light-emitting pixel 0 are sequentially formed by a photographic printing method to produce a black matrix type phosphor screen (2).

以下に本発明を実施例を用いてさらに具体的に説明する
が、本発明はかかる実施例のみに限定されるものではな
い。
EXAMPLES The present invention will be explained in more detail below using Examples, but the present invention is not limited to these Examples.

実施例1 まず洗浄したフェースパネル(1)にポリビニルアルコ
ール1%と重クロム酸アンモニウム0.1%からなるフ
ォトレジスト(2)をフェースパネル(1)の内面に乾
燥場の厚さが2μmとなるように脱イオン水に溶解して
スピンコーティング法により塗布したのち乾燥した。
Example 1 First, a photoresist (2) consisting of 1% polyvinyl alcohol and 0.1% ammonium dichromate was applied to the cleaned face panel (1) on the inner surface of the face panel (1) to a thickness of 2 μm in a dry field. It was dissolved in deionized water and applied by spin coating, followed by drying.

つぎにフェースパネル(1)のパネルビン(3)にシャ
ドウマスク(4)を設置して所定の光源位置から、フォ
トレジスト(2)の所定位置を高圧水銀灯を用いて露光
した。
Next, a shadow mask (4) was installed in the panel bin (3) of the face panel (1), and a predetermined position of the photoresist (2) was exposed to light from a predetermined light source position using a high-pressure mercury lamp.

つぎにシャドウマスクを取り外して脱イオン水をスプレ
ーして現像し、露光部を表出させた。つぎに30℃の0
.5%ホウ酸水溶液をフェースパネル(1)の内面に注
入して感光硬化したフォトレジスト(6)をホウ酸水溶
液と反応させ、フォトレジスト(6)を不溶化させた。
Next, the shadow mask was removed, and deionized water was sprayed and developed to reveal the exposed areas. Next, 0 at 30℃
.. The photoresist (6), which was photocured by injecting a 5% aqueous boric acid solution into the inner surface of the face panel (1), was reacted with the aqueous boric acid solution to insolubilize the photoresist (6).

つぎに、グラフフィトサスペンション(8)をフェース
パネル(1)の内面に塗布して乾燥させたのち、30℃
の5%過酸化水素水をフェースパネルの内面に注入して
1分間反応させ、脱イオン水をスプレーしてフォトレジ
スト(6)とフォトレジスト(6)上のグラファイトサ
スペンションの膜(光吸収性材料(8))を除去した。
Next, the graphite suspension (8) was applied to the inner surface of the face panel (1) and dried at 30°C.
5% hydrogen peroxide solution was injected into the inner surface of the face panel and allowed to react for 1 minute, and then sprayed with deionized water to form a photoresist (6) and a film of graphite suspension (a light-absorbing material) on the photoresist (6). (8)) was removed.

えられたフェースパネル(1)の湾曲部のグラファイト
サスペンションの膜は正常で第4図に示されるような(
8a)、(8b)などの欠陥は全く発生しなかった。
The graphite suspension film on the curved part of the obtained face panel (1) is normal and as shown in Figure 4 (
Defects such as 8a) and (8b) did not occur at all.

つぎに写真印刷法により緑色発光画素01)、青色発光
画素02)および赤色発光画素0を順に形成してブラッ
クマトリクス型蛍光面■を製造した。
Next, a green light-emitting pixel 01), a blue light-emitting pixel 02) and a red light-emitting pixel 0 were sequentially formed by a photographic printing method to produce a black matrix type phosphor screen (2).

なお、前記実施例では、フォトレジストを不溶化処理す
るためにホウ酸水溶液を単独で用いたが、溶出したフォ
トレジストをすすぎ落とす効果を付与するために、リン
ス効果のある界面活性剤とともに用いても全く同様に(
8a)、(8b)などの欠陥を防ぐ効果かえられる。
In the above example, a boric acid aqueous solution was used alone to insolubilize the photoresist, but it may also be used together with a surfactant that has a rinsing effect to give the effect of rinsing off the eluted photoresist. In exactly the same way (
The effect of preventing defects such as 8a) and (8b) can be improved.

[発明の効果] 以上のように、本発明の製造方法によれば、フェースパ
ネルの湾曲部の光吸収性材料の膜に欠陥が生じないため
、この部分が露出したテレビセットにおいても画面に欠
点のない高品質のブラックマトリクス型蛍光面を提供す
ることができるといる効果を奏する。
[Effects of the Invention] As described above, according to the manufacturing method of the present invention, defects do not occur in the light-absorbing material film on the curved portion of the face panel, so even in a television set where this portion is exposed, there are no defects on the screen. This has the effect of being able to provide a high-quality black matrix type phosphor screen with no blemishes.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の実施例の工程を示すフローチャートで
あり、第2図は本発明の製造工程を模式的に示した断面
図である。第3図は従来のブラックマトリクス型蛍光面
の製造工程を模式的に示した断面図であり、第4図は従
来のブラックマトリクス型蛍光面の欠陥を示す断面図で
ある。 (図面の主要符号) (1):フエースパネル (z:フォトレジスト (4):シャドウマスク (8):光吸収性材料 代   理   人       大   岩   増
   雄片2図 才3図 An
FIG. 1 is a flow chart showing the steps of an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a sectional view schematically showing the manufacturing steps of the present invention. FIG. 3 is a sectional view schematically showing the manufacturing process of a conventional black matrix type phosphor screen, and FIG. 4 is a sectional view showing defects in the conventional black matrix type phosphor screen. (Main symbols of the drawing) (1): Face panel (z: Photoresist (4): Shadow mask (8): Light-absorbing material agent

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)フェースパネルの内面にポリビニルアルコールお
よび重クロム酸塩からなるフォトレジストを塗付、乾燥
させ、フォトレジストの所定の位置を露光し、現像した
のちフォトレジストをポリビニルアルコールを不溶化さ
せる物質と反応させ、さらにフェースパネルの内面に光
吸収性材料を塗布、乾燥させ、フォトレジストおよびフ
ォトレジスト上の光吸収性材料を除去することを特徴と
するブラックマトリクス型蛍光面の製造方法。
(1) Apply a photoresist made of polyvinyl alcohol and dichromate to the inner surface of the face panel, dry it, expose a predetermined position of the photoresist, develop it, and then react the photoresist with a substance that makes polyvinyl alcohol insoluble. A method for producing a black matrix type phosphor screen, which further comprises applying a light-absorbing material to the inner surface of a face panel, drying it, and removing the photoresist and the light-absorbing material on the photoresist.
(2)ポリビニルアルコールを不溶化させる物質が、ホ
ウ酸水溶液、タンニン水溶液またはモリブデン酸アンモ
ニウム水溶液である特許請求の範囲第(1)項記載の製
造方法。
(2) The manufacturing method according to claim (1), wherein the substance that insolubilizes polyvinyl alcohol is an aqueous boric acid solution, an aqueous tannin solution, or an aqueous ammonium molybdate solution.
JP16252286A 1986-07-08 1986-07-08 Manufacture of black matrix phosphor screen Pending JPS6316528A (en)

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