JPS63161680U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63161680U JPS63161680U JP5483987U JP5483987U JPS63161680U JP S63161680 U JPS63161680 U JP S63161680U JP 5483987 U JP5483987 U JP 5483987U JP 5483987 U JP5483987 U JP 5483987U JP S63161680 U JPS63161680 U JP S63161680U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- processing box
- glove
- box
- glove according
- air supply
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 229920005549 butyl rubber Polymers 0.000 claims 1
Landscapes
- Workshop Equipment, Work Benches, Supports, Or Storage Means (AREA)
- Accommodation For Nursing Or Treatment Tables (AREA)
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Description
第１図は、この考案の実施例を示す縦断面図で
ある。 １……Ｎ２ボツクス、２……壁部、５……貫通
穴、１０……減圧用排気口、１３……加圧用給気
口。
ある。 １……Ｎ２ボツクス、２……壁部、５……貫通
穴、１０……減圧用排気口、１３……加圧用給気
口。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 処理ボツクスの壁部に形成した貫通穴と、
該貫通穴に気密に取り付けたグローブと、処理ボ
ツクスに形成した加圧用給気口及び減圧用給気口
とからなるグローブ付処理ボツクス。 (2) 貫通穴が、複数個形成されていることを特
徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載のグ
ローブ付処理ボツクス。 (3) 処理ボツクスが、Ｎ２ボツクスであること
を特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載
のグローブ付処理ボツクス。 (4) グローブが、ブチルゴムにより形成されて
いることを特徴とする実用新案登録請求の範囲第
１項記載のグローブ付処理ボツクス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5483987U JPS63161680U (ja) | 1987-04-11 | 1987-04-11 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5483987U JPS63161680U (ja) | 1987-04-11 | 1987-04-11 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63161680U true JPS63161680U (ja) | 1988-10-21 |
Family
ID=30882201
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5483987U Pending JPS63161680U (ja) | 1987-04-11 | 1987-04-11 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63161680U (ja) |
-
1987
- 1987-04-11 JP JP5483987U patent/JPS63161680U/ja active Pending
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