JPS63154964U - - Google Patents

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JPS63154964U
JPS63154964U JP4424387U JP4424387U JPS63154964U JP S63154964 U JPS63154964 U JP S63154964U JP 4424387 U JP4424387 U JP 4424387U JP 4424387 U JP4424387 U JP 4424387U JP S63154964 U JPS63154964 U JP S63154964U
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heat exchanger
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  • Heat-Exchange Devices With Radiators And Conduit Assemblies (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図はこの考案の一実施例を示す熱交換器の
主要部の構成を示す断面図、第２図はこの考案の
熱交換器を利用する一例として示した半導体ウエ
ハの処理装置の概略図、第３図は第２図に示す光
処理装置によつて半導体ウエハのレジスト処理を
する際の時間と温度の関係を示した図である。 図中、１：筐体、２：熱交換用媒体流通管、３
：冷却管、３ａ…流入孔、５：液体流出管、５ａ
：開口、５ｂ：流出口、６：排気管、６ａ：排気
孔、７：飛沫防止板、８：液面検出機構。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 上方に排気孔６ａ、下方に気液混合流体の
    流入孔３ａを有する筐体１と、この筐体１内にあ
    つて、前記排気孔６ａと流入孔３ａとの間の高さ
    の位置に開口５ａを有する液体流出管５と、開口
    ５ａと流入孔３ａとの間の高さの位置に配置され
    る熱交換用媒体流通管２とを具備することを特徴
    とする気液分離型熱交換器。 (2) 排気孔６ａと、開口５ａとの間の高さの位
    置に飛沫防止板７を付加してなることを特徴とす
    る実用新案登録請求の範囲第(1)項記載の気液分
    離型熱交換器。 (3) 筐体１に液面検出機構８を付加してなるこ
    とを特徴とする実用新案登録請求の範囲第(1)項
    記載の気液分離型熱交換器。
JP1987044243U 1987-03-27 1987-03-27 レジスト処理装置用気液分離型熱交換器 Expired - Lifetime JPH0612361Y2 (ja)

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JP1987044243U JPH0612361Y2 (ja) 1987-03-27 1987-03-27 レジスト処理装置用気液分離型熱交換器

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JPS63154964U true JPS63154964U (ja) 1988-10-12
JPH0612361Y2 JPH0612361Y2 (ja) 1994-03-30

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60132588U (ja) * 1984-02-10 1985-09-04 オリオン機械株式会社 循環式液体冷却機の熱交換器のエア−抜き装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60132588U (ja) * 1984-02-10 1985-09-04 オリオン機械株式会社 循環式液体冷却機の熱交換器のエア−抜き装置

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JPH0612361Y2 (ja) 1994-03-30

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